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序号 专利名 申请号 申请日 公开(公告)号 公开(公告)日 发明人
61 一种低折射率低消光系数相移掩模坯料制作方法 CN202311362139.6 2023-10-20 CN117348329A 2024-01-05 周志刚; 李伟; 李翼
发明公开了一种低折射率低消光系数相移掩模坯料制作方法,包括:选取相移掩模坯料基底,基底的折射率在1.6以下、消光系数在0.05以下;将基底进行抛光、清洗处理;在基底上堆叠过渡层,过渡层的折射率n1与基底的折射率n2之差在0.3以内;在过渡层上堆叠相移层,相移层的折射率n3分别与过渡层的折射率n1、基底的折射率n2之差在0.5以内,相移层对于波长190‑900nm的光的消光系数k1为0.9以下;在相移层上堆叠铬膜层;在铬膜层上堆叠光刻胶。本发明提供的相移掩模坯料制作方法,能够在190‑900nm全波长上保持较低的消光系数,减少各曝光光源下的光刻时间,提高光刻效率,同时保证相移膜的膜层厚度有利于光刻结构的形成。
62 基于激光雷达和卫星资料的沙尘消光系数廓线估算方法 CN202310717700.1 2023-06-16 CN116466368B 2023-08-22 范鑫; 丁虹鑫; 王新宇; 周炳旭
发明涉及基于激光雷达和卫星资料的沙尘消光系数廓线估算方法,属于气象雷达探测技术领域,包括收集沙尘廓线数据进行处理得到时空匹配数据集,模拟计算出可见光通道反射率和红外通道的亮温值;将沙尘廓线数据进行扰动,计算得到不同沙尘参数扰动情况下的可见光通道反射率和红外通道的亮温值,选取沙尘敏感通道;提取同步的激光雷达的沙尘消光系数廓线,形成可见光/红外观测和沙尘消光系数数据集;输入到递归神经网络进行训练,通过训练好的模型进行估算。本发明考虑了可见光可观测沙尘的数浓度、有效粒子半径和形状信息,红外通道可观测沙尘的高度和光学厚度信息结合高时空分辨率观测的优势,可进行大范围且高效的沙尘消光系数廓线估算。
63 一种基于IMPROVE方程的气溶胶消光系数的三维变分同化方法 CN201911003625.2 2019-10-22 CN111048161B 2022-09-13 臧增亮; 梁延飞; 尤伟; 郝子龙; 胡译文; 刘斌; 汪代春; 潘晓滨
一种基于IMPROVE方程的气溶胶消光系数的三维变分同化方法,步骤如下:依据三维变分理论和IMPROVE方程,编写求解三维变分目标泛函的计算机程序,称为同化系统;H称为观测算子,是一个M×N维的矩阵,其中M等于y的长度,N等于x的长度,x左乘H后的结果Hx是一个与y具有相同长度的向量;H的作用还包括将网格点的值插值到非网格点的观测位置处;R是观测误差协方差,是一个M×M维的矩阵;T代表向量的转置。依据IMPROVE方程实现Hx的计算,假设y的观测位置恰好在模式的规则网格点处,Hx的计算不涉及插值过程。
64 一种结合CCD和能见度仪的消光系数反演方法 CN202210652622.7 2022-06-07 CN115015177A 2022-09-06 张帅; 施奇兵; 刘本利; 叶丛雷
发明提供一种结合CCD和能见度仪的消光系数反演方法,涉及大气激光雷达技术领域。该一种结合CCD和能见度仪的云下消光系数反演方法,包括以下步骤:S1、利用CCD对修正近地面(盲区与过渡区)激光雷达后向散射回波信号,从而得到合理的近地面信号值,并对米散射激光雷达后向散射回波信号进行扣除背景信号、平滑去噪等基本数据预处理得到信号P(Z)。通过CCD修正近地面信号,利用能见度仪换算获取近地面消光系数值,利用Fernald前向积分,以能见度仪测量高度为标定高度向远端进行反演,得到不受云层影响的云下消光系数,有效改进了传统Fernald方法云下消光系数反演数值不合理的情况,消除云对云下消光系数反演的影响。
