| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 81 | 用于测算近红外光线数值孔径的检测装置 | CN201410836536.7 | 2014-12-29 | CN104535177B | 2016-11-23 | 郑钢; 刘耀光; 于涛 |
| 本发明涉及一种用于测算近红外光线数值孔径的检测装置，包括光线发射器、光线接收器、设置在光线发射器和光线接收器之间的光线定位器、控制器及固定架，光线发射器内设置有不可见光源，光线接收器包括感测部和显示区，固定架包括导轨、及设置在导轨上且可沿导轨滑动的滑动座，导轨为磁铁线圈，光线定位器向下延伸形成有与导轨接触的磁条，光线定位器接收光线发射器所发出的光线并将该光线投射至光线接收器的感测部，控制器根据感测部所检测到的光线判断所检测到的光线的直径W，控制器根据磁铁线圈与磁条的接触判断光线定位器与光线接收器距离L，控制器根据公式W/2L计算出该不可见光源所发出的光线的数值孔径。 | ||||||
| 82 | 一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统 | CN201410283831.4 | 2014-06-23 | CN104062746B | 2016-08-24 | 吕保斌; 邢延文; 林妩媚; 白瑜; 邓超; 朱红伟; 廖志远; 刘志祥 |
| 本发明涉及一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统。本发明中大数值孔径的折反射浸没投影光学系统由多个透镜和四个反射镜组成。从物面到像面依次可分为四个镜组。其中，第一透镜组具有正光焦度，且相对于其他镜组沿径向有一定距离偏移，有利于压缩后续光路，从而减小后续光路中透镜和反射镜的口径。本发明中的投影光学系统数值孔径大、像差小。相对于其他投影物镜，其最大优势在于达到较大数据孔径的同时，系统中透镜和反射镜的口径较小，从而降低对光学材料的尺寸要求，减小制造成本，降低镜片的加工、检测难度。 | ||||||
| 83 | 一种投影物镜数值孔径测量装置及方法 | CN201310390028.6 | 2013-09-01 | CN103439868B | 2015-06-24 | 陈红丽; 邢廷文; 林妩媚; 廖志杰 |
| 本发明提供一种投影物镜数值孔径的测量装置及方法，包括：物面上放置的小孔阵列，像面上放置的一个可以在xyz向的高精度步进工件台，在工件台上安装波像差测量装置。测量方法包括如下步骤：将小孔阵列放置在物面上；将波前探测器放置在物镜像面位置；设置物镜NA使用照明光束照明掩模；使测试台在Z方向运动，使用波前探测器找到波像差最小的位置；记录下此时的波像差值及坐标位置；改变测试台位置和照明光束，重复前述两步，直到所有视场点的最小WFE值及坐标均被测得；计算投影物镜的数值孔径。使用本发明的一种原位测量投影物镜数值孔径的方法，实现了物镜数值孔径的原位与在线测量，同时测量方法简单、方便。 | ||||||
| 84 | 用于测算近红外光线数值孔径的检测装置 | CN201410836536.7 | 2014-12-29 | CN104535177A | 2015-04-22 | 郑钢; 刘耀光; 于涛 |
| 本发明涉及一种用于测算近红外光线数值孔径的检测装置，包括光线发射器、光线接收器、设置在光线发射器和光线接收器之间的光线定位器、控制器及固定架，光线发射器内设置有不可见光源，光线接收器包括感测部和显示区，固定架包括导轨、及设置在导轨上且可沿导轨滑动的滑动座，导轨为磁铁线圈，光线定位器向下延伸形成有与导轨接触的磁条，光线定位器接收光线发射器所发出的光线并将该光线投射至光线接收器的感测部，控制器根据感测部所检测到的光线判断所检测到的光线的直径W，控制器根据磁铁线圈与磁条的接触判断光线定位器与光线接收器距离L，控制器根据公式W/2L计算出该不可见光源所发出的光线的数值孔径。 | ||||||
