技术领域
[0001] 本实用新型涉及
太阳能电池制造设备，特别涉及用于PECVD设备的槽内加热模块。
背景技术
[0002]
薄膜/晶
硅异质结太阳能电池(可简称为异质结或HIT太阳能电池) 属于第三代高效太阳能电池技术，它结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势，具有转换效率高、
温度系数低等特点，特别是双面的
异质结太阳能电池转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。
[0003] 在HIT太阳能电池制造领域，对关键的PECVD设备产能要求很高，
节拍很快，在预热腔或工艺腔内每隔几十或几百秒就要有一个托盘进入并需对冷托盘或低温托盘进行预热。如图1所示，在预热腔或工艺腔等腔室中，通常会在其
侧壁或顶壁或底壁1的凹槽10中设置槽内加热模块来对相关腔室进行加热，图1中的槽内加热模块仅包括电加热器20，为避免在加热时因材料膨胀系数差异对凹槽10的侧壁或对电加热器20造成破坏，图1中的电加热器
20通常会设置成与凹槽的侧壁间隔开，从而使得电加热器20的
传热方式基本以热
辐射为主。
[0004] 电加热器20需在数百秒左右将托盘预热到某个固定温度，如200 度以上。而数百秒左右的总时间还需减去托盘传入传出时间，如此托盘与预热腔
接触的有效时间就会减少几十秒，这就需在短时间内快速提供高
能量，让托盘把能量吸收进去，从而加热托盘。这种情况就对电加热器20的功率提出很高要求，因尺寸受限而同样线径的加热器在提供大功率时，功率
密度可高达4W/cm2，当加热器长时间用时就可能产生高达到几百mA的漏
电流。在PECVD设备运行时，这么高的
漏电流是不能接受的。
[0005] 因此，如何提供一种槽内加热模块以降低漏电流和提供加热效率已成为业内亟待解决的技术问题。实用新型内容
[0006] 针对
现有技术的上述问题，本实用新型提出了一种槽内加热模块，其包括设置在凹槽内的电加热器，所述槽内加热模块还包括设置在所述电加热器周围的至少一金属弹性件，所述至少一金属弹性件与所述电加热器以及所述凹槽的侧壁相接触。
[0007] 在一
实施例中，所述至少一金属弹性件包括分别设置在所述电加热器两侧的第一金属弹性件和第二金属弹性件，所述第一金属弹性件和第二金属弹性件各自均与所述电加热器以及所述凹槽的侧壁相接触。
[0008] 在一实施例中，所述电加热器设置在所述凹槽的底部并与所述凹槽的底壁相接触，所述第一金属弹性件和第二金属弹性件设置在所述电加热器上并且均与所述凹槽的侧壁以及所述电加热器相接触，所述电加热器与所述凹槽的两个侧壁间隔开。
[0009] 在一实施例中，所述第一金属弹性件和第二金属弹性件设置在所述凹槽的底部，所述电加热器设置在所述第一金属弹性件和第二金属弹性件上，所述第一金属弹性件和第二金属弹性件均与所述凹槽的底壁和侧壁以及所述电加热器相接触，所述电加热器与所述凹槽的两个侧壁间隔开并与所述凹槽的底壁相接触。
[0010] 在一实施例中，所述电加热器为具有2-8mm的外径的圆柱形，所述第一金属弹性件和第二金属弹性件的直径均为2-6mm。
[0011] 在一实施例中，所述至少一金属弹性件包括一体式金属弹性件，所述一体式金属弹性件的外形与所述凹槽的形状相匹配且适于以与侧壁相接触的方式卡置在所述凹槽中，所述一体式金属弹性件设置有用于容纳所述电加热器且形状与所述电加热器相匹配的凹部，所述电加热器与所述凹部及所述凹槽的底壁相接触。
[0012] 在一实施例中，所述电加热器为铠装加热器，所述铠装加热器由内向外依次包括位于内部的
电阻丝、位于中部的绝缘层以及位于外部的
