| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 扫描电子显微镜 | CN201780094839.8 | 2017-09-29 | CN111108579B | 2022-10-04 | 森下英郎; 扬村寿英 |
| 本发明提供不应用减速法的扫描电子显微镜，其抑制因BSE而激发的SE3的检测量，具备针对在样品上产生的SE1的能量筛选检测功能。该扫描电子显微镜具有：电子光学系统，其具有产生照射电子束的电子源(21)和使照射电子束会聚于样品上的物镜(12)；检测器(13)，其配置于电子光学系统的光轴外，检测因照射电子束照射至样品而产生的信号电子；偏转电极，其形成将信号电子引导至检测器的偏转场(26)；圆盘状电极(23)，其配置于比偏转场靠电子源侧，具有使照射电子束穿过的开口部；以及控制电极，其在比偏转场靠样品侧沿光轴配置，样品及物镜被设为基准电位，对圆盘状电极施加比基准电位低的电位，对控制电极施加比基准电位高的电位。 | ||||||
| 2 | 扫描电子显微镜 | CN201780027480.2 | 2017-03-03 | CN109155225A | 2019-01-04 | K.D.范德马斯特; A.F.J.汉曼; W.H.C.瑟乌斯; S.R.M.斯多科斯 |
| 一种扫描电子显微镜（1），其包括处于电子光学成像系统（2）与样品载体（10）之间的滑动真空密封装置（20），该滑动真空密封装置（20）具有第一板（22），该第一板（22）具有与电子光学成像系统相关联的第一孔径（24），并且靠在第二板（26）上，该第二板（26）具有与样品载体相关联的第二孔径（28）。第一板和/或第二板包括环绕第一孔径和/或第二孔径的凹槽（40）。扫描电子显微镜可以包括相对于电子束可移动的检测器（8）。扫描电子显微镜可以包括用于沿无碰撞路径移动样品载体的运动控制单元。 | ||||||
| 3 | 扫描电子显微镜 | CN201080031156.6 | 2010-07-20 | CN102473577B | 2015-05-06 | 大泷智久; 安岛雅彦; 伊东佑博; 大沼满; 小町章 |
| 本发明想要解决的课题在于，在将电子显微镜主体、排气系统、包括电源及空气冷却风扇的控制系统设置在一个底板上的台式电子显微镜中，获得更高分辨率的图像。本发明是将电子显微镜主体、对电子显微镜主体的内部进行排气的排气系统、及上述电子显微镜主体的控制系统配置在由底板及罩包围而成的空间内部的电子显微镜，其特征在于，上述控制系统配置在上述底板上，在上述底板上具有开口部，上述电子显微镜主体借助于通过上述开口部的缓冲器设置在设置有上述底板的地面上。通过防止由空气冷却风扇等装置内部产生的振动传播到电子显微镜主体，能够获得更高分辨率的观察图像。 | ||||||
| 4 | 扫描电子显微镜 | CN201380021994.9 | 2013-03-25 | CN104272426A | 2015-01-07 | 小柏刚; 佐藤贡; 今野充 |
| 在现有技术中，通用的扫描电子显微镜中，可设定的最大加速电压低，因此在通常的高分辨率观察条件下可观察的晶体薄膜样本仅限于晶格面间隔大的样本。因此，没有高精度地进行倍率校正的手段。作为解决手段，本发明的特征在于，具备：电子源，其产生电子束；偏转器，其执行偏转，以便利用所述电子束在所述样本上进行扫描；物镜，其使所述电子束会聚在所述样本上；检测器，其检测透过了所述样本的散射电子以及非散射电子；和光圈，其配置在所述样本与所述检测器之间，对所述散射电子以及所述非散射电子的检测角进行控制；所述电子束以规定的开角入射至样本，以比在所述样本上电子束直径成为最小的第一开角大的第二开角来获取晶格像。 | ||||||
| 5 | 扫描电子显微镜 | CN201080052970.6 | 2010-11-12 | CN102668013A | 2012-09-12 | 岩谷彻; 高堀荣; 大泷智久; 波多野治彦 |
