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序号 专利名 申请号 申请日 公开(公告)号 公开(公告)日 发明人
121 一种用于全光时钟恢复的弯曲波导波长激光器 CN200910242274.0 2009-12-08 CN101719630B 2012-05-16 孙长征; 黄缙; 熊兵; 罗毅
一种用于全光时钟恢复的弯曲波导波长激光器,属于光通信领域的光电子器件技术领域。该光电子器件将两个分布反馈半导体激光器集成在同一个衬底上,在衬底上依次外延下波导层、多量子阱有源层、光栅层、上波导层、上包层、欧姆接触层。两个分布反馈半导体激光器具有相同周期的光栅结构,其波导存在一定弯曲,从而造成两个分布反馈激光器的激射光波长存在一定差异,进而可用于全光时钟恢复。本发明结构新颖,制作工艺简单,将在未来的高速通讯领域具有良好的应用前景。
122 非对称结构栅格速度补偿方法及速度补偿型弯曲共面波导 CN200610169603.X 2006-12-25 CN100536226C 2009-09-02 王均宏
非对称结构栅格速度补偿方法,以各种缝隙宽度沿轴向作周期性变化或准周期性变化的规则栅结构及变形栅结构作为基本慢波结构,计算栅结构长度、栅结构周期。根据栅结构长度和周期把不连续共面波导上路径较短的缝隙设置为栅结构。速度补偿型弯曲共面波导,弯曲共面波导上外侧缝隙结构不变,内侧缝隙宽度沿轴向作周期性变化,形成栅格。把弯曲波导的较短路径的缝隙制作成带栅结构的缝隙,可以减慢该路径上电磁波的传播速度,从而使经过弯曲结构之后两条路径上的相位相同,信号在时间上保持同步。该结构是直接在共面波导的地板和信号线上做栅状处理,可以在制作共面波导的工序中直接完成,不会增加原电路的体积,适合用于印刷电路技术的大批量生产。
123 弯曲波导管及其制造方法、光传递模和热辅助磁记录头 CN200710140113.1 2007-08-02 CN101174416A 2008-05-07 赵恩亨; 徐成东; 孙镇昇
提供一种弯曲波导管,其包括:核,具有输入端和输出端,其中,输出端具有近场增强孔结构;金属包层,包围所述核。所述核被弯曲为曲形,所述曲形的曲率半径是透射光的强度相对于入射光的波长为最大时的谐振半径。因此,可将入射光的方向改变预定度,同时保持传统近场增强孔的场增强特性,而不需要另外的光学元件。
124 孔缝阵列速度补偿方法及孔缝阵列弯曲共面波导 CN200710122482.8 2007-09-26 CN101145627A 2008-03-19 王均宏; 张卉
发明的目的就是提供一种孔缝阵列速度补偿方法及孔缝阵列弯曲共面波导。该孔缝阵列弯曲共面波导的功能是通过在传统弯曲共面波导较长缝隙所在的介质衬底上开孔来降低其等效介电常数,从而加快较长缝隙中电磁波的传播速度,利用两条缝隙中电波的速度差补偿空间路程差,使得两条缝隙中的电磁波在经过弯曲处后同相,信号同步输出。该方法不仅可以减少制作工序,降低制造成本,而且也不会增加原电路的体积,有利于电路的集成化和小型化,可用于各种电子设备的微波电路和微波集成电路中,也适合用于印刷电路技术的大批量生产。
125 采用弯曲形状定向耦合器耦合的光波导微环器件 CN200410053160.9 2004-07-19 CN1588143A 2005-03-02 杨建义; 江晓清; 王帆; 李锡华; 周强; 王明华
发明公开了一种采用弯曲形状定向耦合器耦合的光波导微环器件。在输入/输出光波导一定距离上,采用与具有闭环谐振结构的光波导微环相同的弯曲形状,并且与光微环并行设置,构成弯曲形状的定向耦合器,通过波导中光波模式消逝场实现输入/输出光波导与光波导微环间的光功率耦合,并行的一定距离是根据应用中耦合量大小需要确定的。本发明采用弯曲形状的定向耦合器,可以在相当长的距离上设置光微环与输入/输出光波导间的耦合,从而可以容易地实现不同大小的光微环输入/输出功率耦合,进一步地利用定向耦合器的特性以及电光效应等,还可以容易地实现功率耦合大小的可调控制。
126 一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法 CN01105879.X 2001-04-06 CN1142452C 2004-03-17 唐衍哲; 王文辉; 李铁; 王跃林
