베이킹 장치 {Baking apparatus}

본 발명은 베이킹 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 필요에 따라 베이킹 작업 중에도 배기관을 통해 조절된 양의 기체가 배출될 수 있도록 하여 베이킹 공정 효율을 제고할 수 있고, 열풍 공급 중단 및 재공급을 위해 소요되는 시간을 절감할 수 있는 베이킹 장치에 관한 것이다.

일반적으로 디스플레이소자 또는 반도체소자를 제조하는 공정에는 디스플레이소자 또는 반도체소자 제조용 기판 상에 여러 전기ㆍ전자회로들, 또는 기타 패턴을 형성하기 위해 포토리소그래피 공정이 포함된다. 이러한 포토리소그래피 공정은 기판 상에 감광액을 도포한 후, 빛으로 패턴을 노광하고 현상한 다음, 마스크를 이용한 포토레지스트의 식각 과정을 거쳐 기판 상에 패턴을 형성하는 공정이다.

한편, 베이킹 공정은 디스플레이소자 또는 반도체소자 제조 공정 중, 기판을 수십도 또는 백수십도의 온도로 가열하는 공정인데, 대표적으로 기판 상에 감광액을 도포하기 전에 기판과 감광액의 접착력을 개선하기 위해 기판의 표면에 HMDS(Hexa Methyl Di Silazane, Si ₂ (CH ₃ ) ₆ ) 처리와 같은 일종의 화학처리를 할 때, 및 도포된 감광액을 고화 또는 경화시킬 때 필요하다.

특히, 도포된 감광액을 고화 또는 경화시키기 위해 수행되는 베이킹 공정 중에는 유동성 부여를 위해 감광액에 포함되어 있던 솔벤트 성분이 베이킹 공정이 진행됨에 따라 가열 기화되어 빠져 나오고 감광액은 고분자 물질만 남아 포토레지스트 막으로 고형화된다.

상술한 바와 같은 베이킹 공정은 베이킹 챔버, 가열부 및 배기부를 포함하는 베이킹 장치에 의해 진행되는데, 베이킹 대상 기판이 베이킹 챔버 내부에 위치되면 별도의 가열부 또는 베이킹 챔버 내부로 공급되는 열풍에 의해 기판이 가열되고, 가열이 완료되면 배기부가 베이킹 챔버 내부의 기체를 배기관을 통해 외부로 배출하여 환기시키는 순서로 진행된다.

이러한 종래의 베이킹 장치의 배기부에 구비되는 배기관에는 밸브가 설치되는데, 이 밸브는 베이킹 챔버 내부에서 베이킹 작업이 수행될 때에는 배기관을 폐쇄하고, 베이킹 작업 완료 후 베이킹 챔버 내부를 환기시킬 때에는 배기관을 개방한다.

이처럼 종래의 베이킹 장치는 배기관을 선택적으로 완전히 폐쇄하거나 완전히 개방하도록 구비되므로 베이킹 챔버 내부 기체의 배출 작업은 베이킹 작업이 완료된 후에 실시되는 것이 일반적이다. 그런데, 이 경우 베이킹 작업 중 베이킹 챔버 내부 기체에 포함된 솔벤트 등의 가스 농도가 높아짐에 따라 기화 작용이 둔화되어 베이킹 공정 효율이 저하되는 단점이 있다. 이러한 단점은 특히 긴 시간이 소요되는 베이킹 공정일수록 더욱 두드러지는 문제점이 있다.

이와 같이 베이킹 공정 효율이 저하되면, 그 만큼 더 오랜 시간동안 베이킹 작업이 수행되어야 하므로, 에너지 및 시간 손실이 증대되고, 장비의 시간당 생산량은 감소하는 단점이 있다.

이러한 이유로 베이킹 작업 중에 배기관을 완전히 개방하게 되면, 강한 기체의 흐름에 의해 포토레지스트 막에 물결 무늬가 생기는 등 베이킹 완료된 기판의 품질이 저하되는 문제점이 있다.

한편, 종래의 베이킹 장치는 베이킹 챔버 내부에 베이킹 대상 기판을 위치시키거나 베이킹 완료된 기판을 수거하는 등 베이킹 공정이 수행되지 않을 때에는 상기 공급관을 통해 베이킹 챔버 내부로 열풍을 공급하는 열풍공급기를 오프시킴으로써 베이킹 챔버 내부로의 열풍 공급을 중단한다.

