161 |
采用准直镜微调提高光谱分辨率的光纤光栅解调系统 |
CN201610200398.2 |
2016-03-31 |
CN105890751B |
2017-10-10 |
孟阔; 祝连庆; 何巍; 刘锋; 骆飞; 董明利; 娄小平; 张帆 |
本发明提供了一种采用准直镜微调提高光谱分辨率的光纤光栅解调系统,所述解调系统包括泵浦源、波分复用器、布拉格光纤光栅、光阑、狭缝、准直镜、分光光栅、成像镜和线阵探测器、压电执行元件及电压控制系统,其中所述泵浦源、波分复用器和布拉格光纤光栅依次连接,所述波分复用器同时连接光阑,所述泵浦源发出的光通过波分复用器的耦合后进入布拉格光纤光栅,所述布拉格光纤光栅的反射谱作为注入光进入光纤光栅解调系统,注入光通过狭缝后,依次通过准直镜、分光光栅、成像镜的反射,最终汇聚到线阵探测器上,其中所述准直镜沿逆时针或顺时针旋转微小角度。 |
162 |
采用准直镜微调提高光谱分辨率的光纤光栅解调系统 |
CN201610200398.2 |
2016-03-31 |
CN105890751A |
2016-08-24 |
祝连庆; 何巍; 刘锋; 骆飞; 董明利; 娄小平; 张帆 |
本发明提供了一种采用准直镜微调提高光谱分辨率的光纤光栅解调系统,所述解调系统包括泵浦源、波分复用器、布拉格光纤光栅、光阑、狭缝、准直镜、分光光栅、成像镜和线阵探测器、压电执行元件及电压控制系统,其中所述泵浦源、波分复用器和布拉格光纤光栅依次连接,所述波分复用器同时连接光阑,所述泵浦源发出的光通过波分复用器的耦合后进入布拉格光纤光栅,所述布拉格光纤光栅的反射谱作为注入光进入光纤光栅解调系统,注入光通过狭缝后,依次通过准直镜、分光光栅、成像镜的反射,最终汇聚到线阵探测器上,其中所述准直镜沿逆时针或顺时针旋转微小角度。 |
163 |
带质量平衡补偿的可变光阑及光刻机 |
CN202011261189.1 |
2020-11-12 |
CN114488699B |
2023-12-08 |
黄磊 |
本发明公开了一种带质量平衡补偿的可变光阑及光刻机。可变光阑包括:基座;X向组件,设于基座上,X向组件包括两个X向刀片;Y向组件,设于基座上且与X向组件垂直,Y向组件包括两个Y向刀片,两个Y向刀片与两个X向刀片共同围成用于曝光的狭缝窗口;补偿组件,设于基座上与Y向组件相同的一侧,且与Y向组件平行设置,补偿组件用于向基座输出与Y向组件输出至基座的推力相反的反推力,以对Y向组件进行质量平衡补偿。该发明提供一种能对Y向组件进行质量平衡补偿且结构紧凑、质量平衡补偿效果较好的可变光阑及光刻机。 |
164 |
采用微动探测器阵列提高光谱分辨率的光纤光栅解调系统 |
CN201610200413.3 |
2016-03-31 |
CN105890759A |
2016-08-24 |
祝连庆; 何巍; 骆飞; 刘锋; 娄小平; 李红 |
本发明提供了一种采用微动探测器阵列提高线阵图像传感器光谱分辨率的光纤光栅解调系统,所述解调系统包括泵浦源、波分复用器、布拉格光纤光栅、光阑、狭缝、准直镜、分光光栅、成像镜和线阵探测器、压电执行元件及电压控制系统,其中所述泵浦源、波分复用器和布拉格光纤光栅依次连接,所述波分复用器同时连接光阑,所述泵浦源发出的光通过波分复用器的耦合后进入布拉格光纤光栅,所述布拉格光纤光栅的反射谱作为注入光进入光纤光栅解调系统,注入光通过狭缝后,依次通过准直镜、分光光栅、成像镜的反射,最终汇聚到线阵探测器上,其中所述线阵探测器沿其长轴方向左右移动微小距离。 |
165 |
多分辨率透射柱面弯晶谱仪 |
CN201710129113.5 |
2017-03-06 |
CN106842281A |
2017-06-13 |
徐涛; 王峰; 苏明; 刘慎业 |
本发明公开了一种多分辨率透射柱面弯晶谱仪,包括箱体,在箱体内依次同轴设置有柱面弯晶分析器、后置铅光阑、以及可透光的台阶闪烁体和X射线记录装置;所述后置铅光阑中部设有狭缝,该狭缝用于阻挡直穿的X射线,而供经柱面弯晶分析器分光的X射线透过;所述台阶闪烁体靠近后置铅光阑的一端沿其轴向至少设有两级台阶,每个所述台阶的端面均具有将衍射后的X射线的衍射线转化成可见光后,还保持其谱分辨率的晶体薄层。采用以上结构,通过台阶型闪烁体实现多分辨率和大测谱范围的X射线的兼顾测量,满足更多测量场合,同时实现实时获取捕捉X射线谱图像,能快速看到测量结果,构思新颖,具有极大的科研应用价值。 |
