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一种行波管用氮化硼夹持杆除气装置及方法

阅读：381发布：2020-05-08

专利汇可以提供一种行波管用氮化硼夹持杆除气装置及方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开了一种行波管用氮化硼夹持杆除气装置及方法，所述除气装置包括加热装置和保温装置，工作环境为真空环境，所述加热装置包括热丝和放置氮化硼夹持杆的多晶氧化铝陶瓷管，所述热丝缠绕于多晶氧化铝陶瓷管上，所述热丝与加热电源电极相连；所述保温装置包括第一氧化铝管和第二氧化铝管；所述第一氧化铝管嵌套在第二氧化铝管外，将所述绕有热丝的多晶氧化铝陶瓷管放于第二氧化铝管内，并提供行波管用氮化硼夹持杆除气方法，本发明的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，设计合理，结构简单，操作方便，除气效率高，改善行波管螺流的稳定性，保证了行波管的性能和寿命。，下面是一种行波管用氮化硼夹持杆除气装置及方法专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种行波管用氮化硼夹持杆除气装置，其特征在于：所述除气装置包括加热装置和保温装置，工作环境为真空环境，所述加热装置包括热丝(1)和放置氮化硼夹持杆的多晶氧化铝陶瓷管(2)，所述热丝(1)缠绕于多晶氧化铝陶瓷管(2)上，所述热丝(1)与加热电源电极相连；所述保温装置包括第一氧化铝管(3)和第二氧化铝管(4)；所述第一氧化铝管(3)嵌套在第二氧化铝管(4)外，将所述绕有热丝(1)的多晶氧化铝陶瓷管(2)放于第二氧化铝管(4)内。
2.根据权利要求1所述的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，其特征在于：所述加热装置配有钨铼热电偶，工作时将所述热电偶置于多晶氧化铝陶瓷管(2)内。
3.根据权利要求2所述的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，其特征在于：所述加热装置配有温控表，温控表与钨铼热电偶相连。
4.根据权利要求1所述的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，其特征在于：所述热丝(1)由钼丝制成。
5.一种行波管用氮化硼夹持杆除气方法，其特征在于，利用权利要求1所述行波管用氮化硼夹持杆除气装置，包括以下步骤：
步骤一，将热丝(1)缠绕于多晶氧化铝陶瓷管(2)上，并放入氮化硼夹持杆；
步骤二，将第一氧化铝管(3)和第二氧化铝管(4)相互嵌套上，并将绕有热丝(1)的多晶氧化铝陶瓷管(2)置于第二氧化铝管(4)内；
步骤三，将热丝(1)两端连接在加热电源电极上；
步骤四，抽真空，当真空度达到8.0×10-4Pa～1×10-3Pa时，打开加热电源，加热至700℃～1300℃；
步骤五，抽真空冷却至室温。
6.根据权利要求5所述的行波管用氮化硼夹持杆除气方法，其特征在于：所述加热过程的真空度保持在4.0×10-4Pa～2×10-3Pa范围内。

说明书全文

一种行波管用氮化硼夹持杆除气装置及方法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种除气装置及方法，尤其涉及一种行波管用氮化硼夹持杆除气装置及方法，属于真空电子器件领域。

背景技术

[0002] 近年来，随着行波管的发展，对真空环境提出了更高的要求，尤其是管内的真空质量会直接影响到器件的性能和寿命。而管内真空度所能达到的极限值和稳定程度，除了取决于真空设备，主要还和行波管的材料有关，故对行波管材料提出了更高的要求。目前在行波管材料方面，很难完全依靠改善真空材料的性能来提高真空质量。但可以通过对材料的前期处理或表面处理，以满足行波管高真空质量的要求。

[0003] 在螺旋线行波管中，夹持杆的主要作用是对螺旋线起支持撑作用，并将管内的热量传递到管外。为保证螺旋线行波管内的高品质真空，夹持杆必须具备相当的气密性和表面洁净性。对于氮化硼材质的夹持杆，在经过研磨、清洗以及渗碳等过程的处理后，表面会存在处理过程中引入的杂质，并且会吸附空气中的气体、水汽、浮尘等。

