| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 一种白光干涉仪干涉条纹调整方法 | CN201610633566.7 | 2016-08-04 | CN107687824A | 2018-02-13 | 刘健; 王绍治; 隋永新; 杨怀江 |
| 本发明提供的白光干涉仪干涉条纹调整方法，针对白光干涉仪的条纹调整过程，采用了图像处理方法，计算干涉条纹的相关参数，通过控制干涉物镜的二维摆角或载物台的二维倾角来实现条纹的自动调整，这一过程借助了计算机高效的计算速度，大大提高的条纹调整的效率以及稳定性，同时也降低了仪器的使用难度与工作量。 | ||||||
| 2 | 白光干涉仪干涉条纹展宽方法 | CN201410788280.7 | 2014-12-17 | CN104515482B | 2017-06-09 | 王绍治; 刘健; 隋永新; 杨怀江 |
| 白光干涉仪干涉条纹展宽方法，涉及光学检测领域中的一种干涉条纹展宽方法。本发明的目的在于提供一种白光干涉仪的自动条纹展宽方法，在提高测量效率的同时，降低操作难度与工作量。该方法实施步骤为：首先调节白光干涉仪至条纹出现在屏幕中心处；然后计算屏幕四个子区域的条纹强度；计算两个条纹较强子区域的条纹方向；通过两区域中心沿各自条纹方向作虚拟直线并计算交点屏幕坐标；将该屏幕坐标转换为实际位置偏移，并根据元件曲率半径控制镜头摆动角度；重复以上过程直至条纹满足测量要求。本方法采用图像处理技术，不需外加传感器，计算简单，调节周期短，对于一般情况条纹，经过3～5次调节即可满足测量要求。 | ||||||
| 3 | 白光干涉仪干涉条纹展宽方法 | CN201410788280.7 | 2014-12-17 | CN104515482A | 2015-04-15 | 王绍治; 刘健; 隋永新; 杨怀江 |
| 白光干涉仪干涉条纹展宽方法，涉及光学检测领域中的一种干涉条纹展宽方法。本发明的目的在于提供一种白光干涉仪的自动条纹展宽方法，在提高测量效率的同时，降低操作难度与工作量。该方法实施步骤为：首先调节白光干涉仪至条纹出现在屏幕中心处；然后计算屏幕四个子区域的条纹强度；计算两个条纹较强子区域的条纹方向；通过两区域中心沿各自条纹方向作虚拟直线并计算交点屏幕坐标；将该屏幕坐标转换为实际位置偏移，并根据元件曲率半径控制镜头摆动角度；重复以上过程直至条纹满足测量要求。本方法采用图像处理技术，不需外加传感器，计算简单，调节周期短，对于一般情况条纹，经过3～5次调节即可满足测量要求。 | ||||||
| 4 | 一种白光干涉仪有效干涉图像提取方法及装置 | CN202410304321.4 | 2024-03-18 | CN117934866A | 2024-04-26 | 吴征宇; 祝仁龙; 谢怡君 |
| 本发明涉及一种白光干涉仪有效干涉图像提取方法及装置，属于精密光学测量技术领域，其中，该白光干涉仪有效干涉图像提取方法包括：基于多张干涉图像中每张干涉图像的像素点灰度信息，确定所述每张干涉图像对应的提取信号；基于所述每张干涉图像的提取信号，确定所述多张干涉图像对应的提取序列；对所述提取序列进行校正，提取校正后的所述提取序列对应的包络序列，并对所述包络序列进行移动滤波；确定滤波后的所述包络序列的有效信号区间，提取滤波后的所述包络序列中有效干涉图像的起止位置。本发明在保证测量精度的前提下，提高了有效干涉图像的提取效率。 | ||||||
| 5 | 一种全光纤白光干涉仪的干涉信号处理方法 | CN201710020296.7 | 2017-01-11 | CN106839972A | 2017-06-13 | 张红霞; 温国强; 王宇瑶; 贾大功; 刘铁根 |
| 一种全光纤白光干涉仪的干涉信号处理方法，涉及光学干涉信号数据处理方法，属于光学测量和光纤传感技术领域。本发明提供的方法为：假设通过全光纤白光干涉仪采集到的干涉信号共含有N个数据，N为正整数；Ii表示第i个数据的数值，i∈(0，N‑1)；数据处理需经过4个步骤，算法流程如图1所示；本方法可对直流相波动较大的原始干涉信号进行处理，从而得到平稳的干涉信号，为后续相关参量的计算奠定基础。 | ||||||
