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一种 硅片边缘 电阻测试装置

阅读：424发布：2024-01-02

专利汇可以提供一种硅片边缘电阻测试装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型属于太阳能电池片测试设备技术领域，公开了一种硅片边缘电阻测试装置，包括：相对设置的两个检测机构，两个检测机构能够相向移动，每个检测机构朝向另一个检测机构的一侧设置有至少一个检测组件，两个检测机构的检测组件一一对应设置；及设置于两个检测机构之间的硅片输送机构，硅片输送机构能够将硅片输送至两个检测机构的两个相对应的检测组件之间。通过硅片输送机构将硅片逐个输送至两个检测机构之间，两个检测机构相向移动，使得两个检测组件从硅片的两侧压紧在硅片上，从而进行硅片边缘电阻测试，本实用新型能够自动化地对硅片输送机构上的所有硅片进行检测，避免漏检及人工检测对硅片造成的污染和破碎现象，提高硅片的良率。，下面是一种硅片边缘电阻测试装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，包括：
相对设置的两个检测机构(1)，两个所述检测机构(1)能够相向移动，每个所述检测机构(1)朝向另一个所述检测机构(1)的一侧设置有至少一个检测组件，两个所述检测机构(1)的所述检测组件一一对应设置；及
设置于两个所述检测机构(1)之间的硅片输送机构，所述硅片输送机构能够将硅片(6)输送至两个所述检测机构(1)的两个相对应的所述检测组件之间。
2.根据权利要求1所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述检测组件沿所述检测机构(1)的长度方向并列设置有多个。
3.根据权利要求1所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述硅片输送机构的输送方向垂直于所述检测机构(1)的长度方向。
4.根据权利要求1-3任一项所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述检测机构(1)包括支撑架，两个所述检测机构(1)的所述支撑架能够相向移动，所述检测组件设置于所述支撑架上。
5.根据权利要求4所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述支撑架包括平行设置的两根支撑杆(11)及设置于两根所述支撑杆(11)之间的架杆(12)，所述检测组件包括若干个测试针(13)，所述测试针(13)设置于所述架杆(12)上，且电连接于电阻集成控制器(3)。
6.根据权利要求5所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述测试针(13)包括：
导电套筒(131)，设置于所述架杆(12)上且与所述电阻集成控制器(3)电连接；
顶针(132)，滑动连接于所述导电套筒(131)；及
 弹簧(133)，连接于所述导电套筒(131)与所述顶针(132)之间。
7.根据权利要求6所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述检测组件还包括：
导电柱(14)，设置于所述架杆(12)上，且与所述导电套筒(131)连接；及导电线(15)，所述导电线(15)的一端与所述导电柱(14)连接，另一端连接于所述电阻集成控制器(3)。
8.根据权利要求7所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述导电线(15)穿设于所述架杆(12)与所述支撑杆(11)内。
9.根据权利要求4所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述硅片边缘电阻测试装置还包括升降驱动机构(5)，所述升降驱动机构(5)与所述支撑架连接。
10.根据权利要求9所述的硅片边缘电阻测试装置，其特征在于，所述硅片边缘电阻测试装置还包括用于检测所述硅片(6)的位置的位置感应器(4)及升降控制器，所述位置感应器(4)、所述升降驱动机构(5)均与所述升降控制器电连接。

说明书全文

一种硅片边缘 电阻测试装置

技术领域

[0001] 本实用新型涉及太阳能电池片测试设备技术领域，尤其涉及一种硅片边缘电阻测试装置。

背景技术

[0002] 在太阳能电池片的生产过程中，硅片需要经过刻蚀工序。刻蚀工序的主要作用是去除硅片边缘的PN结及清洗硅片表面的磷硅玻璃层，避免硅片上下面通电时发生短路。刻蚀机台采用链式传输流水式生产，机台细分为多道传输同时生产，硅片的边缘电阻是生产制程的一个重要监控参数。现场操作采用人工固定时间从下料端取片，使用电表进行测试的方式。这种测试方式抽样监控数据量少，存在漏检风险，同时人工取片会造成硅片污染、破碎，边缘电阻的测试片都要进行返工处理，增加了制造成本。