外壳。
[0013] 在一实施例中，所述凹槽对应的槽体的材质为
铝，所述电加热器的外壳的材质为
合金钢，所述至少一金属弹性件的材质为
不锈钢。
[0014] 在一实施例中，所述凹槽设置在PECVD设备的预热腔的侧壁或顶壁或底壁上，承载有
硅片的托盘在被传送进入所述预热腔时与所述凹槽的槽体进行热传导。
[0015] 在一实施例中，所述电加热器在
真空环境下进行加热。
[0016] 与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型的槽内加热模块包括设置在所述电加热器周围的至少一金属弹性件，能够有效降低电加热器表面温度，进而降低电加热器漏电流，并将传热方式从热辐射改变成热接触，且能改善热接触面积，增加传热效率；本实用新型还能利用至少一金属弹性件的弹性而使电加热器热较自由地进行膨胀，不会使电加热器从凹槽内鼓出来。
附图说明
[0017] 在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本实用新型的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。
[0018] 图1为现有技术的槽内加热模块的实施例的组成结构示意图；
[0019] 图2和图3为本实用新型的槽内加热模块的第一实施例的组成结构示意图；
[0020] 图4为本实用新型的槽内加热模块的第二实施例的组成结构示意图；
[0021] 图5为本实用新型的槽内加热模块的第三实施例的组成结构示意图；以及[0022] 图6为本实用新型的槽内加热模块的第四实施例的组成结构示意图。
具体实施方式
[0023] 以下结合附图和具体实施例对本实用新型作详细描述，以便更清楚理解本实用新型的目的、特点和优点。应理解的是，以下结合附图和具体实施例描述的诸方面仅是示例性的，而不应被理解为对本实用新型的保护范围进行任何限制。除非上下文明确地另外指明，否则单数形式“一”和“所述”包括复数指代物。
[0024] 参见图2和图3，其显示了本实用新型的槽内加热模块2的第一实施例的组成结构示意图。槽内加热模块2包括设置在凹槽内的电加热器20和设置在所述电加热器20周围的至少一金属弹性件22，所述至少一金属弹性件22与所述电加热器20以及所述槽10的侧壁相接触。在第一实施例中，所述凹槽10设置在PECVD设备的预热腔的侧壁或顶壁或底壁上，槽内加热模块2相应设置在PECVD设备的预热腔内，承载有硅片的托盘在被传送进入所述预热腔时与凹槽10的槽体相接触并进行热传导。在其他实施例中，所述凹槽10设置在PECVD设备的反应腔的侧壁或顶壁或底壁上且不与反应气体直接接触，槽内加热模块2 相应地设置在PECVD设备的反应腔内。
[0025] 在第一实施例中，所述电加热器20可为铠装加热器，所述铠装加热器由内向外依次包括位于内部的电阻丝、位于中部的绝缘层以及位于外部的外壳。
[0026] 在第一实施例中，凹槽10对应的槽体的材质为铝，所述电加热器 20的外壳的材质为
合金钢，所述至少一金属弹性件22的材质为不锈钢。
[0027] 如图3所示，所述至少一金属弹性件22包括第一金属弹性件220 和第二金属弹性件222，所述第一金属弹性件220和第二金属弹性件 222各自均与所述电加热器20以及所述凹槽10的侧壁相接触。所述电加热器20设置在所述凹槽10的底部并与其底壁相接触，所述第一金属弹性件220和第二金属弹性件222设置在所述电加热器20上并且分别由所述凹槽10的左右侧壁以及所述电加热器20
支撑，所述电加热器20与所述凹槽10的两个侧壁间隔开。在第一实施例中，所述第一金属弹性件220和第二金属弹性件222均为不锈钢