| 本发明提供一种能够抑制柱镜筒架的温度上升，且维持分解能等性能，并同时实现装置的小型化的扫描电子显微镜。该扫描电子显微镜利用会聚透镜使从电子源放出的电子线会聚而向试料上照射，并对来自试料的二次电子进行检测，从而观察试料，所述扫描电子显微镜的特征在于，所述会聚透镜具有电磁线圈型及永久磁铁型这两种。 | ||||||
| 6 | 扫描电子显微镜 | CN200810085128.7 | 2008-03-21 | CN101388317A | 2009-03-18 | 陈仲伟; 郭小立; 任岩; 何福民; 曹峰; 郭瑜; 卢志刚 |
| 一种扫描电子显微镜，具有电子源，其阴极和阳极保持恒定的高抽取电压，可以得到高亮度、低能散的一次电子束；一个高压管系统，包含上高压管和下高压管，二者独立供电，使一次电子在其内部具有高能量，减小电子间相互作用；一个物镜聚焦系统和减速装置，将一次电子束以特定着陆能量聚焦于样品上；偏转系统含有一个环形多极的静电偏转器，其静电偏转器位于聚焦磁场内，形成聚焦偏转复合场，具有更小的偏转像差，可以对样品进行快速高分辨大视场成像。 | ||||||
| 7 | 扫描电子显微镜 | CN202211477788.6 | 2022-11-23 | CN115732298A | 2023-03-03 | 阴达; 张伟; 尹朋飞; 卢志钢 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜包括钨灯丝电子枪、电压管、磁透镜和样品台。钨灯丝电子枪包括阴极，阴极连接负电位，负电位为对地负电压；电压管与钨灯丝电子枪间隔设置，电压管内形成有通道，通道供钨灯丝电子枪发出的电子束通过，电压管连接正电位，正电位为对地正电压；磁透镜环绕在电压管外，用于对电子束进行会聚；样品台设置在电压管背离钨灯丝电子枪的一侧，用于承载样品。电压管连接正电位，电压管和阴极之间形成较大的电场，使得钨灯丝电子枪的灯丝尖端表面的具有较高的场强，从而克服空间电荷效应对束流亮度的限制，从而显著地提高束流亮度，进而提升基于钨灯丝作为电子源的扫描电子显微镜的分辨率。 | ||||||
| 8 | 扫描电子显微镜 | CN202110223041.7 | 2017-03-03 | CN113223913A | 2021-08-06 | K.D.范德马斯特; A.F.J.汉曼; W.H.C.瑟乌斯; S.R.M.斯多科斯 |
| 一种扫描电子显微镜（1），其包括处于电子光学成像系统（2）与样品载体（10）之间的滑动真空密封装置（20），该滑动真空密封装置（20）具有第一板（22），该第一板（22）具有与电子光学成像系统相关联的第一孔径（24），并且靠在第二板（26）上，该第二板（26）具有与样品载体相关联的第二孔径（28）。第一板和/或第二板包括环绕第一孔径和/或第二孔径的凹槽（40）。扫描电子显微镜可以包括相对于电子束可移动的检测器（8）。扫描电子显微镜可以包括用于沿无碰撞路径移动样品载体的运动控制单元。 | ||||||
| 9 | 扫描电子显微镜 | CN201380021994.9 | 2013-03-25 | CN104272426B | 2016-08-24 | 小柏刚; 佐藤贡; 今野充 |
| 在现有技术中，通用的扫描电子显微镜中，可设定的最大加速电压低，因此在通常的高分辨率观察条件下可观察的晶体薄膜样本仅限于晶格面间隔大的样本。因此，没有高精度地进行倍率校正的手段。作为解决手段，本发明的特征在于，具备：电子源，其产生电子束；偏转器，其执行偏转，以便利用所述电子束在所述样本上进行扫描；物镜，其使所述电子束会聚在所述样本上；检测器，其检测透过了所述样本的散射电子以及非散射电子；和光圈，其配置在所述样本与所述检测器之间，对所述散射电子以及所述非散射电子的检测角进行控制；所述电子束以规定的开角入射至样本，以比在所述样本上电子束直径成为最小的第一开角大的第二开角来获取晶格像。 | ||||||
| 10 | 扫描电子显微镜 | CN201280039396.X | 2012-05-28 | CN103733299B | 2016-05-11 | 森下英郎; 大岛卓; 波田野道夫; 伊东祐博 |
