一种玻璃微结构加工方法
专利汇可以提供一种玻璃微结构加工方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 提供一种玻璃微结构加工方法，包括：调整玻璃零件的 位置 ；利用皮秒激光逐层去料加工技术加工玻璃零件；侧面修调；损伤层修复；使用稀释的 氢氟酸 溶液进行超声 刻蚀 ；去离子 水 漂洗，氮气干燥。本发明通过采用皮秒激光逐层去料加工玻璃零件微结构，对玻璃零件特殊形状进行一次加工，有效地简化加工工艺流程，并提高加工 精度 ，避免多次掩膜制作多次蚀刻带来的误差。本发明可对零件斜面过渡区有效地加工，实现斜面处的加工 角 度可控。本发明通过降低玻璃 粘度 ，可以有效降低激光加工中造成的亚表层损伤和表面粗糙度，提高加工结构的使用性能。通过进行氢氟 酸溶液 超声刻蚀，进一步的降低加工表面处的粗糙度，提高皮秒激光加工的玻璃零件表面 质量 。，下面是一种玻璃微结构加工方法专利的具体信息内容。
1.一种玻璃微结构加工方法，其特征在于包括以下步骤：
第一步，调整玻璃零件的位置：
将待加工的玻璃零件放入加工工装中，通过调节X、Y、Z轴及绕Z轴的转动轴，使得玻璃零件处于加工原点处；
第二步，利用皮秒激光对玻璃零件进行逐层去料加工，通过振镜使激光在玻璃表面扫描，每层加工完成后调节Z轴，再重复加工下一层，直至达到所需要的结构；
第三步，侧面修调：
将玻璃零件绕X轴或Y轴转动0°～90°，再重复上述加工过程，对上步加工完成面和零件表面之间的过渡斜面进行加工修调，将过渡侧面修调至所需的角度；
第四步，进行损伤层修复：
对加工后的玻璃零件进行加热，使玻璃零件粘度降至107poises～109poises之间并保持5min～30min，然后关闭加热，使玻璃零件自然冷却至常温；
第五步，使用稀释的氢氟酸溶液进行超声刻蚀：
将冷却后的零件浸入1％～5％浓度的氢氟酸溶液中刻蚀10min～30min，同时施加
40kHz～192kHz频率，功率200W～500W的超声，进一步去除掉表面应力损伤层，降低加工表面处的粗糙度；
第六步，进行去离子水漂洗，氮气干燥：
将刻蚀后的玻璃零件进行去离子水漂洗3～5遍，每遍1min～5min，然后用压力为
0.2Mpa～0.5Mpa，温度为50℃～70℃高纯氮气吹干。
一种玻璃微结构加工方法
技术领域
背景技术
发明内容
具体实施方式
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