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Solid-state radiation detector and method and apparatus for recording/reading radiation picture using the same

阅读:382发布:2024-01-10

专利汇可以提供Solid-state radiation detector and method and apparatus for recording/reading radiation picture using the same专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且PROBLEM TO BE SOLVED: To read an electrostatic latent image, without using a laser scan system in a radiation image information recording-reading apparatus using a solid-state radiation detector.
SOLUTION: A detector 10 is made by laminating a first electrode layer 11, an insulation layer 12, a photoconductive layer 13 revealing a conductivity upon receipt of irradiation of recording light L1, an insulation layer 14, and a second electrode layer 15 having stripe electrodes 16 in this order. Sub- electrodes 17 composed of many elements 17a disposed orthogonally to elements 16a are provided near a charge storing part 19 in the photoconductive layer 13 of the detector 10. In recording, the sub-electrodes 17 are opened. In reading, the elements 17a of the sub-electrodes 17 are connected one after another to the elements 16a of the stripe electrodes 16. During this connection a current detection amplifier 71 detects a current flowing out of the detector 10.
COPYRIGHT: (C)2000,JPO,下面是Solid-state radiation detector and method and apparatus for recording/reading radiation picture using the same专利的具体信息内容。

【特許請求の範囲】
  • 【請求項1】 記録用の放射線の線量に応じた量の電荷を蓄積する蓄電部を有し、放射線画像情報を前記蓄電部に静電潜像として記録する放射線固体検出器において、 第1の電極層、第1の絶縁層、前記記録用の放射線の照射を受けることにより光導電性を呈する光導電層、第2
    の絶縁層、および多数の線状電極から成る第1のストライプ電極が形成された第2の電極層を、この順に有し、
    前記第1の絶縁層および前記第2の絶縁層と前記光導電層との略界面に前記蓄電部が形成されて成り、 前記蓄電部に蓄積された電荷の量に応じたレベルの電気信号を出力させるための、多数の線状電極から成る第2
    のストライプ電極が、該第2のストライプ電極の線状電極が前記第1のストライプ電極の線状電極に対して交差するように、前記光導電層内に配設されていることを特徴とする放射線固体検出器。
  • 【請求項2】 前記第2のストライプ電極の線状電極が、前記第2の絶縁層と前記光導電層との前記界面近傍に配設されていることを特徴とする請求項1記載の放射線固体検出器。
  • 【請求項3】 請求項1または2記載の放射線固体検出器に記録用の放射線を照射して、該放射線の線量に応じた量の電荷を前記蓄電部に蓄積せしめることにより、放射線画像情報を前記蓄電部に静電潜像として記録する放射線画像記録方法において、 前記第2のストライプ電極を実質的にフローティング状態にして前記記録を行うことを特徴とする放射線画像記録方法。
  • 【請求項4】 前記記録に先立って、前記蓄電部に残存する電荷を放電せしめるための消去光を前記放射線固体検出器に照射することを特徴とする請求項3記載の放射線画像記録方法。
  • 【請求項5】 放射線画像情報が静電潜像として予め記録された請求項1または2記載の放射線固体検出器から前記放射線画像情報を読み取る放射線画像読取方法において、 前記第2のストライプ電極の線状電極の1つずつを、前記第1のストライプ電極の線状電極夫々と接続し、 前記第1のストライプ電極の線状電極夫々について、この接続によって前記放射線固体検出器に流れる電流を検出することにより、前記蓄電部に蓄積された電荷の量に応じたレベルの電気信号を得ることを特徴とする放射線画像読取方法。
  • 【請求項6】 前記第1の電極層の電極と前記第1のストライプ電極の各線状電極とを実質的に同電位にした状態で、前記接続によって前記放射線固体検出器に生じる前記電流を検出することを特徴とする請求項6記載の放射線画像読取方法。
  • 【請求項7】 請求項1または2記載の放射線固体検出器に記録用の放射線を照射して、該放射線の線量に応じた量の電荷を前記蓄電部に蓄積せしめることにより、放射線画像情報を前記蓄電部に静電潜像として記録する放射線画像記録装置において、 前記第1の電極層の電極と第1のストライプ電極との間に直流電圧を印加する電圧印加手段と、 前記第2のストライプ電極を実質的にフローティング状態にする手段とを備えたことを特徴とする放射線画像記録装置。
  • 【請求項8】 前記記録に先立って、前記蓄電部に残存する電荷を放電せしめるための消去光を前記放射線固体検出器に照射する消去光照射手段を備えたことを特徴とする請求項7記載の放射線画像記録装置。
  • 【請求項9】 放射線画像情報が静電潜像として予め記録された請求項1または2記載の放射線固体検出器から前記放射線画像情報を読み取る放射線画像読取装置において、 前記第2のストライプ電極の線状電極の1つずつを、前記第1のストライプ電極の線状電極夫々と接続する接続手段と、 前記第1のストライプ電極の線状電極夫々について、前記接続手段による接続によって前記放射線固体検出器に流れる電流を検出することにより、前記蓄電部に蓄積された電荷の量に応じたレベルの電気信号を取得する画像信号取得手段とを備えたことを特徴とする放射線画像読取装置。
  • 说明书全文

