由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体及其合成方法
专利汇可以提供由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体及其合成方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种由羧 酸化 合物合成的 光刻 胶 树脂 单体 及其合成方法，属于化学合成及光刻材料领域。该树脂单体的结构通式为： 式中，R为直链或支链烷基。该树脂单体的合成方法为：将乙烯基醚醇类化合物与 丙烯酸 类化合物经酯化反应反应得到中间体；将中间体与2,5-二 氧 代双环[2.2.2]辛烷-1,4-二 羧酸 进行反应生成所述光刻胶树脂单体。本发明的树脂单体包括缩 醛 结构和多环、多酯结构，其能够防止光致产酸剂的扩散，改善边缘粗糙度，增加 对比度 ，提高 分辨率 ，具有优异的耐 刻蚀 性和脂溶性，且其制备方法简单方便。，下面是由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体及其合成方法专利的具体信息内容。
1.一种由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体，其特征在于，所述光刻胶树脂单体的结构通式为式I：
式I中，R为直链或支链烷基。
2.根据权利要求1所述的一种由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体，其特征在于，所述光刻胶树脂单体的结构式为式II或式III：
3.一种如权利要求1或2所述的由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体的合成方法，其特征在于，包括以下步骤：
将乙烯基醚醇类化合物与丙烯酸类化合物进行酯化反应，得到中间体；
将所述中间体与2,5-二氧代双环[2.2.2]辛烷-1,4-二羧酸进行加成反应，得到所述光刻胶树脂单体。
4.根据权利要求3所述的一种由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体的合成方法，其特征在于，所述乙烯基醚醇类化合物与所述丙烯酸类化合物的摩尔比为1:(1～1.2)。
5.根据权利要求3所述的一种由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体的合成方法，其特征在于，所述中间体与所述2,5-二氧代双环[2.2.2]辛烷-1,4-二羧酸的摩尔比为(2～
2.2):1。
6.根据权利要求3所述的一种由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体的合成方法，其特征在于，所述酯化反应的步骤，具体包括：
将乙烯基醚醇类化合物与丙烯酸类化合物置于溶剂中，在三乙胺作用下发生酯化反应，得到中间体。
7.根据权利要求3所述的一种由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体的合成方法，其特征在于，所述加成反应的步骤，具体包括：
将所述中间体与2,5-二氧代双环[2.2.2]辛烷-1,4-二羧酸置于75～85℃的条件下进行搅拌反应后，再经减压蒸馏，得到所述光刻胶树脂单体。
8.根据权利要求3所述的一种由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体的合成方法，其特征在于，所述乙烯基醚醇类化合物的结构式为式IV或式V：
9.根据权利要求3所述的一种由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体的合成方法，其特征在于，所述丙烯酸类化合物为甲基丙烯酰氯。
10.一种如权利要求1或2所述的由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体在光刻材料中的应用。
由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体及其合成方法
技术领域
背景技术
发明内容
具体实施方式
79.3mmol，收率为82.9％)。
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