专利汇可以提供电感悬臂梁无线无源湿度传感器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 是一种电感 悬臂梁 无线无源湿度 传感器 ,其中,绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面;所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面;所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接,所述电感悬臂梁结构(5)的另一端悬空在电感结构(3)的上方;所述电感悬臂梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路;所述感湿 薄膜 (6) 覆盖 在所述电感悬臂梁(5)上方。本发明具有体积小、功耗低和可批量生产的优点,利用电感悬臂梁的形变来改变LC谐振回路的谐振 频率 ,传感器的回滞更小、重复性更好,无需引线和 电池 供电,能在高温环境、密闭环境或旋转环境等恶劣环境进行湿度测量。,下面是电感悬臂梁无线无源湿度传感器专利的具体信息内容。
1.一种电感悬臂梁无线无源湿度传感器,其特征在于:该湿度传感器包括衬底(1)、绝缘介质层(2)、电感结构(3)、锚区结构(4)、电感悬臂梁结构(5)和感湿薄膜(6);所述绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面;所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面;所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接,所述电感悬臂梁结构(5)的另一端悬空在电感结构(3)的上方;所述电感悬臂梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路;所述感湿薄膜(6)覆盖在所述电感悬臂梁(5)上方。
2.根据权利要求1所述的电感悬臂梁无线无源湿度传感器,其特征在于:所述感湿薄膜(6)采用高分子聚合物材料,吸湿后体积膨胀。
3.根据权利要求2所述的电感悬臂梁无线无源湿度传感器,其特征在于:所述高分子聚合物材料为聚丙烯酰胺或聚酰亚胺。
4.根据权利要求1所述的电感悬臂梁无线无源湿度传感器,其特征在于:所述电感悬臂梁结构(5)为平面螺旋结构。
5.根据权利要求1所述的电感悬臂梁无线无源湿度传感器,其特征在于:所述电感结构(3)为平面螺旋结构。
6.根据权利要求1、4或5所述的电感悬臂梁无线无源湿度传感器,其特征在于:所述电感悬臂梁结构(5)和所述电感结构(3)是上下正对放置。
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