經由精確圖案化之智慧型裝置製作
阅读：623发布：2024-01-31
专利汇可以提供經由精確圖案化之智慧型裝置製作专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且實施例涉及經由精確圖案化來進行用於半導體處理工具的智慧型裝置製作。在一實施例中，製作半導體處理工具部件的方法包括提供用於半導體處理工具部件的 基板 ，對該基板進行圖案化以直接在基板上形成感測器，及在該感測器上沉積頂層。該感測器可包括，例如，溫度或應變感測器。該方法亦可包括對該基板進行圖案化以在該基板上形成以下裝置之其中一或更多者：加熱器、熱敏電阻器及電極。在一實施例中，該方法包括對該部件的表面進行圖案化，該表面定向成朝向半導體處理工具內部的電漿區域。，下面是經由精確圖案化之智慧型裝置製作专利的具体信息内容。
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