一种透射电子显微镜检测区域的定位方法
专利汇可以提供一种透射电子显微镜检测区域的定位方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种透射 电子 显微镜 检测区域 的 定位 方法，其主要是：将标记好的样品放入配有侧插式样品台的透射电子显微镜样品杆，确保样品上标记的直线平行于样品杆的轴向方向。样品检测时，每完成一个检测区域的 数据采集 工作时，需记录样品杆参数：X、Y、Z、α、β，其中X、Y、Z为正在检测区域的坐标值，α、β为此时样品杆的两个倾转 角 。对于需要补充数据的检测区域，根据记录的样品杆参数：X、Y、Z、α、β，采用下式计算得出其目前坐标X0、Y0:其中X0、Y0为再次检测时上次检测区域此时的坐标值，根据X0、Y0坐标找到 指定 区域。本 发明 不需要添加 硬件 设备，操作简单，易行；而且计算简单，易于编程实现；可用于透射电子显微镜样品再次检测时定位之前检测的区域。，下面是一种透射电子显微镜检测区域的定位方法专利的具体信息内容。
1.一种透射电子显微镜检测区域的定位方法，其特征在于：
⑴样品进行标记
1)所用的透射样品尺寸为φ3mm，而且再次检测的样品无形状和尺寸上的改变，所述透射样品包括：薄膜样品和粉末样品；
2)根据1)中不同的样品采用相应的标记方法进行处理；
3)在尺寸φ3mm透射样品上做样品标记；
⑵样品放入样品杆
1)将标记好的样品放入配有侧插式样品台的透射电子显微镜样品杆，确保有标记的样品面在检测时面向透射电子显微镜的样品观察室，即有标记的样品面指向荧光屏或CCD相机；
2)确保样品上标记的直线平行于样品杆的轴向方向，使用放大镜辅助，然后将样品杆放入透射电子显微镜进行正常检测工作；
⑶样品检测时的记录
样品检测时，每完成一个检测区域的数据采集工作时，需记录样品杆参数：X、Y、Z、α、β，其中X、Y、Z为正在检测区域的坐标值，α、β为此时样品杆的两个倾转角；
⑷样品重新检测时对上次检测区域的查找
对于需要补充数据的检测区域，根据记录的样品杆参数：X、Y、Z、α、β，采用下式计算得出其目前坐标X0、Y0:
其中X0、Y0为再次检测时上次检测区域此时的坐标值，根据X0、Y0坐标找到指定区域。
2.根据权利要求1所述的透射电子显微镜检测区域的定位方法，其特征在于：样品标记为单直线、多直线标定或双面标定。
3.根据权利要求1或2所述的透射电子显微镜检测区域的定位方法，其特征在于：样品标记一面做一个长度为1mm-1.5mm的直线标记，并确保直线经过样品的中心。
一种透射电子显微镜检测区域的定位方法
技术领域
背景技术
发明内容
具体实施方式
＝-548，Y0＝-220)查找析出相，拍摄图像补充数据等，最后找到析出相坐标值为(X0＝-590,Y0＝-204)，如图5所示。分析坐标误差来源与两个方面：1)标准的透射样品尺寸为φ 3mm，而透射电子显微镜样品杆中放样品区域尺寸一般为φ 3.05mm(特殊样品杆除外)，因此样品坐标会在0.05mm的范围改变。2)样品的标记直线没有和样品杆完全平行，属于角度误差，误差范围不大。总的来说误差范围50μm以下，可在计算的坐标视场内找到目标检测区域或移动一个视场找到目标检测区域。
15.4°,β＝15.1°)如图6所示，取下样品。
30s。将透射样品按照前面相同的步骤重新安装样品，装入透射电子显微镜查看裂纹尖端是否有变化，根据之间的样品杆参数计算出析出相区域的坐标值(X0＝-534,Y0＝-346)，按照坐标值查找裂纹尖端，拍摄形貌，最后找到析出相坐标值为(X0＝-485,Y0＝-361)，如图7所示，同实例1裂纹尖端坐标误差50μm左右，能够定位到上次检测的区域。误差来源同实例1。
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