65 一种机载高光谱分辨率激光雷达消光系数反演方法 CN202111645439.6 2021-12-30 CN114296103B 2022-08-30 刘东; 孙颖姗; 柯举; 肖达; 王帅博
发明公开了一种机载高光谱分辨率激光雷达消光系数反演方法,方法包含获取原始数据;使用多种噪声去除方法降低信号噪声;基于去噪信号进行后向散射系数与散射比的计算;利用散射比阈值法进行初步层次识别;通过精细筛选条件实现气溶胶、地表与清洁大气的初步分类;通过层次处理和地表去除,确定有效反演区域;利用常规反演方法初步反演消光系数与雷达比;在初步分类基础上,实现云和气溶胶的子类分类与处理;以初步反演的雷达比为初值,进行雷达比分类迭代,并由此计算出最终的消光系数结果。利用本发明能够提升机载高光谱分辨率激光雷达消光系数的反演精度和反演完整性,有助于云和气溶胶相互作用、大气污染防治等领域的研究。
66 消光系数转颗粒物浓度方法、设备以及计算机存储介质 CN202210302505.8 2022-03-25 CN114638358A 2022-06-17 刘诚; 雒晋谊; 李启华; 张治国; 邢成志; 谈伟; 刘浩然
发明公开了消光系数转颗粒物浓度方法、设备以及计算机存储介质,该方法包括:利用超光谱大气遥感技术获取区域站点消光系数,NO2,SO2和H2O的廓线数据;利用大气化学和气象耦合模型模拟获得温度,气压和速,通过国家环境空气监测获得PM10质量浓度;将温度,气压与H2O数据结合,计算得到相对湿度的垂直分布;对获取得到的大气数据的缺失值和特殊值进行处理,并进行最大值‑最小值归一化,得到反向传播神经网络输入数据;将输入数据输入至已训练好的反向传播神经网络中,得到PM2.5质量浓度结果,其中,反向传播神经网络包含输入层,一个隐含层和输出层。通过把输入数据输入到已训练好的反向传播神经网络中计算得到PM2.5质量浓度,实现更精准的转换。
67 大气颗粒物监测激光雷达沙尘消光系数贡献率自动分析法 CN201910963303.6 2019-10-11 CN112649335B 2022-05-10 李岭; 高洁; 潘浩; 陈晓龙; 王界; 曲洪丰
发明提供大气颗粒物监测激光雷达沙尘消光系数贡献率自动分析法,包括以下步骤:采集后向散射通道和偏振通道获取原始回波信号;对原始回波信号进行信号预处理增加有效计算距离,获得修正后两通道距离矫正信号;引入季节常数和修正常数校准由季节特性引起的贡献率占比误差,获得校准后的沙尘贡献率;通过数据分析初步获取当地沙尘退偏比和细粒子气溶胶退偏比,经由趋势数据拟合矫正趋势一致性,通过定量测量校准实现沙尘贡献率。本发明通过对两通道的信号的预处理可以实现计算范围的增加,通过统计参数的引入,通过当地监测的PM2.5和PM10实时数据拟合,实现激光雷达信号到沙尘贡献率的实时计算,沙尘贡献率准确度高、探测范围大。
68 一种拉曼-米散射激光雷达气溶胶消光系数廓线反演算法 CN202110972208.X 2021-08-24 CN113777579A 2021-12-10 李德阳; 周孟龙; 郭强; 张振国; 焦林; 黄小毛; 刘东; 刘洋; 李海涛
