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一种应用于显微观测的聚焦光路系统

阅读：344发布：2020-05-08

专利汇可以提供一种应用于显微观测的聚焦光路系统专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种应用于显微观测的聚焦光路系统，该系统包括白光照明组件，包括白光光源、白光照明镜头；白光成像组件，包括阻红光滤光片、白光成像镜头和第一焦平面探测器；红光照明组件，包括红光光源、红光照明镜头、第一通红光滤光片；红光成像组件，包括第二通红光滤光片、红光成像镜头、第二焦平面探测器；第一分束分色镜、第二分束分色镜、第三分束分色镜和显微物镜。本实用新型应用于显微观测的聚焦光路系统设计合理，稳定性好，可实现微观检测自动调焦。，下面是一种应用于显微观测的聚焦光路系统专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种应用于显微观测的聚焦光路系统，其特征在于，包括：
白光照明组件，包括白光光源、白光照明镜头；
白光成像组件，包括阻红光滤光片、白光成像镜头和第一焦平面探测器；
红光照明组件，包括红光光源、红光照明镜头、第一通红光滤光片；
红光成像组件，包括第二通红光滤光片、红光成像镜头、第二焦平面探测器；
第一分束分色镜、第二分束分色镜、第三分束分色镜和显微物镜；
其中，白光光路如下：白光光源发出的白光经过第一照明镜头，接着经过第三分束分色镜反射，然后经过显微物镜聚焦至照明工件，经过反射后返回显微物镜，接着依次透射第三分束分色镜和第二分束分色镜，然后经过阻红光滤光片和白光成像镜头在第一焦平面探测器处形成照明工件表面的放大像；
红光光路如下：红光光源发出的红光经过红光照明镜头和第一通红光滤光片，接着依次透射第一分束分色镜、第二分束分色镜、第三分束分色镜，然后经过显微物镜聚焦至照明工件，经过反射后返回显微物镜，接着透射第三分束分色镜，并经过第二分束分色镜反射至第一分束分色镜，由第一分束分色镜反射，然后经过第二通红光滤光片和红光成像镜头在第二焦平面探测器处形成照明工件表面的放大像。
2.如权利要求1所述的应用于显微观测的聚焦光路系统，其特征在于，所述红光照明组件还包括偏振器，所述偏振器集成于所述红光照明镜头内，所述偏振器将红光由点光斑变为线光斑。
3.如权利要求1所述的应用于显微观测的聚焦光路系统，其特征在于，所述白光照明组件还包括起偏器，所述起偏器设于所述白光照明镜头和第三分束分色镜之间。
4.如权利要求1所述的应用于显微观测的聚焦光路系统，其特征在于，所述白光光源和红光光源均为LED光源。
5.如权利要求1所述的应用于显微观测的聚焦光路系统，其特征在于，所述显微物镜包含可切换的5x、10x、20x、50x 显微镜头。

说明书全文

一种应用于显微观测的聚焦光路系统

技术领域

[0001] 本实用新型涉及显微检测技术领域，特别涉及一种应用于显微观测的聚焦光路系统。

背景技术

[0002] 在微观检测领域，当目标焦点与调焦焦点不在同一点，需要进行调焦操作，而目前在高分辨率自动调焦时因目标特性或载具平整性，抖动性引起较大误差，无法保证成像清晰度，从而无法实现调焦。实用新型内容

[0003] 针对现有技术的不足，本实用新型目的在于提供一种精度高，可实现调焦的应用于显微观测的聚焦光路系统。其采用如下技术方案：

[0004] 一种应用于显微观测的聚焦光路系统，其包括：

[0005] 白光照明组件，包括白光光源、白光照明镜头；

[0006] 白光成像组件，包括阻红光滤光片、白光成像镜头和第一焦平面探测器；

[0007] 红光照明组件，包括红光光源、红光照明镜头、第一通红光滤光片；

[0008] 红光成像组件，包括第二通红光滤光片、红光成像镜头、第二焦平面探测器；

[0009] 第一分束分色镜、第二分束分色镜、第三分束分色镜和显微物镜；

[0010] 其中，白光光路如下：白光光源发出的白光经过第一照明镜头，接着经过第三分束分色镜反射，然后经过显微物镜聚焦至照明工件，经过反射后返回显微物镜，接着依次透射第三分束分色镜和第二分束分色镜，然后经过阻红光滤光片和白光成像镜头在第一焦平面探测器处形成照明工件表面的放大像；