166 |
带质量平衡补偿的可变光阑及光刻机 |
CN202011261189.1 |
2020-11-12 |
CN114488699A |
2022-05-13 |
黄磊 |
本发明公开了一种带质量平衡补偿的可变光阑及光刻机。可变光阑包括:基座;X向组件,设于基座上,X向组件包括两个X向刀片;Y向组件,设于基座上且与X向组件垂直,Y向组件包括两个Y向刀片,两个Y向刀片与两个X向刀片共同围成用于曝光的狭缝窗口;补偿组件,设于基座上与Y向组件相同的一侧,且与Y向组件平行设置,补偿组件用于向基座输出与Y向组件输出至基座的推力相反的反推力,以对Y向组件进行质量平衡补偿。该发明提供一种能对Y向组件进行质量平衡补偿且结构紧凑、质量平衡补偿效果较好的可变光阑及光刻机。 |
167 |
基于狭缝法的X射线焦点测试仪 |
CN201210442212.6 |
2012-11-08 |
CN103808738A |
2014-05-21 |
刘婷婷 |
基于狭缝法的X射线焦点测试仪,是一种应用于工业射线检测领域内的焦点X射线精密检测设备,属于无损伤全自动检测设备,包括微焦点X射线源、射线图像接收器、X射线发射源及接收器的多角度转动立体检测装置、被测物四轴运动平台和计算机及分层控制系统,应用狭缝光阑成像法测量X射线斑点大小,通过狭缝成像获得光源的线扩展函数和调制传递函数MTF,而后从MTF为0.5所对应的空间频率之值确定出光源的光斑大小。本发明为新一代的无损伤检测设备,尤其应用于电子产品的检测和各种医疗设备的生产检测,从而能应用于医疗、航天、军用和工业领域。 |
168 |
采用成像镜微调提高光谱分辨率的光纤光栅解调系统 |
CN201610200712.7 |
2016-03-31 |
CN105890635A |
2016-08-24 |
祝连庆; 何巍; 娄小平; 刘锋; 骆飞; 庄炜 |
本发明提供了一种采用成像镜微调提高光谱分辨率的光纤光栅解调系统,所述解调系统包括泵浦源、波分复用器、布拉格光纤光栅、光阑、狭缝、准直镜、分光光栅、成像镜和线阵探测器、压电执行元件及电压控制系统,其中所述泵浦源、波分复用器和布拉格光纤光栅依次连接,所述波分复用器同时连接光阑,所述泵浦源发出的光通过波分复用器的耦合后进入布拉格光纤光栅,所述布拉格光纤光栅的反射谱作为注入光进入光纤光栅解调系统,注入光通过狭缝后,依次通过准直镜、分光光栅、成像镜的反射,最终汇聚到线阵探测器上,其中所述成像镜能够沿逆时针或顺时针旋转微小角度。 |
169 |
多分辨率透射柱面弯晶谱仪 |
CN201710129113.5 |
2017-03-06 |
CN106842281B |
2023-04-28 |
徐涛; 王峰; 苏明; 刘慎业 |
本发明公开了一种多分辨率透射柱面弯晶谱仪,包括箱体,在箱体内依次同轴设置有柱面弯晶分析器、后置铅光阑、以及可透光的台阶闪烁体和X射线记录装置;所述后置铅光阑中部设有狭缝,该狭缝用于阻挡直穿的X射线,而供经柱面弯晶分析器分光的X射线透过;所述台阶闪烁体靠近后置铅光阑的一端沿其轴向至少设有两级台阶,每个所述台阶的端面均具有将衍射后的X射线的衍射线转化成可见光后,还保持其谱分辨率的晶体薄层。采用以上结构,通过台阶型闪烁体实现多分辨率和大测谱范围的X射线的兼顾测量,满足更多测量场合,同时实现实时获取捕捉X射线谱图像,能快速看到测量结果,构思新颖,具有极大的科研应用价值。 |
170 |
一种带有冷光阑的红外高光谱成像系统 |
CN201510295753.4 |
2015-06-02 |
CN105092031A |
2015-11-25 |
王跃明; 周世尧; 王建宇; 舒嵘; 袁立银; 郎均慰; 黄文俊; 鲍智康 |
