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一种 真空涂层设备的冷却系统

阅读：935发布：2020-05-08

专利汇可以提供一种真空涂层设备的冷却系统专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种真空涂层设备的冷却系统，包括第一换热器、第二换热器和高压泵，所述第一换热器和第二换热器管连接，所述第二换热器与所述高压泵管连接，所述高压泵的出水端连接有导管的一端，所述导管的另一端连接有进水管线，所述进水管线由三根进水管组成，三根进水管分别连接有真空涂层设备的阴极部、离子室和腔室夹套，所述阴极部、离子室和腔室夹套的出水端分别连接有出水管的一端，本实用新型设置了两个热交换器，使得冷却效果得到提升，冷却效果更为明显，其次设置了加热管线，冷却水在进行初步预冷后，由加热管线流入腔室，对腔室内部进行加热，有效避免腔体内的大气中的水分子被凝固并黏附于腔体表面。，下面是一种真空涂层设备的冷却系统专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种真空涂层设备的冷却系统，包括第一换热器(1)、第二换热器(2)和高压泵(3)，其特征在于：所述第一换热器(1)和第二换热器(2)管连接，所述第二换热器(2)与所述高压泵(3)管连接，所述高压泵(3)的出水端连接有导管(4)的一端，所述导管(4)的另一端连接有进水管线(5)，所述进水管线(5)由三根进水管组成，三根进水管分别连接有真空涂层设备的阴极部(6)、离子室(7)和腔室夹套(8)，所述阴极部(6)、离子室(7)和腔室夹套(8)的出水端分别连接有出水管(9)的一端，所述出水管(9)的另一端均连接出水管线(10)，所述第一换热器(1)与所述出水管线(10)管连接，所述第一换热器(1)和第二换热器(2)的进水口均连接有冷却水进水管(11)，所述第一换热器(1)和第二换热器(2)的出水口均连接有冷却水出水管(12)，所述第一换热器(1)和第二换热器(2)之间设有加热管线(13)的一端，所述加热管线(13)的另一端连接有加热管(16)的一端，所述加热管(16)的另一端连接有回水管(14)的一端，所述回水管(14)的另一端设在所述加热管线(13)和所述第二换热器(2)之间的管线上，所述加热管线(13)的管路上设有加热电磁阀(15)，所述腔室夹套(8)的内侧壁固定连接有腔室(17)，所述加热管(16)设在所述腔室(17)的内壁。
2.根据权利要求1所述的一种真空涂层设备的冷却系统，其特征在于：所述加热管(16)为螺旋形设置。
3.根据权利要求1所述的一种真空涂层设备的冷却系统，其特征在于：所述回水管(14)的管路上设有回水止回阀(18)。
4.根据权利要求1所述的一种真空涂层设备的冷却系统，其特征在于：所述进水管线(5)的管路上且位于所述离子室(7)和阴极部(6)之间的位置设有进水电磁阀(19)。
5.根据权利要求1所述的一种真空涂层设备的冷却系统，其特征在于：所述出水管线(10)的管路上且位于所述离子室(7)和阴极部(6)之间的位置设有出水止回阀(20)。

说明书全文

一种真空涂层设备的冷却系统

技术领域

[0001] 本实用新型涉及涂层技术领域，具体领域为一种真空涂层设备的冷却系统。

背景技术

[0002] 目前，一般涂层工艺可分为待机准备状态－抽真空－加热－刻蚀清洁－涂层，即整个过程中，真空涂层设备采用单一冷却系统进行冷却工作。真空涂层设备的腔体冷却水温度的高低可以直接影响腔室抽真空的速率，低温度的腔体冷却水容易导致腔体内的大气中的水分子被凝固并黏附于腔体表面，被凝固和黏附的水分子将严重影响抽真空的速率从而造成整个工艺时间的延长，在时间上形成了严重的浪费，并且由于环境温度的升高，低温度的冷却水容易产生冷凝水凝结从而危害设备的安全及产生严重的电气隐患。实用新型内容

[0003] 本实用新型的目的在于提供一种真空涂层设备的冷却系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

[0004] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空涂层设备的冷却系统，包括第一换热器、第二换热器和高压泵，所述第一换热器和第二换热器管连接，所述第二换热器与所述高压泵管连接，所述高压泵的出水端连接有导管的一端，所述导管的另一端连接有进水管线，所述进水管线由三根进水管组成，三根进水管分别连接有真空涂层设备的阴极部、离子室和腔室夹套，所述阴极部、离子室和腔室夹套的出水端分别连接有出水管的一端，所述出水管的另一端均连接出水管线，所述第一换热器与所述出水管线管连接，所述第一换热器和第二换热器的进水口均连接有冷却水进水管，所述所述第一换热器和第二换热器的出水口均连接有冷却水出水管，所述第一换热器和第二换热器之间设有加热管线的一端，所述加热管线的另一端连接有加热管的一端，所述加热管的另一端连接有回水管的一端，所述回水管的另一端设在所述加热管线和所述第二换热器之间的管线上，所述加热管线的管路上设有加热电磁阀，所述腔室夹套的内侧壁固定连接有腔室，所述加热管设在所述腔室的内壁。

