测量系统和测量方法
阅读：784发布：2024-02-15
专利汇可以提供测量系统和测量方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 提供测量系统和测量方法。在该测量方法中，使用用于支承 工件 (2)的 机械臂 (5)、用于支承检测头(3)的作为支承机构的三维测量仪(4)、以及用于将检测头(3)和工件(2)互相固定的作为固定部的抵接 块 (6)，使固定于 工作台 (41)的抵接块(6)和工件(2)相抵接，在检测头(3)和工件(2)互相固定的状态下利用检测头(3)来测量工件(2)。，下面是测量系统和测量方法专利的具体信息内容。
1.一种测量系统，其特征在于，
该测量系统包括：
机械臂，其用于支承工件和检测头中的任一者；
支承机构，其用于支承所述工件和所述检测头中的另一者；以及
固定部，其用于将所述检测头和所述工件互相固定。
2.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，
所述固定部设置于用于支承所述检测头的所述支承机构，
所述机械臂具有用于把持所述工件的手爪，
所述手爪能够以把持着所述工件的状态抵接于所述固定部。
3.根据权利要求1或2所述的测量系统，其特征在于，
所述支承机构是具有工作台和移动机构的测量仪，该工作台用于载置测量对象物，该移动机构能够安装所述检测头且能够使所述检测头相对于所述工作台移动，所述机械臂能够支承所述工件且能够使所述工件移动到所述工作台的表面，所述固定部设置于所述工作台的表面，能够抵接于所述工件或者所述机械臂。
4.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，
所述支承机构是用于载置并且输送所述工件的输送机，所述机械臂能够安装所述检测头并且能够使所述检测头移动到所述输送机，所述固定部设置于所述机械臂并且能够抵接于所述输送机的表面或者所述工件。
5.一种测量方法，其特征在于，
在该测量方法中，使用用于支承工件和检测头中的任一者的机械臂以及用于支承所述工件和所述检测头中的另一者的支承机构，
使所述支承机构和所述机械臂相抵接，或者，使所述支承机构和支承于所述机械臂的所述工件或者所述检测头相抵接，或者，使所述机械臂和支承于所述支承机构的所述工件或者所述检测头相抵接，
在所述检测头和所述工件互相固定的状态下，利用所述检测头来测量所述工件。
测量系统和测量方法
技术领域
[0001] 本发明涉及测量系统和测量方法。
背景技术
[0002] 以往，为了测量物品的尺寸形状等，使用与作为测量对象物的工件接触的测量仪。例如，在三维测量仪中，利用包含立柱和横柱在内的门型的移动机构等使检测头(探头)相对于在工作台上载置的工件移动，使该检测头的触头接触(接触式探头的情况)或者靠近(非接触激光探头等的情况)工件。
[0004] 例如，在多关节型的机械臂等安装检测头，使检测头移动从而使其接触或者靠近工件(参照文献1：日本特开2015－208791号公报)。
[0005] 在文献1的测量系统中，在机械臂设置位置基准构件，在用于支承工件的工作台设置接触检测部件，通过在测量之前使上述位置基准构件和接触检测部件接触或者靠近从而进行坐标的校正，谋求检测头所检测的检测位置的高精度化。
[0006] 另一方面，机械臂大多用于工件的输送，在生产线的中途进行工件的测量时，将由机械臂支承的工件导入到预定的测量装置从而进行测量(参照文献2：日本特开平11－330204号公报)。
[0007] 此外，为了提高机械臂所输送的工件的输送位置精度，也会根据图像来检测利用机械臂进行输送的过程中的工件的姿势，并进行输送位置的校正(参照文献3：日本特开2004－249391号公报)。