그러나, 이 경우 베이킹 공정이 재개되어 다시 열풍을 공급하기 위해 열풍공급기가 재가동되는데에는 소정의 시간이 소요된다. 이는 기설정된 안정된 온도의 열풍을 공급하기 위해 열풍공급기가 정상 궤도에 오르는 데에 소정의 시간이 필요하기 때문이다.

따라서, 종래의 베이킹 장치는 이처럼 베이킹 공정 수행 여부에 따른 열풍공급기의 중단 및 재가동에 소요되는 시간으로 인해, 시간당 생산량이 저하되는 단점이 있다.

상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은, 베이킹 장치에 구비되는 배기관을 필요한 만큼의 비율로 개방할 수 있어 베이킹 작업 중에도 베이킹 챔버 내부의 기체가 적절한 속도로 배출될 수 있고, 베이킹 챔버 내부에서의 베이킹 공정 수행 여부와 관계없이 열풍공급기의 가동을 지속시킬 수 있는 베이킹 장치를 제공하고자 한다.

상기한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 베이킹 장치는, 공급관과 배기관을 연결하는 바이패스관; 상기 공급관과 상기 바이패스관의 연결부분에 구비되어, 열풍이 선택적으로 베이킹 챔버 내부 또는 상기 바이패스관으로 공급되도록 상기 열풍의 공급 방향을 조절하는 밸브; 및 내부에 원형의 단면을 갖는 이송홀이 형성되는 몸체, 상기 몸체의 일측으로 상기 이송홀의 내주면이 연장되도록 돌출 형성되고 측부에 하나 이상의 통풍구가 형성된 차단부, 및 상기 이송홀 내부에 설치되어 상기 이송홀을 따라 상기 차단부 측으로 이송 또는 회전되면서 상기 통풍구를 선택적으로 폐쇄시키거나 소정의 비율로 개방시키는 조절부를 포함하고, 상기 배기관에 설치되는 배기량 조절기;를 포함한다.

상기 배기량 조절기의 상기 조절부는, 상기 이송홀의 크기에 대응되는 실린더 형상으로 구비되어 상기 이송홀 내부에서 이송 또는 회전되고, 내부에 상기 기체가 통과되는 통과홀이 형성된 이송체; 상기 이송홀의 단면에 대응되는 크기 및 형상으로 상기 이송체의 일단에 구비되어 상기 차단부의 길이 방향으로 상기 기체가 통과되는 것을 차단하는 차단덮개; 및 상기 이송체의 일단 측부에 형성된 하나 이상의 통풍홀;을 포함하되, 상기 이송체의 이송 또는 회전에 따라 상기 통풍구의 개방 비율이 변경됨으로써 상기 통풍구 및 상기 통풍홀을 통과하여 상기 배기관을 통해 배출되는 상기 기체의 유량이 조절되도록 구비될 수 있다.

상기 배기량 조절기의 상기 몸체는, 길이 방향을 따라 형성되는 개폐안내장공; 및 상기 개폐안내장공과 연결되도록 상기 개폐안내장공에 각각 수직으로 형성되는 복수의 조절안내장공;을 포함하고, 상기 조절부에 설치된 조절레버가 상기 개폐안내장공 또는 상기 조절안내장공을 따라 이송됨으로써 상기 조절부가 이송 또는 회전되도록 구비될 수 있다.

상기 통풍구와 상기 통풍홀은, 상기 이송체의 이송 거리 또는 회전 각도에 따라 상기 통풍홀의 개방 비율이 선형적으로 변경되도록 직사각 또는 정사각 형상을 갖도록 구비될 수 있다.

이러한 본 발명에 따른 베이킹 장치에 의하면, 배기량 조절기의 조절부에 설치된 조절레버를 개폐안내장공 또는 복수의 조절안내장공의 소정의 위치에 위치시킴으로써, 배기관을 필요한 만큼의 비율로 개방할 수 있어 베이킹 챔버 내부에서 베이킹 작업이 진행되는 중에도 베이킹 챔버 내부의 기체를 배기관을 통해 적절한 속도로 배출시킬 수 있다.