| 6 | 一种白光干涉仪有效干涉图像提取方法及装置 | CN202410304321.4 | 2024-03-18 | CN117934866B | 2024-05-28 | 吴征宇; 祝仁龙; 谢怡君 |
| 本发明涉及一种白光干涉仪有效干涉图像提取方法及装置，属于精密光学测量技术领域，其中，该白光干涉仪有效干涉图像提取方法包括：基于多张干涉图像中每张干涉图像的像素点灰度信息，确定所述每张干涉图像对应的提取信号；基于所述每张干涉图像的提取信号，确定所述多张干涉图像对应的提取序列；对所述提取序列进行校正，提取校正后的所述提取序列对应的包络序列，并对所述包络序列进行移动滤波；确定滤波后的所述包络序列的有效信号区间，提取滤波后的所述包络序列中有效干涉图像的起止位置。本发明在保证测量精度的前提下，提高了有效干涉图像的提取效率。 | ||||||
| 7 | 一种全光纤白光干涉仪的干涉信号处理方法 | CN201710020296.7 | 2017-01-11 | CN106839972B | 2019-05-10 | 张红霞; 温国强; 王宇瑶; 贾大功; 刘铁根 |
| 一种全光纤白光干涉仪的干涉信号处理方法，涉及光学干涉信号数据处理方法，属于光学测量和光纤传感技术领域。本发明提供的方法为：假设通过全光纤白光干涉仪采集到的干涉信号共含有N个数据，N为正整数；Ii表示第i个数据的数值，i∈(0，N‑1)；数据处理需经过4个步骤，算法流程如图1所示；本方法可对直流相波动较大的原始干涉信号进行处理，从而得到平稳的干涉信号，为后续相关参量的计算奠定基础。 | ||||||
| 8 | 一种面向光纤白光干涉的干涉条纹优化方法 | CN202210553365.1 | 2022-05-20 | CN115046470B | 2023-03-28 | 陈章位; 徐振宇; 祖洪飞; 丁斌; 何飞飞 |
| 本发明公开了一种面向光纤白光干涉的干涉条纹优化方法，以结合光电探测器和纳米位移台的迈克尔逊干涉仪为主体，利用各硬件之间的组合关系构建了一套完整的光纤白光干涉检测系统，并提供了基于该系统的干涉条纹优化方法，包括采用组合光源和使用幂指数运算两种思路，以对比度作为评价干涉条纹优化程度的目标函数，从白光干涉原理和理论推导出发，提高干涉零级条纹和次级条纹的对比度，并缩短等效相干长度，提高零级条纹的定位精度，从而提高系统的检测精度。 | ||||||
| 9 | 一种面向光纤白光干涉的干涉条纹优化方法 | CN202210553365.1 | 2022-05-20 | CN115046470A | 2022-09-13 | 陈章位; 徐振宇; 祖洪飞; 丁斌; 何飞飞 |
| 本发明公开了一种面向光纤白光干涉的干涉条纹优化方法，以结合光电探测器和纳米位移台的迈克尔逊干涉仪为主体，利用各硬件之间的组合关系构建了一套完整的光纤白光干涉检测系统，并提供了基于该系统的干涉条纹优化方法，包括采用组合光源和使用幂指数运算两种思路，以对比度作为评价干涉条纹优化程度的目标函数，从白光干涉原理和理论推导出发，提高干涉零级条纹和次级条纹的对比度，并缩短等效相干长度，提高零级条纹的定位精度，从而提高系统的检测精度。 | ||||||
| 10 | 白光干涉三维形貌噪声区域重构算法 | CN202110051381.6 | 2021-01-14 | CN114763989A | 2022-07-19 | 高志山; 黄旭; 袁群 |
| 本文公开了一种用于白光干涉三维形貌噪声区域的重构算法。本文首先对视场内的所有像素点进行干涉质量评价，将其分为有效点和噪声点，生成干涉质量评价的二值矩阵。再根据干涉质量评价矩阵，将三维形貌中的噪声点用四个方向的距离最近的有效点的加权值代替，成为新的有效点，并对干涉质量评价矩阵进行迭代更新，直至干涉质量评价矩阵内的点全部为有效点，完成整个视场内所有噪声点的重构，并生成新的三维形貌。该算法可以有效解决白光干涉测量过程中由于噪声、灰尘、被腐蚀的凹坑等原因引起的样品真实形貌测量不准确的缺点。 | ||||||