[0008] 像前述的文献2那样，在利用测量装置测量由机械臂支承的工件时，利用机械臂将工件导入到测量装置，将工件载置于测量位置之后留下工件而使机械臂退避，在仅有工件的状态下进行测量。然后，在测量之后再次将机械臂导入到测量位置，使机械臂抓住测量完毕的工件而将该工件取出，并将该工件移送到下一个工序。
[0009] 但是，在进行这样的动作的情况下，需要用于抓住或者松开工件的动作时间，存在无法缩短生产节拍时间、无法提升处理效率这样的问题。
[0010] 相对于此，像文献3那样，考虑省略抓住或者松开工件的动作，以利用机械臂抓着工件的状态进行测量。
[0011] 但是，存在由机械臂支承的工件的相对于测量装置的相对位置不稳定，难以进行高精度的测量这样的问题。
[0012] 另一方面，像前述的文献1那样，可明确的是，在利用支承于机械臂的检测头进行工件的位置检测的情况下，机械臂的驱动马达的振动、作为来自周围的扰乱的振动向检测头传递，上述振动作为与相对于工件的相对位置相关的微小的干扰被检测出，其会对位置精度产生影响。
[0013] 而且，可明确的是，即使在将工件以支承于机械臂的方式导入到测量装置的情况下，也能检测出同样的由振动引起的干扰。
[0014] 相对于此，尝试通过提高机械臂的刚度等来谋求位置精度的提高，但即使提高刚度也难以避免振动的传递，寻求其改善。
发明内容
[0015] 本发明的主要目的在于提供能够利用机械臂使检测头或者工件移动、能够提高处理效率、并且能够确保高精度的测量系统和测量方法。
[0016] 本发明的另一个目的在于提供能够利用机械臂支承检测头或者工件并且能够抑制从机械臂向检测头或者工件传递的振动的影响的测量系统和测量方法。
[0017] 本发明的测量系统的特征在于，包括：机械臂，其用于支承工件和检测头中的任一者；支承机构，其用于支承所述工件和所述检测头中的另一者；以及固定部，其用于将所述检测头和所述工件互相固定。
[0018] 在本发明中，通过利用固定部将检测头和工件互相固定，从而使得由机械臂支承的工件相对于检测头的相对位置稳定，能够进行高精度的测量。此外，即使有从机械臂向工件或者检测头传递的振动，也能够抑制其影响，能够提高检测头对工件的测量精度。
[0019] 在本发明中，作为机械臂，只要是现有的多关节机器人(垂直多关节机器人)、SCARA机器人(水平多关节机器人)、直角坐标机器人以及并联机器人等能够安装工件或者检测头并使其移动到任意位置的机器人，就可以适当地使用。
[0020] 作为支承机构，只要能够将用于测量工件的检测头和被测量的工件中的一者相对于被机械臂移动的工件和检测头中的另一者支承即可。作为支承机构，除了使用单纯的支承构造体之外，也可以使用现有的三维测量仪等。
[0021] 作为固定部，只要能够将检测头和工件互相固定即可，例如可以是设置于支承机构且能够抵接于机械臂侧(机械臂或者支承于该机械臂的工件或检测头)的部分，或者设置于机械臂且能够抵接于支承机构侧(支承机构或者支承于该支承机构的工件或检测头)的部分。
[0022] 在任一个结构中，都期望形成为以尽量短的路径将作为互相固定的对象的工件和检测头连结起来的结构。
[0023] 即，在将固定部设置于支承机构的情况下，优选的是，固定部直接抵接于工件(或者检测头)，或者抵接于机械臂的尽量靠近工件(或者检测头)的部分。或者，在将固定部设置于机械臂的情况下，优选的是，固定部直接抵接于工件(或者检测头)，或者抵接于支承机构的尽量靠近工件(或者检测头)的部分。
[0024] 检测头的功能很明显，但在使检测头和固定部抵接时，其抵接于与外壳、机械臂相连接的连接部分，避免了对于测针等测量部分的抵接。