이렇게 베이킹 챔버 내부 기체를 적절한 속도로 배출함으로써 베이킹 챔버 내부에 존재하는 솔벤트 등의 가스 농도를 낮게 유지하여 베이킹 공정의 효율을 제고할 수 있고, 베이킹 완료된 기판의 표면에 물결 무늬가 생성되는 등의 품질 저하를 방지할 수 있다.

특히, 배기량 조절기의 차단부 및 조절부에 각각 형성되는 통풍구와 통풍홀이 직사각 형상을 가짐으로써 통풍홀의 개방 비율이 선형적으로 변경되고, 이송체의 이송 거리 또는 회전 각도를 정확히 확인할 수 있는 개폐안내장공 또는 복수의 조절안내장공을 이용함으로써 배기관의 개방 비율을 정확하게 조절할 수 있다. 이에 따라, 베이킹 챔버 내부로부터 배기관을 통해 배출되는 기체의 유량을 정확하게 조절하여 베이킹 완료된 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.

또한, 공급관과 배기관을 연결하는 바이패스관 및 열풍이 선택적으로 베이킹 챔버 내부 또는 바이패스관으로 공급되도록 하는 밸브가 구비되어, 베이킹 챔버 내부에서의 베이킹 공정 수행 여부와 관계없이 열풍공급기를 연속적으로 가동할 수 있으므로, 열풍공급기의 가동 중단 및 재가동에 필요한 시간을 절감할 수 있다.

이와 같이 베이킹 공정의 효율 제고 및 시간 절감을 통해, 베이킹 챔버 내부에서 기판이 베이킹되는 시간을 단축할 수 있고, 베이킹 공정에 소요되는 에너지를 절감할 수 있으며, 장비의 시간당 생산량도 향상시킬 수 있다.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 그 범 위가 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

본 발명에 따른 베이킹 장치는, 디스플레이소자 또는 반도체소자 제조용 기판 상에 감광액을 도포하기 전에 기판과 감광액의 접착력을 개선하기 위한 화학처리를 위해, 또는 도포된 감광액을 고화 또는 경화시키기 위해 기판을 수십도 또는 백수십도의 온도로 가열하는 베이킹 공정을 수행하는 장치이다.

이하, 첨부된 도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 베이킹 장치의 구성 및 작용효과를 구체적으로 설명한다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 베이킹 장치는, 베이킹 챔버(100), 공급관(200), 열풍공급기(300), 배기관(400), 바이패스관(500), 밸브(600) 및 배기량 조절기(700)를 포함한다.

상기 베이킹 챔버(100)는 그 내부에 베이킹 작업 대상인 디스플레이소자 또는 반도체소자 제조용 기판이 위치되어 베이킹 공정이 수행되는 공간이다.

상기 공급관(200)은 일단이 상기 베이킹 챔버(100)의 내부와 연통되고 타단은 열풍공급기(300)와 연결되어 열풍공급기(300)에서 생성된 열풍을 베이킹 챔버(100)의 내부로 공급한다.

상기 열풍공급기(300)는 열풍을 생산하여 상기 공급관(200)으로 공급함으로써, 열풍이 베이킹 챔버(100) 내부로 제공될 수 있도록 한다.

상기 배기관(400)은 베이킹 챔버(100)의 내부와 연통되어 베이킹 챔버(100) 내부의 기체를 외부로 배출시킴으로써 베이킹 챔버(100)의 내부를 환기시킨다. 상기 배기관(400)에는 베이킹 챔버(100) 내부의 기체가 외부로 배출될 수 있도록 그 동력을 제공하는 배기팬(미도시)이 구비될 수 있다.

상기 바이패스관(500)은 일단이 공급관(200)과 연통되고 타단은 배기관(400)과 연통되어, 공급관(200)으로 공급된 열풍이 베이킹 챔버(100) 내부를 거치지 않고 배기관(400)으로 배출될 수 있도록 열풍의 유로 역할을 한다.

상기 밸브(600)는 도 2에 도시된 바와 같이, 공급관(200)과 바이패스관(500)의 연결부분에 구비되어, 열풍공급기(300)에 의해 공급된 열풍이 선택적으로 베이킹 챔버(100) 내부 또는 바이패스관(500)으로 공급되도록 열풍의 공급 방향을 조절한다.