| 本发明提供一种扫描电子显微镜，为了提供即便是低探针电流也能辨别检测反射电子和二次电子的低加速的扫描电子显微镜而具备：电子枪(29)、光阑(26)、样品台(3)、用于将电子束(31)会聚于样品(2)上的电子光学系统(4-1)、偏转部件(10)、二次电子检测器(8)、反射电子检测器(9)、和处于电子枪(29)与样品(2)之间的位置处的筒状的电子输送部件(5)，反射电子检测器(9)设置在电子输送部件(5)的内部、且与二次电子检测器(8)以及偏转部件(10)相比更靠电子枪(29)的远方侧，反射电子检测器(9)的感受面(9-1)在电气上被布线成与电子输送部件(5)相同电位。 | ||||||
| 11 | 扫描电子显微镜 | CN201480022147.9 | 2014-02-18 | CN105143866A | 2015-12-09 | 多夫·夏查尔; 拉菲·迪彼丘多 |
| 一种适用于非真空环境成像样品的扫描电子显微镜,所述扫描电子显微镜包括一位于维持在真空下的外壳里面之电子源,一设置在所述外壳开口的电子可穿透膜,所述电子可穿透膜隔开一在外壳里面维持在真空下的环境与一在外壳外面不是维持在真空下的环境,且所述电子可穿透膜没有电接地,以及至少一个没有接地的电极以操作为一个电子检测器。 | ||||||
| 12 | 扫描电子显微镜 | CN201080052970.6 | 2010-11-12 | CN102668013B | 2015-05-27 | 岩谷彻; 高堀荣; 大泷智久; 波多野治彦 |
| 本发明提供一种能够抑制柱镜筒架的温度上升，且维持分解能等性能，并同时实现装置的小型化的扫描电子显微镜。该扫描电子显微镜利用会聚透镜使从电子源放出的电子线会聚而向试料上照射，并对来自试料的二次电子进行检测，从而观察试料，所述扫描电子显微镜的特征在于，所述会聚透镜具有电磁线圈型及永久磁铁型这两种。 | ||||||
| 13 | 扫描电子显微镜 | CN201310417650.1 | 2013-09-14 | CN104465287A | 2015-03-25 | 李征; 杜周; 谭思祥 |
| 扫描电子显微镜是涉及一种电子显微镜的改进。本发明提供一种信噪比较高且立体感强的一种扫描电子显微镜。本发明包括物镜，其结构要点是：物镜设置在主机上方，物镜上方依次设置有扫描线圈、聚光镜和电子枪、扫描线圈通过扫描信号发生器与显示器相连，主机通过放大器与显示器相连。 | ||||||
| 14 | 扫描电子显微镜 | CN201080031156.6 | 2010-07-20 | CN102473577A | 2012-05-23 | 大泷智久; 安岛雅彦; 伊东佑博; 大沼满; 小町章 |
| 本发明想要解决的课题在于，在将电子显微镜主体、排气系统、包括电源及空气冷却风扇的控制系统设置在一个底板上的台式电子显微镜中，获得更高分辨率的图像。本发明是将电子显微镜主体、对电子显微镜主体的内部进行排气的排气系统、及上述电子显微镜主体的控制系统配置在由底板及罩包围而成的空间内部的电子显微镜，其特征在于，上述控制系统配置在上述底板上，在上述底板上具有开口部，上述电子显微镜主体借助于通过上述开口部的缓冲器设置在设置有上述底板的地面上。通过防止由空气冷却风扇等装置内部产生的振动传播到电子显微镜主体，能够获得更高分辨率的观察图像。 | ||||||
| 15 | 扫描电子显微镜 | CN200510103948.0 | 2005-09-16 | CN1822305B | 2010-12-15 | 波田野道夫; 伊东祐博; 富田真一; 片根纯一 |
| 一种扫描电子显微镜，具有将电子束照射到试样上的照射光学系统，在试样室内放置试样的试样台，在试样台的周围被配置至少一个的电场供给电极，被配置成覆盖电场供给电极那样的离子电流检测电极。 | ||||||
| 16 | 扫描电子显微镜 | CN202180022962.5 | 2021-03-18 | CN115516598A | 2022-12-23 | 齐藤尚也; 久保田大辅 |
| 本发明涉及以电子束扫描晶圆、掩膜、面板、基板等工件而生成该工件的图像的扫描电子显微镜。本发明的扫描电子显微镜具备：偏转器(17、18)，它们使电子束偏转而以电子束扫描工件(W)上的目标区域(T)；以及偏转控制部(22)，其对偏转器(17、18)施加扫描电压和偏移电压，所述扫描电压使电子束扫描目标区域(T)，所述偏移电压将电子束从光轴中心(O)挪到目标区域(T)。 | ||||||