一种拉曼‑米散射激光雷达气溶胶消光系数廓线反演算法,涉及大气激光雷达技术领域,根据获取的激光雷达对各纯转动拉曼谱线的提取效率、大气分子纯转动拉曼散射谱线后向散射截面强度廓线步骤获得激光雷达提取的纯转动拉曼光谱后向散射截面强度廓线;结合激光雷达测量所得纯转动拉曼散射廓线信号强度、激光雷达测量所得米‑瑞利散射廓线信号强度廓线、激光雷达提取的纯转动拉曼光谱后向散射截面强度廓线、大气分子数密度廓线、大气分子瑞利散射后向散射系数廓线与激光雷达标定常数反演获得气溶胶后向散射系数廓线;气溶胶激光雷达比与上述步骤结合获得气溶胶消光系数廓线;本发明有效提高气溶胶消光系数廓线的反演精度,具有很高的实用价值。
69 基于拉曼-米散射激光雷达气溶胶消光系数反演方法 CN201811425464.1 2018-11-27 CN109596594B 2021-06-01 常建华; 李红旭; 张露瑶; 毛仁祥; 张树益
发明提供一种基于拉曼‑米散射激光雷达气溶胶消光系数反演方法,包括如下步骤:步骤一:获取拉曼‑米散射激光雷达中拉曼通道的回波信号,利用Ansmann法确定气溶胶激光雷达比,即利用拉曼法获得气溶胶的消光系数和后向散射系数;步骤二:获取拉曼‑米散射激光雷达中米通道的回波信号,基于Fernald法反演出气溶胶的消光系数分布廓线;步骤三:以步骤一中拉曼法的反演结果为基准,修正步骤二中米散射法反演消光系数分布廓线所需的关键参数:气溶胶消光系数边界值,进而提高米散射通道消光系数分布廓线的反演精度。本发明提供的基于拉曼‑米散射激光雷达的气溶胶消光系数反演方法结合拉曼散射和米散射各自的特点,从而实现气溶胶的高精度探测。
70 一种适用于气溶胶吸收及消光系数同步测量的光声光谱 CN202010927745.8 2020-09-07 CN112098351A 2020-12-18 刘锟; 曹渊; 王瑞峰; 王贵师; 梅教旭; 高晓明
发明涉及气溶胶光学特性监测领域,具体涉及一种适用于气溶胶吸收及消光系数同步测量的光声光谱仪。包括光学模,光声腔模块和数据处理模块,光声腔模块包括设置在光学模块出光光路上的气体吸收池和垂直于出光光路设置的声学谐振腔;光学模块包括激光二极管、光纤、光纤准直器和第一反射镜、第二反射镜,第一反射镜和第二反射镜设置在气体吸收池两侧且中心平共轴;数据处理模块包括与声学麦克依次电连接的前置放大器相放大器和数据采集卡及数据终端处理设备。本发明对气溶胶吸收及消光系数进行同步测量,最终可完整的获得气溶胶的光学特性参数。
71 一种激光雷达平探测气溶胶消光系数反演方法 CN201811530131.5 2018-12-14 CN109541637B 2020-08-21 马昕; 史硕; 龚威; 徐宝; 李治平; 张玲玲
发明公开了一种激光雷达平探测气溶胶消光系数反演方法,该方法结合了斜率法和经典的Fernald算法,可以实现准确的水平方向气溶胶消光系数反演。首先,利用斜率法计算出激光雷达回波信号中较均匀一段的消光系数均值;其次,将斜率法计算出的消光系数作为消光系数初值,回波信号较均匀段的中点作为参考点带入Fernald法积分公式中,计算气溶胶水平消光系数廓线。本发明结合斜率法和Fernald法反演水平分布气溶胶消光系数,解决了传统Fernald算法因为缺少参考点以及对应的消光系数,而无法反演水平气溶胶消光系数的问题,从而实现利用激光雷达探测近地面气溶胶和污染物的分布。
72 基于反馈型RBF神经网络的气溶胶消光系数反演方法 CN201810397787.8 2018-04-28 CN108896456B 2020-07-31 常建华; 李红旭; 房久龙; 刘振兴; 杨镇博; 刘秉刚; 徐帆
发明公开了一种基于反馈型RBF神经网络的气溶胶消光系数反演方法,包括1)利用输入和期望输出训练RBF神经网络;将历史回波信号功率作为RBF神经网络的输入,将根据历史回波信号得到的气溶胶消光系数作为RBF神经网络的期望输出;2)基于反馈型RBF神经网络反演气溶胶消光系数。本发明利用反馈型RBF神经网络来反演气溶胶消光系数,通过样本模式的学习将信息之间的内在机制存储在网络中,有效避免了诸多假设带来不确定性,具有较快的响应速度以及较好的鲁棒性。
