| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 放射源盒 | CN202211560491.6 | 2022-12-07 | CN115966324A | 2023-04-14 | 真志辉; 张敬东; 陈维刚; 王强军; 展冰洋 |
| 本申请公开了一种放射源盒，属于电池检测设备技术领域。放射源盒包括第一盒体，形成有第一开口；容置件，设置于第一盒体内，容置件形成有连通的容纳腔和第二开口，容纳腔用于收容放射源；屏蔽体，填充于容置件和第一盒体之间；驱动机构，用于驱动容置件转动，以使得第二开口与第一开口对应，或使得第二开口被屏蔽体覆盖。放射源盒包括第一盒体，第一盒体形成有第一开口，容置件设置于第一盒体内，容置件形成有连通的容纳腔和第二开口，容纳腔用于收容放射源。降低了放射源释放的辐射由第一开口泄露至第一盒体的外部，导致辐射污染的风险，提高了放射源盒的辐射防护性能。 | ||||||
| 2 | 放射源 | CN03800844.0 | 2003-06-04 | CN1545709A | 2004-11-10 | M·G·施尔顿 |
| 由含有放射性材料的薄片(10)制造的放射源(12)，方法是从薄片上切断多个六边形薄片元件(12)，使得在相邻六边形薄片元件之间不留有薄片的未切断部分。这显著地降低放射性薄片的浪费。 | ||||||
| 3 | 放射源设备 | CN201811094242.6 | 2018-09-19 | CN109581819B | 2024-03-22 | 杨基; 陈思妤; 简上杰; 谢劼; 傅中其; 刘柏村; 陈立锐; 郑博中 |
| 本发明实施例提供一种放射源设备。上述放射源设备包括一腔室、一标靶液滴产生器、一排气模块、一测量装置以及一控制器。标靶液滴产生器配置以提供多个标靶液滴至腔室。排气模块配置以根据一第一气体流量而将对应于上述标靶液滴的碎屑抽出上述腔室。测量装置配置以测量在腔室中碎屑的浓度。控制器耦接于测量装置与排气模块，并配置以根据碎屑的所测量的浓度而调整第一气体流量。 | ||||||
| 4 | 密封放射源 | CN202310159194.9 | 2023-02-20 | CN116189952A | 2023-05-30 | 贾少青; 梁艳; 张栋; 刘超 |
| 本发明涉及放射源领域，提供一种密封放射源，包括：第一壳体，构造有第一容置腔，设有第一开口；第二壳体，设置在第一容置腔，构造有第二容置腔，设有第二开口，第一开口和第二开口的朝向相反，所有开口通过壳盖焊接密封；放射源源芯，设置在第二容置腔中。本发明提供的密封放射源，通过在第一壳体中构造具有第一开口的第一容置腔，将第一容置腔中设置具有第二容置腔的第二壳体，并将第二容置腔的第二开口与第一开口朝相反方向设置，以增加密封行程，保证密封放射源的可靠性和稳定性，同时在第一壳体上设置挂耳，使得可通过挂耳悬挂整个密封放射源，控制密封放射源的在一定的空间移动，从而该密封放射源能够在特种场所以及科学研究中使用。 | ||||||
| 5 | 放射源设备 | CN201811094242.6 | 2018-09-19 | CN109581819A | 2019-04-05 | 杨基; 陈思妤; 简上杰; 谢劼; 傅中其; 刘柏村; 陈立锐; 郑博中 |
| 本发明实施例提供一种放射源设备。上述放射源设备包括一腔室、一标靶液滴产生器、一排气模块、一测量装置以及一控制器。标靶液滴产生器配置以提供多个标靶液滴至腔室。排气模块配置以根据一第一气体流量而将对应于上述标靶液滴的碎屑抽出上述腔室。测量装置配置以测量在腔室中碎屑的浓度。控制器耦接于测量装置与排气模块，并配置以根据碎屑的所测量的浓度而调整第一气体流量。 | ||||||
| 6 | 含碘放射源 | CN00811517.6 | 2000-02-23 | CN1368895A | 2002-09-11 | L·德维; G·L·麦因蒂雷; E·古斯托; R·A·斯诺; H·J·斯蒂文斯; E·R·贝坎 |
| 一种用于近距放射治疗的放射源,所述放射源包括碘放射性同位素,其以吸附在基本无放射衰减作用的基体表面上的碘负离子或含碘化合物的形式存在。优选所述源为种子形小管并且所述放射性同位素为碘－125。优选基体包括碳、特别是活性炭。所述源可用于治疗再狭窄。 | ||||||
| 7 | 放射源 | JP2020544251 | 2019-01-28 | JP2021515267A | 2021-06-17 | クルロビッチ,ドミトリー; ヴェルソラート,オスカー,オレステ; ピニェイロ デ ファリア ピント,チアゴ; ヴィッテ,ステファン,マイケル |
