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一种 硅微粉 退火装置

阅读：1022发布：2020-06-21

专利汇可以提供一种硅微粉退火装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种硅微粉退火装置，装置本体呈箱体状，装置本体的上表面开设有开口，开口旁安装有散热装置，装置本体内部固定有加热台，加热台上表面向上延伸出加热器，加热器内设置有加热灯泡，且加热灯泡沿加热器的长度方向依次排布，加热台上方设置有沿铅锤方向进行往复运动且穿过开口的升降块，升降块向下延伸有支撑板，支撑板顶部安放有储物盒，支撑板底部粘接有晶圆衬底，晶圆衬底上形成有至少两个有源区结构，且相连两个有源区结构间设置有沟槽，沟槽内填充有二氧化硅，本实用新型在实现硅微粉高效退火的同时，可随时监测加热器内加热灯泡的使用情况。，下面是一种硅微粉退火装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种硅微粉退火装置,其特征在于：包括装置本体(1)、加热台(2)、升降块和散热装置，所述装置本体(1)呈箱体状，所述装置本体(1)的上表面开设有开口(11)，所述开口(11)旁安装有散热装置，所述装置本体(1)内部固定有加热台(2)，所述加热台(2)的上表面向上延伸出加热器(21)，所述加热器(21)内设置有加热灯泡(211)，且加热灯泡(211)沿加热器(21)的长度方向依次排布，所述加热台(2)的上方设置有沿铅锤方向进行往复运动且穿过开口(11)的升降块，所述升降块向下延伸有支撑板(31)，所述支撑板(31)的顶部安放有储物盒(32)，所述支撑板(31)的底部粘接有晶圆衬底(33)，所述晶圆衬底(33)上形成有至少两个有源区结构(331)，且相连两个有源区结构(331)间设置有沟槽(332)，所述沟槽(332)内填充有二氧化硅。
2.根据权利要求1所述的一种硅微粉退火装置，其特征在于：所述升降块包括固定板(34)、L型固定板(35)、转轴(36)、第一斜齿轮(361)、手摇轮(362)、丝杠(37)、第二斜齿轮(371)和移动平台(38)，所述装置本体(1)的上表面向上延伸出固定板(34)，所述固定板(34)的左右两侧分别焊接有两个L型固定板(35)，所述L型固定板(35)上设置有第一板面(351)和第二板面(352)，所述第一板面(351)上设置有第一插口(353)，所述第二板面(352)上设置有第二插口(354)，所述转轴(36)依次穿过第一斜齿轮(361)和第一插口(353)，所述转轴(36)的一端设置有手摇轮(362)，所述丝杠(37)依次穿过第二斜齿轮(371)和第二插口(354)，所述丝杠(37)的底端设置有沿丝杠(37)的长度方向进行往复运动的移动平台(38)，且两个移动平台(38)之间卡装有升降块，所述第一斜齿轮(361)与所述第二斜齿轮(371)呈垂直啮合状。
3.根据权利要求1所述的一种硅微粉退火装置，其特征在于：所述散热装置包括相对设置的两个散热扇(41)和减速电机(42)，所述散热扇(41)的输入端与减速电机(42)的输出端电连接在一起。
4.根据权利要求1所述的一种硅微粉退火装置，其特征在于：所述开口(11)处分别安装有沿水平方向进行往复运动的两个手拉门(12)，两个手拉门(12)的闭合处皆设置有两个圆孔(121)，且圆孔(121)与丝杠(37)之间为间隙配合。
5.根据权利要求4所述的一种硅微粉退火装置，其特征在于：所述手拉门(12)上设置有凹槽(122)。

