专利汇可以提供一种具有氮化镁壳层的氧化镍/锌镍氧/氧化锌器件专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型属于 半导体 器件技术领域,提供一种具有氮化镁壳层的 氧 化镍/锌镍氧/氧化锌器件,包括氧化锌薄层、氧化镍薄层、锌镍氧超薄层和氮化镁层。该器件充分发挥氧化锌材料在 辐射 探测方面的耐高温耐辐照的特性,通过引入具有空穴导电特性的氧化镍层,克服氧化锌难以获得稳定空穴导电特性的严重劣势,进而形成基于 PN结 构的结型 辐射探测器 件。该器件中增加了锌镍氧超薄层,利用该层所产生的极化诱导作用,减少器件界面对载流子的俘获,提高器件电学性能;同时将氧化锌单晶设计成梯形截面的圆台,在器件周围增加氮化镁壳层,利用其高阻特性及在ZnO单晶侧面形成的反型层,有效解决器件漏电问题,进而降低器件的漏 电流 噪声,显著提升器件性能。,下面是一种具有氮化镁壳层的氧化镍/锌镍氧/氧化锌器件专利的具体信息内容。
1.一种具有氮化镁壳层的氧化镍/锌镍氧/氧化锌器件,其特征在于,该具有氮化镁壳层的氧化镍/锌镍氧/氧化锌器件包括氧化锌薄层、氧化镍薄层、锌镍氧超薄层和氮化镁层;
所述的氧化锌薄层为梯形截面的圆台,厚度为300μm;氧化锌薄层的上表面为氧化锌单晶锌极化面,直径为10mm;氧化锌薄层的下表面为氧化锌单晶氧极化面,直径为12mm;
所述的锌镍氧超薄层位于氧化锌单晶锌极化面上,其直径为10mm、厚度为3nm~10nm的圆台;锌镍氧超薄层的圆心与氧化锌单晶锌极化面的圆心重合;
所述的氧化镍薄层位于锌镍氧超薄层上,其直径为10mm、厚度为0.1μm~2μm的圆台;氧化镍薄层的圆心与氧化锌单晶锌极化面的圆心重合;
所述的氧化镍薄层上表面、氧化锌单晶氧极化面以及器件侧面为氮化镁层,其厚度为
10nm~100nm;
所述的氧化镍薄层侧的氮化镁层上开有一个直径为8mm~10mm的孔,露出氧化镍,孔的圆心与氧化锌单晶锌极化面的圆心重合;氧化镍薄层的开孔上连接有圆形Ni/Au欧姆接触电极,直径为8mm~10mm,圆心与开孔圆心重合,Ni电极厚度为10nm~200nm,Au电极厚度为
0.01μm~1μm;
所述的氧化锌单晶氧极化面侧的氮化镁层上开有一个直径为8mm~12mm的孔,露出氧化锌,孔的圆心与氧化锌单晶氧极化面的圆心重合;氧化锌单晶氧极化面侧的开孔上连接有圆形Al/Au欧姆接触电极,直径为8mm~12mm,圆心与开孔圆心重合,Al电极厚度为10nm~
200nm,Au电极厚度为0.01μm~1μm。
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