| 11 | DFDI仪器干涉光谱的白光干扰去除方法 | CN202010064113.3 | 2020-01-20 | CN111238644A | 2020-06-05 | 吴银花; 王鹏冲; 吴慎将; 聂亮; 张伟光; 刘王云; 魏儒义 |
| 本发明涉及一种DFDI仪器干涉光谱的白光干扰去除方法，其能够准确解析干涉条纹的相位信息，并能够准确测量所观测恒星的视向速度。包括以下步骤：步骤1：根据光谱波数范围Δk，确定在波数方向上离散采样点总数N和探测器沿色散方向的采样率kint＝Δk/N；步骤2：根据公式(12)确定仪器中固定延迟干涉仪模块的光程差d，选取最大值1/2kint；步骤3：对仪器获取的二维干涉光谱，沿波数方向进行傅里叶变换，将干涉信息转换到频域空间；步骤4：在频域空间，通过利用带通或高通滤波，滤除白光导致的干涉条纹信息S1的±d频率项；步骤5：对经过滤波后的干涉光谱频域信息，再进行傅里叶逆变换，获得由恒星吸收线导致的摩尔条纹S2。 | ||||||
| 12 | 一种白光扫描干涉测量方法与系统 | CN201610348492.2 | 2016-05-23 | CN105865370B | 2019-04-19 | 吕晓旭; 蔡红志; 周云飞; 刘胜德; 钟丽云 |
| 本发明涉及一种白光扫描干涉测量方法与系统，所述系统包括白光扫描模块、定标模块、固定平板、以及压电陶瓷微位移平台。所述白光扫描模块包括白光光源；柯勒照明系统；第一分束镜、第二分束镜；第一显微物镜和第二显微物镜；成像透镜及第一、第二、第三、第四、第五平面反射镜，以及第一单色黑白图像传感器。所述定标模块包括激光器、第二单色黑白图像传感器。所述系统及方法无需标定光源的中心波长，且计算精度不受干涉信号的包络形状影响，抗噪性能强，可以广泛应用于白光扫描干涉测量的信号处理中。 | ||||||
| 13 | 一种步进相移光纤白光干涉测量方法 | CN201610453057.6 | 2016-06-21 | CN106152934B | 2018-10-02 | 江毅; 高红春; 姜澜; 陈淑芬; 张恒利 |
| 本发明涉及一种步进相移光纤白光干涉测量方法，属于光纤传感技术领域。本发明的目的是为了解决微型传感器小光程差测量需求的问题，提供一种步进相移光纤白光干涉测量方法，该方法基于对一路白光干涉信号的相移处理来获得干涉仪的光程差，方法简单，测量动态范围可达50um‑10000um，在光程差较小(小于100um)时依然能够高精度测量。 | ||||||
| 14 | 一种白光干涉方法及其实现系统 | CN201210089118.7 | 2012-03-30 | CN102608770A | 2012-07-25 | 肖倩; 洪广伟; 贾波; 林鹏 |
| 本发明属于光纤传感技术领域，具体涉及一种白光干涉方法及其实现系统。本发明使用光纤偏振分束器替代原有的耦合器作为分光、合光器件，结合法拉第旋转器的作用，消除原白光干涉系统中的非相干光束，仅保留用于相干的两束相干光。本发明提高了系统干涉条纹的对比度和信噪比。本发明涉及的方法及系统可广泛的应用于光纤传感、光纤通信和信号处理领域。本发明不仅可以用于恶劣复杂环境中，速度、压力、声波、地震波等信号的传感，而且可以实现全光通信网中光开关、滤波器、调制器等功能，同时可以作为延迟器件广泛用于信号处理领域。 | ||||||
| 15 | 一种光纤傅立叶变换白光干涉测量法 | CN200710177837.3 | 2007-11-21 | CN101158602A | 2008-04-09 | 江毅; 唐才杰 |
| 一种光纤傅立叶变换白光干涉测量法，对传感干涉仪的输出白光光谱作傅立叶变换，傅立叶谱以干涉仪光程差决定的频率为载频，在频率空间分开为对称的两组载频分量；滤出其中一组分量作反傅立叶变换和取复对数运算，传感干涉仪的相位信息作为信号的虚部从光源光谱轮廓和干涉条纹对比度形成的背景中分离出来；针对运算过程中传感干涉仪的相位信息限制在[－π，π]内，对相位信息的2π相位跃变作相位展开，测量范围不受2π相位限制；从相位信息计算出传感干涉仪的绝对光程差，从而实现测量。本发明方法相对白光光谱峰值测量法和傅立叶变换峰值频率测量方法，测量精度有很大的提高。 | ||||||