[0011] 红光光路如下：红光光源发出的红光经过红光照明镜头和第一通红光滤光片，接着依次透射第一分束分色镜、第二分束分色镜、第三分束分色镜，然后经过显微物镜聚焦至照明工件，经过反射后返回显微物镜，接着透射第三分束分色镜，并经过第二分束分色镜反射至第一分束分色镜，由第一分束分色镜反射，然后经过第二通红光滤光片和红光成像镜头在第二焦平面探测器处形成照明工件表面的放大像。

[0012] 作为本实用新型的进一步改进，所述红光照明组件还包括偏振器，所述偏振器集成于所述红光照明镜头内，所述偏振器将红光由点光斑变为线光斑。

[0013] 作为本实用新型的进一步改进，所述白光照明组件还包括起偏器，所述起偏器设于所述白光照明镜头和第三分束分色镜之间。

[0014] 作为本实用新型的进一步改进，所述白光光源和红光光源均为LED光源。

[0015] 作为本实用新型的进一步改进，所述显微物镜包含可切换的5x、10x、20x、50x 显微镜头。

[0016] 本实用新型的有益效果：

[0017] 本实用新型应用于显微观测的聚焦光路系统设计合理，稳定性好，可实现微观检测自动调焦。

[0018] 上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

[0019] 图1是本实用新型实施例中应用于显微观测的聚焦光路系统的示意图；

[0020] 图2是本实用新型实施例中经由红光照明组件产生的红色光斑线在不同焦距时在第二焦平面探测器中成像的相对位置关系图。

具体实施方式

[0021] 下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

[0022] 如图1所示，为本实用新型实施例中的应用于显微观测的聚焦光路系统，该应用于显微观测的聚焦光路系统包括：

[0023] 白光照明组件，包括白光光源W-LED、白光照明镜头SL2；

[0024] 白光成像组件，包括阻红光滤光片F3、白光成像镜头L2和第一焦平面探测器CCD1；

[0025] 红光照明组件，包括红光光源R-LED、红光照明镜头SL1、第一通红光滤光片F1；

[0026] 红光成像组件，包括第二通红光滤光片F2、红光成像镜头L1、第二焦平面探测器CCD2；

[0027] 第一分束分色镜BS1、第二分束分色镜BS2、第三分束分色镜BS3和显微物镜M；

[0028] 其中，白光光路如下：白光光源W-LED发出的白光经过第一照明镜头，接着经过第三分束分色镜BS3反射，然后经过显微物镜M聚焦至照明工件W，经过反射后返回显微物镜M，接着依次透射第三分束分色镜BS3和第二分束分色镜BS2，然后经过阻红光滤光片F3和白光成像镜头L2在第一焦平面探测器CCD1处形成照明工件W表面的放大像。红光在照明工件W表面成像无法返回到第一焦平面探测器CCD1中，即不影响白光组件成像。

[0029] 红光光路如下：红光光源R-LED发出的红光经过红光照明镜头SL1和第一通红光滤光片F1，接着依次透射第一分束分色镜BS1、第二分束分色镜BS2、第三分束分色镜BS3，然后经过显微物镜M聚焦至照明工件W，经过反射后返回显微物镜M，接着透射第三分束分色镜BS3，并经过第二分束分色镜BS2反射至第一分束分色镜BS1，由第一分束分色镜BS1反射，然后经过第二通红光滤光片F2和红光成像镜头L1在第二焦平面探测器CCD2处形成照明工件W表面的放大像。白光在照明工件W表面成像无法返回到第二焦平面探测器CCD2中，即不影响红光组件成像。

[0030] 在本实用新型的另一实施例中，红光照明组件还包括偏振器，偏振器集成于红光照明镜头SL1内，偏振器用于将红光由点光斑变为线光斑。

[0031] 在本实施例中，白光照明组件还包括起偏器P1，起偏器P1设于白光照明镜头SL2和第三分束分色镜BS3之间。白光光源W-LED和红光光源R-LED均为LED光源。显微物镜M包含可切换的5x、10x、20x、50x显微镜头。

[0032] 如图2所示，为经由红光照明组件产生的红色光斑线在不同焦距时在第二焦平面探测器CCD2中成像的相对位置关系图(显微物镜20倍，可调焦距200um)。其中，横坐标为焦距，纵坐标为光斑像素位置。

[0033] 在该系统中，通过调节红光照明镜头SL1与红光光源R-LED之间的距离来实现红光与白光共焦。

[0034] 本实用新型应用于显微观测的聚焦光路系统设计合理，稳定性好，可实现微观检测自动调焦。

[0035] 以上实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

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