一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置专利检索-阀阀门专利检索查询-专利查询网

一种用于 电子工厂的特殊气体安全存储装置

阅读：156发布：2021-06-08

专利汇可以提供一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开了用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，涉及安全储气技术领域，解决了现有技术中电子工厂特殊气体存放装置建设成本高的问题，其技术要点是：包括柜体和柜门，柜门铰接在柜体上，柜体表面密封连接，柜体内设有用于固定气瓶的气瓶固定机构，柜体上设置有风阀，风阀与柜体内部连通，且风阀通过气管连接尾气处理系统；本实用新型通过集成了空气置换、负压显示、固定装置及踏板为一体的存储柜完成特殊气体安全存储的工作，相对于现有技术，本实用新型气体存储更低，存储方式更方便便捷。，下面是一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，包括柜体(1)和柜门(2)，柜门(2)铰接在柜体(1)上，其特征在于，柜体(1)表面密封连接，柜体(1)内设有用于固定气瓶的气瓶固定机构(3)，柜体(1)上设置有风阀(5)，风阀(5)与柜体(1)内部连通，且风阀(5)通过气管连接尾气处理系统。
2.根据权利要求1所述的用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，其特征在于，柜门(2)的底部设有进风口(22)。
3.根据权利要求2所述的用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，其特征在于，柜体(1)的顶部设有用于测试柜体(1)内的压力的负压表(4)。
4.根据权利要求1-3任一所述的用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，其特征在于，柜体(1)的底部铰接有踏板(6)。
5.根据权利要求4所述的用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，其特征在于，踏板(6)表面涂覆有防止踏板(6)与气瓶碰撞后产生火花的防撞层。
6.根据权利要求1-3任一所述的用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，其特征在于，柜门(2)上还设有观察窗(21)，观察窗(21)上固定连接有钢化玻璃窗。

说明书全文

一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置

技术领域

[0001] 本实用新型涉及安全储气技术领域，尤其涉及一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置。

背景技术

[0002] 半导体芯片：在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件。不只是硅芯片，常见的还包括砷化镓，锗等半导体材料；

[0003] 在半导体芯片、光伏元件等行业的生产车间都会用到特殊供应气体的供气系统，这些特殊供应气体如果发生泄漏，会污染环境，因此，在供气系统中特殊气体储气瓶的存放
地点是十分重要的，现有技术中，这种特殊气体的存放一般专门建造一个储气用的房间，该
房间内部建造有空气循环净化系统，但是，专门建造储气用的房间需要大量的成本，而且房
间不易移动，造成了储气瓶运输的不方便，因此，我们提出了一种用于电子工厂的特殊气体
安全存储装置。
实用新型内容

[0004] 本实用新型要解决的技术问题是针对上述缺陷，提供一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，包括柜体和柜门，柜门铰接在柜体上，柜体表面密封连接，柜体内设有用
于固定气瓶的气瓶固定机构，柜体上设置有风阀，风阀与柜体内部连通，且风阀通过气管连
接尾气处理系统，以解决现有技术中电子工厂特殊气体存放装置建设成本高的问题。

[0005] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

[0006] 一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，包括柜体和柜门，柜门铰接在柜体上，柜体表面密封连接，柜体内设有用于固定气瓶的气瓶固定机构，柜体上设置有风阀，风
阀与柜体内部连通，且风阀通过气管连接尾气处理系统。

[0007] 作为本实用新型进一步的方案，柜门的底部设有进风口。

[0008] 作为本实用新型进一步的方案，柜体的顶部设有用于测试柜体内的压力的负压表。

[0009] 作为本实用新型进一步的方案，柜体的底部铰接有踏板。

[0010] 作为本实用新型进一步的方案，踏板表面涂覆有防止踏板与气瓶碰撞后产生火花的防撞层。

[0011] 作为本实用新型进一步的方案，柜门上还设有观察窗，观察窗上固定连接有钢化玻璃窗。

[0012] 综上所述，本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果：

[0013] 本实用新型通过集成了空气置换、负压显示、固定装置及踏板为一体的存储柜完成特殊气体安全存储的工作，相对于现有技术，本实用新型气体存储更低，存储方式更方便
便捷。
附图说明

