試料保持具
阅读：829发布：2024-02-10
专利汇可以提供試料保持具专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且試料保持具は、上面が試料を保持する試料保持面となる円板状のセラミック体と、該セラミック体の内部に設けられた吸着電極とを備え、前記セラミック体の上面には、外周に沿って突出して設けられた環状の第１の周壁部と該第１の周壁部の内側に設けられた複数の凸部とを有し、前記第１の周壁部の上面と側面との間の 角 部がＲ面になっており、前記セラミック体を平面視による中心を通るように切断した切断面で見たときに、前記第１の周壁部における内側に 位置 するＲ面の 曲率 半径よりも外側に位置するＲ面の 曲率半径 のほうが小さい。，下面是試料保持具专利的具体信息内容。
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