73 一种基于IMPROVE方程的气溶胶消光系数的三维变分同化方法 CN201911003625.2 2019-10-22 CN111048161A 2020-04-21 臧增亮; 梁延飞; 尤伟; 郝子龙; 胡译文; 刘斌; 汪代春; 潘晓滨
一种基于IMPROVE方程的气溶胶消光系数的三维变分同化方法,步骤如下:依据三维变分理论和IMPROVE方程,编写求解三维变分目标泛函的计算机程序,称为同化系统;H称为观测算子,是一个M×N维的矩阵,其中M等于y的长度,N等于x的长度,x左乘H后的结果Hx是一个与y具有相同长度的向量;H的作用还包括将网格点的值插值到非网格点的观测位置处;R是观测误差协方差,是一个M×M维的矩阵;T代表向量的转置。依据IMPROVE方程实现Hx的计算,假设y的观测位置恰好在模式的规则网格点处,Hx的计算不涉及插值过程。
74 基于反馈型RBF神经网络的气溶胶消光系数反演方法 CN201810397787.8 2018-04-28 CN108896456A 2018-11-27 常建华; 李红旭; 房久龙; 刘振兴; 杨镇博; 刘秉刚; 徐帆
发明公开了一种基于反馈型RBF神经网络的气溶胶消光系数反演方法,包括1)利用输入和期望输出训练RBF神经网络;将历史回波信号功率作为RBF神经网络的输入,将根据历史回波信号得到的气溶胶消光系数作为RBF神经网络的期望输出;2)基于反馈型RBF神经网络反演气溶胶消光系数。本发明利用反馈型RBF神经网络来反演气溶胶消光系数,通过样本模式的学习将信息之间的内在机制存储在网络中,有效避免了诸多假设带来不确定性,具有较快的响应速度以及较好的鲁棒性。
75 一种轻度雾霾时大气消光系数的波段转换方法及系统 CN201810098275.1 2018-01-31 CN108445508A 2018-08-24 刘兴润; 李霞; 朱希娟; 刘浩
发明涉及一种轻度雾霾时大气消光系数的波段转换方法及系统,其中方法包括以下步骤:采用激光雷达和太阳光度计分别进行气溶胶光学特性测量,获得激光雷达数据和太阳光度计数据;根据所述太阳光度计数据反演获得大气光学厚度,并采用消光法反演获得低层大气的气溶胶粒子谱分布,计算与激光雷达的发射激光波长相一致时的消光系数;根据所述激光雷达数据计算低层大气对应的消光系数;将根据太阳光度计数据计算的消光系数与根据激光雷达数据计算得到的消光系数比对,符合则基于低层大气气溶胶粒子谱分布计算各波长的消光系数,实现消光系数的波段转换。本发明结合激光雷达和太阳光度计的测量数据,实现消光系数的波段转换,通过数据对比减小了误差。
76 一种测量海平面非均匀平大气气溶胶消光系数的装置 CN201710447950.2 2017-06-14 CN107272023A 2017-10-20 李越强; 李庶中; 罗军; 李洁; 赵东伟; 鉴福升; 张杨; 王全喜; 曾浩
发明公开了一种测量海平面非均匀平大气气溶胶消光系数的装置,其中,分光镜将激光分为第一光束和第二光束,第一光束用于直接射入待测量消光系数廓线的水平大气中,第二光束反射射入光电二极管中从光信号转化为电信号,后传输至Pico数字示波器,折反天文望远镜收集海平面非均匀水平大气散射回的回波信号,聚焦透镜将大气后向散射回波信号聚焦到滤波片上,光电倍增管用于将光信号分段转化为电信号,电信号放大输出至Pico数字示波器,处理器用于数据处理,还用于发出控制信号以控制门控光电倍增管的开门延迟时间并调整可控放大模的放大倍率。本发明的装置可用于测量海洋低层大气或称为海上水平方向上大气的消光系数廓线。
