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一种多层级立式石英舟及其加工工艺

阅读：503发布：2020-05-08

专利汇可以提供一种多层级立式石英舟及其加工工艺专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开一种多层级立式石英舟及其加工工艺，包括上端板、下端板、上开槽棒、下开槽棒、第一环片、第二环片、第一石英钉、第二石英钉，所述所述上端板与下端板之间焊接有上开槽棒、下开槽棒，所述上开槽棒、下开槽棒外围固定焊接有固定柱与上端板与下端板固定焊接，所述上开槽棒、下开槽棒内设置有第一环片、第二环片，所述第一环片、第二环片上通过粘接固定连接有第一石英钉、第二石英钉。，下面是一种多层级立式石英舟及其加工工艺专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种多层级立式石英舟，其特征在于：包括上端板(1)、下端板(2)、上开槽棒(3)、下开槽棒(4)、第一环片(5)、第二环片(6)、第一石英钉(7)、第二石英钉(8)，所述所述上端板(1)与下端板(2)之间焊接有上开槽棒(3)、下开槽棒(4)，所述上开槽棒(3)、下开槽棒(4)外围固定焊接有固定柱(9)与上端板(1)与下端板(2)固定焊接，所述上开槽棒(3)、下开槽棒(4)内设置有第一环片(5)、第二环片(6)，所述第一环片(5)、第二环片(6)上通过粘接固定连接有第一石英钉(7)、第二石英钉(8)。
2.根据权利要求1所述的一种多层级立式石英舟，其特征在于：所述第一环片(5)、第二环片(6)结构相同，且在第一环片(5)上固定对称粘接有第一石英钉(7)，所述第二环片(6)上固定对称粘接有第二石英钉(8)，所述第一石英钉(7)长度小于第二石英钉(8)长度3-
5mm。
3.根据权利要求1所述的一种多层级立式石英舟，其特征在于：位于所述上开槽棒(3)所在位置的左右对称开有两个上圆弧槽，位于所述下开槽棒(4)所在位置开有一个下圆弧槽，所述上下圆弧槽大小相同，且位于下圆弧槽与上圆弧槽之间左右对称开有小弧槽。
4.根据权利要求1所述的一种多层级立式石英舟，其特征在于：所述上端板(1)、下端板(2)上的上、下、左象限点位置均开有圆弧，所述上、下象限点位置的圆弧向外，左象限点位置开有的圆弧向内。
5.根据权利要求1所述的一种多层级立式石英舟，其特征在于：所述下端板(2)上开有内口，所述内口上下象限点位置固定对称开有弧口，所述弧口角度100度；
所述下端板(2)上弧口边沿固定设有3个带有半圆的弧形平台阶槽；
所述下端板(2)上内口边沿位于下象限点位置的弧口与弧形平台阶槽之间固定开有呈坡角的弧形坡角台阶槽，所述坡角为20度。
6.根据权利要求1所述的一种多层级立式石英舟，其特征在于：所述上开槽棒(3)、下开槽棒(4)上开有若干大小相同凹槽，且上开槽棒(3)宽度大于下开槽棒(4)宽度。
7.根据权利要求1-6所述的一种多层级立式石英舟的加工工艺，其特征在于，包括如下加工步骤：
1)第一环片(5)、第二环片(6)经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，激光切割，充分退火，恒温120分钟，
2)磨削厚度，尖角倒钝C\R0.5，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗；
3)火抛环片内外侧面区域，充分退火，恒温120分钟；通过冷抛机进行双面冷抛；
4)氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，粘钉前将钉抛亮，整体火抛，充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，备用；
5)磨削第一石英钉(7)、第二石英钉(8)，经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，备用；
6)磨削上端板(1)、下端板(2)两侧平面，厚度保证尺寸，经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，整体火抛，充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，备用；
7)上开槽棒(3)、下开槽棒(4)按要求开槽并倒角，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，槽部火抛，保证槽部不变形，后充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，备用；
8)上端板(1)、下端板(2)、上开槽棒(3)、下开槽棒(4)、第一环片(5)、第二环片(6)、第一石英钉(7)、第二石英钉(8)拼装前，经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗；
9)通过点焊方式组装上端板(1)、下端板(2)与上开槽棒(3)、下开槽棒(4)，经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，检测合格后，封焊焊口，立式炉充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗；
10)舟架整体抛光，立式炉充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，根据配件图检验尺寸与外观；
11)点焊组装第一环片(5)、第二环片(6)，通过立式炉充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，点焊调整第一环片(5)、第二环片(6)；
12)通过卧式炉充分退火，恒温120分钟，后经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，烘干整体包装。