[0005] 优选的，所述加热管为螺旋形设置。

[0006] 优选的，所述回水管的管路上设有回水止回阀。

[0007] 优选的，所述进水管线的管路上且位于所述离子室和阴极部之间的位置设有进水电磁阀。

[0008] 优选的，所述出水管线的管路上且位于所述离子室和阴极部之间的位置设有出水止回阀。

[0009] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种真空涂层设备的冷却系统，设置了两个热交换器，对冷却水实行与冷却和再冷却两道冷却措施，使得冷却效果得到提升，冷却效果更为明显，其次设置了加热管线，冷却水在进行初步预冷后，由加热管线流入腔室，因为冷却水只经过了预冷，所以温度较高，温度较高的冷却水可给腔室的内壁升温，从而有效避免腔体内的大气中的水分子被凝固并黏附于腔体表面。附图说明

[0010] 图1为本实用新型的主视结构示意图；

[0011] 图2为本实用新型的腔室主视剖面结构示意图。

[0012] 图中：1-第一换热器、2-第二换热器、3-高压泵、4-导管、5-进水管线、6-阴极部、7-离子室、8-腔室夹套、9-出水管、10-出水管线、11-冷却水进水管、12-冷却水出水管、13-加热管线、14-回水管、15-加热电磁阀、16-加热管、17-腔室、18-回水止回阀、19-进水电磁阀、20-出水止回阀。

具体实施方式

[0013] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

[0014] 请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种真空涂层设备的冷却系统，包括第一换热器1、第二换热器2和高压泵3，所述第一换热器1与所述第二换热器2的结构相同，所述第一换热器1的出水端和第二换热器2的进水端相连接，所述第二换热器2与所述高压泵3管连接，所述高压泵3的出水端连接有导管4的一端，所述导管4的另一端连接有进水管线5，所述进水管线5由三根进水管组成，三根进水管分别连接有真空涂层设备的阴极部6、离子室7和腔室夹套8，所述阴极部6为4个，连接在阴极部6的进水管也分为四路，分别连接在所述阴极部6上，所述阴极部6、离子室7和腔室夹套8的出水端分别连接有出水管9的一端，所述出水管9的另一端均连接出水管线10，所述第一换热器1与所述出水管线10管连接，冷却水经过所述阴极部6、离子室7和腔室夹套8完成冷却后，高温冷却水经所述出水管线10回流，由第一换热器1和第二换热器2冷却，所述第一换热器1和第二换热器2的进水口均连接有冷却水进水管11，所述第一换热器1和第二换热器2的出水口均连接有冷却水出水管
12，所述第一换热器1和第二换热器2之间设有加热管线13的一端，所述加热管线13的另一端连接有加热管16的一端，所述加热管16的另一端连接有回水管14的一端，所述回水管14的另一端设在所述加热管线13和所述第二换热器2之间的管线上，所述加热管线13的管路上设有加热电磁阀15，所述腔室夹套8的内侧壁固定连接有腔室17，所述加热管16设在所述腔室17的内壁，该文中出现的电器元件均与外界主控器以及220V市电电连接，所述外界主控器可以是计算机等起到控制功能的常规已知设备。

[0015] 具体而言，所述加热管16为螺旋形设置，从而延长了冷却水在所述腔室17的内壁停留的时间，从而充分加热。

[0016] 具体而言，所述回水管14的管路上设有回水止回阀18，当无需对腔室17内壁进行加热时，关闭所述加热电磁阀15，经过第一换热器1的冷却水有可能会从回水管流入加热管16内部。

[0017] 具体而言，所述进水管线5的管路上且位于所述离子室7和阴极部6之间的位置设有进水电磁阀19，可通过开关所述进水电磁阀19开启和关闭冷却阴极部6的功能。

[0018] 具体而言，所述出水管线10的管路上且位于所述离子室7和阴极部6之间的位置设有出水止回阀20，防止在关闭进水电磁阀19时，冷却水由出水管线10流入。

[0019] 工作原理：本实用新型在进行空涂层设备的冷却时使用，首先开启高压泵3，高压泵3将管线内的冷却水由进水管线5泵入，分别流经阴极部6、离子室7和腔室夹套8，对设备进行冷却，冷却水对其冷却后变为高温水，经过出水管9流向出水管线10,随后流向第一换热器1，第一换热器1由冷却水进水管11进入的冷却水和高温冷却水进行热交换，高温冷却水初步冷却，在待机准备状态时，开启加热电磁阀15，初步冷却的冷却水部分由加热管线13流入腔室内壁的加热管16内，对腔室17内壁进行加热，防止腔体内的大气中的水分子被凝固并黏附于腔体表面，冷却水而后经过回水管14流入第二换热器2进行最终冷却，冷却后的冷却水进入高压泵3完成循环，当在刻蚀清洁步骤和涂层步骤时，腔室17温度一般在400-500℃之间，此时可关闭加热电磁阀15，不必对腔室17的内部进行加热。

[0020] 在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

[0021] 本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

[0022] 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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