즉, 상기 밸브(600)는 베이킹 챔버(100) 내부에서 베이킹 공정이 수행될 때에는 열풍이 베이킹 챔버(100)로 공급되도록 하고, 베이킹 챔버(100) 내부에서 베이킹 공정이 수행되지 않을 때에는 열풍이 바이패스관(500)을 거쳐 배기관(400)으로 바로 배출될 수 있도록 한다.

이러한 바이패스관(500) 및 밸브(600)의 작용으로 인해, 베이킹 챔버(100) 내부에서 베이킹 공정이 수행되지 않을 때에도, 열풍공급기(300)의 가동을 중단하지 않을 수 있다. 따라서, 가동 중단 및 재가동이 소정의 시간이 소요되는 열풍공급기(300)를 연속적으로 가동하면서, 열풍의 공급 방향을 간편히 조절할 수 있는 것이다.

본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 바이패스관(500)은 하나가 구비되었으나, 그 개수는 이에 한정되지 않고 복수로 구비될 수도 있다.

상기 배기량 조절기(700)는 배기관(400)에 설치되어 베이킹 챔버(100) 내부로부터 배기관(400)을 통해 외부로 배출되는 기체의 유량을 조절한다. 이를 위해 상기 배기량 조절기(700)는 몸체(710), 차단부(720), 조절부(730), 안내부(740) 및 구동부(750)를 포함한다.

상기 몸체(710)는 배기관(400)에 설치될 수 있도록 양단에 플랜지(714)가 형성된 실린더 형상으로 구비되어 배기량 조절기(700)의 몸체를 이루고, 그 내부에는 원형의 단면을 갖는 이송홀(711)이 형성된다.

그리고, 상기 몸체(710)의 측면에는 후술되는 조절부(730)에 설치된 조절레버(734)를 통해 조절부(730)의 이송 또는 회전을 안내할 수 있도록 개폐안내장공(712)과 세 개의 조절안내장공(713)이 형성된다.

상기 개폐안내장공(712)은 몸체(710)의 길이 방향을 따라 형성되어 조절부(730)의 길이 방향 이송을 안내하고, 상기 조절안내장공(713)은 개폐안내장공(712)에 수직으로 연결되도록 형성되어 조절부(730)의 회전을 안내한다. 이러한 개폐안내장공(712)과 조절안내장공(713)의 기능은 후술되는 조절부(730)의 설명에 더욱 자세히 기재하도록 한다.

상기 차단부(720)는 몸체(710)의 일측으로 이송홀(711)의 내주면이 연장되도록 돌출 형성되어 내부가 빈 실린더 형상으로 구비된다. 따라서, 차단부(720)의 일단은 몸체(710)와 연결되어 그 내주면에 이송홀(711)의 내주면과 연결되고, 타단은 개방된 형태로 구비된다. 이러한 차단부(720)의 타단은 후술되는 조절부(730)의 차단덮개(732)에 의해 폐쇄된다.

그리고, 상기 차단부(720)의 측부에는 서로 마주보는 형태로 직사각 형태의 한 쌍의 통풍구(721)가 형성되는데, 이 통풍구(721)를 통해 베이킹 챔버(미도시) 내부의 기체가 배출된다.

상기 조절부(730)는 이송홀(711)의 내부에 설치되어 이송홀(711)을 따라 차단부(720)가 형성된 몸체(710)의 일측으로 이송되거나 이송홀(711)의 내부에서 회전된다. 이러한 이송 또는 회전 동작을 통해 차단부(720)의 측부에 형성된 통풍구(721)를 선택적으로 폐쇄시키거나 소정의 비율로 개방시킨다.

이를 위해, 상기 조절부(730)는 이송체(731), 차단덮개(732) 및 통풍홀(733)을 포함한다. 상기 이송체(731)는 이송홀(711)의 크기에 대응되는 실린더 형상으로 구비되어, 이송홀(711) 내부에서 이송 또는 회전될 수 있도록 구비된다.

그리고, 상기 이송체(731)의 내부에 베이킹 챔버(100) 내부로부터 배출된 기체가 통과되는 통과홀(731-1)이 형성된다. 그리고, 상기 이송체(731)에는 조절레버(734)가 설치되고, 조절레버(734)는 몸체(710)에 형성된 개폐안내장공(712) 또는 조절안내장공(713)에 위치됨으로써, 이송체(731)의 이송 또는 회전이 안내된다.