| レーザ生成プラズマタイプの放射源(SO)が記載される。放射源(SO)は、燃料液滴(60)を提供するように構成された液滴ジェネレータ(3a)を備える。放射源(SO)は、プリパルス及びメインパルスを提供するように構成されたレーザシステム(1)を備える。プリパルスは、メインパルスの受け取りのために燃料液滴(60)を調節するように動作可能である。メインパルスは、調節された燃料液滴(60)をプラズマに変換するように動作可能である。放射源(SO)は、燃料液滴(60)の空間質量分布の発振の特徴を感知するために構成された感知システム(16)を備える。放射源(SO)は、感知された特徴の制御の下でプリパルスの偏光を調整するように動作可能な制御システム(44)を備える。プリパルスの偏光は、調節された燃料液滴(60)の空間質量分布に影響を与えることができる。 【選択図】図3 |
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| 8 | 放射源 | JP2020515085 | 2018-08-17 | JP2020535458A | 2020-12-03 | ニー,ヨンフェン |
| スーパーコンティニウム放射源は、放射源と、光増幅器と、非線形光学媒体と、を備えている。放射源は、パルス放射ビームを生成するよう動作可能である。光増幅器は、パルス放射ビームを受光し、パルス放射ビームの強度を増大させるよう構成されている。非線形光学媒体は、増幅パルス放射ビームを受光し、スーパーコンティニウム放射ビームを発生させるように増幅パルス放射ビームのスペクトルを拡大するよう構成されている。光増幅器は、利得媒体にポンプ放射ビームを供給することができる。ポンプ放射ビームの強度は周期的であり、パルス放射ビームの周波数の整数倍であるポンプ周波数を有する。光増幅器は、パルス放射ビームのパルスが利得媒体を伝搬しているときにのみポンプエネルギを利得媒体に供給することも可能である。 【選択図】図3 |
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| 9 | 放射源 | JP2020512670 | 2018-09-12 | JP2020534562A | 2020-11-26 | ヤクニン,アンドレイ,ミクハイロヴィッチ; パイネンビュルフ,ヨハネス,アドリアヌス,コルネリス,マリア; クロイン,クリスティアン,ゲラルドス,ノルベルタス,ヘンドリカス,マリエ |
| EUV放射を提供するように構成された放射源であって、放射源は燃料放出器及びレーザシステムを備える。燃料放出器は、プラズマ形成領域に燃料ターゲットを提供するように構成される。レーザシステムは、燃料ターゲットの一部をプラズマに変換するために、燃料ターゲットがプラズマ形成領域にあるときに、レーザ放射を用いて燃料ターゲットを照明するように構成される。特に、レーザシステムは、燃料ターゲットにおけるレーザ放射の断面が、レーザ放射の伝搬方向に対して垂直な平面内のプラズマに変換される燃料ターゲットの部分の断面より小さいように構成される。こうした放射源は、既知のLPP源に比べて変換効率が向上したレーザ生成プラズマ(LPP)源を提供する。 【選択図】 図5 |
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| 10 | 放射源 | JP2016531702 | 2014-10-23 | JP6646576B2 | 2020-02-14 | ベイゼンス、ロルフ、テオドルス、ニコラース; フェーンストラ、コルネリス、フリッツ; デ ヨング、アリエン、ティーケ; ジリゼン、レイニア、テオドルス、マルティヌス; クリーマンス、ニーク、アントニウス、ヤコブス、マリア; ニキペロフ、アンドレイ; セログラゾフ、パヴェル; ファン アステン、ニコラース、アントニウス、アレゴンドス、ヨハネス; ヴェルブラーク、ハラルド、アーネスト |
| 11 | 放射源 | JP2018562329 | 2017-06-01 | JP2019525217A | 2019-09-05 | クマール,ニティーシュ; フイスマン,サイモン,レイナルド |