    【発明の詳細な説明】

    【0001】

    【発明の属する技術分野】本発明は、照射された放射線の線量に応じた量の電荷を蓄積する蓄電部を有する放射線固体検出器、並びに該検出器を使用して放射線画像情報を前記蓄電部に静電潜像として記録したり、記録された静電潜像を読み取る方法および装置に関するものである。

    【0002】

    【従来の技術】従来より、医療用放射線撮影等において、被験者の受ける被爆線量の減少、診断性能の向上等のために、X線等の放射線に感応するセレン板等の光導電体を有する放射線固体検出器(静電記録体)を感光体として用い、該検出器にX線を照射し、照射された放射線の線量に応じた量の電荷を検出器内の蓄電部に潜像電荷として蓄積せしめることにより、放射線画像情報を蓄電部に静電潜像として記録すると共に、レーザビーム或いはライン光源で放射線画像情報が記録された検出器を走査することにより、前記検出器から放射線画像情報を読み取る方法が開示されている(例えば、特開平6-2173
    22号、米国特許第 4857723号等)。

    【0003】上記特開平6-217322号に記載の方法は、導電層、X線光導電層、誘電層、および画素に対応する多数のマイクロプレートを具備する電極層が積層され、各マイクロプレートに電荷読出用のTFT(薄膜トランジスタ)が接続されて成る検出器を使用し、この検出器に被写体を透過したX線を照射して各マイクロプレートと導電層との間で形成される蓄電部に潜像電荷を蓄積せしめることによって放射線画像情報を検出器に記録した後、TFTを走査駆動して、蓄電部に蓄積された潜像電荷を検出器の外部に読み出すことによって、放射線画像情報を読み取るものである。

    【0004】また、上記米国特許第 4857723号に記載の方法は、光導電層の両側を絶縁層で挟み、さらにその外側を互いに直交する線状電極を多数有するストライプ電極で挟んだ構造の検出器を使用し、この検出器に被写体を透過したX線を照射して両ストライプ電極の交差する位置であって、光導電層と絶縁層との界面に形成される2つの蓄電部に互いに異なる極性の潜像電荷を蓄積せしめることによって放射線画像情報を検出器に記録した後、読取光としてのレーザ光で検出器を走査して、蓄電部に蓄積された潜像電荷を検出器の外部に読み出すことによって、放射線画像情報を読み取るものである。

    【0005】

    【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特開平6-217322号に記載の方法は、マイクロプレートを具備する電極層内に、電荷読出用のTFTを設ける必要があり、検出器の構造が複雑になり、検出器の製造コストが高くなるという問題がある。

    【0006】また上記米国特許第 4857723号に記載の方法は、検出器の構造は簡易で製造コストも安い方法ではあるが、検出器内に蓄積した潜像電荷を読み出すための、構造が複雑で高価なレーザ走査系を必要とするため、読取装置の構造が複雑となり、記録から読取りまでのシステム全体のコストが高くなるという問題がある。

    【0007】本発明は、検出器の構造を簡易なものとし製造コストを高めることがないようにすると共に、レーザ走査系を使用することなく、簡易な読取りを可能ならしめる放射線固体検出器、この検出器に放射線画像情報を記録する方法および装置、並びに放射線画像情報が記録された検出器から放射線画像情報を読み取る方法および装置を提供することを目的とするものである。

    【0008】

    【課題を解決するための手段】本発明による放射線固体検出器は、記録用の放射線の線量に応じた量の電荷を蓄積する蓄電部を有し、放射線画像情報を蓄電部に静電潜像として記録する放射線固体検出器であって、第1の電極層、第1の絶縁層、記録用の放射線の照射を受けることにより光導電性を呈する光導電層、第2の絶縁層、および多数の線状電極から成る第1のストライプ電極が形成された第2の電極層をこの順に有し、第1の絶縁層および第2の絶縁層と光導電層との略界面に蓄電部が形成されて成り、蓄電部に蓄積された電荷の量に応じたレベルの電気信号を出させるための、多数の線状電極から成る第2のストライプ電極が、該第2のストライプ電極の線状電極が第1のストライプ電極の線状電極に対して交差するように、光導電層内に配設されていることを特徴とするものである。