상기 차단덮개(732)는 이송홀(711)의 단면에 대응되는 크기 및 형상으로 이송체(731)의 일단에 구비되어, 기체가 통풍구(721)를 통과하지 않고 차단부(720)의 길이 방향으로 통과되는 것을 차단한다. 즉, 상기 배기량 조절기(700)를 통과하는 기체는 모두 통풍구(721)를 통과하게 되고, 이때 통풍구(721)의 개방 비율을 조절하게 되면 배기량이 조절될 수 있는 것이다.

상기 통풍홀(733)은 한 쌍의 통풍구(721)에 대응되도록 이송체(731)의 차단덮개(732) 측의 측부에 직사각 형태로 한 쌍이 형성된다. 따라서, 베이킹 챔버(100) 내부의 기체는 차단부(720)에 형성된 통풍구(721)와 이송체(731)에 형성된 통풍홀(733)을 연속적으로 통과하면서 외부로 배출되는데, 이때 상기 이송체(731)의 이송 또는 회전에 따라 통풍구(721)와 통풍홀(733)이 많이 겹칠수록 기체가 통과될 수 있는 단면적은 넓어져 배기량이 증가하게 된다.

반대로, 상기 이송체(731)의 이송 또는 회전에 따라 통풍구(721)와 통풍홀(733)이 많이 어긋날수록 기체가 통과될 수 있는 단면적은 좁아지게 되어 배기량은 감소하게 되고, 통풍구(721)와 통풍홀(733)이 완전히 어긋나게 되면 기체가 통과될 수 있는 공간이 없어져 배기관(400)이 완전히 차단된 상태가 된다.

보다 자세히 설명하면, 이송체(731)에 설치된 조절레버(734)가 몸체(710)의 길이 방향으로 따라 형성된 개폐안내장공(712)에 위치한 경우에는 이송체(731) 및 차단덮개(732)가 몸체(710)의 길이 방향을 따라 이송될 수 있다. 이때, 도 5를 기준으로 조절레버(734)가 개폐안내장공(712)의 가장 좌측에 위치한 경우에는 통풍구(721)와 통풍홀(733)이 가장 많이 겹치면서 최대 개방 상태가 된다.

여기서, 조절레버(734)가 개폐안내장공(712)을 따라 우측으로 이송될수록 이송체(731) 및 차단덮개(732)도 우측으로 이송되면서 통풍홀(733)이 이송홀(711)의 내측으로 이동하게 되고, 이에 따라 통풍홀(733)이 통풍구(721)와 겹치는 면적은 감소하게 되며, 기체가 통과될 수 있는 단면적은 좁아지고 배기량은 감소하게 된다.

상기 조절레버(734)가 개폐안내장공(712)의 최우측으로 이송되면, 통풍홀(733) 전체가 이송홀(711)의 내주면으로 이동되고 차단덮개(732)가 이송홀(711)의 일측을 완전히 덮음으로써 완전 폐쇄 상태가 된다.

한편, 상기 조절레버(734)가 개폐안내장공(712)에 대해 수직 방향으로 형성된 세 개의 조절안내장공(713) 중 어느 하나에 위치한 경우에는 이송체(731) 및 차단덮개(732)가 몸체(710)의 원주 방향을 따라 회전될 수 있다. 이때, 도 5를 기준으로 조절레버(734)가 가장 좌측에 형성된 조절안내장공(713)의 최하측에 위치된 경우에는 통풍구(721)와 통풍홀(733)이 가장 많이 겹치면서 최대 개방 상태가 된다.

여기서, 조절레버(734)가 조절안내장공(713)을 따라 상측으로 이송될수록 이송체(731)가 회전되면서 통풍홀(733)이 차단부(720)의 내주면으로 이동하게 되고, 이에 따라 통풍홀(733)이 통풍구(721)와 겹치는 면적은 감소하게 되며, 기체가 통과될 수 있는 단면적은 좁아지고 배기량은 감소하게 된다.

상기 조절레버(734)가 조절안내장공(713)의 최상측으로 이송되면, 통풍홀(733) 전체가 차단부(720)의 내측으로 이동되고 통풍홀(733)이 통풍구(721)와 겹치는 면적이 없어 완전 폐쇄 상태가 된다.