| アライメントマーク測定システムのためのスーパーコンティニウム放射源は、放射源、照明光学系、複数の導波路、及び集光光学系を備える。放射源は、パルス放射ビームを生成するように動作可能である。照明光学系は、パルスポンプ放射ビームを受信するように、及び複数のパルスサブビームを形成するように配置され、各パルスサブビームはパルスポンプ放射ビームの一部を含む。複数の導波路の各々は、複数のパルスサブビームビームのうちの少なくとも1つを受信するように、及びスーパーコンティニウムサブビームを発生させるためにそのパルスサブビームのスペクトルを広げるように、配置される。集光光学系は、複数の導波路の各々からスーパーコンティニウムサブビームを受信するように、及びスーパーコンティニウム放射ビームを形成するために複数の導波路を組み合わせるように、配置される。 【選択図】 図5 |
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| 12 | 放射源 | JP2017539016 | 2016-01-21 | JP2018507437A | 2018-03-15 | ブリーカー,アーノ,ジャン; ホフストラ,ラモン,マーク; ビュールマン,エリク,ペトルス; ムアズ,ヨハネス,フーベルトゥス,ジョセフィナ; ストルイケン,アレクサンダー,マティス; ホールマ,ハルム−ヤン; オエムローシング,スーマント,スクデュー,ラマヌジャン; ユーリングズ,マーカス,フランシスカス,アントニウス; ムイス,ピーター,フランス,マリア |
| 第1の波長を有する第1のレーザビーム及び第2の波長を有する第2のレーザビームを放出するためのレーザモジュールと、第1及び第2のレーザビームの光路を分離し、光路を実質的に再結合するためのビーム分離デバイスと、燃料ターゲットに第1及び第2のレーザビームを誘導するためのビームデリバリシステムと、第1のレーザビームの偏光状態を調整し、第2のレーザビームの偏光状態を調整し、第1のレーザビームの反射及び第2のレーザビームの反射がレーザモジュールに向かって伝搬するのを実質的に阻止するように調整済み偏光状態を有する放射を阻止する、ための光学隔離装置と、を含む、リソグラフィツール用のレーザ放射源である。【選択図】図5 | ||||||
| 13 | 放射源 | JP2016546097 | 2014-12-19 | JP2017506359A | 2017-03-02 | ユーリングズ，マーカス，フランシスカス，アントニアス; クリーマンズ，ニーク，アントニウス，ジェイコブス，マリア; ディゼルドンク，アントニウス，ヨハネス，ヨセウス ヴァン; ホフストラ，ラモン，マーク; ノールマン，オスカー，フランシスカス，ヨセフス; ナン ファム，ティエン; スホート，ジャン，ベルナルド，プレヘルムス ヴァン; ワン，ジウン−チェン; ツァン，ケビン，ウェイミン |
| 【課題】放射を誘導するための改良したツールを提供する。【解決手段】入射放射ビーム(2)を受容し反射された放射ビームをターゲットに誘導するためのファセットリフレクタ(32’、32’’)である。ファセットリフレクタは複数のファセットを備え、複数のファセットの各々は反射面を備える。複数のファセットの第1サブセットの各反射面は、第1連続表面の各部分を画定し、反射された放射ビームの第1部分を提供するように入射放射ビームの各第1部分を第1の向きに反射するように配置される。複数のファセットの第2サブセットの各反射面は、第2連続表面の各部分を画定し、反射した放射ビームの第2部分を提供するように入射放射ビームの各第2部分を第2の向きに反射するように配置される。【選択図】図4 | ||||||
| 14 | 放射源 | JP2012190427 | 2012-08-30 | JP6086676B2 | 2017-03-01 | シメール,ヘンドリカス,ジスバータス; ディクスマン,ヨハン,フレデリック; ラベッツスキ,ドズミトリ |
| 15 | 放射源 | JP2014533814 | 2012-09-06 | JP2014534559A | 2014-12-18 | ヤンセン，バスティアーン; ホーカンプ，ヤン |
| 【課題】従来技術の問題の少なくとも1つを除去または軽減する放射源を提供する。【解決手段】リソグラフィ装置のイルミネータに放射ビームを提供するのに適した放射源である。この放射源は、燃料液滴の流れを軌道に沿ってプラズマ形成地点に向けて誘導するように構成されたノズルを備える。放射源は、使用に際して、第1の量の放射がプラズマ形成地点で燃料液滴に入射するべく、かつ、使用に際して、第1の量の放射が燃料液滴にエネルギを伝達して第2の量の放射を放出する放射生成プラズマを生成するべく、第1の量の放射を受けるように構成される。放射源はさらに、第1の量の放射の焦点位置を示す第1の量の放射の特性を測定するように構成された第1センサアレンジメントと、燃料液滴の位置を示す燃料液滴の特性を測定するように構成された第2センサアレンジメントと、を備える。【選択図】図3 | ||||||