    【0009】この本発明による放射線固体検出器は、第2のストライプ電極の線状電極が、第2の絶縁層と光導電層との界面近傍に配設されて成るものとするのが望ましい。

    【0010】なお、第2のストライプ電極の線状電極を第1のストライプ電極の線状電極に対して交差するように配設するに際しては、互いに略直交するように配設するのが好ましい。

    【0011】上記において「記録用の放射線の照射」とは、例えば被写体を透過した放射線等の記録用の放射線を検出器に直接に照射することに限らず、例えば記録用の放射線をシンチレータ(蛍光体)に照射することにより、シンチレータ内で発せられる蛍光等、記録用の放射線の励起により発せられる光を検出器に照射すること等、記録用の放射線を間接的に検出器に照射することも含むものとする。 また、記録用の放射線の励起により発せられる光を検出器に照射する場合には、「記録用の放射線の線量」を「記録用の放射線の励起により発せられる光の光量」に置き換える。

    【0012】「第1の絶縁層および第2の絶縁層と光導電層との略界面に蓄電部が形成されて成る」とは、第1
    の絶縁層と光導電層との略界面に第1の蓄電部が形成され、第2の絶縁層と光導電層との略界面に第2の蓄電部が形成されることを意味する。 なお、両蓄電部には、光導電層内で発生する正負の電荷対のうち、互いに逆極性の電荷が蓄積される。

    【0013】「線状電極」とは、全体として細長い形状の電極を意味し、細長い形状を有している限り、円柱状のものや柱状のもの等どのようなものであってもよいが、特に、平板電極とするのが好ましい。 特に第2のストライプ電極の線状電極については、記録時における潜像形成(潜像電荷の移動・蓄積)プロセスに影響を与えない形状とするのが望ましい。 例えば、光導電層内で発生した潜像電荷が蓄電部まで移動するのに邪魔にならない形状であることが望まれる。 このためには、例えば、
    丸や角等任意の形状の穴を画素に対応させて設けたり、
    画素の並び方向に連続する長穴を設ける等するとよい。

    【0014】また、第2のストライプ電極は、記録用の放射線または該放射線の励起により発せられる光に対して透過性を有するものとし、放射線等が光導電層内に十分に入射することができるようにして、光導電層内における電荷発生プロセスに影響を与えないようにするのが望ましい。

    【0015】本発明による放射線画像記録方法は、上記の放射線固体検出器に記録用の放射線を照射して、該照射した放射線の線量に応じた量の電荷を蓄電部に蓄積せしめることにより、放射線画像情報を蓄電部に静電潜像として記録する方法であって、第2のストライプ電極を実質的にフローティング状態にして記録を行うことを特徴とするものである。

    【0016】「実質的にフローティング状態にして記録を行う」とは、第2のストライプ電極が記録時における潜像電荷の蓄積プロセスに影響を与えないようにして記録を行うことを意味する。 例えば、第2のストライプ電極の全線状電極をオープンにして記録を行ったり、第1
    の電極層と第2の電極層との間に印加される直流電圧によって両電極層間に形成される電界分布を調整するための制御電圧を第2のストライプ電極に印加するとよい。

    【0017】なお、「制御電圧」とは、例えば、第1の導電部材が設けられていない場合において形成されるべき電界分布と略同じになるような大きさの電圧である。
    この制御電圧は直流電圧であってもよし、交流電圧であってもよい。 交流電圧は、正弦波電圧に限定されるものではなく、前述のように第2のストライプ電極が潜像電荷の蓄積プロセスに影響を与えないようにすることができるものであればどのような波形であってもよい。

    【0018】上述した本発明による放射線固体検出器は、放射線画像情報を読み取った後にも、蓄電部に潜像電荷が残されたままとなり、このままの状態で次の記録を行うと、前の画像が残像となって現れてしまう。 そこで、本発明による放射線画像記録方法においては、記録に先立って、蓄電部に残存する電荷を放電せしめるための消去光を放射線固体検出器に照射するのが望ましい。

    【0019】「記録に先立って」とあるが、記録の直前でもよいし、予め先の画像の読取り後に行っておいてもよい。

    【0020】「消去光」とは、蓄電部に残存する潜像電荷を放電させることができる波長および強度の電磁波を意味し、必ずしも可視光に限定されるものではない。

    【0021】本発明による放射線画像読取方法は、放射線画像情報が静電潜像として予め記録された上記放射線固体検出器から放射線画像情報を読み取る方法であって、第2のストライプ電極の線状電極の1つずつを、第1のストライプ電極の線状電極夫々と接続し、第1のストライプ電極の線状電極夫々について、この接続によって放射線固体検出器に流れる電流を検出することにより、蓄電部に蓄積された電荷の量に応じたレベルの電気信号を得ることを特徴とするものである。

