Device for loader and unloader of plasma asher
专利汇可以提供Device for loader and unloader of plasma asher专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且PURPOSE:To automate the transferring work of a semiconductor substrate by a method wherein a plasma asher device, providing a cover-opening and closing mechanism for a reaction furnace, a quartz boat, a wafer chuck section, basket, a carrier device and the like, is used. CONSTITUTION:As a pushing rod 8 goes up, a stopper plate 9A opens and a semiconductor substrate 1 is placed in a stand-by basket 2B. The stand-by basket 2B is chucked by a pawl section 12, brought to a carrier line 15 by a carrier robot 13 and brought down. The semiconductor substrate 1 is transferred to the basket 2A of the wafer chuck section, driven to and stored in the quartz boat 4A, a cover 5 is closed and processed in a reaction furnace. Through these procedures, the transferring work of the substrate of the plasma asher device can be automated.，下面是Device for loader and unloader of plasma asher专利的具体信息内容。
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 一种断路器磁脱扣核心组件焊接系统 | 2020-05-08 | 506 |
| 缺陷检测装置、缺陷检测方法、晶片、半导体芯片、裸片接合机、半导体制造方法、以及半导体装置制造方法 | 2020-05-11 | 109 |
| 晶片的加工方法 | 2020-05-08 | 580 |
| 用于半导体检验和光刻系统的载台设备 | 2020-05-11 | 553 |
| 静电卡盘装置 | 2020-05-08 | 990 |
| 晶片的加工方法 | 2020-05-11 | 481 |
| 用于在光电子模块上制造均匀的材料的层的晶片级方法 | 2020-05-08 | 943 |
| 对准方法 | 2020-05-11 | 724 |
| 晶片的加工方法和磨削装置 | 2020-05-11 | 779 |
| 静电卡盘加热器 | 2020-05-11 | 508 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