发明涉及一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法,特征在于以绝缘层上的为基材料,利用硅的各向异性腐蚀特性,通过化、光刻、腐蚀等微机械加工技术,制作出位置精确、镜面平整度高且与波导平面绝对垂直的全反射镜,并和用绝缘层硅材料制作出的单模脊形波导一起构成大度、小尺寸、损耗低的弯曲波导。将此结构应用于无源光器件(如光耦合器阵列波导光栅等等)中以实现结构紧凑、集成度高、性能好、工艺简单、可以批量生产的光通信器件。
127 一种具有二维弯曲识别能的单模光纤包层波导光栅及制备方法 CN202410487021.4 2024-04-23 CN118091829A 2024-05-28 周锐; 刘荣生; 陈凤仪; 雒鹏涛; 李兴勇; 乔学光
一种具有二维弯曲识别能的单模光纤包层波导光栅及制备方法,单模光纤的包层中刻写有包层直波导和倾斜的耦合波导,耦合波导连接纤芯与包层直波导,包层直波导与耦合波导直径相同、数量相同,包层直波导与纤芯平行,包层直波导上刻写光栅。本发明相对于传统光纤传感器省去了高成本的扇入扇出器件,降低了整体成本,使得大规模部署和应用变得更加经济,而且能够有效的对方向进行识别,使得传感器能够精确地检测到弯曲和振动的方向,为结构健康监测、精密定位等应用提供了重要的方向信息,本发明还具有灵敏度高、性能稳定的优点。
128 基于连续曲率弯曲波导起偏器的SiN集成光学芯片 CN202111472068.6 2021-12-06 CN114397729B 2024-05-28 刘晓平; 吕海斌
发明实施例公开了一种基于连续曲率弯曲波导起偏器的SiN集成光学芯片,包括第一光纤‑波导模式转换器、第二光纤‑波导模式转换器、第一3dB耦合器、连续曲率弯曲波导起偏器、第二3dB耦合器、第三光纤‑波导模式转换器、第四光纤‑波导模式转换器。本发明在保证开环光纤陀螺精度的同时,可有效提高其稳定性、可靠性,提高开环光纤陀螺的多项性能,实现开环光纤陀螺的更小型化、更低功耗、更低成本、更简单结构设计及工艺。
129 高效率光波传输的弯曲波导、设计方法及制作工艺 CN202310951412.2 2023-07-31 CN117092749A 2023-11-21 李晓宇; 于圣韬; 桂成群
发明公开一种高效率光波传输的弯曲波导,其特征在于:包括从下到上依次布置的基衬底、埋层、顶硅波导层及包覆层;顶硅波导层内设置三维结构的90°直弯曲波导,90°直角弯曲波导位于顶硅波导层并与其底部的氧埋层和其上方的包覆层接触;所述90°直角弯曲波导的传输中心内外侧的高度不同,内侧高度小于外侧高度,90°直角弯曲波导的截面设计为台阶状六边形截面或非对称半圆截面;可减少弯曲波导向周围包层的辐射损耗,从而有效提高光波的传输效率;还公开对应设计方法及加工工艺;此弯曲波导的制作工艺成本低,易于实现;容易推广到其在模分复用器和模解复用器的工程应用。
130 共面波导器件的弯曲微波馈线及其结构设计方法 CN202311119719.2 2023-08-31 CN117060033A 2023-11-14 孙长征; 贺雨童; 熊兵; 罗毅
申请涉及一种共面波导器件的弯曲微波馈线及其结构设计方法,包括:由下到上依次配置的第一地电极、第一信号电极和第二地电极,其中,第一地电极和第一信号电极形成的第一弯曲半径小于第一信号电极和第二地电极形成的第二弯曲半径;第一地电极和第一信号电极形成的第一弯曲半径侧为多段连续弯曲的弧线,第一地电极和第一信号电极之间设置有多个第一微结构金属电极,使得进入器件功能区电极的微波信号相位相同。由此,通过该弯曲微波馈线能够有效抑制器件非连续性弯曲引起的寄生槽线模式,解决弯曲微波馈线与器件功能区电极之间的阻抗失配问题,消除微波传输特性的周期性谐振,降低辐射损耗,增大器件带宽,提高信息容量。
131 一种基于双层刻蚀曲线优化的超带宽多模弯曲波导 CN202310621648.X 2023-05-30 CN116609877A 2023-08-18 刘英杰; 丁凤瑶; 李枫