[0025] 在本发明的测量系统中，优选的是，所述固定部设置于用于支承所述检测头的所述支承机构，所述机械臂具有用于把持所述工件的手爪，所述手爪能够以把持着所述工件的状态抵接于所述固定部。
[0026] 在本发明中，由于手爪能以把持工件的状态抵接于固定部，因此能够实现由互相的固定达成的高精度化，并且能够在最靠近工件的部分有效地抑制振动。并且，由于避免了使工件直接抵接于固定部，因此能够保护工件的表面。
[0027] 在本发明的测量系统中，优选的是，所述支承机构是具有工作台和移动机构的测量仪，该工作台用于载置测量对象物，该移动机构能够安装所述检测头且能够使所述检测头相对于所述工作台移动，所述机械臂能够支承所述工件且能够使所述工件移动到所述工作台的表面，所述固定部设置于所述工作台的表面且能够抵接于所述工件或者所述机械臂。
[0028] 在本发明中，可以使用现有的机械臂和测量仪，能够通过在工作台上设置固定部从而容易地实施本发明。
[0029] 作为测量仪，例如可以使用现有的三维测量仪、形状测量仪或者轮廓测量仪等。上述测量仪能够使检测头相对于载置工件的工作台移动到任意位置，能够通过在工作台的表面的任意位置设置固定部，从而将该位置设为工件的固定位置也就是测量位置。
[0030] 在本发明的测量系统中，优选的是，所述支承机构是用于载置并且输送所述工件的输送机，所述机械臂能够安装所述检测头并且能够使所述检测头移动到所述输送机，所述固定部设置于所述机械臂并且能够抵接于所述输送机的表面或者所述工件。
[0031] 在本发明中，可以使用现有的机械臂和输送用输送机，能够通过在工作台上设置固定部从而容易地实施本发明。
[0032] 作为输送用的输送机，可以恰当地使用能够将工件以预定间隔载置的带式输送机、逐个把持工件的搬运输送机(handler conveyor)等现有的输送机。
[0033] 本发明的测量方法的特征在于，使用用于支承工件和检测头中的任一者的机械臂和用于支承所述工件和所述检测头中的另一者的支承机构，使所述支承机构和所述机械臂相抵接，或者，使所述支承机构和支承于所述机械臂的所述工件或者所述检测头相抵接，或者，使所述机械臂和支承于所述支承机构的所述工件或者所述检测头相抵接，在所述检测头和所述工件互相固定的状态下，利用所述检测头来测量所述工件。
[0034] 在本发明中，通过利用固定部使检测头和工件互相固定，从而使得由机械臂支承的工件的相对位置稳定，能够进行高精度的测量。而且，即使有从机械臂向工件传递的振动，也能够抑制其影响，能够提高检测头对工件的测量精度。
[0035] 根据本发明，能够提供能够利用机械臂使检测头或者工件移动、能够提高处理效率并且能够确保高精度的测量系统和测量方法。并且，采用本发明，能够提供能够利用机械臂支承检测头或者工件并且能够抑制从机械臂向检测头或者工件传递的振动的影响的测量系统和测量方法。附图说明
[0036] 图1是表示本发明的第1实施方式的整体结构的示意图。
[0037] 图2是表示所述第1实施方式的测量状态的侧视图。
[0038] 图3是表示所述第1实施方式的测量状态的俯视图。
[0039] 图4是表示所述第1实施方式的固定部的变形的立体图。
[0040] 图5是表示本发明的第2实施方式的整体结构的示意图。
[0041] 图6是表示所述第2实施方式的测量状态的侧视图。
[0042] 图7是表示所述第2实施方式的测量状态的俯视图。
[0043] 图8是表示本发明的第3实施方式的整体结构的示意图。
[0044] 图9是表示所述第3实施方式的测量状态的侧视图。
[0045] 图10是表示所述第3实施方式的测量状态的俯视图。