| 85 | 一种高数值孔径曲面微透镜阵列制备方法 | CN201410122427.9 | 2014-03-28 | CN103852816A | 2014-06-11 | 侯丽雅; 朱晓阳; 朱丽; 章维一; 杨眉; 王洪成; 李宗安; 何加桥 |
| 本发明公开了一种高数值孔径曲面微透镜阵列的制备方法。包括如下步骤：采用液滴微喷射法制备甘油水溶液微液滴阵列；采用模塑法制备PDMS平面微凹透镜阵列负模；制备PDMS半圆球凸凹模；将PDMS平面微凹透镜阵列负模与PDMS半圆球凹模粘结在一起，制得PDMS曲面微凹透镜阵列负模，然后向PDMS曲面微凹透镜负模中倒入NOA1625胶水，将PDMS半圆球凸模与PDMS半圆球凹槽合模，固化处理后，将PDMS半圆球凸模和固化的NOA1625胶水从PDMS半圆球凹槽中揭下，即制得曲面微透镜阵列。本发明所制备的曲面微透镜的曲面基底曲率可由PDMS半圆球凹凸模的曲率决定和改变，且制得的曲面微透镜阵列的微透镜数值孔径高达0.625。 | ||||||
| 86 | 一种抗弯曲大芯径高数值孔径多模光纤 | CN201110178288.8 | 2011-06-28 | CN102193142B | 2013-06-26 | 张树强; 刘泳涛; 汪松; 何珍宝; 徐进 |
| 本发明涉及一种用于数据传输和光器件中的抗弯曲大芯径高数值孔径多模光纤，包括有芯层和包覆芯层的包层，其特征在于所述的芯层半径R1为28～50微米，芯层折射率剖面呈抛物线形，α为1.9～2.2，最大相对折射率差Δ1％max为1.9％～2.5％，芯层外的包层从内到外依次为内包层和/或下陷内包层、外包层；所述的内包层半径R2为28～55微米，相对折射率差Δ2％为-0.1％～0.1％；所述的下陷内包层半径R3为28～60微米，相对折射率差Δ3％为-0.15％～-0.8％。本发明提高了多模光纤的带宽和数值孔径，使得光纤的聚光能力大大增强，更易于与LED光源耦合；本发明显著降低了光纤宏弯附加衰减，提高了光纤的抗弯曲性能，增强了光功率传输性能。 | ||||||
| 87 | 一种投影物镜数值孔径测量装置及测量方法 | CN201010022408.0 | 2010-01-04 | CN102116706B | 2012-08-29 | 马明英; 王帆 |
| 一种投影物镜数值孔径测量装置，包括：物面基底；物面基底入射光一侧具有散射元件，将入射光均匀散射在投影物镜；物面基底另一侧设计有针孔标记，针孔标记将入射光衍射经投影物镜成像在像面；投影物镜像面侧安装一移动台，该移动台可进行xy向高精度步进运动；以及移动台上安装探测器。测量方法包括如下步骤：根据投影物镜数值孔径设定值选择散射元件散射角；将掩模版上针孔标记移动到物面视场；将探测器移动到像面视场；采集光强分布图形；计算投影物镜数值孔径。使用本发明的一种原位测量投影物镜数值孔径的方法，实现了物镜数值孔径的原位与在线测量，同时测量方法简单、方便。 | ||||||
| 88 | 一种用具有大数值孔径的微透镜阵列制造工艺 | CN201210086402.9 | 2012-03-28 | CN102590901A | 2012-07-18 | 王莉; 罗钰; 丁玉成; 魏慧芬; 卢秉恒 |
