专利汇可以提供薄膜晶体管阵列基板结构及其制造方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提供一种 薄膜 晶体管阵列 基板 结构,包括 薄膜晶体管 阵列基板,形成于该基板上的有机材料层,以及多个设置于该有机材料层上的黑矩阵与彩色滤光图案。本发明另提供一种薄膜晶体管阵列基板的制造方法。,下面是薄膜晶体管阵列基板结构及其制造方法专利的具体信息内容。
1.一种薄膜晶体管阵列基板结构,包括:
基板,包含薄膜晶体管阵列;
多个储存电容,形成于该基板上;
有机材料层,形成于该基板上;
多个黑矩阵与彩色滤光图案,设置于该有机材料层上;
多个第一开口,分别穿过对应的该黑矩阵与部分该有机材料层,与对应的该薄膜晶体管连接;
多个第二开口,分别穿过对应的彩色滤光图案以及部分该有机材料层,与对应的该储存电容连接;以及
多个铟锡氧化物图案层,分别形成于对应的该黑矩阵与该彩色滤光图案上,并通过对应的该第一开口与对应的该薄膜晶体管电连接以及通过对应的该第二开口与对应的该储存电容电连接,其中该第二开口的孔径相同。
2.如权利要求1所述的薄膜晶体管阵列基板结构,其中该有机材料层包含苯并环丁烷、丙烯酸或甲基硅氮烷。
3.如权利要求1所述的薄膜晶体管阵列基板结构,其中该黑矩阵由有机材料构成。
4.如权利要求1所述的薄膜晶体管阵列基板结构,其中该黑矩阵的厚度低于5μm。
5.如权利要求1所述的薄膜晶体管阵列基板结构,其中该彩色滤光图案由有机染料构成。
6.如权利要求1所述的薄膜晶体管阵列基板结构,其中该彩色滤光图案包括红色滤光图案、绿色滤光图案及蓝色滤光图案。
7.一种薄膜晶体管阵列基板结构的制造方法,包括:
提供基板,该基板包含薄膜晶体管阵列;
于该基板上涂布有机材料层;
形成多个黑矩阵于该有机材料层上;
以喷墨印刷法喷涂多个彩色滤光图案于该有机材料层上;
提供掩模,该掩模包含多个对应该黑矩阵的第一孔洞与多个对应该彩色滤光图案的第二孔洞,通过激光烧蚀法提供的激光穿过该掩模,以形成该第一开口与多个穿过该彩色滤光图案与部分该有机材料层的第二开口,该第一开口分别穿过对应的该黑矩阵与部分该有机材料层,露出对应的该薄膜晶体管,该第二开口露出多个储存电容;以及
形成多个铟锡氧化物图案层于该黑矩阵与该彩色滤光图案上,该铟锡氧化物图案层分别通过对应的该第一开口与对应的该薄膜晶体管电连接,
其中该第二孔洞孔径大小与其对应的该彩色滤光图案吸收激光能量大小成反比。
8.如权利要求7所述的薄膜晶体管阵列基板结构的制造方法,其中该有机材料层包含苯并环丁烷、丙烯酸或甲基硅氮烷。
9.如权利要求7所述的薄膜晶体管阵列基板结构的制造方法,其中该黑矩阵通过光刻法或激光烧蚀法形成于该有机材料层上。
10.如权利要求9所述的薄膜晶体管阵列基板结构的制造方法,其中该激光烧蚀法的激光能量密度介于10J/cm2~0.25mJ/cm2。
11.如权利要求7所述的薄膜晶体管阵列基板结构的制造方法,其中该黑矩阵由有机材料构成。
12.如权利要求7所述的薄膜晶体管阵列基板结构的制造方法,其中该喷墨印刷法的喷涂速率介于10pl/drop~5μl/drop。
13.如权利要求7所述的薄膜晶体管阵列基板结构的制造方法,其中该彩色滤光图案由有机染料构成。
14.如权利要求7所述的薄膜晶体管阵列基板结构的制造方法,其中该彩色滤光图案包括红色滤光图案、绿色滤光图案及蓝色滤光图案。
15.如权利要求7所述的薄膜晶体管阵列基板结构的制造方法,其中该铟锡氧化物图案层通过溅射法或涂布法形成于该黑矩阵、该彩色滤光图案及该第一与第二开口表面。
本发明涉及一种半导体结构,特别涉及一种薄膜晶体管阵列基板结构及其制造方法。
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