[0003] 因此，亟需一种硅片边缘电阻测试装置，以解决上述问题。实用新型内容

[0004] 本实用新型的目的在于提供一种硅片边缘电阻测试装置，能够实现硅片自动化检测，避免漏检，提高良率。

[0005] 为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

[0006] 一种硅片边缘电阻测试装置，包括：

[0007] 相对设置的两个检测机构，两个所述检测机构能够相向移动，每个所述检测机构朝向另一个所述检测机构的一侧设置有至少一个检测组件，两个所述检测机构的所述检测组件一一对应设置；及

[0008] 设置于两个所述检测机构之间的硅片输送机构，所述硅片输送机构能够将硅片输送至两个所述检测机构的两个相对应的所述检测组件之间。

[0009] 作为优选，所述检测组件沿所述检测机构的长度方向并列设置有多个。

[0010] 作为优选，所述硅片输送机构的输送方向垂直于所述检测机构的长度方向。

[0011] 作为优选，所述检测机构包括支撑架，两个所述检测机构的所述支撑架能够相向移动，所述检测组件设置于所述支撑架上。

[0012] 作为优选，所述支撑架包括平行设置的两根支撑杆及设置于两根所述支撑杆之间的架杆，所述检测组件包括若干个测试针，所述测试针设置于所述架杆上，且电连接于电阻集成控制器。

[0013] 作为优选，所述测试针包括：

[0014] 导电套筒，设置于所述架杆上且与所述电阻集成控制器电连接；

[0015] 顶针，滑动连接于所述导电套筒；及

[0016] 弹簧，连接于所述导电套筒与所述顶针之间。

[0017] 作为优选，所述检测组件还包括：

[0018] 导电柱，设置于所述架杆上，且与所述导电套筒连接；及

[0019] 导电线，所述导电线的一端与所述导电柱连接，另一端连接于所述电阻集成控制器。

[0020] 作为优选，所述导电线穿设于所述架杆与所述支撑杆内。

[0021] 作为优选，所述硅片边缘电阻测试装置还包括升降驱动机构，所述升降驱动机构与所述支撑架连接。

[0022] 作为优选，所述硅片边缘电阻测试装置还包括用于检测所述硅片的位置的位置感应器及升降控制器，所述位置感应器、所述升降驱动机构均与所述升降控制器电连接。

[0023] 本实用新型的有益效果：

[0024] 本实用新型的硅片边缘电阻测试装置，通过硅片输送机构将硅片逐个输送至两个检测机构之间，两个检测机构相向移动，使得两个检测机构上对应的检测组件从硅片的两侧压紧在硅片上，从而进行硅片边缘电阻测试，本实用新型能够自动化地对硅片输送机构上的所有硅片进行检测，避免漏检及人工检测对硅片造成的污染和破碎现象，提高硅片的良率。附图说明

[0025] 图1是本实用新型提供的硅片边缘电阻测试装置的立体结构示意图；

[0026] 图2是本实用新型提供的硅片边缘电阻测试装置的俯视图；

[0027] 图3是本实用新型提供的硅片边缘电阻测试装置的正视图。

[0028] 图中：

[0029] 1、检测机构；11、支撑杆；12、架杆；13、测试针；131、导电套筒；132、顶针；133、弹簧；14、导电柱；15、导电线；2、输送带；3、电阻集成控制器；4、位置感应器；5、升降驱动机构；6、硅片。

具体实施方式

[0030] 下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

[0031] 本实用新型提供了一种硅片边缘电阻测试装置，如图1-图3所示，该硅片边缘电阻测试装置包括相对设置的两个检测机构1及设置于两个检测机构1之间的硅片输送机构，硅片输送机构包括两条输送带2，硅片6置于两条输送带2上，硅片输送机构能够将硅片6输送至两个检测机构1的两个对应的检测机构1之间，两个检测机构1能够相向移动，每个检测机构1朝向另一个检测机构1的一侧设置有至少一个检测组件，两个检测机构1的检测组件一一对应设置。当硅片输送机构将硅片6逐个输送至两个检测机构1之间时，两个检测机构1相向移动，使得两个检测组件从硅片6的两侧压紧在硅片6上，从而进行硅片6的边缘电阻测试。