| 本发明公开了一种具有大数值孔径的微透镜阵列制备工艺，包括如下步骤：(a)制备氧化锌纳米柱；(b)在氧化锌纳米柱表面制备C4F8层；(c)喷墨打印制备微透镜；(d)固化微透镜，采用紫外光源照射和基片加热的方式使步骤(b)中得到的微透镜阵列固化成形。本发明的方法大大降低了现有图形化技术的成本，同时且具有大面积制备的潜力，使微透镜阵列的数值孔径有显著提高，并且喷墨打印是个液滴自然下落和成型过程，制备出的透镜表面粗糙度很低，在实际使用用可以消除噪声等误差。 | ||||||
| 89 | 一种投影物镜数值孔径测量装置及测量方法 | CN201010022408.0 | 2010-01-04 | CN102116706A | 2011-07-06 | 马明英; 王帆 |
| 一种投影物镜数值孔径测量装置，包括：物面基底；物面基底入射光一侧具有散射元件，将入射光均匀散射在投影物镜；物面基底另一侧设计有针孔标记，针孔标记将入射光衍射经投影物镜成像在像面；投影物镜像面侧安装一移动台，该移动台可进行xy向高精度步进运动；以及移动台上安装探测器。测量方法包括如下步骤：根据投影物镜数值孔径设定值选择散射元件散射角；将掩模版上针孔标记移动到物面视场；将探测器移动到像面视场；采集光强分布图形；计算投影物镜数值孔径。使用本发明的一种原位测量投影物镜数值孔径的方法，实现了物镜数值孔径的原位与在线测量，同时测量方法简单、方便。 | ||||||
| 90 | 浸液式高数值孔径宽谱段显微物镜光学系统 | CN202410115540.8 | 2024-01-29 | CN117647880B | 2024-04-05 | 曲贺盟; 王超; 管海军; 张继真 |
| 浸液式高数值孔径宽谱段显微物镜光学系统，涉及光学成像技术领域，特别涉及高数值孔径大视场的显微物镜光学系统技术领域。解决现有市场上对高端显微物镜光学系统日益增长的需求。光学系统从左到右沿像平面到物平面沿光轴方向依次同轴放置有第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和第五内反透镜组；第一透镜组用于减少光束的口径，降低入射角角度；第二透镜组用于采用负‑负‑正的光焦度组合，提供负的彗差；第三透镜组用于减少光束口径，消除一部分球差和场曲；第四透镜组用于分担整个系统的光焦度，减少其余透镜组光焦度的压力；第五内反透镜组用于消除轴向色差。本发明适用于半导体检测领域，尤其是晶圆检测方向。 | ||||||
| 91 | 用于制备高数值孔径空气包层光纤的方法 | CN202210987915.0 | 2022-08-17 | CN115180816B | 2024-03-19 | 韦会峰; 朱方祥; 李江; 王威; 杨玉诚; 陈抗抗 |
| 本申请公开了一种用于制备高数值孔径空气包层光纤的方法，采用异形加工的玻璃基管进行拉制异形玻璃毛细管；并将异形玻璃毛细管按照圆形紧密排列在圆形玻璃棒或圆形玻璃管的外圆；然后套入一个尺寸合适的圆形玻璃套管内，使得异形玻璃毛细管被稳定的固定于圆形玻璃套管和圆形玻璃棒(或圆形玻璃管)之间的空隙，然后对该组合而成的预制棒进行拉丝，获得数值孔径在0.37～0.95范围内的高数值孔径空气包层。该方法便捷易行、稳定可靠、成本低，适合规模化生产高NA的空气包层光纤。 | ||||||
| 92 | 一种20倍大数值孔径平场复消色差显微物镜 | CN202111524464.9 | 2021-12-14 | CN114326071B | 2024-03-19 | 崔志英; 王赟; 赵宇; 张丽; 高才; 章奕清 |