마찬가지로, 상기 조절레버(734)가 세 개의 조절안내장공(713) 중에서 중간 또는 최우측에 형성된 조절안내장공(713)에 위치된 경우에도, 조절레버(734)가 상측으로 이송될수록 통풍홀(733)이 통풍구(721)와 겹치는 면적이 감소하여 배기량이 감소하게 되는 것은 동일하다.

그러나, 이 경우에는 이송체(731)와 차단덮개(732)가 몸체(710) 측으로 소정의 거리만큼 이송된 상태, 즉 통풍홀(733)이 이송홀(711)의 내측으로 소정의 거리만큼 이동되어 통풍구(721)와 겹치는 면적이 감소된 상태에서 회전되는 것이므로, 조절레버(734)가 최하측에 위치된 경우에도 최대 개방 상태보다 배기량은 적게 된다.

다시 말해, 최대 개방 상태의 통풍구(721) 개방 비율을 100으로 보았을 때, 조절레버(734)가 가장 좌측에 형성된 조절안내장공(713)을 따라 이송되면 통풍구(721)의 개방 비율은 0 ~ 100 사이의 값을 가질 수 있지만, 조절레버(734)가 중간에 형성된 조절안내장공(713)을 따라 이송되면 예시적으로 0 ~ 63 사이의 값을 가지게 되고, 조절레버(734)가 가장 우측에 형성된 조절안내장공(713)을 따라 이송되면 예시적으로 0 ~ 25 사이의 값을 가지게 된다.

한편, 상기 통풍구(721)와 통풍홀(733)은 각각 직사각 형상으로 형성되므로, 이송체(731)의 이송 또는 회전에 따라 변경되는 통풍구(721)의 개방 비율은 이송체(731)의 이송 거리 또는 회전 각도에 선형적으로 비례하게 된다. 따라서, 작업자는 조절레버(734)의 위치에 따라 정확한 개방 비율을 확인할 수 있다. 상술한 예에서 조절레버(734)가 가장 우측에 형성된 조절안내장공(713)의 중간에 위치된 경우에는 통풍구(721)의 개방 비율은 12.5가 되는 것이다.

그리고, 전술된 바에서 알 수 있듯이, 조절안내장공(713)이 이처럼 세 개가 구비되었을 때, 각각의 조절안내장공(713)의 길이는 동일한데, 0 ~ 100 의 개방 비율을 가질 경우와 0 ~ 25의 개방 비율을 가질 경우를 비교하면 전자보다 후자가 더 세밀한 조절이 가능하다.

즉, 상술한 예를 기준으로 통풍구(721)의 개방 비율을 5로 맞추고 싶을 때, 조절레버(734)를 가장 좌측에 형성된 조절안내장공(713)에서 이송할 경우, 최상측 에서 전체 길이의 1/20만큼 이송해야 하는데, 그 이송 길이가 짧아 개방 비율이 부정확해질 수 있다. 그러나, 조절레버(734)를 가장 우측에 형성된 조절안내장공(713)에서 이송할 경우, 최상측에서 1/5만큼 이송하면 되므로, 그 이송 길이가 상대적으로 길어 개방 비율을 정확하게 조절할 수 있는 것이다.

한편, 상기 안내부(740)는 차단부(720)의 끝단에 연장 형성되어 차단덮개(732)의 이송을 안내한다. 이를 위해, 상기 안내부(740)의 내주면은 차단부(720)의 내주면이 연장된 형태를 가지게 된다. 본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 안내부(740)는 차단부(720)에 한 쌍이 연장 형성되도록 구비되었으나, 그 구비 개수는 이에 한정되지 않는다.

상기 구동부(750)는 이송체(731)와 차단덮개(732)를 몸체(710)의 길이 방향으로 이송한다. 이를 위해 상기 구동부(750)는 배기관(400)에 고정 설치되는 구동실린더(751), 및 일단은 차단덮개(732)에 결합되고 타단은 구동실린더(751) 내부에 위치되어 구동실린더(751) 내부의 압력에 따라 왕복 이송되는 피스톤로드(752)를 포함한다.

본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 조절레버(734)가 개폐안내장공(712)에 위치된 경우에 이송체(731)와 차단덮개(732)가 몸체(710)의 길이 방향으로 이송되므로, 상기 구동부(750)는 조절레버(734)가 개폐안내장공(712)에 위치된 경우 작동하여 선택적으로 폐쇄시키거나 소정의 비율로 개방시킨다.

