专利汇可以提供一种双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种双谐振模式耦合的微机械压电 超 声波 换能器 。换能器设有基底、结构层、底 电极 、压电层、上电极。换能器工作原理是利用正、逆 压电效应 实现机械能到 电能 或电能到机械能的转换。本实用新型在结构层上将振膜应 力 符号相反的两个部分划分为内外两个区域,其中内部区域采用边界固支的 薄膜 振动形式,外部区域采用单端固支的 悬臂梁 振动模式。通过对外部悬臂梁的几何尺寸的改变实现对其谐振 频率 的调节,从而选择性地实现:(1)当内部膜和外部梁的谐振频率相同时,可提高换能器的发射灵敏度;(2)当内部膜和外部梁的谐振频率差在-3dB内时,可以增大换能器的带宽;(3)当内部膜和外部梁的谐振频率差很大时,可实现双谐振频率振动。(ESM)同样的 发明 创造已同日 申请 发明 专利,下面是一种双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器专利的具体信息内容。
1.一种双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器,其特征在于:包括基底(4)、底电极(3)、压电层(2)和上电极(1),基底(4)背面中间部分开设槽形空腔,使基底(4)正面形成弹性结构层(41),槽形空腔周边的基底(4)作为弹性结构层(41)的固定端;弹性结构层(41)的正面依次堆叠底电极(3)、压电层(2)和上电极(1),与弹性结构层(41)共同构成振动薄膜(00);底电极(3)覆盖基底(4)正面;在弹性结构层(41)上以振膜应力正负交界线为边界划分为内外两个区域,其中外部区域(B)的弹性结构层(41)通过镂空形成若干成对的锚端和悬臂梁,内部区域(A)四周通过锚端悬空固定于基底(4)上,形成边界固支的薄膜振动形式;
所述的外部区域(B)中,悬臂梁一一对应固定在锚端上,形成单端固支的悬臂梁振动模式,每条悬臂梁末端通过连接梁与内部区域(A)中的薄膜耦合。
2.根据权利要求1所述的双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器,其特征在于:所述的弹性结构层(41)和内部区域(A)均呈圆形,外部区域(B)呈圆环形,每个所述的锚端呈矩形,若干锚端均匀分布在内部区域(A)的圆周方向,所述的悬臂梁呈圆弧形,一端固定在锚端上。
3.根据权利要求2所述的双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器,其特征在于:所述的振膜应力正负交界线为以弹性结构层(41)中心为圆心,以弹性结构层(41)半径的0.65倍为半径的圆。
4.根据权利要求1所述的双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器,其特征在于:所述的基底(4)的厚度为200μm~1mm。
5.根据权利要求1所述的双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器,其特征在于:所述的振动薄膜(00)的厚度为5~10μm,半径为100μm~1mm。
6.根据权利要求1所述的双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器,其特征在于:所述的基底(4)和弹性结构层(41)为半导体材料硅。
7.根据权利要求1所述的双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器,其特征在于:所述的槽形空腔通过在基底(4)背面选择性刻蚀形成;所述的锚端和悬臂梁通过在弹性结构层(41)上进一步刻蚀而成。
8.根据权利要求1所述的双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器,其特征在于:所述的压电层(2)中的压电材料为氮化铝、氧化锌或锆钛酸铅压电陶瓷。
9.根据权利要求1所述的双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器,其特征在于:所述的底电极(3)为硼掺杂的硅,或金属材料金、铂、铝或锡。
10.根据权利要求1所述的双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器,其特征在于:
所述的上电极(1)为金属材料金、铂、铝或锡。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
利用多传感系统检测针灸技法的装置及相应的方法 | 2020-05-08 | 120 |
一种具有俘能功能的复合式减振云台 | 2020-05-08 | 386 |
一种玻璃热弯模具加工成型的方法 | 2020-05-08 | 486 |
一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置 | 2020-05-11 | 451 |
一种超级电容器电极结构及增强方法 | 2020-05-11 | 169 |
一种宽频带振动俘能器 | 2020-05-12 | 845 |
一种间歇式测量车轮轴运动加速度状态参数的装置和方法 | 2020-05-11 | 620 |
一种新型单晶体光弹调制器 | 2020-05-11 | 308 |
一种基于滤波电路的雾化芯片驱动控制电路 | 2020-05-08 | 156 |
一种基于微能量采集的无线测温系统 | 2020-05-11 | 557 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。