| 本发明公开了一种20倍大数值孔径平场复消色差显微物镜，由从物方到像方同光轴依次排布的十二片透镜组成，第一透镜焦距为‑40～‑38mm；第二透镜焦距为18～20mm；第三透镜、第四透镜和第五透镜组成第一胶合透镜组，焦距为75～78mm；第六透镜焦距为27～28mm；第七透镜、第八透镜和第九透镜组成第二胶合透镜组，焦距为686～688mm；第十透镜和第十一透镜组成第三胶合透镜组，焦距为‑73～‑70mm；第十二透镜焦距为‑460～‑458mm；显微物镜总焦距为8.5～9.5mm；光学系统总长为45.5～47mm，优点在于，不仅将数值孔径从0.75提高到了0.8，并能够在三个关键要素方面提供更出色的光学性能‑更大的数值孔径、更好的平场性以及更宽的色差校正范围。 | ||||||
| 93 | 一种显微物镜的数值孔径测量装置及方法 | CN202410016104.5 | 2024-01-04 | CN117647381A | 2024-03-05 | 请求不公布姓名; 吴迪; 胡辉; 高锦龙 |
| 本申请提供了显微物镜的数值孔径测量装置，波像差测量装置发出的平行光束经过被测物镜会聚后入射到球状工装，被球状工装反射形成两束反射光，两束反射光返回波像差测量装置后形成两个波像差图像，然后转动旋转台，使得两个波像差图像产生相对位置变化，在转动旋转台的过程中，保持球状工装的球心、旋转台的旋转中心都和被测物镜的焦点重合，对球状工装的转动路径进行校准，然后再次转动旋转台，球状工装沿着校准后的转动路径转动，在两个波像差图像的相对位置变化到预设相对位置的情况下，利用旋转台的转动角度对被测物镜的数值孔径进行计算，整个过程无需测量人员进行数值孔径的判断，可以提高显微物镜数值孔径的测量精度，降低测量复杂度。 | ||||||
| 94 | 一种显微物镜数值孔径测量装置及方法 | CN202211445238.6 | 2022-11-18 | CN116202734A | 2023-06-02 | 金岩; 吴航 |
| 本申请是一种显微物镜数值孔径测量装置及方法，具体涉及显微器械的技术领域。所述装置包括透射照明模块、显微成像模块、调焦模块、测量照明模块以及数据处理模块；透射照明模块用于生成第一光线；调焦模块包括载物台以及调焦模组；显微成像模块包括第一相机以及成像管镜；成像管镜用于接收所述待测物镜传出的光线，并于所述第一相机中成像；测量照明模块用于生成平行光束，并传输至待测物镜；平行光束经待测物镜，在载物台上的盖玻片和空气界面发生反射得到反射光束；数据处理模块用于根据反射光束的口径，获取待测物镜的数值孔径测量结果。基于上述装置，可提高调焦精度，并使得获取测量结果更简单准确。 | ||||||
| 95 | 一种双包层光纤的包层数值孔径测量装置 | CN202110231460.5 | 2021-03-02 | CN112903249B | 2023-02-07 | 王静; 请求不公布姓名; 王颖; 刘锐; 莫琦; 王道龙; 李云丽; 包箭华; 倪志龙; 董彪; 吴杰 |
| 本发明提供一种双包层光纤的包层数值孔径测量装置，包括：光源、双包层待测光纤和由多个相同光纤段组成的光输入系统；将光输入系统的首端光纤段作为输入端光纤段，由光输入系统的其它光纤段构成中间光纤段组；光源的尾纤与输入端光纤段的小径端连接，输入端光纤段的大径端与中间光纤段组中首端光纤段的大径端连接，光输入系统中尾端光纤段的小径端与双包层待测光纤连接；中间光纤段组中包含多个按照熔融拉锥方式依次级联的光纤段；熔融拉锥方式是指任一光纤段的小径端与相邻光纤段的大径端连接；光纤段的小径端尺寸不小于双包层待测光纤的包层尺寸。本发明的装置可降低光纤损耗，减小测试误差，提高系统的稳定性。 | ||||||
| 96 | 一种高数值孔径成像光谱仪及其成像方法 | CN202110542470.0 | 2021-05-18 | CN113108906B | 2022-09-09 | 季轶群; 冯安伟; 曾晨欣; 谭奋利; 韩继周 |