[0032] 传统测试采取从刻蚀机台的下料端取片，抽样进行人工测试的方式，监控数据量少，存在漏检风险，同时人工取片会造成硅片6污染、破碎，边缘电阻的测试片都要进行返工处理，增加了制造成本。而本实用新型提供的硅片电阻测试装置在使用时，能够将硅片输送机构与刻蚀机台的下料端对接，使得经过刻蚀的硅片6全部由硅片输送机构继续输送，依次经过两个检测机构1之间进行测试，能够自动化地对硅片输送机构上的所有硅片6进行检测，避免漏检及人工检测对硅片6造成的污染和破碎现象，提高硅片6的良率。

[0033] 由于刻蚀机台通常具有多条链式传输流水线，为了同时进行多条流水线上的硅片测试，本实施例中，检测组件沿检测机构1的长度方向并列设置有多个，相应地，硅片输送机构对应设置有多个。硅片输送机构的输送方向垂直于检测机构1的长度方向。

[0034] 本实施例中，检测机构1包括支撑架，两个检测机构1的支撑架能够相向移动，检测组件设置于支撑架上。具体地，支撑架包括平行设置的两根支撑杆11及设置于两根支撑杆11之间的架杆12，检测组件包括若干个测试针13，测试针13设置于架杆12上，且电连接于电阻集成控制器3。测试针13的数量可以根据实际需要进行调整，图中所示为每个检测组件包括四个测试针13的情况，四个测试针13分设于两根架杆12上，形成一个矩形，在测试时，四个测试针13分别抵压硅片6的靠近四个边角处，用于测试硅片6的边缘电阻。

[0035] 测试针13包括导电套筒131、顶针132及弹簧133，导电套筒131设置于架杆12上且与电阻集成控制器3电连接，顶针132滑动连接于导电套筒131，弹簧133连接于导电套筒131与顶针132之间。导电套筒131将电传递至顶针132，弹簧133用于在顶针132抵压硅片6时提供弹性量，避免顶针132与硅片6发生碰伤。

[0036] 检测组件还包括导电柱14及导电线15，导电柱14设置于架杆12上，且与导电套筒131连接，导电线15的一端与导电柱14连接，另一端连接于电阻集成控制器3。为了避免因导电线15过多造成设备缠绕的现象，导电线15依次穿设于架杆12与支撑杆11内，并从支撑杆
11的端部穿出，连接在电阻集成控制器3内。在测试时，上下两个对应的检测组件的顶针132同时抵压硅片6，形成通电回路，电流通过导电线15传回电阻集成控制器3，从而计算出硅片
6的边缘电阻数值，电阻集成控制器3可灵活设置边缘电阻的控制范围，当硅片6的边缘电阻竖直超出范围时可进行警报提示，由人工或机械手将对应的异常硅片从硅片输送机构上取下。

[0037] 本实施例中，硅片边缘电阻测试装置还包括升降驱动机构5，升降驱动机构5与支撑架连接，用于驱动支撑架的升降运动。升降驱动机构5可以为能够实现升降运动的电机、气缸、直线模组等。

[0038] 为了协调硅片6的输送与检测机构1的升降之间的动作，硅片边缘电阻测试装置还包括用于检测硅片6的位置的位置感应器4及升降控制器，位置感应器4可以为非接触式传感器，例如红外传感器。位置传感器位于检测的组件的多个测试针13围成的中心位置处，位置感应器4、升降驱动机构5均与升降控制器电连接，位置感应器4能够检测硅片6的位置并由升降控制器控制升降驱动机构5运行。

[0039] 本实施例提供的硅片边缘电阻测试装置的工作过程如下：

[0040] 硅片输送机构的输送带2将硅片6输送至两个检测机构1之间，当位置感应器4感应到硅片6输送到位时，升降控制器控制升降驱动机构5运行，使得两个检测机构1相向移动，两个检测机构1上对应的检测组件从硅片6的两侧压紧在硅片上，从而对硅片6进行边缘电阻测试。测试完成后，两个检测机构1相背移动，硅片输送机构将测试完的硅片6送出，并将下一片待测试的硅片送入，持续对硅片6进行边缘电阻测试。

[0041] 显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

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