[0046] 图11是表示本发明的第4实施方式的整体结构的示意图。
具体实施方式
[0047] 以下，根据附图说明本发明的具体的实施方式。
[0048] 〔第1实施方式〕
[0049] 在图1中，测量系统1使检测头3与作为测量对象物的工件2接触，从而高精度地测量接触部位的坐标位置。
[0050] 检测头3是接触探头(接触式探头)，通过使触头31与工件2的表面接触，从而能够检测接触位置的三维位置。作为检测头3，也可以使用向工件2的表面照射激光从而检测自该表面到光投射位置为止的距离的激光探头等非接触式探头。
[0051] 检测头3安装于作为支承机构的三维测量仪4。
[0052] 三维测量仪4具有通常用于载置测量对象物的工作台41。在工作台41的上表面呈门型地构成有一对立柱42和水平的横梁43。能够在X轴方向上相对于横梁43滑动的滑动件44支承于该横梁43，测杆45从滑动件44朝下延伸，在该测杆45的顶端安装有检测头3。
[0053] 测杆45能够相对于滑动件44在Z轴方向上升降，滑动件44能够沿着横梁43在X轴方向上移动。能够利用设置于工作台41的侧面的移动机构46使从立柱42到测杆45的门型构造在与纸面交叉的Y轴方向上移动。
[0054] 因而，安装于测杆45的检测头3能够基于包含前述的立柱42在内的门型构造的XYZ三轴移动而相对于工作台41进行三维移动，从而能够与配置在工作台41上的工件2的表面的任意位置接触。
[0055] 利用机械臂5将工件2支承于工作台41上。
[0056] 机械臂5是多关节式的工业用机器人，在其顶端具有能够夹持工件2的一对手爪51。
[0057] 在机械臂5的附近设置有储存部59，在储存部59的上方载置有供测量用的工件2。
[0058] 机械臂5能够利用手爪51夹持储存部59上的工件2，并将夹持的工件2输送到三维测量仪4的工作台41上，将工件2保持在工作台41上的预定位置。
[0059] 在工作台41固定有作为固定部的抵接块6。
[0060] 在图2和图3中示出了机械臂5的一对手爪51和固定于工作台41的抵接块6。
[0062] 抵接块6具有固定于工作台41的基部61和自基部61立起的壁部62，在从侧面观察的情况下，基部61和壁部62呈字母L形。由机械臂5保持的工件2能够抵接于壁部62，在抵接的状态下，利用抵接块6抑制工件2的振动。
[0063] 另外，在将基部61固定于工作台41时，既可以使用在工作台41上准备的螺孔等，也可以使用粘合带或者粘接剂等。
[0064] 本实施方式的工件2的测量过程如下。
[0065] 作为测量准备，预先在三维测量仪4安装测量所使用的检测头3，并且将作为固定部的抵接块6固定。此外，预先在储存部59载置作为测量对象物的工件2。
[0066] 在测量时，使机械臂5朝向储存部59(图1的单点划线的状态)，并利用手爪51夹持工件2。接着，使机械臂5反转而朝向三维测量仪4，将工件2导入到工作台41上。
[0067] 在工作台41上，使工件2向与抵接块6相对的位置移动，进而使工件2以微速前进，使工件2的前表面抵接于抵接块6的表面(参照图2和图3)。
[0068] 接着，在以预定的力使工件2和抵接块6抵接在一起的状态下，使三维测量仪4进行工作，使检测头3进行移动而使触头31与工件2接触，从而检测该工件2的坐标位置。
[0069] 对工件2反复进行坐标检测，直到包含需要进行检测的所有的部位。在期望的检测结束之后，使检测头3自工件2的周边退避，再次使机械臂5进行工作从而搬出工件2。搬出目的地既可以是原来的储存部59，也可以设定其他的储存部等。
[0070] 以上，对1个工件2进行了一系列的测量。
