专利汇可以提供一种等离子体束流密度分布的测量方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种 等离子体 束流 密度 分布的测量方法,属于等离子体诊断技术领域。由 偏压 极板、若干法拉第筒和 底板 组成。所述偏压极板在每个法拉第筒的轴线 位置 开设有采集孔,所述偏压极板在边缘端部位置开设有 导线 连接孔,所述偏压极板经偏压 电路 接地,使偏压极板带负电,所述偏压极板与法拉第筒的 接触 面有绝缘涂层;所述法拉第筒内壁有导电 薄膜 ,但不与偏压极板接触,与偏压极板之间留有缝隙,所述法拉第筒下端面有导电薄膜,与下层底板凹槽的导电材料接触引出电路,所述上层底板有固定孔。通过偏压电路10中 电流 表测得的电流 信号 I,由 电子 束通量计算公式Flux计算可得电子束通量,即束流密度。即可测密度分布也可测形状。,下面是一种等离子体束流密度分布的测量方法专利的具体信息内容。
1.一种等离子体束流密度分布的测量方法,其特征在于,采用的装置包括偏压极板(1)、若干法拉第筒(3)和下层底板(6);
偏压极板(1)开设有多个采集孔(7),所述偏压极板的边缘端部位置开设有导线连接孔(11),所述偏压极板经偏压电路(10)接地,使偏压极板带负电;偏压极板的正下方为多个平行排布的法拉第筒(3),法拉第筒的轴线垂直偏压极板(1)的板面,所述偏压极板与法拉第筒的上端口接触面处设有绝缘涂层(2),在每个法拉第筒的轴线对应一个采集孔(7),采集孔(7)的直径小于法拉第筒的内直径;所述法拉第筒内壁表面有一层导电薄膜(9),但导电薄膜(9)不与偏压极板接触,与偏压极板(1)之间留有缝隙,所述法拉第筒下端面有导电材料(5)封口,导电薄膜(9)伸出法拉第筒下端面并与导电材料(5)连接接触,导电薄膜(9)引出电路,每个法拉第筒下端及对应的导电材料(5)均固定于下层底板(6)的凹槽内;在下层底板(6)的上部设有上层底板(4),所述上层底板在对应的法拉第筒的位置均设有固定孔(12),使得法拉第筒的穿过用于固定法拉第筒;
压极板(1)采用导电材料,法拉第筒以绝缘材料为主体,下层底板采用绝缘材料;
所述的偏压电路(10)为偏压极板(1)的导线连接孔(11)引出电路接地,法拉第筒下端面的导电薄膜(9)引出电路经由电流表接地,或接电源的同一电极,即同电位;
测试方法:通过偏压电路10中电流表测得的电流信号I,由电子束通量计算公式计算可得电子束通量,即束流密度,其中Flux:电子束通量,ion/m2s;I:测得的电流强度,C/s;n:每个离子的电荷数,定值,可以查询资料;A:注入面积即法拉第筒内部空腔对应的底面面积,m2。
2.按照权利要求1所述的一种等离子体束流密度分布的测量方法,其特征在于,所述法拉第筒阵列布局在测量等离子体束流密度分布基础之上,进一步测量等离子体束流的横截面形状,根据每个法拉第筒为一个单元,所有单元测得的密度排布可以形成等离子体束流的横截面形状。
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