| 97 | 一种20倍大数值孔径平场复消色差显微物镜 | CN202111524464.9 | 2021-12-14 | CN114326071A | 2022-04-12 | 崔志英; 王赟; 赵宇; 张丽; 高才; 章奕清 |
| 本发明公开了一种20倍大数值孔径平场复消色差显微物镜，由从物方到像方同光轴依次排布的十二片透镜组成，第一透镜焦距为‑40～‑38mm；第二透镜焦距为18～20mm；第三透镜、第四透镜和第五透镜组成第一胶合透镜组，焦距为75～78mm；第六透镜焦距为27～28mm；第七透镜、第八透镜和第九透镜组成第二胶合透镜组，焦距为686～688mm；第十透镜和第十一透镜组成第三胶合透镜组，焦距为‑73～‑70mm；第十二透镜焦距为‑460～‑458mm；显微物镜总焦距为8.5～9.5mm；光学系统总长为45.5～47mm，优点在于，不仅将数值孔径从0.75提高到了0.8，并能够在三个关键要素方面提供更出色的光学性能‑更大的数值孔径、更好的平场性以及更宽的色差校正范围。 | ||||||
| 98 | 一种自聚焦透镜的数值孔径测量装置及方法 | CN201910944508.X | 2019-09-30 | CN110686871B | 2021-08-27 | 邢春蕾; 许峰; 邹快盛 |
| 本发明涉及自聚焦透镜领域，具体涉及一种自聚焦透镜的数值孔径测量装置及方法。一种自聚焦透镜的数值孔径测量装置，包括相机、显微物镜、自聚焦透镜和导光单元，以及带动导光单元平移的平移台，以及与相机连接的处理单元，所述导光单元上设有条形图。本发明的有益效果在于，与现有技术相比，本发明通过提供一种操作简单、测试快速、自动计算、结果准确客观的自聚焦透镜的数值孔径测量装置及方法，基于计算机处理器对图像数据的处理，实现了高精度的自聚焦透镜数值孔径测量。 | ||||||
| 99 | 一种双包层光纤的包层数值孔径测量装置 | CN202110231460.5 | 2021-03-02 | CN112903249A | 2021-06-04 | 王静; 王颖; 刘锐; 莫琦; 王道龙; 李云丽; 包箭华; 倪志龙; 董彪; 吴杰; 其他发明人请求不公开姓名 |
| 本发明提供一种双包层光纤的包层数值孔径测量装置，包括：光源、双包层待测光纤和由多个相同光纤段组成的光输入系统；将光输入系统的首端光纤段作为输入端光纤段，由光输入系统的其它光纤段构成中间光纤段组；光源的尾纤与输入端光纤段的小径端连接，输入端光纤段的大径端与中间光纤段组中首端光纤段的大径端连接，光输入系统中尾端光纤段的小径端与双包层待测光纤连接；中间光纤段组中包含多个按照熔融拉锥方式依次级联的光纤段；熔融拉锥方式是指任一光纤段的小径端与相邻光纤段的大径端连接；光纤段的小径端尺寸不小于双包层待测光纤的包层尺寸。本发明的装置可降低光纤损耗，减小测试误差，提高系统的稳定性。 | ||||||
| 100 | 用于高数值孔径穿缝源掩模优化的方法 | CN201980066886.0 | 2019-10-03 | CN112823312A | 2021-05-18 | K·Z·特鲁斯特; E·范塞滕; 段福·史蒂芬·苏 |
| 本文描述了一种利用光刻投影设备进行源掩模优化的方法。光刻投影设备包括照射源和被配置为将掩模设计布局成像到衬底上的投影光学器件。该方法包括使用针对照射源、投影光学器件和掩模设计布局的多个可调谐设计变量来确定多变量源掩模优化函数。多变量源掩模优化函数考虑到遍及曝光缝隙中对应于掩模设计布局的不同条纹的不同位置的成像变化，所述不同条纹由曝光设备的同一缝隙位置曝光。该方法包括迭代地调整所述多变量源掩模优化函数中的多个可调谐设计变量，直到满足终止条件。 | ||||||
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