[0071] 接着，利用机械臂5夹持另一个工件2，通过相同的动作进行由检测头3实现的测量。以下，重复相同的动作，在完成了对所有的工件2进行的一系列的测量之后，完成测量动作。
[0072] 在上述的第1实施方式中，获得了下述的效果。
[0073] 在本实施方式中，利用机械臂5将工件2导入到三维测量仪4，并且以由机械臂5夹持着工件2的状态进行由三维测量仪4实现的测量。因此，能够消除以下这样的复杂的过程：将被机械臂5搬入到三维测量仪4的工件2载置于工作台41的预定位置；在使机械臂5退避之后进行由检测头3实现的测量；再次导入机械臂5并夹持工件2从而将工件2搬出，能够提升处理效率。
[0074] 在本实施方式中，在利用机械臂5夹持着工件2的状态下进行由检测头3实现的测量。此时，通过利用作为固定部的抵接块6使检测头3和工件2互相固定，从而能够防止检测头3和工件2的相对位置的变动，能够进行高精度的测量。
[0075] 并且，即使存在从机械臂5向工件2传递的振动，也能够抑制其影响，能够提高检测头3对工件2进行测量的测量精度。
[0076] 由于作为固定部的抵接块6直接抵接于工件2，因此能够可靠地进行工件2相对于三维测量仪4的定位，并且能够可靠地抑制工件2的振动。
[0077] 抵接块6是由基部61和壁部62形成的简单的结构，容易制造。而且，能够利用基部61以稳定的状态将抵接块6固定在工作台41上，并且能够利用立起的壁部62容易地进行抵接块6与工件2彼此的抵接。
[0078] 由于作为固定部的抵接块6固定于三维测量仪4的工作台41上，因此能够通过选择抵接块6的固定位置，从而将由检测头3对工件2进行的坐标检测动作的实施位置自由地设置于工作台41的任意位置(例如工作台41上的最靠近机械臂5的区域)。
[0079] 由于使用三维测量仪4作为支承结构，因此能够发挥其原本的功能来安装检测头3，能够支承检测头3且使检测头3移动到任意的位置。
[0080] 在前述的第1实施方式中，使用由基部61和壁部62形成的抵接块6作为固定部，工件2的平坦的表面抵接于平坦的壁部62。
[0081] 在此，在工件2的表面是球面、曲面或者具有凹凸的形状的情况下，该工件2与平坦的壁部62点接触，无法得到稳定的抵接状态，存在无法充分地抑制工件2的振动的可能性。
[0082] 对于这样的工件2，可以使用其他形状的抵接块。
[0083] 在图4中，抵接块6A具有与前述的抵接块6(参照图2和图3)相同的基部61和壁部62。在壁部62的表面设置有3根抵接销63。因而，表面是球面、曲面或者具有凹凸的形状的工件2能够与3根抵接销63的各顶端分别抵接，能够获得与所谓的三点支承同样稳定的抵接状态。
[0084] 〔第2实施方式〕
[0085] 图5、图6及图7表示本发明的第2实施方式。
[0086] 本实施方式的基本结构与前述的第1实施方式(参照图1、图2及图3)的基本结构相同。因此，对于共同的部分省略说明，以下对不同的部分进行说明。
[0087] 在图5中，针对测量系统1B而言，在作为支承机构的三维测量仪4安装有检测头3，并且作为固定部的抵接块6固定于工作台41上。
[0088] 机械臂5能够利用顶端的手爪51夹持在储存部59上准备的工件2，将工件2导入到三维测量仪4的工作台41上，并将抵接块6和工件2以抵接状态保持。
[0089] 在该状态下，通过启动三维测量仪4，使检测头3移动而与工件2接触，从而能够检测工件2的任意表面的坐标位置。
[0090] 在前述的第1实施方式中，使由手爪51夹持的工件2直接抵接于抵接块6的壁部62(参照图2和图3)。
[0091] 如图6和图7所示，在本实施方式中，与第1实施方式相比手爪51形成为较长，成为自夹持的工件2突出来的状态。此外，在主体52的下表面侧设置有抵接杆53。抵接杆53的顶端和一对手爪51的顶端配置于彼此相同的假想平面。