    【0022】第2のストライプ電極の線状電極の1つずつを第1の電極層の電極と接続するに際しては、第1のストライプ電極の線状電極の長手方向に、一方の端から他方の端に向けて、順次切換えて接続するのが好ましい。

    【0023】接続によって放射線固体検出器に流れる電流を検出するに際しては、予め第1の電極層の電極と第1のストライプ電極の各線状電極とを実質的に同電位にした状態で、前記接続によって生じる電流を検出するとよい。

    【0024】なお、「第1の電極層の電極と第1のストライプ電極の各線状電極を実質的に同電位にする」とは、両者を直接接続して同電位にすることに限らず、例えばオペアンプのイマジナリショートを利用する等、間接的に接続して同電位にしてもよい。

    【0025】本発明による放射線画像記録装置は、上記放射線画像記録方法を実現する装置であって、第1の電極層の電極と第1のストライプ電極の各線状電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、第2のストライプ電極を実質的にフローティング状態にする手段とを備えたことを特徴とするものである。

    【0026】本発明による放射線画像記録装置は、記録に先立って、蓄電部に残存する電荷を放電せしめるための消去光を放射線固体検出器に照射する消去光照射手段を備えたものとするのが望ましい。 この消去光照射手段は、検出器の全面に亘って、略一様強度および略一様線量の消去光を照射することができるものである限り、どのようなものであってもよい。

    【0027】本発明による放射線画像読取装置は、上記放射線画像読取方法を実現する装置であって、第2のストライプ電極の線状電極の1つずつを、第1のストライプ電極の線状電極夫々と接続する接続手段と、第1のストライプ電極の線状電極夫々について、接続手段による接続によって放射線固体検出器に流れる電流を検出することにより、蓄電部に蓄積された電荷の量に応じたレベルの電気信号を取得する画像信号取得手段とを備えたことを特徴とするものである。

    【0028】接続手段としては、オフ抵抗の大きいもの、例えばMOS−FET等を使用するのが好ましい。
    またMOS−FETから構成されたアナログスイッチを使用することもできる。

    【0029】

    【発明の効果】本発明による放射線画像読取方法および装置によれば、第2のストライプ電極の線状電極が、第1のストライプ電極の線状電極に対して交差するように、光導電層内に配設されて成る放射線固体検出器を使用し、第2のストライプ電極の線状電極の1つずつを第1のストライプ電極の線状電極夫々と接続し、第1のストライプ電極の線状電極夫々について、この接続によって放射線固体検出器に流れる電流を検出することにより、蓄電部に蓄積された電荷の量に応じたレベルの電気信号を得るようにしたので、第2のストライプ電極の線状電極の1つずつを第1のストライプ電極の線状電極夫々と接続する接続手段として、MOS−FET等簡易なスイッチを使用することができるようになり、読取装置を簡易且つ安価に構成することができる。

    【0030】また、本発明による放射線画像記録方法および装置によれば、検出器の光導電層内に新たに設けた第2のストライプ電極が、潜像電荷の蓄積プロセスに悪影響を与えないように、第2のストライプ電極を実質的にフローティング状態にして記録を行うようにしたので、第2のストライプ電極を設けても、蓄電部に潜像電荷を安定して蓄積させることができる。

    【0031】また、記録に先立って、蓄電部に残存する電荷を放電せしめるための消去光を検出器に照射するようにすれば、放射線画像情報を読み取った後に蓄電部に残された潜像電荷による残像という問題も生じない。 また、消去光を検出器に照射する消去光照射手段は、検出器の全面に亘って、略一様強度および略一様線量の消去光を照射することができるものであればよく、レーザ走査系のような指向性を有するものを必要としないので、
    記録装置を簡易且つ安価に構成することができる。

    【0032】さらに、第2のストライプ電極の各線状電極が、第2の絶縁層と光導電層との界面近傍に配設されて成る検出器とすれば、第2のストライプ電極の線状電極のを第1のストライプ電極の線状電極と接続する接続手段として、耐圧の小さなものを使用することができる。

    【0033】

    【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。

    【0034】図1は本発明による放射線固体検出器の概略構成を示す図であり、図1(A)は斜視図、図1
    (B)はP矢指部のXY断面図、図1(C)はQ矢指部のXZ断面図である。 この検出器10は、被写体を透過したX線等の記録用の放射線(以下記録光という)L1に対して透過性を有する第1の電極層11、第1の絶縁層12、第1の電極層11および第1の絶縁層12を透過した記録光L1の照射を受けることにより導電性を呈する光導電層13、第2の絶縁層14、第2の電極層15
    を、この順に積層してなるものである。 第1の絶縁層1
    2と光導電層13との界面に第1の蓄電部18が形成され、第2の絶縁層14と光導電層13との界面に第2の蓄電部19が形成される。 両蓄電部18,19には、光導電層13内で発生する正負の電荷対のうち、互いに逆極性の電荷が潜像電荷として蓄積される。