弹簧。
[0028] 图4示出了本实用新型的槽内加热模块2的第二实施例的组成结构示意图，与图3中的仅电加热器20设置在所述凹槽10的底部所不同的是，图4中的第一金属弹性件220、第二金属弹性件222和电加热器20均设置在所述凹槽10的底部，即三者均与所述凹槽10的底壁相接触。所述第一金属弹性件220和第二金属弹性件222均与所述凹槽 10的侧壁以及所述电加热器20相接触。所述电加热器20与所述凹槽 10的两个侧壁间隔开。在第二实施例中，所述第一金属弹性件220和第二金属弹性件222为不锈钢弹簧。
[0029] 图3和图4中的电加热器20为具有2-8mm的外径的圆柱形，所述第一金属弹性件220和第二金属弹性件222的直径均为2-6mm。所述电加热器20的直径可为第一金属弹性件220或第二金属弹性件222的直径的一至五倍。
[0030] 在本实用新型的其他实施例中，也可仅在电加热器20的一侧设置单个金属弹性件，参照上述描述，单个金属弹性件可与所述电加热器 20以及所述凹槽10的一个侧壁相接触。
[0031] 图5示出了本实用新型的槽内加热模块的第三实施例的组成结构示意图。如图5所示，槽内加热模块2”包括用于设置在凹槽10内的电加热器20和设置在所述电加热器20周围的一体式金属弹性件24，所述一体式金属弹性件24的外形与凹槽10的形状相匹配且适于以与其侧壁相接触的方式卡置在所述凹槽10中，所述一体式金属弹性件24 设置有用于容纳电加热器20且形状与电加热器20相匹配的凹部240。在安装时，将所述电加热器20和所述一体式金属弹性件24先后放置到凹槽10中，并将电加热器20放置在凹部240中，所述一体式金属弹性件24的两侧在弹性
力的作用下与凹槽10的侧壁相抵，使得所述一体式金属弹性件24卡固在凹槽10中，电加热器20与凹部240及所述凹槽10的底壁相接触。在第三实施例中，所述一体式金属弹性件24 为缠绕成圈的不锈钢弹簧。
[0032] 图6示出了本实用新型的槽内加热模块的第四实施例的组成结构示意图。如图6所示，槽内加热模块2’包括用于设置在凹槽10内的电加热器20和设置在所述电加热器20周围的一体式金属弹性件26，所述一体式金属弹性件26的外形与凹槽10的形状相匹配且适于以与其侧壁相接触的方式卡置在所述凹槽10中，所述一体式金属弹性件26 设置有用于容纳电加热器20且形状与电加热器20相匹配的凹部260。第四实施例的安装方式与第三实施例的相类似，在其安装完成之后，所述一体式金属弹性件26通过弹性力卡固在凹槽10中，电加热器20 与凹部260及所述凹槽10的底壁相接触。在第四实施例中，所述一体式金属弹性件26为一体成型的不锈钢弹性片。
[0033] 本实用新型的槽内加热模块在将其对应的腔室加热时，设置在所述电加热器20周围的至少一金属弹性件22可解决对应设备因快节拍带来的需要瞬时大功率而导致漏电流过大的问题，并能有效提高热传递效率，电加热器20在冷托盘进入腔室时，温度会少降几度。
[0034] 本实用新型本实用新型的槽内加热模块包括设置在所述电加热器周围的至少一金属弹性件，能够有效降低电加热器表面温度，进而降低电加热器漏电流，并将传热方式从热辐射改变成热接触，且能改善热接触面积，增加传热效率；本实用新型还能利用至少一金属弹性件的弹性而使电加热器热较自由地进行膨胀，不会使电加热器从凹槽内鼓出来。
[0035] 上述实施例是提供给熟悉本领域内的人员来实现或使用本实用新型的，熟悉本领域的人员可在不脱离本实用新型的实用新型思想的情况下，对上述实施例做出种种
修改或变化，因而本实用新型的保护范围并不被上述实施例所限，而应该是符合
权利要求书提到的创新性特征的最大范围。