说明书全文

一种多层级立式石英舟及其加工工艺

技术领域

[0001] 本发明涉及石英技术领域，尤其涉及一种多层级立式石英舟及其加工工艺。

背景技术

[0002] 现有的石英焊接件均为整体塑造成型结构，透明度差，原有的石英通过组成反应腔室，反射差，热源扩散快，不能对整体进行保温处理，为此本申请人根据现有工艺进行改进对单件芯片做处理，自成腔室，周围高温加热电热器，节省空间，面积小，区别于大型炉管，单片反应，发生问题时损失小，及时处理，其次通过所使用的石英焊接属于对接焊，两种不同材质所产生的变形影响整体的外观及尺寸要求，长期使用存在炸裂的风险。

发明内容

[0003] 本发明的目的在于提供一种多层级立式石英舟及其加工工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。

[0004] 本发明的目的是通过下述技术方案予以实现：一种多层级立式石英舟，包括上端板、下端板、上开槽棒、下开槽棒、第一环片、第二环片、第一石英钉、第二石英钉，所述所述上端板与下端板之间焊接有上开槽棒、下开槽棒，所述上开槽棒、下开槽棒外围固定焊接有固定柱与上端板与下端板固定焊接，所述上开槽棒、下开槽棒内设置有第一环片、第二环片，所述第一环片、第二环片上通过粘接固定连接有第一石英钉、第二石英钉。

[0005] 进一步地，所述第一环片、第二环片结构相同，且在第一环片上固定对称粘接有第一石英钉，所述第二环片上固定对称粘接有第二石英钉，所述第一石英钉长度小于第二石英钉长度1mm。

[0006] 进一步地，位于所述上开槽棒所在位置的左右对称开有两个上圆弧槽，位于所述下开槽棒所在位置开有一个下圆弧槽，所述上下圆弧槽大小相同，且位于下圆弧槽与上圆弧槽之间左右对称开有小弧槽。

[0007] 进一步地，所述上端板、下端板上的上、下、左象限点位置均开有圆弧，所述上、下象限点位置的圆弧向外，左象限点位置开有的圆弧向内。

[0008] 进一步地，所述下端板上开有内口，所述内口上下象限点位置固定对称开有弧口，所述弧口角度100度；

[0009] 所述下端板上弧口边沿固定设有3个带有半圆的弧形平台阶槽；

[0010] 所述下端板上内口边沿位于下象限点位置的弧口与弧形平台阶槽之间固定开有呈坡角的弧形坡角台阶槽，所述坡角为20度。

[0011] 进一步地，所述上开槽棒、下开槽棒上开有若干大小相同凹槽，且上开槽棒宽度大于下开槽棒宽度。

[0012] 一种多层级立式石英舟的加工工艺，包括如下加工步骤：

[0013] 1)第一环片、第二环片经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，激光切割，充分退火，恒温120分钟，

[0014] 2)磨削厚度，尖角倒钝C\R0.5，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗；

[0015] 3)火抛环片内外侧面区域，充分退火，恒温120分钟；通过冷抛机进行双面冷抛；

[0016] 4)氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，粘钉前将钉抛亮，整体火抛，充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，备用；

[0017] 5)磨削第一石英钉、第二石英钉，经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，备用

[0018] 6)磨削上端板、下端板两侧平面，厚度保证尺寸，经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，整体火抛，充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，备用；

[0019] 7)上开槽棒、下开槽棒按要求开槽并倒角，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，槽部火抛，保证槽部不变形，后充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，备用[0020] 8)上端板、下端板、上开槽棒、下开槽棒、第一环片、第二环片、第一石英钉、第二石英钉拼装前，经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗；

[0021] 9)通过点焊方式组装上端板、下端板与上开槽棒、下开槽棒，经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，检测合格后，封焊焊口，立式炉充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗；

[0022] 10)舟架整体抛光，立式炉充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，根据配件图检验尺寸与外观；

[0023] 11)点焊组装第一环片、第二环片，通过立式炉充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，点焊调整第一环片、第二环片；

[0024] 12)通过卧式炉充分退火，恒温120分钟，后经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，烘干整体包装。

[0025] 与现有技术相比，本发明的有益效果是：硅片有更稳定的涨膜厚度；石英舟使用温度为1000℃，恒温时间较长，变形量小，使用寿命可达12月，大大地为芯片生产企业节约了原材料成本，将焊接环片方法由正面焊接改变为背后焊接，保证环片一致性，用治具将每片环片固定，保证尺寸要求同时对尖角经过抛光处理，使其圆滑，避免了对晶圆片造成的划伤，杜绝了颗粒的产生，降低了抛光过程中炸裂的风险，在抛光的均匀性、一致性上也有了很大程度的提升，经过多次验证由原来的1200度降到1000度，环片不变形，应力消除，改变了原来退火工艺后环片之间的距离变化大，部分需要重新修理，到现在的一次合格保证尺寸，减少了时间，也提高良率；退火方式由立式改为卧式，更好的消除应力与变形的风险；专用治具的增加，提高了舟架与环片焊接的精度，保证每一环片之间的精度都在+/-0.2mm之间，更好的保证了产品工艺时的均匀性。附图说明

