专利汇可以提供一种位移放大结构、微机电系统及微机电系统的控制方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开一种位移放大结构,包括第一横梁、第二横梁及运动 挡板 ,第二横梁与第一横梁平行设置,第一横梁的前端与结构 框架 相固定,第二横梁的前端与运动 制动 器相连接,第一横梁的尾端与第二横梁的尾端相平齐,且第一横梁的尾端与第二横梁的尾端均与运动挡板相固定连接。本发明还公开了应用上述位移放大结构的微 机电系统 ,通过设置新的位移放大结构,并将该位移放大结构与 微机电系统 相结合,运动制动器移动,并使第二横梁产生位移,从而在第一横梁与第二横梁之间的差分位移的作用下,致使运动挡板产生竖直方向的位移,将运动制动器的 横向位移 通过运动挡板在竖直方向进行放大,同时该位移放大结构,结构简单,加工方便,降低了生产成本。,下面是一种位移放大结构、微机电系统及微机电系统的控制方法专利的具体信息内容。
1.一种位移放大结构,其特征在于:包括第一横梁、第二横梁及运动挡板,所述第二横梁与所述第一横梁平行设置,所述第一横梁的前端与结构框架相固定,所述第二横梁的前端与运动制动器相连接,所述第一横梁的尾端与所述第二横梁的尾端相平齐,且所述第一横梁的尾端与所述第二横梁的尾端均与所述运动挡板相固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种位移放大器,其特征在于:所述运动挡板的形状为圆形、椭圆形或多边形,所述第一横梁与所述第二横梁均采用弹性材料。
3.一种微机电系统,其特征在于:包括权利要求1所述的一种位移放大结构,还包括结构框架及运动制动器,所述结构框架内分为制动区域和响应区域,所述制动区域的两内侧壁上固定安装有对称的第一电极和第二电极,所述运动制动器位于所述制动区域内,且所述运动制动器的两端分别与所述第一电极和第二电极相连接,所述位移放大结构位于所述响应区域内,所述第一横梁的前端与所述响应区域的框架相连接。
4.根据权利要求3所述的一种微机电系统,其特征在于:所述结构框架还包括有固定结合区,所述固定结合区位于所述制动区域与所述响应区域之间,所述第一横梁的前端与所述固定结合区相连接固定。
5.根据权利要求3所述的一种微机电系统,其特征在于:所述运动制动器的位移的驱动方式是热膨胀、压电驱动、磁力驱动或静电力驱动。
6.根据权利要求3所述的一种微机电系统,其特征在于:所述运动制动器为V形或角形,其顶点部分的内角的范围值为120-180度,所述第二横梁与所述顶点部分相连接。
7.根据权利要求6所述的一种微机电系统,其特征在于:所述运动制动器包括一个或多个平行的V形横梁。
8.根据权利要求3所述的一种微机电系统,其特征在于:所述运动制动器中包括电致热材料。
9.根据权利要求3所述的一种微机电系统,其特征在于:所述运动制动器沿所述第二横梁轴线方向的位移范围为25-50微米,所述运动挡板沿所述第二横梁垂直方向的位移范围为500-1000微米。
10.一种微机电系统的控制方法,应用于对权利要求3-9中的任一项所述的一种微机电系统进行的控制,其特征在于:
将电压施加到所述第一电极及所述第二电极上,从而引起所述运动制动器沿所述第二横梁的轴线方向进行移动,推动所述第二横梁的尾端产生位移;
其中,随着所述第二横梁的移动,所述第一横梁与所述第二横梁之间产生差分位移,致使所述运动挡板沿着所述第二横梁的垂直方向移动,从而实现所述微机电系统中位移的放大操作。
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