[0092] 因而，在测量动作的过程中，在利用机械臂5使工件2靠近抵接块6时，以一对手爪51的顶端和抵接杆53的顶端这三点抵接于壁部62的表面，借助上述的手爪51和抵接杆53将工件2固定于抵接块6。
[0093] 在这样的本实施方式中，根据与前述的第1实施方式相同的测量过程，将工件2导入到三维测量仪4，通过在将工件2固定于作为固定部的抵接块6的状态下，保持手爪51夹持着工件2的状态，使检测头3与工件2的表面接触，从而能够检测工件2的坐标位置。
[0094] 因而，根据本实施方式，也能获得与前述的第1实施方式相同的效果。而且，由于手爪51在把持工件2的状态下抵接于抵接块6，因此能够利用最靠近工件2的部分固定相对位置，并且能够有效地抑制振动。并且，能够避免工件2和抵接块6的直接接触，能够保护工件2的表面。
[0095] 另外，在本实施方式中，为了使抵接杆53能到达工件2的下表面侧，期望的是，在储存部59形成能够收纳抵接杆53的槽部58等。或者也可以是，借助支承台等将工件2载置于储存部59的上表面，能够将抵接杆53导入到支承台之间。
[0096] 〔第3实施方式〕
[0097] 图8、图9及图10表示本发明的第3实施方式。
[0098] 本实施方式的基本结构与前述的第1实施方式(参照图1、图2及图3)的基本结构相同。因此，对于共同的部分省略说明，以下对不同的部分进行说明。
[0099] 在图8中，针对测量系统1C而言，在作为支承机构的三维测量仪4安装有检测头3。
[0100] 机械臂5能够利用顶端的手爪51夹持在储存部59上准备的工件2，将工件2导入到三维测量仪4的工作台41上。
[0101] 在该状态下，通过启动三维测量仪4，使检测头3移动而与工件2接触，从而能够检测工件2的任意表面的坐标位置。
[0102] 在前述的第1实施方式中，通过将作为固定部的抵接块6固定于工作台41上，并使由手爪51夹持的工件2抵接于抵接块6的壁部62，从而将工件2和抵接块6互相固定(参照图2和图3)。
[0103] 如图9和图10所示，在本实施方式中，作为固定部的抵接块6C形成于主体52的下表面。
[0104] 因而，在利用机械臂5夹持工件2的状态下，通过使工件2移动到工作台41上，进而使其下降而使得抵接块6C抵接于工作台41，从而借助抵接块6C、主体52及手爪51将工件2和工作台41互相固定。
[0105] 在这样的本实施方式中，根据与前述的第1实施方式相同的测量过程，将工件2导入到三维测量仪4，使作为固定部的抵接块6C与工作台41相抵接。然后，通过在将工件2和工作台41固定的状态下，保持用手爪51夹持着工件2的状态，使检测头3与工件2的表面接触，从而能够检测该工件2的坐标位置。
[0106] 因而，根据本实施方式，也能获得与前述的第1实施方式相同的效果。
[0107] 并且，在本实施方式中，能够在工作台41上的任意位置随时进行由检测头3对工件2进行的测量。即，在第1实施方式中，需要预先将抵接块6固定于工作台41上的恰当的位置，并且在变更测量位置时需要使抵接块6移动。与之相对地，在本实施方式中，由于抵接块6设置于机械臂5，因此能够使抵接块6抵接于工作台41上的任意的位置，在变更测量位置时不需要特别的操作，能够提升操作性。
[0108] 〔第4实施方式〕
[0109] 图11表示本发明的第4实施方式。
[0110] 在前述的第1实施方式～第3实施方式中，分别将检测头3安装于作为支承机构的三维测量仪4，并且利用机械臂5夹持工件2。而且，针对固定部而言，在工作台41固定抵接块6、6A或者在机械臂5形成抵接块6C，由此在将工作台41和工件2互相固定的状态下进行由三维测量仪4和检测头3实现的测量。
