| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 扫描探针显微镜 | CN202111090378.1 | 2021-09-17 | CN114324981B | 2024-04-26 | 新井浩; 小暮亮雅; 山崎贤治; 藤井岳直 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜，能够在极性溶剂中获取试样表面的形状和电位分布的三维信息。扫描探针显微镜具备：试样工作台；悬臂；移动机构，其使试样工作台与悬臂的基端之间的距离发生变化；激振部，其使悬臂进行振动；位移检测器，其检测探针的位移；测定控制部，其针对多个测定点中的各个测定点执行如下的测定动作：在多个位置处执行在对悬臂进行激振的状态下检测探针的位移的处理；表面形状信息获取部，其通过基于探针的位移求出悬臂的挠曲量，来获取所述试样的表面形状的信息；以及电位信息获取部，其通过基于探针的位移求出该位移的振幅的大小或相位的变化量，来获取在与试样表面垂直的方向上的电位分布的信息。 | ||||||
| 2 | 扫描探针显微镜 | CN201610152514.8 | 2016-03-17 | CN106018882B | 2020-07-24 | 山本浩令 |
| 提供扫描探针显微镜，其抑制配置在扫描探针显微镜上的物镜的分辨率的降低、且能够使用该物镜容易地进行光杠杆的光轴调整。扫描探针显微镜(100)具有设置有接近试样(18)的表面的探针(99)的悬臂(4)、光源部(1)、反射从光源部照射的入射光L0以将其引导至设置于悬臂的反射面的第1反射部(3)、受光部(6)、反射被反射面反射后的反射光L1以将其引导至受光部的第2反射部(5)、以及与悬臂对置配置并对悬臂的附近进行观察或摄像的数值孔径为NA的物镜(17)，第1反射部被配置成，在第1反射部反射后的入射光L0的光路与物镜的光轴O所成的角为(其中，θ为开口角(°)，由NA＝n·sinθ表示，n为物镜与悬臂之间的介质的折射率)。 | ||||||
| 3 | 扫描探针显微镜 | CN201480077349.3 | 2014-03-20 | CN106104278B | 2019-08-27 | 平出雅人 |
| 在扫描探针显微镜中设置有：试样移动单元(111、133)，其包括圆筒形的压电扫描器(111)，通过利用施加电压使压电扫描器(111)弯曲来使载置于该压电扫描器的上端面的试样(110)移动；扫描控制单元(132)，其通过控制所述施加电压来控制探针(114)与试样(110)的相对位置；试样厚度获取单元(138)，其获取试样(110)的厚度值；以及相关信息决定单元(139)，其使用所述厚度值来决定表示向压电扫描器(111)施加的施加电压与试样(110)表面在水平方向上的位移量之间的对应关系的相关信息，其中，扫描控制单元(132)使用所述相关信息来进行所述相对位置的控制。由此，能够进行考虑了试样(110)的厚度对XY方向上的移动量造成的影响的准确的试样扫描。 | ||||||
| 4 | 扫描探针显微镜 | CN201480077349.3 | 2014-03-20 | CN106104278A | 2016-11-09 | 平出雅人 |
| 在扫描探针显微镜中设置有：试样移动单元(111、133)，其包括圆筒形的压电扫描器(111)，通过利用施加电压使压电扫描器(111)弯曲来使载置于该压电扫描器的上端面的试样(110)移动；扫描控制单元(132)，其通过控制所述施加电压来控制探针(114)与试样(110)的相对位置；试样厚度获取单元(138)，其获取试样(110)的厚度值；以及相关信息决定单元(139)，其使用所述厚度值来决定表示向压电扫描器(111)施加的施加电压与试样(110)表面在水平方向上的位移量之间的对应关系的相关信息，其中，扫描控制单元(132)使用所述相关信息来进行所述相对位置的控制。由此，能够进行考虑了试样(110)的厚度对XY方向上的移动量造成的影响的准确的试样扫描。 | ||||||