    【0035】光導電層13の物質としては、アモルファスセレン(a−Se)、PbO,PbI 2等の酸化鉛(II)やヨウ化鉛(II)、Bi 12 (Ge,Si)O 20
    Bi 23 /有機ポリマーナノコンポジット等のうち少なくとも1つを主成分とする光導電性物質が適当である。
    この光導電層13の厚さは、記録光L1を十分に吸収できるようにするには、50μm以上1000μm以下であるのが好ましく、本例においては約500μmとしている。

    【0036】絶縁層12,14の材質としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)等が好ましい。 第1の絶縁層の厚さは、約100μmであり、第2の絶縁層の厚さd1は、約1μmである。 なお、少なくとも第1の絶縁層12は記録光L1に対して透過性を有するものとし、少なくとも第2の絶縁層14は消去光L3に対して透過性を有するものとする。

    【0037】第1の電極層11および第2の電極層15
    の電極としては、例えば、透明ガラス板上に導電性物質を塗布したネサ皮膜等が適当である。 なお、少なくとも第1の電極層11は記録光L1に対して透過性を有するものとする。

    【0038】第2の電極層15の電極は、多数のエレメント(線状電極)16aをストライプ状に配列したストライプ電極16として形成されている。 主走査方向の画素数と同じ数のエレメント16aが設けられ、ピッチは150μm、幅は75μmである。 エレメント16aの間15aには、絶縁物質が充填されている。 なお、この第2の電極層15は消去光L3に対して透過性を有するものとする。

    【0039】光導電層13内の第2の絶縁層14に近接した位置に、多数のエレメント17aをストライプ状に配列した第2のストライプ電極としてのサブ電極17が設けられている。 サブ電極17の各エレメント17a
    は、ストライプ電極16の各エレメント16aに対して略直交するように配設されている。 サブ電極17は、導電性を有するものであればよく、金、銀、クロム、白金等の単一金属や、酸化インジウム等の合金から作ることができる。

    【0040】サブ電極17と第2の絶縁層14との間の距離d2は、光導電層13の厚さにもよるが、1/500
    〜1/5程度であるのが好ましく、本例ではd2=1μ
    mとしている。 また、副走査方向の画素数と同じ数のエレメント17aが設けられ、ピッチは150μm、幅は75μmである。

    【0041】なお、サブ電極17の各エレメント17a
    の形状は、全体として細長い形状を有している限り、円柱状のものや角柱状のもの等どのようなものであってもよいが、特に、平板電極とするのがよい。 また、エレメント17aの幅をエレメント16aの幅よりも狭く設定したり、多数の丸穴や角穴が長手方向の画素に対応する位置に配置されるように設けられた穴あき平板電極としたり、長手方向に延びた1つの長穴が設けられ、長手方向の両端部が結合された長穴あき平板電極としてもよい。 このように、エレメント17aをエレメント16a
    の幅よりも狭くしたり、エレメント17aの長手方向に所定形状の穴を設けることにより、潜像電荷の移動の妨げとならず、蓄電部18,19に蓄積される潜像電荷の潜像形成プロセスに影響を与えないようにすることができる。

    【0042】図2は、放射線画像情報記録装置と放射線画像情報読取装置を一体にした、検出器10を用いた記録読取システム1の概略構成図を示すものであり、図2
    (A)は検出器10の斜視図と共に示した図、図2
    (B)は検出器10のP矢指部のXY断面図と共に示した図である。

    【0043】この記録読取システム1は、検出器10、
    電流検出回路70とからなる。 なお、図示しないが、被写体を透過した記録光L1を検出器10に照射する記録光照射手段90、および記録に先立って、蓄電部18,1
    9に残存する電荷を放電せしめるための消去光L3を検出器10に照射する消去光照射手段が設けられている。

    【0044】電流検出回路70は、検出器10から外部に流れ出す電流を検出する画像信号取得手段としての電流検出アンプ部71、電源72、スイッチ73、接続手段としてのスイッチ部74、およびスイッチ部75を有している。 電源72とスイッチ73とで、本発明による電圧印加手段が構成される。

    【0045】電流検出アンプ部71は、ストライプ電極16のエレメント16a1つずつに夫々1つずつ設けられた、オペアンプ71a、積分コンデンサ71bおよびスイッチ71cを多数有する。 なお、電流検出アンプ部71の構成は、この例に限定されるものではなく、周知の種々のものを使用することができる。

    【0046】検出器10の電極層11はスイッチ73の一方の入力73aおよび電源72の正極に接続されている。 電源72の負極は、スイッチ73の他方の入力73
    bに接続されている。 各オペアンプ71aの非反転入力端子(+)がスイッチ73の出力に共通に接続され、反転入力端子(−)がエレメント16aに夫々個別に接続されている。