说明书全文

一种硅微粉 退火装置

技术领域

[0001] 本实用新型涉及硅微粉加工领域，具体是一种硅微粉退火装置。

背景技术

[0002] 硅微粉是一种无毒、无味、无污染的无机非金属材料。由于它具备耐温性好、耐酸碱腐蚀、导热系数高、高绝缘、低膨胀、化学性能稳定、硬度大等优良的性能，被广泛用于化工、电子、集成电路(IC)、电器、塑料、涂料、高级油漆、橡胶、国防等领域。退火加工是硅微粉加工的一个重要环节，现有的硅微粉进行退火加工时，往往通过加热灯泡随硅微粉进行加热，然而加热灯泡在经过一段的时间之后，其加热的效果会逐渐衰减或有的由于质量问题可能会提前失效，最终造成器件电学性能的失效，并且现有的退火装置并未针对这一点而对加热灯泡进行实时监控，而是规定一定的使用寿命进行更换，进而使得进行退火的硅微粉无法进行精确的退火。实用新型内容

[0003] 本实用新型的目的在于提供一种硅微粉退火装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

[0004] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

[0005] 一种硅微粉退火装置，包括装置本体、加热台、升降块和散热装置，所述装置本体呈箱体状，所述装置本体的上表面开设有开口，所述开口旁安装有散热装置，所述装置本体内部固定有加热台，所述加热台的上表面向上延伸出加热器，所述加热器内设置有加热灯泡，且加热灯泡沿加热器的长度方向依次排布，所述加热台的上方设置有沿铅锤方向进行往复运动且穿过开口的升降块，所述升降块向下延伸有支撑板，所述支撑板的顶部安放有储物盒，所述支撑板的底部粘接有晶圆衬底，所述晶圆衬底上形成有至少两个有源区结构，且相连两个有源区结构间设置有沟槽，所述沟槽内填充有二氧化硅。

[0006] 作为本实用新型进一步的方案：所述升降块包括固定板、L型固定板、转轴、第一斜齿轮、手摇轮、丝杠、第二斜齿轮和移动平台，所述装置本体的上表面向上延伸出固定板，所述固定板的左右两侧分别焊接有两个L型固定板，所述L型固定板上设置有第一板面和第二板面，所述第一板面上设置有第一插口，所述第二板面上设置有第二插口，所述转轴依次穿过第一斜齿轮和第一插口，所述转轴的一端设置有手摇轮，所述丝杠依次穿过第二斜齿轮和第二插口，所述丝杠的底端设置有沿丝杠的长度方向进行往复运动的移动平台，且两个移动平台之间卡装有升降块，所述第一斜齿轮与所述第二斜齿轮呈垂直啮合状。

[0007] 作为本实用新型进一步的方案：所述散热装置包括相对设置的两个散热扇和减速电机，所述散热扇的输入端与减速电机的输出端电连接在一起。

[0008] 作为本实用新型进一步的方案：所述开口处分别安装有沿水平方向进行往复运动的两个手拉门，两个手拉门的闭合处皆设置有两个圆孔，且圆孔与丝杠之间为间隙配合。

[0009] 作为本实用新型进一步的方案：所述手拉门上设置有凹槽。

[0010] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种高效且对加热灯泡实时监控的一种硅微粉退火装置，通过与灯泡对应有源区结构的硅发生气化产生损伤的缺陷，从而确认老化或损坏灯泡的位置，并且本实用新型中的升降运动通过呈垂直啮合状的第一斜齿轮与第二斜齿轮来实现，从而大大增加了传动的平稳性和精准性，而相对设立的风扇可以使得经过加热处理后的硅微粉快速降温，最终实现硅微粉的高效退火。附图说明