发明内容

[0004] 发明目的：本发明的第一目的旨在提供一种除气效率高、操作方便的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，本发明的第二目的旨在提供行波管用氮化硼夹持杆除气方法。

[0005] 技术方案：本发明的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，除气装置包括加热装置和保温装置，工作环境为真空环境，加热装置包括热丝和放置氮化硼夹持杆的多晶氧化铝陶瓷管，热丝缠绕于多晶氧化铝陶瓷管上，热丝与加热电源电极相连；保温装置包括第一氧化铝管和第二氧化铝管；第一氧化铝管嵌套在第二氧化铝管外，将绕有热丝的多晶氧化铝陶瓷管放于第二氧化铝管内。

[0006] 进一步地，加热装置配有钨铼热电偶，工作时将热电偶置于多晶氧化铝陶瓷管内。

[0007] 进一步地，加热装置配有温控表，温控表与钨铼热电偶相连。

[0008] 进一步地，热丝由钼丝制成。

[0009] 进一步地，热丝与加热电源电极相连。

[0010] 本发明的行波管用氮化硼夹持杆除气方法，利用行波管用氮化硼夹持杆除气装置，包括以下步骤：

[0011] 步骤一，将热丝缠绕于多晶氧化铝陶瓷管上，并放入氮化硼夹持杆；

[0012] 步骤二，将第一氧化铝管和第二氧化铝管相互嵌套上，并将绕有热丝的多晶氧化铝陶瓷管置于第二氧化铝管内；

[0013] 步骤三，将热丝两端连接在加热电源电极上；

[0014] 步骤四，抽真空，当真空度达到8.0×10-4Pa～1×10-3Pa时，打开加热电源，加热至700℃～1300℃；

[0015] 步骤五，抽真空冷却至室温。

[0016] 进一步地，加热过程的真空度保持在4.0×10-4Pa～2×10-3Pa范围内。

[0017] 有益效果：与现有技术相比，本发明具有如下显著优点：

[0018] 本发明的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，设计合理，结构简单，操作方便，除气效率高；在装行波管之前对氮化硼夹持杆进行真空加热，去除氮化硼表面的氧化层、附着物以及吸附的气体等，改善行波管螺流的稳定性，保证了行波管的性能和寿命；该除气装置所获得的氮化硼夹持杆，表面洁净，无蹦边缺角等缺陷。附图说明

[0019] 图1为本发明的加热装置结构图；

[0020] 图2为本发明的行波管用氮化硼夹持杆除气装置的剖面图。

具体实施方式

[0021] 下面结合附图对本发明的技术方案作进一步说明。

[0022] 如图1所示，本发明的热丝1紧密缠绕于多晶氧化铝陶瓷管2上，以便于热量的有效传递。

[0023] 如图2所示，本发明的行波管用氮化硼夹持杆除气装置，除气装置包括加热装置和保温装置，工作环境为真空环境，加热装置包括热丝1和放置氮化硼夹持杆的多晶氧化铝陶瓷管2，热丝1缠绕于多晶氧化铝陶瓷管2上，热丝与加热电源电极相连；保温装置包括第一氧化铝管3和第二氧化铝管4；第一氧化铝管3嵌套在第二氧化铝管4外，将绕有热丝1的多晶氧化铝陶瓷管2放于第二氧化铝管4内。

[0024] 本发明的行波管用氮化硼夹持杆除气方法，利用行波管用氮化硼夹持杆除气装置，包括以下步骤：

[0025] 步骤一，将热丝1缠绕于多晶氧化铝陶瓷管2上，并放入氮化硼夹持杆；

[0026] 步骤二，将第一氧化铝管3和第二氧化铝管4相互嵌套上，并将绕有热丝1的多晶氧化铝陶瓷管2置于第二氧化铝管4内；

[0027] 步骤三，将热丝1两端连接在加热电源电极上；

[0028] 步骤四，抽真空，当真空度达到8.0×10-4Pa～1×10-3Pa时，打开加热电源，加热至700℃～1300℃，加热过程的真空度保持在4.0×10-4Pa～2×10-3Pa范围内；

[0029] 步骤五，抽真空冷却至室温。

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