    【0047】記録時にはスイッチ73がb側に接続され、オペアンプ71aのイマジナリーショートを介して、電極層11とストライプ電極16との間に、電源7
    2による所定の印加電圧が印加されるようになっている。 電源電圧の大きさは、記録時の光導電層13内の電位勾配が10V/μmとなるようにする。 本例においては、7Kv程度を両電極11,16間に印加するとよい。

    【0048】スイッチ73と電流検出アンプ71のオペアンプ71aは、読取時にスイッチ73がa側に接続されることによって、オペアンプ71aのイマジナリショートを介して、第1の電極層11の電極とストライプ電極16の各エレメント16aを実質的に同電位にする手段として機能する。

    【0049】スイッチ部74は、サブ電極17のエレメント17aの1つずつと格別に接続されたスイッチング素子74aを多数有している。 スイッチング素子74a
    の他方の端子は、オペアンプ71aの反転入力端子(−)およびスイッチ部75のスイッチング素子75a
    の一方の端子と、それぞれ共通に接続されている。 このスイッチ部74は、記録時に蓄電部18,19に潜像電荷を安定して蓄積させるため、全てのエレメント17a
    をオープン状態とし、サブ電極17を実質的にフローティング状態にする手段として機能するものである。 このため、スイッチ部74のスイッチング素子74aとしては、オフ抵抗が十分大きいことが好ましく、例えばMO
    S−FETから構成されたアナログスイッチを使用して、オフ抵抗が10 13以上となるようにする。

    【0050】なお、エレメント17aに所定の大きさの制御電圧を印加して記録を行うようにしてもよい。 この制御電圧の大きさは、蓄電部18,19に潜像電荷を安定して蓄積させることができるように、電極層11とストライプ電極16との間で形成される電界分布、特に光導電層13内の電位勾配が、サブ電極17が設けられていない場合において形成されるべき分布と略同じになるような大きさおよび波形の電圧に設定するのが好ましい。

    【0051】また、記録時には、電極層11とストライプ電極16との間には電源72から電圧が印加され、両電極間の電位勾配に応じた電圧がスイッチ部74のスイッチング素子74aの入出力間に加わるので、スイッチング素子74aとしては、この電圧に耐え得るものを使用する必要がある。 上記構成の検出器10は、サブ電極17と第2の絶縁層14との間の距離d2を1μmとしているので、ストライプ電極16と電極層11の電極との間の電位差と比べて、ストライプ電極16とサブ電極17との電位差は極めて小さくなり、耐圧の小さなものを使用することができ、例えば、スイッチング素子の耐圧が100V程度のものを使用することができる。

    【0052】また、スイッチ部74は、スイッチ73が第1の電極層11側に接続されているとき、すなわち読取時に、サブ電極17のエレメント17aの1つずつを、エレメント16aの長手方向に順次切り換えながら、この切り換えられたエレメント17aがストライプ電極16の各エレメント16aと共通に接続されるようにするものでもある。 なお、このスイッチ部74によるエレメント16aの長手方向への順次切換えは副走査に対応する。

    【0053】電流検出アンプ部71は、この読取時に、
    スイッチ部74による切換接続によって、検出器10に流れる電流を、ストライプ電極16のエレメント16a
    夫々について、同時(並列的)に検出することにより、
    蓄電部18,19に蓄積された電荷の量に応じたレベルの電気信号を取得するものである。

    【0054】以下、上記構成の記録読取システム1において、検出器10に放射線画像情報を静電潜像として記録し、さらに記録された静電潜像を読み出す方法について説明する。 最初に静電潜像記録過程について、図3に示す電荷モデルを参照して説明する。 なお、記録光L1によって光導電層13内に生成される負電荷(−)および正電荷(+)を、図面上では−または+を○で囲んで表すものとする。 また、図3(B),(C)においては、
    エレメント17aを省略して示す。

    【0055】上記構成のシステム1において、検出器1
    0に静電潜像を記録する際には、先ずスイッチ73をb
    側に切り換えると共に、スイッチ部75のスイッチング素子を全てオンにし、電極層11の電極とストライプ電極16との間に電源72からオペアンプ71aを介して直流電圧を印加し、電極層11の電極を正に帯電させ、
    ストライプ電極16を負に帯電させる(図3(A))。
    これにより、両電極間には所定の電界分布が生じる。 このとき、蓄電部18,19に潜像電荷を安定して蓄積させるため、スイッチ部74のスイッチング素子74aが全てオフとされ、サブ電極17はフローティング状態とされている。