| 16 | 白光干涉中提高三维成像效果的方法 | CN202311732656.8 | 2023-12-17 | CN117739854A | 2024-03-22 | 陈莉英 |
| 本发明公开了一种白光干涉中提高三维成像效果的方法，在白光干涉测量样品三维形貌时，用量子点作为样品衬底，通过控制量子点发光区域、发光强度和发光颜色，精确点亮衬底上对应样品低洼处的量子点，用于补足样品低洼处的光源，从而实现背投补光，提高三维成像效果。本发明实用高效。 | ||||||
| 17 | 一种白光干涉仪快速准焦方法 | CN202310227216.0 | 2023-03-10 | CN116202415A | 2023-06-02 | 李寅睿; 梁宜勇 |
| 本发明公开一种白光干涉仪快速准焦方法，包括：粗准焦，步进电机沿靠近样品的正方向按第一精度步长移动，每次移动采集一张图片，根据能量梯度函数算法计算每张图片的清晰度，并记录最大清晰度值；细准焦，步进电机沿正方向按第二精度步长移动，根据能量梯度函数算法和改进的EAV点锐度算法记录每张图片清晰度及其最大值对应的位置；精准焦，压电陶瓷驱动器沿反方向按第三精度步长移动，根据改进的EAV点锐度算法记录每张图片清晰度及其最大值，经判断后确定准焦位置。本发明利用步进电机和压电陶瓷驱动器实现分级准焦，并补偿步进电机回退的误差；用能量梯度函数和改进的EAV点锐度算法评价图像的清晰度，实现快速、高精度、大搜索范围的自动准焦。 | ||||||
| 18 | 一种白光干涉检焦系统和解调方法 | CN202211742364.8 | 2022-12-30 | CN116007515A | 2023-04-25 | 褚燕武; 龚天诚; 王彦钦; 赵承伟; 张煜; 贾桂园 |
| 本公开提供了一种白光干涉检焦系统和解调方法，该系统包括：白光光源；模板，其上制备有图形；基板，放置于承片台上；光谱仪，用于透过图形采集模板与基板之间的白光干涉信号；控制系统，用于根据干涉信号采用傅里叶变换解调方法、互相关计算解调方法或模型传递解调方法计算模板与基板之间的间隙值。本公开利用该检焦系统，在较大的距离测量范围内，根据反射光谱的不同形状，采取不同的解调方法，该间隙解调方法消除了图形化表面对检焦光谱的影响，突破了因检焦窗口导致的对模板图形布局的限制。 | ||||||
| 19 | 一种白光干涉仪自动对焦装置及方法 | CN202010124459.8 | 2020-02-27 | CN111220067A | 2020-06-02 | 刘乾; 黄小津; 张辉; 李璐璐 |
| 本发明公开了一种白光干涉仪自动对焦装置及方法，具有窄光谱光源和宽光谱光源两种照明方式，窄光谱光源的相干长度大、对焦范围大、精度低，宽光谱光源相干长度小、对焦范围小、精度高。将两种光源的优势结合起来，先采用窄光谱光源照明，大步长扫描采集干涉图，分析干涉条纹清晰度并自动搜索峰值，对零光程差位置进行粗对焦；然后用宽光谱光源照明，在零光程差附近以小步长附近遍历扫描并计算干涉信号调制度，进行精对焦。本发明用于解决现有白光干涉仪技术中对焦范围小的不足，能够大范围、高精度自动对焦，有利于提高白光干涉仪的测量自动化和效率。 | ||||||
| 20 | 基于白光干涉法的晶圆膜厚测量装置 | CN202010029938.1 | 2020-01-13 | CN111189398A | 2020-05-22 | 郑永军; 狄韦宇; 陆艺 |
| 本发明公开了一种基于白光干涉法的晶圆膜厚测量装置。该装置主要由白光光源、光谱仪、准直器、光纤传输单元、PC组成。基于白光干涉法，可以实现对晶圆膜厚的无损测量，时间快、设备小巧、操作简单、精度高，适合实验室检测。 | ||||||
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