Method and device for electron beam exposure
专利汇可以提供Method and device for electron beam exposure专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且PURPOSE:To contrive automatic of the exposing operation by a method wherein a code, with which an exposure controlling data can be specified, is given to an exposed unit, the data is corresponded to the code, the code is detected before the exposure is performed, the data corresponding to the code is read out and the control of the exposure is performed. CONSTITUTION:The code corresponding to the exposure controlling data is given to the exposed unit 21 and stored in the memory storage 23 of an electronic computer. Then, in accordance with the command of a CPU22, a demodulator 32 reads out the code by scanning an electron beam on the mask indicating the code before performing the exposure and outputs it to the CPU22. The CPU22 reads out the exposure controlling data corresponding to the code feeded from the memory storage 23, which is transferred to a controlling section 25 and an exposing operation is controlled, thereby enabling to accomplish the automation of the exposing operation.，下面是Method and device for electron beam exposure专利的具体信息内容。
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