| 5 | 扫描探针显微镜 | CN200880125506.8 | 2008-01-24 | CN101952706B | 2012-08-29 | 伊藤武史 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜。该扫描探针显微镜为了检测悬臂(4)的位移，利用半透半反镜(20)取出从激光光源(11)射出的光的一部分，并将其导入到具有被分割为4部分的受光面的光检测器(21)中。当由周围温度的变化等导致射出光的射出方向倾斜时，光斑位置在光检测器(21)的受光面上移动，因此，能够根据其移动量和移动方向识别射出方向的倾斜量和倾斜方向。驱动量运算部(22)根据其倾斜量及方向计算驱动量，利用驱动器(23)使激光光源(11)绕Y轴和Z轴发生位移。由此，能够对射出光的射出方向的倾斜进行补偿，防止以为是试样表面的凹凸的误认。 | ||||||
| 6 | 扫描探针显微镜 | CN200610058365.5 | 2006-03-03 | CN100594385C | 2010-03-17 | 大田昌弘 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜，它根据观察对象或观察目的，无需交换扫描仪，在维持高分辨率的状态下，可进行微小范围至广域的观察。该扫描探针显微镜中，设有使探针13在X-Y-Z轴方向上移动的探针侧扫描仪10与使样品12在X-Y-Z轴方向上移动的样品侧扫描仪11这两个扫描仪。使用最大扫描范围较小的扫描仪作为探针侧扫描仪10，使用最大扫描范围较大的扫描仪作为样品侧扫描仪11，并根据观察对象或观察目的掉换二者而使用。或者，利用探针侧扫描仪10进行微小范围的扫描，并且通过样品侧扫描仪11使观察视野移动。 | ||||||
| 7 | 扫描探针显微镜 | CN03156917.X | 2003-09-15 | CN100387967C | 2008-05-14 | 王宏; 奚爽; 李丹芸 |
| 本发明提供一种既能够有效防止划伤样品，又能够减少图像失真，从而有利于获得精确表征样品表面形貌的高分辨率图像的扫描探针显微镜，包括激光发射器、微悬臂、振荡装置、扫描管以及光斑位置检测器，所述微悬臂一端设置有探针，另一端与振荡装置相连，所述振荡装置包括压电陶瓷晶体和控制该压电陶瓷晶体振荡频率和振幅的振荡频率控制器，所述微悬臂固定在压电陶瓷晶体上，其特征在于：所述扫描探针显微镜还包括两个反射镜，分别设置于激光发射器和微悬臂以及微悬臂与光斑位置检测器之间。 | ||||||
| 8 | 扫描探针显微镜 | CN03818004.9 | 2003-07-04 | CN1672011A | 2005-09-21 | 默文·约翰·迈尔斯; 安德鲁·大卫·拉弗·汉弗瑞斯; 杰米·凯尼·霍布斯 |
| 一种用来检测或感应探针－样本相互作用中的变化的扫描探针显微镜。在成像模式中，使探针(54)非常接近样本(12)，当探针(54)和样本表面相对进行扫描时，测量相互作用的强度。通过执行样本(12)和探针(54)的相对平移来快速地收集图像，同时在其谐振频率或在接近其谐振频率处振荡这两者之一。在首选实施例中，通过在金属探针和样本之间的接口处产生的电容来监控相互作用。在光刻模式下，原子力显微镜适合于向样本表面写信息。 | ||||||
| 9 | 扫描探针显微镜 | CN202111090378.1 | 2021-09-17 | CN114324981A | 2022-04-12 | 新井浩; 小暮亮雅; 山崎贤治; 藤井岳直 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜，能够在极性溶剂中获取试样表面的形状和电位分布的三维信息。扫描探针显微镜具备：试样工作台；悬臂；移动机构，其使试样工作台与悬臂的基端之间的距离发生变化；激振部，其使悬臂进行振动；位移检测器，其检测探针的位移；测定控制部，其针对多个测定点中的各个测定点执行如下的测定动作：在多个位置处执行在对悬臂进行激振的状态下检测探针的位移的处理；表面形状信息获取部，其通过基于探针的位移求出悬臂的挠曲量，来获取所述试样的表面形状的信息；以及电位信息获取部，其通过基于探针的位移求出该位移的振幅的大小或相位的变化量，来获取在与试样表面垂直的方向上的电位分布的信息。 | ||||||