本发明公开了一种带有冷光阑的红外高光谱成像系统。本系统由成像子系统和分光子系统构成。所述成像子系统包括物镜组和第一低温遮光罩。所述分光子系统包括狭缝、准直反射镜、分光棱镜、会聚反射镜、校准镜、第二低温遮光罩和探测器光敏面。其中,第一低温遮光罩和第二低温遮光罩均被降温至100K开氏温度以下,两处带有玻璃平板的盒状遮光罩分别置孔径光阑和探测器光敏面于低温保护中。入射光线经物镜组一次成像于狭缝,经准直反射镜反射后进入分光棱镜色散分光,再经过会聚反射镜反射和校准镜校准后二次成像在探测器光敏面上。采用本发明的高光谱成像系统不仅像质好,集光能力强,光学效率高,而且低温保护区域小,杂散光干扰弱。 |
171 |
狭缝射线照像设备 |
CN88106469 |
1988-09-06 |
CN1013531B |
1991-08-14 |
雨果·弗拉斯布罗姆 |
一个物体用一束扇形X射线束扫描,以形成一个X射线影像。该扇形X射线束的每个扇面检测装置提供一个信号,该信号是在通过该物体的有关扇面瞬间放射的X射线辐射的测量量。衰减装置与狭缝型光阑一起工作,并调整在该扇形X射线束的每个扇面的控制信号的控制下放射的X射线辐射量。该控制信号是根据该检测装置的信号产生的,该衰减装置包括一个或多个弹性的、X射线辐射吸收板条,该板条基本平行于狭缝型光阑。该衰减装置还包括可控驱动部件以使该板条变为波动状态。 |
172 |
狭缝射线照像设备 |
CN88106469 |
1988-09-06 |
CN1032613A |
1989-04-26 |
雨果·弗拉斯布罗姆 |
一个物体用一束扇形X射线束扫描,以形成一个X射线影像。该扇形X射线束的每个扇面检测装置提供一个信号,该信号是在通过该物体的有关扇面瞬间放射的X射线辐射的测量量。衰减装置与狭缝型光阑一起工作,并调整在该扇形X射线束的每个扇面的控制信号的控制下放射的X射线辐射量。该控制信号是根据该检测装置的信号产生的。该衰减装置包括一个或多个弹性的、X射线辐射吸收板条,该板条基本平行于狭缝型光阑。该衰减装置还包括可控驱动部件以使该板条变为波动状态。 |
173 |
一种带有冷光阑的红外高光谱成像系统 |
CN201510295753.4 |
2015-06-02 |
CN105092031B |
2017-08-25 |
王跃明; 周世尧; 王建宇; 舒嵘; 袁立银; 郎均慰; 黄文俊; 鲍智康 |
本发明公开了一种带有冷光阑的红外高光谱成像系统。本系统由成像子系统和分光子系统构成。所述成像子系统包括物镜组和第一低温遮光罩。所述分光子系统包括狭缝、准直反射镜、分光棱镜、会聚反射镜、校准镜、第二低温遮光罩和探测器光敏面。其中,第一低温遮光罩和第二低温遮光罩均被降温至100K开氏温度以下,两处带有玻璃平板的盒状遮光罩分别置孔径光阑和探测器光敏面于低温保护中。入射光线经物镜组一次成像于狭缝,经准直反射镜反射后进入分光棱镜色散分光,再经过会聚反射镜反射和校准镜校准后二次成像在探测器光敏面上。采用本发明的高光谱成像系统不仅像质好,集光能力强,光学效率高,而且低温保护区域小,杂散光干扰弱。 |
174 |
一种积分球装置 |
CN202122056363.5 |
2021-08-27 |
CN215767364U |
2022-02-08 |
杨武; 章军 |
本实用新型公开了一种积分球装置,包括第一球体、第二球体、单色仪、伸缩光筒、光阑和支撑组件,在第一球体和第二球体之间还设有用于调节光线强度的光学狭缝,光学狭缝的一端对接于进光口,另一端对接于入光口,测试光源的光线从进光口出射经过光学狭缝,从入光口进入第一球体,再依次经过光阑、伸缩光筒进入单色仪,光线经单色仪转换成单色光出射。不仅能够在出光口得到照度均匀的单色光,还能够通过调节入射光阑的大小,改变出射光的大小,同时出射光在各个波长强度是等比例变化的。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 |
175 |
一种双光路光谱仪及测色装置与校准方法 |
CN202210356035.3 |
2022-04-06 |
CN114739905A |
2022-07-12 |
袁琨; 王坚; 李培杆; 秦梦丹; 龚双虎; 陈迅 |
