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一种共面三极性静电吸附装置

阅读：742发布：2020-05-14

专利汇可以提供一种共面三极性静电吸附装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型涉及一种共面三极性静电吸附装置，其与控制器电连接以产生吸附工件的静电，包括柔性电路板和嵌设在柔性电路板中的电极片组；其特征在于：所述电极片组包括相互交错设置的正极性电极、零电势电极和负极性电极,所述零电势电极具有多个供正极性电极的延伸部从一侧伸入的正面缺口和供负极性电极的延伸部从另一侧伸入的反面缺口，正面缺口和反面缺口间隔交错布置,本实用新型结构简单，使用方便，仅静电装置利用小电压产生较强的静电吸附力，节约了能源，更加安全可靠，而且可以在不影响静电吸附力的情况下，通过增加静电装置表面厚度，使静电装置不易发生电击穿损坏，增加了静电吸附装置使用寿命。，下面是一种共面三极性静电吸附装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种共面三极性静电吸附装置，其与控制器电连接以产生吸附工件的静电，包括柔性电路板和嵌设在柔性电路板中的电极片组；其特征在于：所述电极片组包括相互交错设置的正极性电极、零电势电极和负极性电极。
2.根据权利要求1所述的一种共面三极性静电吸附装置，其特征在于，所述零电势电极具有多个供正极性电极的延伸部从一侧伸入的正面缺口和供负极性电极的延伸部从另一侧伸入的反面缺口，正面缺口和反面缺口间隔交错布置。
3.根据权利要求1或2所述的一种共面三极性静电吸附装置，其特征在于，所述零电势电极为连续的“n”字形金属极片，所述正极性电极和负极性电极均为连续的“E”字形金属极片。
4.根据权利要求3所述的一种共面三极性静电吸附装置，其特征在于，所述零电势电极和正极性电极之间的电气间隙等于零电势电极和负极性电极之间的电气间隙，且各处的电气间隙的宽度相同。
5.根据权利要求1所述的一种共面三极性静电吸附装置，其特征在于，所述柔性电路板固定设置在刚性支撑体上。
6.根据权利要求1所述的一种共面三极性静电吸附装置，其特征在于，所述柔性电路板中嵌设有阵列排布的多组电极片组。

说明书全文

一种共面三极性静电吸附装置

技术领域

[0001] 本实用新型涉及静电吸附设备，具体而言是一种共面三极性静电吸附装置。

背景技术

[0002] 现有机静电吸附装置中，静电吸附阵列结构采用的单极性、梳状双极性阵列结构。单极性阵列需要一定外界条件（被吸物体侧有等离子体存在）才能达到吸附效果，对于一些容易发生电击穿的物体则不适用；梳状双极性阵列两电极共面产生电场将介质层极化，由于吸附作用距离小，因此静电装置表面介质层厚度一般比较薄，很容易发生损坏。而且无论是单极性还是梳状双极性阵列的静电吸附装置要实现很好的吸附效果，最好的实现办法是提高加载电压，由于介质层比较薄则很容易发生电击穿使其使用寿命短。

[0003] 因此，现在静电吸附装置急需一种通过较小的电压产生较强的静电吸附力，并且通过增加静电吸附装置的厚度使之不易损坏增加其寿命的装置，三极性静电吸附阵列排布结构就根据这一需求提出的。实用新型内容

[0004] 为克服上述现有技术中存在的不足，本实用新型提供了一种结构简单，使用电压小且使用寿命长的的三极性静电吸附阵列排布结构。

[0005] 本实用新型的一种共面三极性静电吸附装置，包括其与控制器电连接以产生吸附工件的静电，包括柔性电路板和嵌设在柔性电路板中的电极片组；所述电极片组包括相互交错设置的正极性电极、零电势电极和负极性电极。

[0006] 上述技术方案还可以通过以下技术措施进一步优化：

[0007] 作为进一步优化，所述零电势电极具有多个供正极性电极的延伸部从一侧伸入的正面缺口和供负极性电极的延伸部从另一侧伸入的反面缺口，正面缺口和反面缺口间隔交错布置。

[0008] 作为进一步优化，所述零电势电极为连续的“n”字形金属极片，所述正极性电极和负极性电极均为连续的“E”字形金属极片。

[0009] 作为进一步优化，所述零电势电极和正极性电极之间的电气间隙等于零电势电极和负极性电极之间的电气间隙，且各处的电气间隙的宽度相同。

[0010] 作为进一步优化，所述柔性电路板固定设置在刚性支撑体上。

[0011] 作为进一步优化，所述柔性电路板中嵌设有阵列排布的多组电极片组。

[0012] 由于采用了以上技术方案，本实用新型产生了以下技术效果：

[0013] 本发明的有益效果是，不仅静电装置利用小电压产生较强的静电吸附力，节约了能源，更加安全可靠，而且可以不影响静电吸附力的情况下，通过增加静电装置表面厚度，使静电装置不易发生电击穿损坏，增加了静电吸附装置使用寿命。附图说明

[0014] 为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍：

[0015] 图1是实施例一中的三极性静电吸附阵列排布结构的结构示意图。

[0016] 图2是图1中“A-A”方向的结构示意图。

[0017] 附图标记说明：

[0018] 1.电极片组；2.柔性电路板；3.刚性支撑体；101.正极性电极；102.零电势电极；103.负极性电极。

具体实施方式

[0019] 为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型做进一步详细说明。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以各种不同的配置来布置和设计。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

[0020] 应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

[0021] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

[0022] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

[0023] 下面结合附图，对本实用新型的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例中的特征可以相互组合。

[0024] 实施例一：

[0025] 如图1到2所示的本实用新型的一种共面三极性静电吸附装置，包括其与控制器电连接以产生吸附工件的静电，包括柔性电路板2和嵌设在柔性电路板中的电极片组1，所述电极片组1包括相互交错设置的正极性电极101、零电势电极102和负极性电极103，所述零电势电极102具有多个供正极性电极101的延伸部从一侧伸入的正面缺口和供负极性电极103的延伸部从另一侧伸入的反面缺口，正面缺口和反面缺口间隔交错布置；所述零电势电极102为连续的“n”字形金属极片，所述正极性电极101和负极性电极103均为连续的“E”字形金属极片；所述零电势电极102和正极性电极101之间的电气间隙等于零电势电极102和负极性电极103之间的电气间隙，且各处的电气间隙的宽度相同。

[0026] 所述柔性电路板2固定设置在刚性支撑体3上，所述柔性电路板2中嵌设有阵列排布的多组电极片组。

[0027] 如图1所示，此设计，所述正极性电极片101和负极性电极片103的凸起部分宽度是所述零电势电极片102中“n”字壁宽度的至少两倍以上（在实施例一中8倍）。

[0028] 此外，需要说明的是，所述柔性电路板中绝缘不带电。

[0029] 本实用新型的工作原理是将正极性电极101接入正极性电压，负极性电极103接入负极性电压，使正极性电极101接入正极性电压、负极性电极103与零电势电极102之间产生电场，并且由于零电势电极102的存在，该装置正负电极之间产生的电场比双极性吸附装置的电场增加，故静电吸附装置壁面则产生的极化电荷越多，静电吸附力相应增大了，所以三极性静电吸附阵列可以利用更小的电压达到很好的吸附效果。

[0030] 本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

[0031] 尽管本文较多地使用了1.电极片组；2.柔性电路板；3.刚性支撑体；101.正极性电极；102.零电势电极；103.负极性电极等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用新型的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相违背的。

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