| 17 | 扫描电子显微镜 | CN201780027480.2 | 2017-03-03 | CN109155225B | 2021-01-26 | K.D.范德马斯特; A.F.J.汉曼; W.H.C.瑟乌斯; S.R.M.斯多科斯 |
| 一种扫描电子显微镜（1），其包括处于电子光学成像系统（2）与样品载体（10）之间的滑动真空密封装置（20），该滑动真空密封装置（20）具有第一板（22），该第一板（22）具有与电子光学成像系统相关联的第一孔径（24），并且靠在第二板（26）上，该第二板（26）具有与样品载体相关联的第二孔径（28）。第一板和/或第二板包括环绕第一孔径和/或第二孔径的凹槽（40）。扫描电子显微镜可以包括相对于电子束可移动的检测器（8）。扫描电子显微镜可以包括用于沿无碰撞路径移动样品载体的运动控制单元。 | ||||||
| 18 | 扫描电子显微镜 | CN201780094839.8 | 2017-09-29 | CN111108579A | 2020-05-05 | 森下英郎; 扬村寿英 |
| 本发明提供不应用减速法的扫描电子显微镜，其抑制因BSE而激发的SE3的检测量，具备针对在样品上产生的SE1的能量筛选检测功能。该扫描电子显微镜具有：电子光学系统，其具有产生照射电子束的电子源(21)和使照射电子束会聚于样品上的物镜(12)；检测器(13)，其配置于电子光学系统的光轴外，检测因照射电子束照射至样品而产生的信号电子；偏转电极，其形成将信号电子引导至检测器的偏转场(26)；圆盘状电极(23)，其配置于比偏转场靠电子源侧，具有使照射电子束穿过的开口部；以及控制电极，其在比偏转场靠样品侧沿光轴配置，样品及物镜被设为基准电位，对圆盘状电极施加比基准电位低的电位，对控制电极施加比基准电位高的电位。 | ||||||
| 19 | 扫描电子显微镜 | CN201480036932.X | 2014-07-11 | CN105340051A | 2016-02-17 | 扬村寿英; 森下英郎 |
| 本发明的扫描电子显微镜具备：在电子束(5)通过物镜时使上述电子束减速的减速机构；配置于上述电子源与上述物镜之间且具有相对于上述电子束的光轴而轴对称的形状的感受面的第一检测器(8)以及第二检测器(7)。上述第一检测器设置在比上述第二检测器靠试样侧，专门对通过减速电场型能量过滤器(9A)后的高能量的信号电子进行检测。若将上述物镜的试样侧的前端部(13)与上述第一检测器的感受面之间的距离设为L1，并将上述物镜的上述试样侧的前端部与上述第二检测器的感受面之间的距离设为L2，则L1/L2≤5/9。由此，扫描式电子显微镜中，当应用减速法而进行低加速观察时，能够在几百倍程度的低倍率至十万倍以上的高倍率的大倍率范围内无阴影的影响地检测信号电子。并且，能够高效率地检测与二次电子相比产生量少的背向散射电子。 | ||||||
| 20 | 扫描电子显微镜 | CN201280039396.X | 2012-05-28 | CN103733299A | 2014-04-16 | 森下英郎; 大岛卓; 波田野道夫; 伊东祐博 |
| 本发明提供一种扫描电子显微镜，为了提供即便是低探针电流也能辨别检测反射电子和二次电子的低加速的扫描电子显微镜而具备：电子枪(29)、光阑(26)、样品台(3)、用于将电子束(31)会聚于样品(2)上的电子光学系统(4-1)、偏转部件(10)、二次电子检测器(8)、反射电子检测器(9)、和处于电子枪(29)与样品(2)之间的位置处的筒状的电子输送部件(5)，反射电子检测器(9)设置在电子输送部件(5)的内部、且与二次电子检测器(8)以及偏转部件(10)相比更靠电子枪(29)的远方侧，反射电子检测器(9)的感受面(9-1)在电气上被布线成与电子输送部件(5)相同电位。 | ||||||
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