[0026] 图1是本发明整体示意图；

[0027] 图2是本发明上端板示意图；

[0028] 图3是本发明下端板示意图；

[0029] 图4是本发明上开槽棒示意图；

[0030] 图5是本发明下开槽棒示意图；

[0031] 图6是本发明第一环片示意图；

[0032] 图7是本发明第一石英钉示意图；

[0033] 图8是本发明I处放大示意图；

[0034] 图9是本发明I I处放大示意图；

[0035] 图10是本发明下端板上E-E剖视图；

[0036] 图11是本发明下端板上F-F剖视图。

具体实施方式

[0037] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0038] 如图1-11所示，一种多层级立式石英舟，包括上端板1、下端板2、上开槽棒3、下开槽棒4、第一环片5、第二环片6、第一石英钉7、第二石英钉8，所述所述上端板1与下端板2之间焊接有上开槽棒3、下开槽棒4，所述上开槽棒3、下开槽棒4外围固定焊接有固定柱9与上端板1与下端板2固定焊接，所述上开槽棒3、下开槽棒4内设置有第一环片5、第二环片6，所述第一环片5、第二环片6上通过粘接固定连接有第一石英钉7、第二石英钉8。

[0039] 在本实施例中，所述第一环片5、第二环片6结构相同，且在第一环片5上固定对称粘接有第一石英钉7，所述第二环片6上固定对称粘接有第二石英钉8，所述第一石英钉7长度小于第二石英钉8长度1mm。

[0040] 在本实施例中，位于所述上开槽棒3所在位置的左右对称开有两个上圆弧槽，位于所述下开槽棒4所在位置开有一个下圆弧槽，所述上下圆弧槽大小相同，且位于下圆弧槽与上圆弧槽之间左右对称开有小弧槽。

[0041] 在本实施例中，所述上端板1、下端板2上的上、下、左象限点位置均开有圆弧，所述上、下象限点位置的圆弧向外，左象限点位置开有的圆弧向内。

[0042] 在本实施例中，所述下端板2上开有内口，所述内口上下象限点位置固定对称开有弧口，所述弧口角度100度；

[0043] 所述下端板2上弧口边沿固定设有3个带有半圆的弧形平台阶槽；

[0044] 所述下端板2上内口边沿位于下象限点位置的弧口与弧形平台阶槽之间固定开有呈坡角的弧形坡角台阶槽，所述坡角为20度。

[0045] 在本实施例中，所述上开槽棒3、下开槽棒4上开有若干大小相同凹槽，且上开槽棒3宽度大于下开槽棒4宽度。

[0046] 一种多层级立式石英舟的加工工艺，包括如下加工步骤：

[0047] 1)第一环片5、第二环片6经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，激光切割，充分退火，恒温120分钟，

[0048] 2)磨削厚度，尖角倒钝C\R0.5，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗；

[0049] 3)火抛环片内外侧面区域，充分退火，恒温30-60分钟；通过冷抛机进行双面冷抛；

[0050] 4)氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，粘钉前将钉抛亮，整体火抛，充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，备用；

[0051] 5)磨削第一石英钉7、第二石英钉8，经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，备用；

[0052] 6)磨削上端板1、下端板2两侧平面，厚度保证尺寸，经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，整体火抛，充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，备用；

[0053] 7)上开槽棒3、下开槽棒4按要求开槽并倒角，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，槽部火抛，保证槽部不变形，后充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，备用；

[0054] 8)上端板1、下端板2、上开槽棒3、下开槽棒4、第一环片5、第二环片6、第一石英钉7、第二石英钉8拼装前，经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗；

[0055] 9)通过点焊方式组装上端板1、下端板2与上开槽棒3、下开槽棒4，经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，检测合格后，封焊焊口，立式炉充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗；

[0056] 10)舟架整体抛光，立式炉充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，根据配件图检验尺寸与外观；

[0057] 11)点焊组装第一环片5、第二环片6，通过立式炉充分退火，恒温120分钟，氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，点焊调整第一环片5、第二环片6；

[0058] 12)通过卧式炉充分退火，恒温120分钟，后经过氢氟酸浸泡1-2小时，纯水冲洗，烘干整体包装。

[0059] 对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

[0060] 此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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