77 一种从气凝胶玻璃实验数据反推气凝胶消光系数的方法 CN201710035134.0 2017-01-18 CN106814048A 2017-06-09 陈友明; 刘洋; 李宇鹏; 郑思倩
发明涉及一种从气凝胶玻璃实验数据反推气凝胶材料消光系数的方法,给出了一种计算气凝胶光学性能的方法。通过界面能量平衡法对气凝胶玻璃光学模型重建,结合逐时太阳高度求得各消光系数下的逐时辐射透过率,根据实验数据求得透过的辐射总能量,将逐时透过能量与实验数据差的平方求和,因气凝胶消光系数与透过的辐射总能量具有一一对应的函数关系,所以通过黄金分割法进行寻求误差最小时的消光系数,此时的消光系数就是气凝胶在太阳光下的消光系数,并证明计算结果在其他时间依旧准确可靠。
78 一种基于腔长改变的光腔衰荡气体消光系数测量方法 CN201610242665.2 2016-04-19 CN105651703A 2016-06-08 李斌成; 崔浩; 王静; 高椿明; 王亚非
发明公开了一种基于腔长改变的光腔衰荡气体消光系数测量方法,它包括以下步骤:S1、入射激光束从平面高反镜透射后垂直入射到第一平凹高反镜上,然后被平面高反镜再次反射,反射光垂直入射到第二块平凹高反镜上并被原路反射回平面反射镜,形成光腔衰荡;或者,入射激光束从第一块平凹高反镜透射后垂直入射到第二块平凹高反镜上,并被原路反射回第一块平凹高反镜,形成光腔衰荡;S2、从光学谐振腔透射的激光由聚焦透镜聚焦到光电探测器上,光电探测器探测光学谐振腔的衰荡信号;S3、通过控制一维电控位移台改变第二块平凹高反镜位置改变光学谐振腔腔长,重复步骤S2,测量两个或两个以上不同光学谐振腔腔长L下光学谐振腔的总损耗。
79 同时检测气溶胶消光和散射系数的腔增强吸收光谱 CN201410326683.X 2014-07-09 CN104122214A 2014-10-29 洪义; 黄正旭; 高伟; 程平; 周振; 李梅
发明涉及一种同时检测气溶胶消光和散射系数的腔增强吸收光谱仪,包括光路系统和气路系统,光路系统包括发光二极管和接收发光二极管输出光的光学谐振腔,光学谐振腔的光出射端设有检测消光系数的消光光谱仪,光学谐振腔中部从侧面插入有散射光积分检测器。本发明使用消光光谱仪分析从发光二极管射出并进入光学谐振腔不同波长透射光,用散射光积分检测器测量多个波长下的散射系数,在测量到消光系数和散射系数的基础上,可以进一步得到气溶胶的吸收系数和单次散射反照率等光学参数,更大程度地满足大气气溶胶光学性质研究工作的需要。本发明可应用于大气气溶胶光学性质在线分析检测。
80 同时检测气溶胶消光和散射系数的激光光腔衰荡光谱 CN201310739682.3 2013-12-25 CN103712914A 2014-04-09 洪义; 黄晓; 郭艳林; 李梅; 黄正旭; 高伟; 程平; 周振
发明涉及同时检测气溶胶消光和散射系数的激光光腔衰荡光谱仪,包括气路系统、光腔、第一光电倍增管、第二光电倍增管,第一光电倍增管用于光腔透射光的检测,第二光电倍增管用于散射光积分测量且从光腔侧面伸入光腔,气路系统周期性地为光腔提供样品气体或背景气体。本发明通过气路系统周期性地将背景气体和带有气溶胶的样品气体通入光腔,用第一光电倍增管和第二光电倍增管分别检测光腔的透射光和散射光,通过拟合分别得到背景气体的衰荡时间和样品气体的衰荡时间,计算气溶胶的消光系数;同时计算透射光和散射光强的比值,得到气溶胶的散射系数,其检测误差小、精度高。本发明可应用于大气气溶胶光学性质在线分析检测。
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