| 16 | 放射源 | JP2014531158 | 2012-08-23 | JP2014528146A | 2014-10-23 | スホート，ジャン ヴァン; クリューウェル，ヘルマノス; バニエ，バディム; ヤクニン，アンドレイ; モールス，ロエル; フラインス，オラフ; スウィンケルズ，ゲラルドス; ヴァンデルハリアン，イヴォ; シュタム，ウーヴェ |
| 燃料流(102)を生成しかつプラズマ形成位置(104)に向かう軌跡に沿って燃料流(102)を誘導する燃料流ジェネレータ(110)を有する放射源。プリパルスレーザ放射アセンブリは、変性燃料ターゲット(106)を生成するためにプラズマ形成位置における燃料流にレーザ放射の第1ビーム(100)を誘導する。メインパルスレーザ放射アセンブリは、放射生成プラズマ(117)を生成するためにプラズマ形成位置における変性燃料ターゲットにレーザ放射の第2ビーム(108)を誘導する。コレクタ(122)は、放射を集光し、かつ放射を放射源の光軸(105)に沿って誘導する。レーザ放射の第1ビームは、光軸に実質的に沿い燃料流に向かって誘導される。【選択図】図7 | ||||||
| 17 | 放射源 | JP2017503559 | 2015-07-27 | JP6774934B2 | 2020-10-28 | ニキぺロフ,アンドレイ,アレクサンドロビッチ; クーネン,タイズ,ヨハン; ヴァン ヘルヴォート,イェルーン,ヨハネス,マイケル; エンゲレン,ウーター,ジョープ; ブラッサード,ゲリット,ジャコバス,ヘンドリク; ポーター,ジェスバータス,ヘルト; ループストラ,エリック,ロエロフ |
| 18 | 放射源 | JP2019561890 | 2018-05-03 | JP2020521998A | 2020-07-27 | ヴァン デ ケルクホフ,マーカス,アドリアヌス; ムルダー,ハイネ,メレ |
| 放射源は、燃料の小滴をプラズマ形成領域に提供するように構成された燃料放出器と、レーザビームを供給するように構成されたレーザシステムと、を備える。レーザシステムは、レーザビームの主要部のパルスよりも前にレーザビームの副部のパルスがプラズマ形成領域に入射するように、レーザビーム副部に対してレーザビーム主要部を遅延させるよう構成された遅延線を備える。 【選択図】図3 |
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| 19 | 放射源 | JP2016546097 | 2014-12-19 | JP6498680B2 | 2019-04-10 | ユーリングズ,マーカス,フランシスカス,アントニアス; クリーマンズ,ニーク,アントニウス,ジェイコブス,マリア; ヴァン ディゼルドンク,アントニウス,ヨハネス,ヨセウス; ホフストラ,ラモン,マーク; ノールマン,オスカー,フランシスカス,ヨセフス; ファム,ティエン ナン; ヴァン スホート,ジャン,ベルナルド,プレヘルムス; ワン,ジウン−チェン; ツァン,ケビン,ウェイミン |
| 20 | 放射源 | JP2017540718 | 2016-01-18 | JP2018512723A | 2018-05-17 | シティナ,オルガ アレクサンドロヴナ |
| 第1レーザビームのパルスに続いて第2レーザビームのパルスを放出するように動作可能なシードモジュール(33)と複数の増幅チャンバとを備えるレーザシステム。各増幅チャンバは、利得を有する利得媒体を含む。複数の増幅チャンバは、第2順(PA3,PA2,PA1,PA0)で第1レーザビーム(45)のパルスを受けて第1レーザビームを増幅するように配置され、複数の増幅チャンバは、さらに、第2順の逆の第1順(PA0,PA1,PA2,PA3)で第2レーザビーム(41)のパルスを受けて第2レーザビームを増幅するように配置される。利得媒体の飽和出力及び小信号利得係数は、第1レーザビームのパルスが第2レーザビームのパルスが得る合計増幅より少ない合計増幅を得るように選択される。【選択図】図5 | ||||||
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