    【0056】次に放射線を不図示の被写体に爆射し、被写体を通過した被写体の放射線画像情報を担持する記録光L1を検出器10に照射する。 記録光L1は、検出器10
    の電極層11および絶縁層12を透過し、光導電層13
    内で放射線の線量に応じた量の正負の電荷対を発生せしめる。 電極層11とストライプ電極16との間には所定の電界分布が生じているので、この電界分布に応じて、
    発生した電荷対のうち、負電荷が絶縁層12側に移動し、正電荷が絶縁層14側に移動する(図3(B))。
    このとき、サブ電極17には、光導電層13内の電位勾配を乱さないように、フローティング状態とされているので、正電荷は、サブ電極17に捕捉されることなく、
    サブ電極17の各エレメント17aの横或いは穴を通過して絶縁層14側に移動する。 つまり、光導電層13内で発生した電荷に対しては、サブ電極17が、実質的には、設けられていないのと同じ状態となる。

    【0057】絶縁層12,14は電荷に対して絶縁体として作用するものであるから、光導電層13中を移動してきた負電荷は光導電層13と絶縁層12との界面に形成される蓄電部18で停止し、正電荷は光導電層13と絶縁層14との界面に形成される蓄電部19で停止する。 これにより、蓄電部18において負電荷が潜像電荷として蓄積され、蓄電部19において正電荷が潜像電荷として蓄積される(図3(C))。 例えば、図3(C)
    においては、被写体の透過部9aを通して記録光L1が検出器10に入射し、エレメント番号e1に対応する部分の蓄電部18,19には各々6個の電荷Q -1 ,Q +1が蓄積され、一方被写体の非透過部9bに照射された記録光
    L1は検出器10に入射することがないので、エレメント番号e2に対応する部分の蓄電部18,19には電荷が蓄積されない。

    【0058】このようにして、被写体像に応じた電荷を蓄電部18,19に蓄積することができるようになる。
    この蓄積される潜像電荷の量は、被写体を透過し検出器10に入射した放射線の線量に略比例するので、この潜像電荷が静電潜像を担持することとなり、該静電潜像が検出器10に記録される。

    【0059】次に静電潜像読取過程について、図4に示す電荷モデルを参照して説明する。 なお、記録過程と同様に、光導電層13内に生成された負電荷(−)および正電荷(+)を、図面上では−または+を○で囲んで表すものとする。 また、図4(A)においては、エレメント17aを省略して示す。

    【0060】検出器10から静電潜像を読み取る際には、先ずスイッチ73をa側にすると共に、スイッチ部75のスイッチング素子75aを全てオンに維持し、上記説明のようにして静電潜像が記録された検出器10の電極層11の電極とストライプ電極16とをオペアンプ71aのイマジナリショートを介して接続し、電極層1
    1の電極とストライプ電極16の各エレメント16aとを実質的に同電位にする。 これにより、第1の電極層1
    1の電極に帯電せしめられていた正電荷と、ストライプ電極16の各エレメント16aに帯電せしめられていた負電荷の殆どが消滅する(図4(A))。 例えば、図4
    (A)においては、第1の電極層11の電極には1個の正電荷が残り、エレメント16aには1個の負電荷が残る。 なお、実際には、光導電層13や絶縁層12,14
    の厚さ、或いは誘電率に応じて、残留する電荷量が決定され、例えば、蓄電部18,19に蓄積されている電荷量の1/300程度の電荷が残留する。

    【0061】次いで、スイッチ部74のスイッチング素子74aを、エレメント16aの長手方向に、一方の端から他方の端に向けて順次切り換えて1つずつオンさせて、オンしたスイッチング素子74aと接続されたエレメント17aとエレメント16aとを接続して、エレメント16aと各エレメント17aとを順次同電位とする。 これにより、蓄電部19とエレメント16aとの間および蓄電部19とエレメント17aとの間にコンデンサが形成され、蓄電部19に蓄積されていた正電荷の量と同じ量の負電荷が、エレメント16aとエレメント1
    7aとに分配され、各エレメント16a,17aに負電荷が帯電する。 また、蓄電部18と第1電極層11の電極との間にもコンデンサが形成され、蓄電部18に蓄積されていた負電荷の量と同じ量の正電荷が第1電極層1
    1の電極に誘起され帯電する(図4(B))。 例えば、
    図4(B)においては、エレメント番号e1のエレメント17aには4個の負電荷が帯電し、対応する部分のエレメント16aには2個の負電荷が帯電する。 また、エレメント番号e1に対応する第1電極層11には6個の正電荷が帯電する。 一方、エレメント番号e2のように、蓄電部18,19に潜像電荷の蓄積されていない部分では、エレメント17aとエレメント16aとを接続しても電荷の分配や誘起は生じない。