发明提供了一种基于双层刻蚀曲线优化的超带宽多模弯曲波导,属于光子器件与集成技术领域,构建在绝缘体上的平台SOI上,由上至下包括包层,波导层和基底层,所述波导层设置为经浅刻蚀工艺形成的窄波导层和经深刻蚀工艺形成的宽波导层,窄波导层和宽波导层为宽度不同的曲线层,窄波导层和宽波导层形成四条内径和外径轮廓曲线,四条内径和外径轮廓曲线离散为多个弧线,通过窄波导层形成的内径轮廓曲线包括自由曲线C和自由曲线D,通过宽波导层形成的外径轮廓曲线包括自由曲线A和自由曲线B。本发明提出的多模弯曲波导具有器件尺寸小、工作带宽高、可制备性好、工艺容差大等优点,可应用于片上多波段和密集集成的模分复用系统。
132 基于长轴偏振弯曲增益波导的外腔调谐激光器及耦合方法 CN202310222136.6 2023-03-09 CN116316060A 2023-06-23 李俊博; 葛佳妮; 杨振营; 韩志刚; 朱日宏; 阮博维; 杨顺帆
发明公开了一种基于长轴偏振弯曲增益波导的外腔调谐激光器及耦合方法,包括激光增益芯片、准直透镜、1/2波片、全息光栅、直棱镜、PZT、NTC热敏电阻、TEC和驱动控制系统。所述激光增益芯片为弯曲波导,有效抑制内腔反馈;所述准直透镜采用光束轴向扫描法进行调节,使准直光束的瑞利距离最长,减少谐振腔的耦合损耗;所述1/2波片将光束变换为长轴偏振状态,光束偏振方向与所述全息光栅的刻线方向垂直,增加外腔反馈强度,增大边模抑制比,减小激光器线宽;所述直角棱镜将全息光栅的一级衍射光自准直反馈回谐振腔,增加外腔光路的误差容限;所述直角棱镜的初始位置通过光谱仪和FP扫描干涉仪监测调校,所述PZT可以改变直角棱镜的角度,实现调谐功能。
133 一种基于相变材料的超紧凑直弯曲波导调制器 CN202210916461.8 2022-08-01 CN115145058A 2022-10-04 丁立; 詹启鹏; 崔乃迪; 金里; 庞海斌; 廖骏能; 段宗明; 谢伟; 章洋
一种基于相变材料的超紧凑直弯曲波导调制器,属于光电调制技术领域,解决如何设计一种调制性能好且占地面积小的弯曲波导光电调制器问题;在直角弯曲波导的外直角弯曲处倒直角,长方体二的一个侧面与倒直角形成的平面紧密贴合;长方体二氧化钒工作在金属相时,在直角弯曲硅波导的外直角弯曲处倒直角形成的平面上形成一个反射镜的结构,从而增强输入光信号在弯曲处的透过率;长方体二氧化钒为半导体相时,输入光信号在直角弯曲硅波导的外直角处泄露进入长方体二氧化钒,同时由于巨大的弯曲损耗导致输入光信号在直角弯曲硅波导的外直角处的透过率很低;本发明的结构极其简单,易于加工实现,调制层的占地面积能够做到纳米量级。
134 基于连续曲率弯曲波导起偏器的SiN集成光学芯片 CN202111472068.6 2021-12-06 CN114397729A 2022-04-26 刘晓平; 吕海斌
发明实施例公开了一种基于连续曲率弯曲波导起偏器的SiN集成光学芯片,包括第一光纤‑波导模式转换器、第二光纤‑波导模式转换器、第一3dB耦合器、连续曲率弯曲波导起偏器、第二3dB耦合器、第三光纤‑波导模式转换器、第四光纤‑波导模式转换器。本发明在保证开环光纤陀螺精度的同时,可有效提高其稳定性、可靠性,提高开环光纤陀螺的多项性能,实现开环光纤陀螺的更小型化、更低功耗、更低成本、更简单结构设计及工艺。
135 多端口毫米波弯曲矩形波导阵列体一体化整体制造方法 CN201910490695.9 2019-06-06 CN110112529B 2022-03-08 张永红; 漆中华; 林晨阳; 刘月其; 廖刚
发明涉及毫米波弯曲矩形波导领域,公开了多端口毫米波弯曲矩形波导阵列体一体化整体制造方法。包括:制造波导阵列体的外形模具和波导内腔溶性型芯成形模具;制备波导内腔水溶性型芯;水溶性型芯和外形模具一体化压制件;溶失波导内腔水溶性型芯;模组装配;制备耐火混合料;真空振动灌浆制铸型壳;铸型焙烧;熔炼金属液,并保压结晶凝固;进行清砂、整形,和热处理;对波导内腔进行液态抛光处理;去除波导阵列体的法兰安装端面加工,对波导阵列体内外表面进行化学处理。通过上述方法制得表面光滑、尺寸精确、满足了装配精度要求和波导传输性能的产品,合格率达到80%。
136 基于正冷挤压法的带法兰弯曲波导管及其制备装置和方法 CN201610847928.2 2016-09-23 CN106374183B 2021-07-06 陈岩; 陈修琳; 袁秦峰
