专利汇可以提供一种低横向灵敏度的法布里珀罗光学MEMS加速度传感器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种低横向灵敏度的法布里珀罗光学MEMS 加速 度 传感器 ,包括 基座 ,基座的上面和传感器壳体连接形成腔室,腔室内的基座上连接 半导体 制冷片,半导体制冷片的上方连接有第二 支架 ,第二支架的内部连接有激光 二极管 ,半导体制冷片上表面与 激光二极管 粘接,第二支架的上方连接有敏感芯片,敏感芯片的上方连接有第一支架,第一支架的上方连接有光电检测芯片及其 电路 板;敏感芯片为MEMS法布里珀罗光学 弹簧 质量 结构,由可动镜面、腔体、固定镜面形成法布里珀罗腔;本 发明 采用法布里珀罗干涉光学加速度检测方式,结合闭环 温度 控制系统,具有高 分辨率 和灵敏度;敏感芯片采用分体式弹簧质量结构,有效隔绝横向加速度,降低了传感器的横向灵敏度。,下面是一种低横向灵敏度的法布里珀罗光学MEMS加速度传感器专利的具体信息内容。
1.一种低横向灵敏度的法布里珀罗光学MEMS加速度传感器,包括基座(7),其特征在于:基座(7)的上面和传感器壳体(1)连接,形成腔室,腔室内的基座(7)上连接半导体制冷片(5),半导体制冷片(5)的上方连接有第二支架(3),第二支架(3)的内部连接有激光二极管(8),半导体制冷片(5)上表面与激光二极管(8)粘接,第二支架(3)的上方连接有敏感芯片(9),敏感芯片(9)的上方连接有第一支架(2),第一支架(2)的上方连接有电路板(10),电路板(10)的下表面连接有光电检测芯片(11),半导体制冷片(5)、敏感芯片(9)、电路板(10)和第一引脚组(4)电连接,激光二极管(8)和第二引脚组(6)电连接,第一引脚组(4)、第二引脚组(6)穿过基座(7)伸出腔室外。
2.根据权利要求1所述的一种低横向灵敏度的法布里珀罗光学MEMS加速度传感器,其特征在于:所述的敏感芯片(9)为MEMS法布里珀罗光学弹簧质量结构,由可动镜面(9-1)、腔体(9-2)、固定镜面(9-3)形成法布里珀罗腔,当激光二极管(8)发出的单频激光进入敏感芯片(9)之后会在其腔体内发生多次反射透射,并最终输出干涉光;当传感器受到纵向加速度作用时,可动镜面(9-1)发生上下振动,导致法布里珀罗腔的腔长,即可动镜面(9-1)与固定镜面(9-3)之间的距离发生变化,进而使得干涉相位发生变化,通过解调相位的变化量便得出所受加速度大小;所述可动镜面(9-1)和固定镜面(9-3)的上下表面分别加工有由氮化硅构成的红外光增透膜及由氧化硅和锗构成的红外光增反膜,使得敏感芯片9具有高光学精细度;此外,在可动镜面(9-1)和固定镜面(9-3)的上表面加工有金电极,用于调节敏感芯片(9)的腔长,提高传感器灵敏度。
3.根据权利要求2所述的一种低横向灵敏度的法布里珀罗光学MEMS加速度传感器,其特征在于:所述的可动镜面(9-1)采用分体式弹簧质量结构,包括框架(9-1-1)、横向加速度隔绝质量块(9-1-2)、弹簧(9-1-3)和中心质量块(9-1-4),框架(9-1-1)通过弹簧(9-1-3)和横向加速度隔绝质量块(9-1-2)外侧连接,横向加速度隔绝质量块(9-1-2)内侧通过弹簧(9-1-3)和中心质量块(9-1-4)连接,横向加速度隔绝质量块(9-1-2)为分体式块状结构,由四个L型分质量块呈中心对称分布构成;可动镜面(9-1)的工作方向即加速度敏感方向为Z轴方向,在受到横向加速度作用时,横向加速度隔绝质量块(9-1-2)发生扭转,而中心质量块(9-1-4)始终保持水平状态,降低了传感器的横向灵敏度。
4.根据权利要求1所述的一种低横向灵敏度的法布里珀罗光学MEMS加速度传感器,其特征在于:所述半导体制冷片(5)在工作时上表面制冷,下表面放热;所述半导体制冷片(5)为长方体结构,在其正中心存在一个通孔,用来放置激光二极管(8),通过热敏电阻及温度控制芯片形成温度闭环控制系统,从而对激光二极管(8)由于工作造成的发热进行冷却,使得激光二极管(8)的波长输出保持稳定,进而降低传感器的检测噪声,提高传感器测量精度。
5.根据权利要求1所述的一种低横向灵敏度的法布里珀罗光学MEMS加速度传感器,其特征在于:所述的传感器壳体(1)、第一支架(2)、第二支架(3)及基座(7)联合使用,将半导体制冷片(5)、激光二极管(8)、敏感芯片(9)及光电检测芯片(11)固定集成于一体,提高了传感器的便携实用性。
6.根据权利要求1所述的一种低横向灵敏度的法布里珀罗光学MEMS加速度传感器,其特征在于:所述的激光二极管(8)为分布式反馈(DFB)激光二极管,并集成有汇聚透镜。
7.根据权利要求1所述的一种低横向灵敏度的法布里珀罗光学MEMS加速度传感器,其特征在于:所述的第二支架(3)下表面具有和激光二极管(8)同样形状规格的凹槽。
8.根据权利要求1所述的一种低横向灵敏度的法布里珀罗光学MEMS加速度传感器,其特征在于:所述的第一引脚组(4)共包含8个接线引脚,分别为半导体制冷片(5)、敏感芯片(9)、电路板(10)提供接线点;所述的第二引脚组(6)共包含4个接线引脚,为激光二极管(8)通电接线点。
9.根据权利要求1所述的一种低横向灵敏度的法布里珀罗光学MEMS加速度传感器,其特征在于:所述的壳体(1)及基座(7)的材质为铝。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
有发电机的用电产品 | 2020-05-13 | 167 |
一种基于心电图的心率监测分析方法 | 2020-05-21 | 53 |
一种激光条纹遮挡噪声滤除及补偿方法 | 2020-05-15 | 329 |
输送带式检针机的灵敏度测试方法及输送带式检针机 | 2020-05-16 | 207 |
一种基于机载LiDAR测深系统的水下点云去噪方法 | 2020-05-21 | 305 |
一种基于云的垃圾分拣系统、方法、信息处理终端及存储介质 | 2020-05-08 | 194 |
一种复杂场景下香烟品牌识别方法 | 2020-05-19 | 950 |
一种基于图像的隧道病害识别系统 | 2020-05-18 | 338 |
一种低噪声轴流风机复合仿生翼型叶片 | 2020-05-22 | 633 |
一种用于灰岩加工的荒料切割固定装置 | 2020-05-12 | 200 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。