专利汇可以提供平面GaN基紫外探测器及其制作方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种平面GaN基紫外探测器及其制作方法,涉及 半导体 器件技术领域。该紫外探测器制作方法包括: 光刻 后选择性 刻蚀 第一SiO2 钝化 层至其底部;在所述第一SiO2 钝化层 刻蚀的孔洞内,从下到上依次生长n型掺杂层、i型层和p型掺杂层。本发明中,制作紫外探测器时,先生长SiO2钝化层,并在钝化层的刻蚀区内生长GaN基紫外探测器材料,避免 台面 刻蚀工艺,有效减少pn结侧面漏 电流 ,提高探测器性能。,下面是平面GaN基紫外探测器及其制作方法专利的具体信息内容。
1.一种平面GaN基紫外探测器制作方法,其特征在于,包括:
生长第一SiO2钝化层(13);
光刻后选择性刻蚀第一SiO2钝化层(13)形成至其底部的的孔洞;
在所述第一SiO2钝化层(13)刻蚀的孔洞内,从下到上依次生长n型掺杂层(21)、i型层(22)和p型掺杂层(23)。
2.根据权利要求1所述的平面GaN基紫外探测器制作方法,其特征在于,在光刻第一SiO2钝化层(13)之前还包括:在一衬底(10)上依次生长缓冲层(11)和n型缓冲层(12);其中,所述第一SiO2钝化层(13)生长在所述n型缓冲层(12)上。
3.根据权利要求1所述的平面GaN基紫外探测器制作方法,其特征在于,在生长完p型掺杂层(23)之后还包括:
材料减薄处理,去除在第一SiO2钝化层(13)上的多余材料;
光刻并刻蚀部分第一SiO2钝化层(13)至n型缓冲层(12)表面,并制作n型欧姆接触金属层(31)与所述n型缓冲层(12)接触;
在p型掺杂层(23)表面制作p型欧姆接触金属层(32);
在第一SiO2钝化层(13)上生长第二SiO2钝化层(33);
光刻并刻蚀n型欧姆接触金属层(31)和p型欧姆接触金属层(32)表面的部分第二SiO2钝化层(33);
在n型欧姆接触金属层(31)和p型欧姆接触金属层(32)的表面制作加厚金属层(34)。
4.根据权利要求3所述的平面GaN基紫外探测器制作方法,其特征在于,所述的生长第一SiO2钝化层(13)和生长第二SiO2钝化层(33)的方法为磁控溅射或等离子体增强化学气相沉积。
5.根据权利要求3所述的平面GaN基紫外探测器制作方法,其特征在于,所述的材料减薄处理方法为,先使用机械研磨,再化学机械抛光。
6.根据权利要求3所述的平面GaN基紫外探测器制作方法,其特征在于,所述的n型欧姆接触金属层(31)、p型欧姆接触金属层(32)和加厚金属层(34)的制作方法为磁控溅射或电子束蒸发方法。
7.一种平面GaN基紫外探测器,其特征在于,包括:第一SiO2钝化层(13)、n型掺杂层(21)、i型层(22)和p型掺杂层(23);其中,所述第一SiO2钝化层(13)中刻蚀有通透孔洞,且所述n型掺杂层(21),i型层(22)和p型掺杂层(23)从下到上依次生长在所述通透孔洞内。
8.根据权利要求7所述的平面GaN基紫外探测器,其特征在于,还包括:衬底(10);缓冲层(11),生长在所述衬底(10)上;n型缓冲层(12),生长在所述缓冲层(11)上;且所述第一SiO2钝化层(13)生长在所述n型缓冲层(12)上。
9.根据权利要求8所述的平面GaN基紫外探测器,其特征在于,在边缘处刻蚀部分所述第一SiO2钝化层(13)至所述n型缓冲层(12)表面;所述探测器还包括:
n型欧姆接触金属层(31),制作于被刻蚀掉所述第一SiO2钝化层(13)后露出的n型缓冲层(12)上表面至所述第一SiO2钝化层(13)部分上表面;
p型欧姆接触金属层(32),制作于所述p型掺杂层(23)上表面;
第二SiO2钝化层(33),生长在探测器上表面,且在所述n型欧姆接触金属层(31)和p型欧姆接触金属层(32)上方刻蚀有孔洞;
加厚金属层(34),制作于所述第二SiO2钝化层(33)的孔洞内,分别与所述n型欧姆接触金属层(31)和p型欧姆接触金属层(32)相连。
10.根据权利要求9所述的平面GaN基紫外探测器,其特征在于,
所述衬底(10)的材料为蓝宝石或GaN;
所述n型缓冲层(12),n型掺杂层(21)材料为n型掺杂的GaN或AlGaN材料,其掺杂浓度≥
1×1018cm-3;
所述i型层(22)材料为非故意掺杂的GaN或AlGaN材料;
17 -3
所述p型掺杂层(23)材料为p型掺杂的GaN或AlGaN材料,其掺杂浓度≥1×10 cm ;
所述的n型欧姆接触金属层(31)为钛铂金、钛金、钛铝钛金、镍铂金、镍金或钛铝镍金合金材料;
所述的p型欧姆接触金属层(32)为镍金、钛金或钯金合金材料;
所述的加厚金属层(34)为镍金、钛金、钛铝钛金、钛铝镍金、镍镉金合金材料或其组合。
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