Inspection method of exterior examiner
专利汇可以提供Inspection method of exterior examiner专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且PURPOSE: To shorten the inspection time by performing the transportation of check- points by rotation to decrease transportation time.
CONSTITUTION: A rotation motor 2 is operated, a gear 33 is rotated, and, at the same time, gears 31, 32 are rotated to rotate a wafer chuck 1. In order to perform a quarter of a rotation, a motor 2 is operated to run a clutch 5; then an input shaft 52 and an output shaft 51 are connected, a quarter rotation detection cam is rotated, and a wafer chuck makes a quarter turn by the detection of a detector 6 to place a check point 3 under an object lens of a microscope 11. In like manner, check points 4, 5 are examined. Since the transportation of check points 2→3, 3→4, 4→5 is thus done by rotation, less time is necessary for transportation to shorten the inspection time.
COPYRIGHT: (C)1980,JPO&Japio，下面是Inspection method of exterior examiner专利的具体信息内容。
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 一种静电卡盘和半导体处理装置 | 2020-05-11 | 759 |
| 缺陷检测装置、缺陷检测方法、晶片、半导体芯片、裸片接合机、半导体制造方法、以及半导体装置制造方法 | 2020-05-11 | 109 |
| 以波纹管卡紧翘曲的晶片 | 2020-05-12 | 298 |
| 机械卡盘 | 2020-05-08 | 957 |
| 静电卡盘 | 2020-05-08 | 764 |
| 晶片的加工方法 | 2020-05-11 | 210 |
| 重复缺陷检查 | 2020-05-08 | 552 |
| 静电卡盘及半导体加工设备 | 2020-05-08 | 94 |
| 晶片的加工方法和磨削装置 | 2020-05-11 | 779 |
| 磨削磨具的修锐方法和修锐用晶片 | 2020-05-11 | 629 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