[0011] 图1为一种硅微粉退火装置的主视剖视结构示意图。

[0012] 图2为本实用新型中加热器的剖视结构示意图。

[0013] 图3为本实用新型中装置本体的俯视结构示意图。

[0014] 图4为本实用新型中晶圆衬底上有源区结构的俯视结构示意图。

[0015] 图5为本实用新型中晶圆衬底上有源区结构的剖面结构示意图。

[0016] 图6为本实用新型中L型固定板的整体结构示意图。

具体实施方式

[0017] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

[0018] 请参阅图1～6，本实用新型实施例中，一种硅微粉退火装置，包括装置本体1、加热台2、升降块和散热装置，所述装置本体1呈箱体状，所述装置本体1的上表面开设有开口11，所述开口11旁安装有散热装置，所述装置本体1内部固定有加热台2，所述加热台2的上表面向上延伸出加热器21，所述加热器21内设置有加热灯泡211，且加热灯泡211沿加热器21的长度方向依次排布，所述加热台2的上方设置有沿铅锤方向进行往复运动且穿过开口11的升降块，所述升降块向下延伸有支撑板31，所述支撑板31的顶部安放有储物盒32，所述支撑板的31底部粘接有晶圆衬底33，所述晶圆衬底33上形成有至少两个有源区结构331，且相连两个有源区结构331间设置有沟槽332，所述沟槽332内填充有二氧化硅，上述沟槽332中二氧化硅会均匀的消耗，即负载效应，从而使得有源区结构331的部分侧壁暴露在外，最终使有源区结构331的顶部会高于沟槽332的顶部，使有源区结构331的部分侧壁暴露在外，因此，若加热器21中的加热灯泡211中的部分加热灯泡211发生老化，会导致加热效果出现衰减而使置于加热器上方晶圆衬底33对应位置的有源区结构331侧壁的硅发生气化而产生损伤形成缺陷，从而便于肉眼观察并确认加热灯泡211的使用情况，所述升降块包括固定板34、L型固定板35、转轴36、第一斜齿轮361、手摇轮362、丝杠37、第二斜齿轮371和移动平台
38，所述装置本体1的上表面向上延伸出固定板34，所述固定板34的左右两侧分别焊接有两个L型固定板35，所述L型固定板35上设置有第一板面351和第二板面352，所述第一板面351上设置有第一插口353，所述第二板面352上设置有第二插口354，所述转轴36依次穿过第一斜齿轮361和第一插口353，所述转轴36的一端设置有手摇轮362，所述丝杠37依次穿过第二斜齿轮371和第二插口354，所述丝杠37的底端设置有沿丝杠37的长度方向进行往复运动的移动平台38，且两个移动平台38之间卡装有升降块，所述第一斜齿轮361与所述第二斜齿轮
371呈垂直啮合状，所述散热装置包括相对设置的两个散热扇41和减速电机42，所述散热扇
41的输入端与减速电机42的输出端电连接在一起。

[0019] 实际使用时，考虑到加热应在密闭的环境进行，因此在开口11处分别安装有沿水平方向进行往复运动的两个手拉门12，通过手拉门12的启闭，实现加热环境的密闭，为避免手拉门对丝杠37造成损伤，两个手拉门12的闭合处皆设置有两个圆孔121，且圆孔121与丝杠37之间为间隙配合，同时为了方便拉动手拉门12，在手拉门12上设置有凹槽122。

[0020] 本实用新型的具体操作步骤如下：

[0021] 首先在储物盒32内填装需退火的硅微粉并拉动凹槽122来打开开口11，之后摇动手摇轮362，进而使得转轴36转动，同时与转轴36同轴固定的第一斜齿轮361进行同步运动，接着由于第一斜齿轮与第二斜齿轮371呈垂直啮合状，第二斜齿轮371亦发生转动，从而带动丝杠37发生转动，使得设置在丝杠37上的移动平台38带动升降块下降，使得升降块置于加热空间之中，然后拉动凹槽122并关闭开口11，完成了硅微粉的加热步骤；

[0022] 当加热步骤完成后，拉动凹槽122并打开开口11，之后摇动手摇轮362，进而使得转轴36转动，同时与转轴36同轴固定的第一斜齿轮361进行同步运动，接着由于第一斜齿轮与第二斜齿轮371呈垂直啮合状，第二斜齿轮371亦发生转动，从而带动丝杠37发生转动，使得设置在丝杠37上的移动平台38带动升降块上升，使得升降块置于装置本体1外侧，然后拉动凹槽122并关闭开口11，此时减速电机42驱动散热扇41进行散热，继而完成了硅微粉的散热步骤，最终实现了硅微粉的退火工序，并且在上述步骤的工作过程中，当升降块置于装置本体1外侧时，可通过观察晶圆衬底33上产生缺陷的地方，从而确认加热器21内加热灯泡何处发生损坏或老化。

[0023] 对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

[0024] 此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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