| 10 | 扫描探针显微镜 | CN200880125506.8 | 2008-01-24 | CN101952706A | 2011-01-19 | 伊藤武史 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜。该扫描探针显微镜为了检测悬臂(4)的位移，利用半透半反镜(20)取出从激光光源(11)射出的光的一部分，并将其导入到具有被分割为4部分的受光面的光检测器(21)中。当由周围温度的变化等导致射出光的射出方向倾斜时，光斑位置在光检测器(21)的受光面上移动，因此，能够根据其移动量和移动方向识别射出方向的倾斜量和倾斜方向。驱动量运算部(22)根据其倾斜量及方向计算驱动量，利用驱动器(23)使激光光源(11)绕Y轴和Z轴发生位移。由此，能够对射出光的射出方向的倾斜进行补偿，防止以为是试样表面的凹凸的误认。 | ||||||
| 11 | 扫描探针显微镜 | CN03156917.X | 2003-09-15 | CN1490606A | 2004-04-21 | 王宏; 奚爽; 李丹芸 |
| 本发明提供一种既能够有效防止划伤样品，又能够减少图像失真，从而有利于获得精确表征样品表面形貌的高分辨率图像的扫描探针显微镜，包括带针尖的微悬臂，其特征在于：所述微悬臂与振荡装置固定连接；所述针尖位于所述微悬臂的一端，所述振荡装置位于所述微悬臂的另一端；所述振荡装置包括压电陶瓷晶体，和对该压电陶瓷晶体的振荡频率及振幅进行控制的振荡频率控制器，所述微悬臂固定在所述压电陶瓷晶体上。 | ||||||
| 12 | 扫描探针显微镜 | CN201910001318.4 | 2019-01-02 | CN110082566B | 2023-07-18 | 岩佐真行; 鹿仓良晃; 工藤慎也; 上野利浩 |
| 提供扫描探针显微镜，可选择性地显示或一同显示测定数据及其差分数据的分布像，能够得到边缘强调像并且提高了用户的便利性。扫描探针显微镜(200)具有悬臂(1)和检测表示悬臂的位移的信号的位移检测器(5)，取得在使探针(99)沿着试样(300)的表面相对地扫描时所获取的测定数据，该扫描探针显微镜(200)还具有：分布像计算单元(40a)，其计算测定数据的一维或二维的第一分布像(201)和测定数据的相邻的数据的差分数据的一维或二维的第二分布像(202)；以及显示控制单元(40b)，其指示分布像计算单元计算第一分布像和第二分布像中的任意一方或双方，并且使规定的显示单元显示所计算出的分布像。 | ||||||
| 13 | 扫描探针显微镜 | CN201910001318.4 | 2019-01-02 | CN110082566A | 2019-08-02 | 岩佐真行; 鹿仓良晃; 工藤慎也; 上野利浩 |
| 提供扫描探针显微镜，可选择性地显示或一同显示测定数据及其差分数据的分布像，能够得到边缘强调像并且提高了用户的便利性。扫描探针显微镜(200)具有悬臂(1)和检测表示悬臂的位移的信号的位移检测器(5)，取得在使探针(99)沿着试样(300)的表面相对地扫描时所获取的测定数据，该扫描探针显微镜(200)还具有：分布像计算单元(40a)，其计算测定数据的一维或二维的第一分布像(201)和测定数据的相邻的数据的差分数据的一维或二维的第二分布像(202)；以及显示控制单元(40b)，其指示分布像计算单元计算第一分布像和第二分布像中的任意一方或双方，并且使规定的显示单元显示所计算出的分布像。 | ||||||
| 14 | 扫描探针显微镜 | CN201610152514.8 | 2016-03-17 | CN106018882A | 2016-10-12 | 山本浩令 |
| 提供扫描探针显微镜，其抑制配置在扫描探针显微镜上的物镜的分辨率的降低、且能够使用该物镜容易地进行光杠杆的光轴调整。扫描探针显微镜(100)具有设置有接近试样(18)的表面的探针(99)的悬臂(4)、光源部(1)、反射从光源部照射的入射光L0以将其引导至设置于悬臂的反射面的第1反射部(3)、受光部(6)、反射被反射面反射后的反射光L1以将其引导至受光部的第2反射部(5)、以及与悬臂对置配置并对悬臂的附近进行观察或摄像的数值孔径为NA的物镜(17)，第1反射部被配置成，在第1反射部反射后的入射光L0的光路与物镜的光轴O所成的角为(其中，θ为开口角(°)，由NA＝n·sinθ表示，n为物镜与悬臂之间的介质的折射率)。 | ||||||