이때, 추가적으로 세밀한 개방 비율의 조절은 외부의 작업자에 의해 조절레버(734)가 세 개의 조절안내장공(713) 중 어느 하나를 따라 이송됨으로써 이루어진 다.

그러나, 이러한 개방 비율 조절 방식은 본 발명의 바람직한 실시예로 설명한 상술한 바와 같이 한정되는 것은 아니며, 다양한 방식으로 구현될 수 있다. 예를 들어, 상기 구동부(750)가 이송체(731) 및 차단덮개(732)를 회전시킬 수 있도록 구비되어, 그 이송 및 회전이 모두 구동부(750)에 의해 이루어지도록 구비될 수도 있다.

이하, 도 6 및 도 8a 내지 도 8f를 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 베이킹 장치의 동작 및 사용상태를 구체적으로 설명한다.

먼저, 베이킹 챔버(100) 내부에 베이킹 대상 기판이 위치되면, 열풍공급기(300)에서 생성된 열풍이 공급관(200)을 통해 베이킹 챔버(100) 내부로 유입된다. 이렇게 베이킹 작업이 진행되는 초기에는 도 8a에 도시된 바와 같이, 조절레버(734)가 도 6에 도시된 개폐안내장공(712)의 완전폐쇄위치(CC)에 위치되어 배기관(400)을 통한 기체 배출이 차단된다.

여기서, 베이킹 작업이 진행되는 동안 베이킹 챔버(100) 내부의 기체를 배출할 필요가 없는 짧은 베이킹 작업의 경우, 베이킹 작업이 완료되면 구동부(750)에 의해 이송체(731)와 차단덮개(732)가 이송되어 도 8b에 도시된 바와 같이, 조절레버(734)가 도 6에 도시된 개폐안내장공(712)의 최대개방위치(A3)에 위치됨으로써 통풍구(721)의 개방 비율이 최대가 되고, 기체의 배출이 이루어진다.

이와 달리, 베이킹 작업이 진행되는 동안 베이킹 챔버(100) 내부의 기체를 천천히 배출할 필요가 있는 경우, 조절레버(734)는 도 6에 도시된 조절안내장 공(713)의 완전폐쇄위치(A1, B1, C1)에 위치된 상태에서 베이킹 작업이 진행되기 시작한다.

이후, 베이킹 작업이 진행되고 기체 배출이 필요한 시점이 되면, 도 8c 및 도 8d에 도시된 바와 같이, 조절레버(734)가 하측으로 이송되고 이에 따라 소정의 비율만큼 통풍구(721)가 개방되어 베이킹 챔버(100) 내부의 기체가 천천히 배출된다.

이때, 베이킹 작업이 진행되는 동안 필요한 배기량에 따라 조절레버(734)는 세 개의 조절안내장공(713) 중 어느 하나에 선택적으로 위치되는데, 도 6을 기준으로 필요한 배기량이 적을수록 보다 더 우측에 위치한 조절안내장공(713)에 위치된다.

즉, 본 발명에 따른 바람직한 실시예의 구성에서 예를 들어 설명한 바를 기준으로, 도 8c에 도시된 바와 같이 조절레버(734)가 중간에 형성된 조절안내장공(713)의 최하측(B3)에 위치되면 통풍구(721)의 개방 비율이 63이 되고, 도 8d에 도시된 바와 같이 조절레버(734)가 가장 우측에 형성된 조절안내장공(713)의 최하측(C3)에 위치되면 통풍구(721)의 개방 비율이 25가 된다.

따라서, 조절레버(734)가 중간에 형성된 조절안내장공(713)보다 가장 우측에 형성된 조절안내장공(713)을 따라 이송될 때, 배기량이 더 적게 된다.

그 후, 베이킹 작업이 완료되면, 구동부(750)에 의해 이송체(731)와 차단덮개(732)가 이송되어 도 8b에 도시된 바와 같이, 조절레버(734)가 도 6에 도시된 개폐안내장공(712)의 최대개방위치(A3)에 위치됨으로써 통풍구(721)의 개방 비율이 100(최대 개방)이 되어 완전히 환기시키게 된다.

이때, 밸브(600)는 공급관(200)을 통해 공급되는 열풍이 바이패스관(500)을 통해 배기관(400)으로 바로 배출될 수 있도록 열풍의 공급 방향을 조절하고 열풍공급기(300)는 가동 상태를 유지한다.