    【0062】エレメント16aおよびエレメント17a
    と第1電極層11の電極との間にはオペアンプ71aが接続されており、上述した電荷の帯電時に、オペアンプ71aを介して電流が流れる。 すなわち、前記接続に伴って検出器10に電流が流れ、各オペアンプ71aの出力部の電圧が変化する。 この電圧の変化は、検出器20
    に蓄積されていた各画素毎の潜像電荷の量に応じたものとなる。 したがって、スイッチ部74の順次切換えによって、次々と画素毎の潜像電荷に対応して電圧の変化が観測されることとなり、この電圧の変化を検出することによって静電潜像を表す画像信号を得る、つまり放射線画像情報を読み取ることができる。

    【0063】次に静電潜像消去過程について、図5に示す電荷モデルを参照して説明する。 なお、上述同様に、
    光導電層13内に生成された負電荷(−)および正電荷(+)を、図面上では−または+を○で囲んで表すものとする。 また、サブ電極17のエレメント17aを省略して示す。

    【0064】検出器10内の蓄電部18,19に蓄積されている潜像電荷は、上述のような読取りによっては消滅しない。 また、第1電極層11の電極、或いはエレメント16aやエレメント17aにも電荷が帯電したまま残る。 したがって、この状態のままで次の記録を行うと、残存している電荷が次の画像の残像となって現れてしまい、好ましくない。

    【0065】そこで、次の記録に先立って、スイッチ7
    3を第1の電極層11側に接続し、またスイッチ部7
    4,75のスイッチング素子を全てオンにした状態で、
    不図示の消去光照射手段により消去光L3を検出器10のストライプ電極16側に照射して(図5(A))、光導電層13内に電荷対を発生せしめ、この発生した電荷対の内の正電荷と蓄電部18に蓄積している負電荷とを結合させ、負電荷と蓄電部19に蓄積している正電荷とを結合させて、蓄電部18,19に残存する電荷を完全に放電させる(図5(B))。 蓄電部18,19の電荷が消滅することにより、第1電極層11の電極、エレメント16a、およびエレメント17aに帯電している電荷も消滅する。 この潜像電荷の放電の処理は、次の記録の直前に行ってもよいし、予め先の画像の読取り後に行っておいてもよい。

    【0066】以上、本発明による放射線固体検出器、該検出器に放射線画像情報を記録する方法および装置、並びに放射線画像情報が記録された本発明による検出器から放射線画像情報を読み取る方法および装置の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、発明の要旨を変更しない限りにおいて、種々変更することが可能である。

    【0067】例えば、上記実施の形態においては、消去光L3をストライプ電極16側から照射していたが、電極層11および絶縁層12を消去光L3に対して透過性を有するものとし、消去光L3を電極層11側から照射するようにしてもよい。

    【0068】また、上記実施の形態による検出器は、光導電層が、記録用の放射線の照射によって導電性を呈するものであるが、本発明による検出器の光導電層は必ずしもこれに限定されるものではなく、記録用の放射線の励起により発せられる光の照射によって導電性を呈するものとしてもよい。 この場合、第1の電極層の表面に記録用の放射線を、例えば青色光等、他の波長領域の光に波長変換するいわゆるX線シンチレータといわれる波長変換層を積層したものとする。 この波長変換層としては、例えばヨウ化セシウム(CsI)等を用いるのが好適である。 また、第1の電極層および第1の絶縁層12
    は、記録用の放射線の励起により波長変換層で発せられる光に対して透過性を有するものとする。

    【図面の簡単な説明】

    【図1】本発明の第1の実施の形態による放射線固体検出器の斜視図(A)、XZ断面図(B)、XY断面図(C)

    【図2】上記放射線固体検出器を用いた記録読取システムの概略構成図

    【図3】上記放射線固体検出器に静電潜像を記録する方法を説明する図

    【図4】上記放射線固体検出器に記録された静電潜像を読み取る方法を説明する図

    【図5】上記放射線固体検出器に記録された静電潜像を消去する方法を説明する図

    【符号の説明】

    10 放射線固体検出器 11 第1の電極層 12 第1の絶縁層 13 光導電層 14 第2の絶縁層 15 第2の電極層 16 第1のストライプ電極 17 サブ電極(第2のストライプ電極) 18,19 蓄電部 70 電流検出回路 71 電流検出アンプ部(画像信号取得手段) 72 電源 73 スイッチ 74 スイッチ部(接続手段) 75 スイッチ部 L1 記録用の放射線(記録光) L3 消去用の電磁波(消去光)

    ───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G088 EE01 FF02 FF14 GG21 JJ01 JJ32 JJ33 2H013 AC03 AC08 4M118 AA10 AB01 BA05 CA14 CB05 CB20 DD02 DD10 DD20 FB09 FB13 GA10 5C024 AA11 AA12 CA00 GA04 GA07 GA22 GA31 GA52 JA04 5C054 AA06 CA02 CC01 ED07 HA12

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