| 15 | 扫描探针显微镜 | CN200610058365.5 | 2006-03-03 | CN1831513A | 2006-09-13 | 大田昌弘 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜，它根据观察对象或观察目的，无需交换扫描仪，在维持高分辨率的状态下，可进行微小范围至广域的观察。该扫描探针显微镜中，设有使探针13在X－Y－Z轴方向上移动的探针侧扫描仪10与使样品12在X－Y－Z轴方向上移动的样品侧扫描仪11这两个扫描仪。使用最大扫描范围较小的扫描仪作为探针侧扫描仪10，使用最大扫描范围较大的扫描仪作为样品侧扫描仪11，并根据观察对象或观察目的掉换二者而使用。或者，利用探针侧扫描仪10进行微小范围的扫描，并且通过样品侧扫描仪11使观察视野移动。 | ||||||
| 16 | 扫描探针显微镜 | CN02143466.2 | 2002-06-26 | CN1230669C | 2005-12-07 | 武笠幸一; 末冈和久; 加茂直树; 细井浩贵; 泽村诚 |
| 一种扫描探针显微镜，包括悬臂。形成于所述悬臂上的探针，在探针最前端形成具有椅型晶体结构或其最前端经改性分子进行化学改性的碳纳米管。自旋极化电子束源，其连接到所述碳纳米管并且与所述碳纳米管无关地被提供。 | ||||||
| 17 | 扫描探针显微镜 | CN02143466.2 | 2002-06-26 | CN1405546A | 2003-03-26 | 武笠幸一; 末冈和久; 加茂直树; 细井浩贵; 泽村诚 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜，其中在探针最前端形成具有椅型晶体结构或其最前端经改性分子进行化学改性的碳纳米管。 | ||||||
| 18 | 扫描探针显微镜和程序 | CN202280065712.4 | 2022-03-23 | CN118019987A | 2024-05-10 | 新井浩; 中岛秀郎; 森口志穗; 中野智阳 |
| 本公开的一个方式所涉及的扫描探针显微镜将试样的观察对象区域分成多个区域并且驱动扫描器以按每个区域扫描试样的表面。数据处理部获取与多个区域分别对应的多个图像数据。输入单元受理与多个图像数据的获取条件有关的用户输入。获取条件包括扫描器的扫描条件。在输入单元受理到关于每个图像数据的扫描器的扫描范围、相邻的两个扫描范围的间隔以及能够从扫描器的最大扫描范围获取的最大视场数这三个变量中的任意两个变量的用户输入时，数据处理部基于所受理的两个变量来计算三个变量中的其余一个变量。 | ||||||
| 19 | 扫描型探针显微镜 | CN202010217142.9 | 2020-03-25 | CN111856079B | 2023-09-19 | 平出雅人 |
| 本发明提供一种扫描型探针显微镜。扫描型探针显微镜包括壳体、致动器、至少一个弹性构件、探针。致动器包含圆筒状的压电扫描器和试样保持构件。压电扫描器与壳体呈同轴状地配置于壳体内，并且其第1端固定于底部。试样保持构件设于压电扫描器的第2端。至少一个弹性构件配置为夹在压电扫描器和试样保持构件中的至少一者与壳体之间。 | ||||||
| 20 | 扫描型探针显微镜 | CN201880012577.0 | 2018-02-22 | CN110312939B | 2022-06-10 | 大田昌弘 |
| 提供一种扫描型探针显微镜，其具备：测定光照射部(171)，其向设置于悬臂(15)的可动端的反射面照射光；光检测部(174)，其具有比从反射面反射的反射光的入射区域大的受光面，通过该受光面被分割成了多个区域的受光面来检测该反射光；挠曲量计算部(41)，其基于向多个区域入射的光量的比例来求出悬臂(15)的挠曲量；判定部(42)，其判定悬臂(15)的挠曲的针对悬臂(15)的基端与试样(10)之间的距离的变化量是否为阈值Kth以上；以及受光面移动部(18)，其在变化量比阈值Kth小的情况下，使受光面移动使得抵消变化量。 | ||||||
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