半導体装置、および半導体装置の作製方法
专利汇可以提供半導体装置、および半導体装置の作製方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且要約書 信頼性が良好な半導体装置を提供する。 トランジスタを有する半導体装置であって、 トランジスタは、 第１の絶縁体と、 第２の絶縁体と、 第 １の 酸化 物と、 第２の酸化物と、 第３の酸化物と、 第１の導電体および第２の導電体と、 第３の絶縁 体と、第３の導電体と、第４の絶縁体と、第５の絶縁体と、を有し、第４の絶縁体および第５の絶縁 体には、 第２の酸化物に達する開口が設けられ、 開口を埋め込むように、 開口の内壁側から順に、 第 ３の酸化物と、 第３の絶縁体と、 第３の導電体と、 が配置され、 トランジスタのチャネル長方向にお いて、第４の絶縁体と、第２の酸化物と、が重ならない領域の、第４の絶縁体の少なくとも一部は、 第１の絶縁体と接し、トランジスタのチャネル幅方向において、第３の酸化物と、第２の酸化物と、 が重ならない領域の、第３の酸化物の少なくとも一部は、第１の絶縁体と接する。，下面是半導体装置、および半導体装置の作製方法专利的具体信息内容。
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