一种基于正冷挤压法的带法兰弯曲波导管及其制备装置和方法,该装置包括:带有微型夹钳的凸模、导向芯棒和与凸模滑动配合的可分凹模,其中:凸模沿纵向设有矩形阶梯孔,微型夹钳设置于矩形阶梯孔的上部,可分凹模顶部设有沉槽,凸模通过沉槽与可分凹模滑动配合且相对于可分凹模上下运动,可分凹模设有弧形弯曲孔,且弧形弯曲孔的一端通过沉槽与矩形阶梯孔连通,弧形弯曲孔的另一端设有封闭式的法兰型腔;导向芯棒穿过弧形弯曲孔一端与法兰型腔底部相配合,另一端由微型夹钳夹紧并定位。本发明能够用一个工序获得弯曲的并带有严格规定尺寸法兰波导管,简化弯曲波导管的加工过程,保证弯曲波导管内表面光洁具有较小的粗糙度。
137 基于弯曲波导传输损耗的折射率检测传感器、芯片及方法 CN202110004124.7 2021-01-04 CN112816411A 2021-05-18 雷诚; 严若鹏; 杨婧靓; 刘胜
发明提供基于弯曲波导传输损耗的折射率检测传感器、芯片及方法,折射率检测传感器包括:激光发射部;传输光纤;微流控芯片,包括:基板,和设置在基板中的光纤导槽、弯曲波导、样品通道、空腔以及空气透镜;光纤导槽用于固定传输光纤的传输端;弯曲波导为圆弧形,入口端与传输光纤的传输端相连通;样品通道位于弯曲波导的一侧,主体区域沿着弯曲波导延伸方向延伸,用于装载待测液体;空腔设置在弯曲波导的另一侧,且主体区域覆盖弯曲波导的另一侧;空气透镜与弯曲波导出口端相对应,对从该弯曲波导出口端射出的光线进行准直;以及光功率计,与空气透镜相对向,通过测量空气透镜准直后的光线的功率,得到反映待测液体折射率的光功率数据。
138 一种基于亚波长光栅结构的弯曲波导及设计方法 CN202011329262.4 2020-11-24 CN112379478A 2021-02-19 朱凝; 王娟丽; 孙尚森; 魏波; 郑晓明; 邵军
发明涉及基于亚波长光栅结构的弯曲波导及其设计方法,其包括设置有多个依次排列的亚波长非均匀梯形光栅结构的输入直波导部和输出直波导部,还包括设置有多个依次排列的亚波长均匀梯形光栅结构的圆弧波导部,非均匀梯形光栅结构沿其外侧的占空比大于或等于其内侧的占空比,其外侧与其内侧的占空比之比自输入直波导部或输出直波导部一侧朝向圆弧波导部一侧渐变,均匀梯形光栅结构沿其外侧的占空比小于其内侧的占空比;上述波导部为多模波导,在其波导高度方向上支持一个传输模式,在宽度方向上支持两个或以上的传输模式;该弯曲波导有效减小了辐射损耗和模间失配,提高了传输效率,达到了实现其低损耗、低串扰、高集成度的要求。
139 具有降低模式耦合效应的玻璃基弯曲多模光波导制作方法 CN201710018465.3 2017-01-11 CN106772802B 2019-05-03 郝寅雷; 冯泽明; 丁君珂; 余辉; 李宇波; 周强; 江晓清; 杨建义
发明公开了一种具有降低模式耦合效应的玻璃基弯曲多模光波导制作方法。该方法的步骤如下:在玻璃基片上制作弯曲条形波导的掩膜,靠近曲率中心一侧的掩膜部分宽度大于远离曲率中心一侧的掩膜部分宽度;将有掩膜玻璃基片放入融熔的硝酸中保温,最终在玻璃基片表面形成钾离子扩散区;去除靠近曲率中心一侧的掩膜部分和远离曲率中心一侧的掩膜部分;将玻璃基片放入熔融的硝酸钠和硝酸混合盐中进行Ag+‑Na+离子交换。本发明只需通过一次光刻的离子掩膜玻璃基光波导制作技术,实现不对称光波导的制作,对设备的要求大幅度降低,有效降低了工艺难度。
140 一种基于双层弯曲热执行器的可调太赫兹波导滤波器 CN201510621166.X 2015-09-21 CN105161807B 2018-09-04 胡江; 郑中万; 朱侗; 屈晓敏; 刘双; 宣祖好; 张勇
发明公开了一种基于双层弯曲热执行器的可调太赫兹波导滤波器,包括E面纵向膜片、双层弯曲热执行器和矩形波导,所述E面纵向膜片平安装在矩形波导内腔的中部;双层弯曲热执行器水平安装在矩形波导内腔的底部,位于E面纵向膜片下方。本发明所提供的可调太赫兹波导滤波器,将E面纵向膜片和双层弯曲热执行器安装在矩形波导的内腔中,具有工作频率高,调谐范围广,易于制造,通用性强等优点,在太赫兹系统中具有良好的应用前景。
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