本发明公开了一种双光路光谱仪及测色装置与校准方法,测色装置获取被测样品反射光和测试光源反射光,通过Y形光路单元分别输入光谱仪的第一入射狭缝、第二入射狭缝,经透镜入射到光栅,光栅分光返回的衍射光斑,再经透镜,错位分布在入射狭缝侧的传感器光敏面上,光敏面上配合设置具有错位开口的光阑,使得每个错位开口处的光敏面只接收一个光路的光信号,改善了分光测色的短期重复性。波长校准时,通过Y形光路单元分别获取校准光源的光信号,根据光谱仪的传感器将采集到的光信号的像元位置信息,通过四阶多项式对波长数据和像元位置信息进行拟合,调整像元与波长的对应关系,从而对波长进行校准,改善了分光测色的短期重复性。 |
176 |
一种基于DLP技术的光谱系统 |
CN201710763502.3 |
2017-08-30 |
CN107389602A |
2017-11-24 |
阎巍 |
本发明公开了一种基于DLP技术的光谱系统,涉及光学技术领域,该系统包括:光源、透镜、狭缝、准直透镜、滤光片、光阑、光栅、聚焦透镜、数字微镜装置DMD、收集透镜、光电探测器、控制终端;光源与待测样品之间呈预设角度,待测样品被光源照射的一侧正对透镜,透镜、狭缝、准直透镜、滤光片、光阑、光栅、聚焦透镜、DMD、收集透镜和光电探测器按照光路顺序依次设置,光电探测器和DMD还分别电性连接控制终端;本申请通过DMD芯片和光电探测器实现对光谱图的测量,由于DMD芯片和光电探测器的尺寸都较小,因此该结构有利于提高整个系统的集成度,实现光谱仪的微型化,同时也有利于实现低成本化。 |
177 |
一种适用于大视场前置光学系统的装调方法 |
CN201110440480.X |
2011-12-23 |
CN102494772B |
2013-10-09 |
江宇; 司福祺; 江庆五; 薛辉; 周海金; 谢品华 |
一种适用于大视场前置光学系统的装调方法,让光源进入光栅光谱仪,调整光栅光谱仪输出为单色光;使单色光通过准直系统形成准直光束,进入前置光学系统;所述前置光学系统包括主镜、次镜、中继反射镜、入瞳光栏、扰偏器、孔径光栏、视场光阑;在前置光学系统的入瞳后端设置一块漫透射板,准直光束经过前置光学系统的入瞳光栏后,经漫透射板后形成漫透射光;漫透射光依次经前置光学系统的主镜、扰偏器、孔径光栏和次镜后汇聚到系统的视场光阑处;在视场光阑处设置带有针孔的狭缝,被聚焦光束照亮后,经中继反射镜聚焦到光电探测器上。本发明从而提高整个系统的测量准确性和探测分辨率,为整体光学系统调试带来方便。 |
178 |
一种适用于大视场前置光学系统的装调方法 |
CN201110440480.X |
2011-12-23 |
CN102494772A |
2012-06-13 |
江宇; 司福祺; 江庆五; 薛辉; 周海金; 谢品华 |
一种适用于大视场前置光学系统的装调方法,让光源进入光栅光谱仪,调整光栅光谱仪输出为单色光;使单色光通过准直系统形成准直光束,进入前置光学系统;所述前置光学系统包括主镜、次镜、中继反射镜、入瞳光栏、扰偏器、孔径光栏、视场光阑;在前置光学系统的入瞳后端设置一块漫透射板,准直光束经过前置光学系统的入瞳光栏后,经漫透射板后形成漫透射光;漫透射光依次经前置光学系统的主镜、扰偏器、孔径光栏和次镜后汇聚到系统的视场光阑处;在视场光阑处设置带有针孔的狭缝,被聚焦光束照亮后,经中继反射镜聚焦到光电探测器上。本发明从而提高整个系统的测量准确性和探测分辨率,为整体光学系统调试带来方便。 |
179 |
一种基于一维衍射的超薄平行光源 |
CN201911088862.3 |
2019-11-08 |
CN110778934B |
2022-01-04 |
鲍鹏飞 |
本发明公开一种基于一维衍射的超薄平行光源,该平行光源包括依次平行设置的发光光源、周期性狭缝光阑和第一周期性一维菲涅尔区相位修正平面。相对现有双远心结构的平行光源,本发明的基于一维衍射的超薄平行光源的轴向距离小、重量轻、成本低,且易于装配大面积平行光源,可以用于大尺寸物体的一维高精度测量。 |
180 |
一种基于一维衍射的超薄平行光源 |
CN201911088862.3 |
2019-11-08 |
CN110778934A |
2020-02-11 |
鲍鹏飞 |
本发明公开一种基于一维衍射的超薄平行光源,该平行光源包括依次平行设置的发光光源、周期性狭缝光阑和第一周期性一维菲涅尔区相位修正平面。相对现有双远心结构的平行光源,本发明的基于一维衍射的超薄平行光源的轴向距离小、重量轻、成本低,且易于装配大面积平行光源,可以用于大尺寸物体的一维高精度测量。 |