[0111] 与之相对地，在本实施方式的测量系统1D中，使用输送用的输送机7作为支承机构，在其载物面71上支承工件2。沿着输送机7设置机械臂5，检测头3D支承于机械臂5。
[0112] 针对检测头3D而言，通过使摆动臂32D的顶端的触头31D与工件2的表面接触，并在该状态下利用内部的驱动机构使摆动臂32D在其长度方向上移动，从而能够测量工件2的表面的轮廓形状或者表面粗糙度。
[0113] 机械臂5支承检测头3D并且具备从支承部分向下方延伸的作为固定部的抵接杆6D。
[0114] 通过使抵接杆6D抵接于载物面71上的工件2附近位置，从而能够将载置于载物面71的工件2和支承于机械臂5的检测头3D互相固定。
[0115] 在这样的本实施方式中，在输送机7的上游侧将工件2载置于载物面71并将其向下游侧输送。在输送的工件2到达机械臂5的附近时，机械臂5将检测头3D配置于工件2的上方，该机械臂5下降而使抵接杆6D抵接于载物面71。由于在该状态下成为工件2和检测头3D互相固定的状态，因此使检测头3D进行工作而测量工件2的表面。
[0116] 由此，在本实施方式中，由于是利用输送机7输送工件2，因此不需要利用机械臂5夹持或者松开工件2的动作，不需要为此所需的动作时间，能够提高作业效率。
[0117] 并且，能够在工件2和检测头3D互相固定的状态下测量工件2的表面，检测头3D和工件2的相对位置固定，从而能够进行高精度的测量，并且能够抑制从机械臂5向检测头3D传递的振动的影响。
[0118] 〔其他的实施方式〕
[0119] 另外，本发明并不限定于前述的实施方式，能够实现本发明的目的的范围内的变形等包含在本发明中。
[0120] 在前述的第1实施方式～第3实施方式的各实施方式中，使用现有的多关节机器人(垂直多关节机器人)作为机械臂5。但是，也可以使用其他形式的机械臂，只要是例如SCARA机器人(水平多关节机器人)、直角坐标机器人以及并联机器人等能够安装工件2或者检测头3并能够使其移动到任意位置的机器人，就可以适当地使用。
[0121] 在前述的第1实施方式～第3实施方式的各实施方式中使用三维测量仪4作为支承机构，在第4实施方式中使用输送机7作为支承机构，但上述机构也可以是其他形式的测量仪、输送装置等。作为支承机构，只要能够将用于测量工件2的检测头3和被测量的工件2中的一者相对于被机械臂5移动的工件2和检测头3中的另一者支承即可，并不限于测量仪，也可以是单纯的支承构造体。
[0122] 在前述的各实施方式中，使用接触探头(接触式探头)作为检测头3、3D，通过使触头31、31D与工件2的表面接触从而对接触位置的三维位置进行检测。但是，作为本发明的检测头，也可以使用向工件的表面照射激光从而检测自该表面到光投射位置为止的距离的激光探头等非接触式探头。
[0123] 在前述的第1实施方式～第2实施方式中，使用固定于工作台41的抵接块6、6A作为固定部。此外，在第3实施方式～第4实施方式中，使用形成于机械臂5的抵接块6C或者抵接杆6D作为固定部。针对固定部而言，并不限于上述各结构，只要能够将检测头3、3D和工件2互相固定即可，例如可以是设置于支承机构且能够抵接于机械臂侧(机械臂5或者支承于该机械臂5的工件2或检测头3、3D)的部分、或者设置于机械臂5且能够抵接于支承机构侧(三维测量仪4、输送机7等支承机构或者支承于该支承机构的工件2或检测头3)的部分。
[0124] 在任一个结构中，都期望形成为以尽量短的路径将作为互相固定的对象的工件2和检测头3连结起来的结构。
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