이후, 베이킹 완료된 기판이 베이킹 챔버(100)로부터 수거되고, 새로운 베이킹 대상 기판이 베이킹 챔버(100) 내부에 위치된다. 그러면, 밸브(600)는 공급관(200)을 통해 공급되는 열풍이 베이킹 챔버(100) 내부로 공급될 수 있도록 열풍의 공급 방향을 조절한다. 이러한 방식으로 상술한 바와 같은 베이킹 공정이 연속적으로 수행될 수 있다.

상술한 설명에 있어서, 베이킹 작업이 진행되는 동안 기체 배출이 이루어지는 경우, 배기량 조절기(700)의 조절레버(734)가 조절안내장공(713)의 최하측에 위치되는 것으로 설명되었으나, 이에 한정되지 않고 도 8e에 도시된 바와 같이 필요에 따라 조절안내장공(713)의 소정의 위치에 위치됨으로써 필요한 배기량을 충족시키도록 구비될 수도 있다.

이 경우에는 도 8f에 도시된 바와 같이, 조절레버(734)가 도 5에 도시된 조절안내장공(713)의 완전폐쇄위치(C1)에 위치된 상태로 베이킹 작업이 시작되고, 베이킹 작업이 완료되면, 조절레버(734)는 조절안내장공(713)의 최하측으로 이송된 후, 도 5에 도시된 개폐안내장공(712)의 최대개방위치(A3)에 위치되게 된다.

본 발명에 따른 바람직한 실시예에 있어서, 배기량 조절기(700)의 몸체(710)에 형성된 개폐안내장공(712)은 조절안내장공(713)들의 끝단을 서로 수직 연결하는 형태로 형성되었으나, 이에 한정되지 않고, 조절안내장공(713)들의 중심부를 서로 수직 연결하는 형태로 형성될 수도 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 베이킹 장치를 이용하면, 필요에 따라 베이킹 챔버(100) 내부로부터 배기관(400)을 통해 배출되는 기체의 유량을 베이킹 공정이 진행되는 중에도 조절할 수 있으므로, 베이킹 작업 중 베이킹 챔버(100) 내부에 존재하는 솔벤트 등의 가스 농도 낮게 유지하여 베이킹 공정 효율을 제고할 수 있다.

또한, 공급관(200)을 통해 공급되는 열풍을 선택적으로 배기관(400)으로 바이패스할 수 있도록 바이패스관(500)이 구비되어 베이킹 공정 진행 여부와 관계없이 열풍공급기(300)를 연속적으로 가동할 수 있으므로, 열풍공급기(300)의 가동을 중단 또는 재가동하기 위해 소요되는 시간을 절감할 수 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부되어 있는 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 베이킹 장치의 전면을 보여주는 사시도,

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 베이킹 장치에 구비되는 밸브를 상세히 보여주는 도 1에 도시한 A부분의 상세도,

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 베이킹 장치의 후면을 보여주는 사시도,

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 베이킹 장치에 구비되는 배기량 조절기를 상세히 보여주는 도 3에 도시한 B부분의 상세도,

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 베이킹 장치에 구비되는 배기량 조절기의 사시도,

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 베이킹 장치에 구비되는 배기량 조절기에 있어서 조절부를 제거한 상태를 도시한 사시도,

도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 베이킹 장치에 구비되는 배기량 조절기의 조절부를 도시한 사시도,

도 8a 내지 도 8f는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 베이킹 장치에 구비되는 배기량 조절기에 있어서, 조절레버 위치에 따른 통풍구의 개방 비율의 변화를 보여주는 도면들이다.

＊ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ＊

100 : 베이킹 챔버 200 : 공급관

300 : 열풍공급기 400 : 배기관

500 : 바이패스관 600 : 밸브

700 : 배기량 조절기 710 : 몸체

711 : 이송홀 712: 개폐안내장공

713 : 조절안내장공 714 : 플랜지

720 : 차단부 721 : 통풍구

730 : 조절부 731 : 이송체

731-1 : 통과홀 732 : 차단덮개

733 : 통풍홀 734 : 조절레버

740 : 안내부 750 : 구동부

751 : 구동실린더 752 : 피스톤로드

A3 : 최대개방위치 CC, A1, B1, C1 : 완전폐쇄위치