[0014] 图1为用于电子工厂的特殊气体安全存储装置的结构示意图。

[0015] 图2为用于电子工厂的特殊气体安全存储装置的主视图。

[0016] 附图标记：1-柜体，2-柜门，21-观察窗，22-进风口，3-气瓶固定机构，4-负压表，5-风阀，6-踏板。

具体实施方式

[0017] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的
实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

[0018] 实施例1

[0019] 由图1～图2所示，一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，包括柜体1和柜门2，柜门2铰接在柜体1上，柜体1内设有用于固定气瓶的气瓶固定机构3，柜体1上设置有风阀
5，风阀5与柜体1内部连通，且风阀5通过气管连接尾气处理系统；

[0020] 柜体1的主体结构由方管焊接而成，方管表面固定连接有钢板，且钢板之间密封连接，用于防止特殊气体产生泄漏后逸散到空气中；

[0021] 柜门2的底部设有进风口22，用于进风，使得柜体1内形成空气流通，进而使特殊气体泄漏时可以及时的将特殊气体吸走，气瓶固定机构3为现有技术中钢瓶的固定结构，气瓶
固定机构3通过螺钉固定连接在柜体1的内部；

[0022] 风阀5为现有技术，柜体1贮藏钢瓶时风阀5处于工作状态，用于将柜体1内的气体吸走，从而使得柜体1内形成空气流通，并防止特殊气体逸散到空气中；

[0023] 优选的，为了便于观察柜体1内空气流通状况，柜体1的顶部还设有负压表4，负压表4用于测试柜体1内的压力，同时间接的反映风阀5的工作状况，当柜体1内负压减小或不
存在负压时，说明风阀5工作出现故障，需要及时检修；

[0024] 踏板6铰接在柜体1的底部，踏板6为钢板，且踏板6的表面附有防撞层，本实施例中，防撞层为橡胶层，防止气瓶取下是与踏板6产生碰撞后产生火花。

[0025] 实施例2

[0026] 由图1～图2所示，一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，包括柜体1和柜门2，柜门2铰接在柜体1上，柜体1内设有用于固定气瓶的气瓶固定机构3，柜体1上设置有风阀
5，风阀5与柜体1内部连通，且风阀5通过气管连接尾气处理系统；

[0027] 优选的，本实施例中，柜体1的底部还设有四个锁定式万向脚轮，用于方便柜体1的运输；

[0028] 柜门2上还设有观察窗21，观察窗21上固定连接有钢化玻璃窗，便于工作人员观察柜体1内气瓶存储状况；

[0029] 其他的和实施例1相同。

[0030] 综上所述，本实用新型的工作原理是：

[0031] 气瓶固定机构3用于气瓶，负压表4用于显示风阀5的工作状态，风阀5用于使柜体1内形成空气流通，使得本装置集成了空气置换、负压显示、固定装置及踏板为一体的存储
柜，大大的减小了特殊气体存储装置的成本。

[0032] 需要特别说明的是，本申请中，通过集成了空气置换、负压显示、固定装置及踏板为一体的存储柜降低特殊气体存储成本为本申请的创新点，其有效解决了现有技术中电子
工厂特殊气体存放装置建设成本高的问题。

[0033] 在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能
理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第
二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除
非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

[0034] 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修
改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

标题	发布/更新时间	阅读量
喷雾产品	2020-05-08	784
基于MMC的电力电子变压器系统及其分层控制系统架构	2020-05-08	461
一种防潮铅蓄电池箱	2020-05-11	100
流体控制阀	2020-05-08	861
双止回阀	2020-05-08	404
一种散热配电柜	2020-05-08	123
锂电池安全阀开启压力的设计方法、系统、安全阀及电池	2020-05-08	195
自动截止阀	2020-05-08	159
集成引擎制动器构造	2020-05-08	704
半导体元件制造系统及操作半导体元件制造系统的方法	2020-05-11	507

一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置

一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置

技术领域

背景技术

具体实施方式

该功能需要专业版企业版VIP权限，您可以：