| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 干涉仪 | CN201410278239.5 | 2014-06-20 | CN104236451B | 2018-05-18 | M.迈斯纳; R.耶尔格; J.德雷舍尔; W.霍尔扎普费尔 |
| 本发明涉及一种干涉仪，其带有光源、分束器、测量反射器、参考后向反射器、探测器组件以及两个透明的平板。分束器将由光源发射的第一光束分开成至少一个测量光束和至少一个参考光束，通过其展开第一分开平面。测量光束在测量臂中而参考光束在参考臂中传播直至在第一结合平面中的结合地点处再结合。第一结合平面平行于第一分开平面定向。测量光束至少两次垂直地射到测量反射器上。参考光束至少一次射到参考后向反射器上。通过探测器组件可从测量和参考光束中关于测量对象的位置检测至少一个第一距离信号。透明的第一平板和透明的第二平板在光路中彼此平行地布置在光源与探测器组件之间。参考后向反射器构造在第一平板中而分束器布置在第二平板上。 | ||||||
| 2 | 干涉仪 | CN201410278239.5 | 2014-06-20 | CN104236451A | 2014-12-24 | M.迈斯纳; R.耶尔格; J.德雷舍尔; W.霍尔扎普费尔 |
| 本发明涉及一种干涉仪，其带有光源、分束器、测量反射器、参考后向反射器、探测器组件以及两个透明的平板。分束器将由光源发射的第一光束分开成至少一个测量光束和至少一个参考光束，通过其展开第一分开平面。测量光束在测量臂中而参考光束在参考臂中传播直至在第一结合平面中的结合地点处再结合。第一结合平面平行于第一分开平面定向。测量光束至少两次垂直地射到测量反射器上。参考光束至少一次射到参考后向反射器上。通过探测器组件可从测量和参考光束中关于测量对象的位置检测至少一个第一距离信号。透明的第一平板和透明的第二平板在光路中彼此平行地布置在光源与探测器组件之间。参考后向反射器构造在第一平板中而分束器布置在第二平板上。 | ||||||
| 3 | 干涉仪 | CN200710043623.7 | 2007-07-10 | CN100492179C | 2009-05-27 | 刘国淦; 段立峰 |
| 本发明公开了一种用于光刻机投影物镜检测的干涉仪。本发明的干涉仪包括第一偏振分光镜，分位于第一偏振分光镜入光面一侧的分别用于引入参考光和测量光的两个准直透镜组，位于第一偏振分光镜出光面的第二、第三偏振分光镜，第一偏振分光镜与第三偏振分光镜之间配置二分之一波片和四分之一波片，第一偏振分光镜与第二偏振分光镜之间配置四分之一波片。利用本发明的干涉仪可准确得测得物镜的波前误差、放大率、畸变、场曲，并可减小光学检测元件的尺寸，而且制造简单，检测精度高且操作方便。 | ||||||
| 4 | 干涉仪 | CN201510453259.6 | 2015-07-29 | CN105509634B | 2019-09-20 | M.迈斯纳 |
| 本发明给出一个干涉仪，它包括一光源、一分光器、一参考反射器、一测量反射器、一检测单元以及至少两个透明的平板。通过分光器将光束分裂成至少一测量光束和一参考光束。直到再联合所述测量光束在测量臂中传播，所述参考光束在参考臂中传播。所述参考光束至少三次入射到设置在参考臂上的参考反射器上。所述测量反射器设置在测量臂里面并且与测量目标连接，所述测量目标沿着测量方向相对于参考反射器运动，所述测量光束至少三次入射到测量反射器上。通过检测单元可以检测来自干涉的测量和参考光束相对于测量目标位置的至少一距离信号。所述平板相互平行地在光程中设置在光源与检测单元之间。至少测量反射器相对于平板沿着测量方向运动。所述平板分别包括多个光学元件，它们施加这样的光学作用在测量光束和参考光束上，使所述测量光束和参考光束分别相互平行地在测量和参考反射器的方向上传播。 | ||||||
| 5 | 干涉仪 | CN200880113315.X | 2008-11-19 | CN101836072A | 2010-09-15 | 刘志强 |
| 本发明提供一种干涉仪，即使受检面与参照面的表面形状的差别大，也可以测定受检物的表面形状。测定受检物(9)的表面形状的干涉仪具备：具有低空间相干特性的面光源、将面光源与受检物在光学上共轭地配置的导光光学系统(6、8)、具有配置于与受检物在光学上共轭的位置的检测面的光检测器(13)。面光源具有多个相互具有低干涉性的微小面光源。 | ||||||
| 6 | 干涉仪 | CN200710043623.7 | 2007-07-10 | CN101082776A | 2007-12-05 | 刘国淦; 段立峰 |
| 本发明公开了一种用于光刻机投影物镜检测的干涉仪。本发明的干涉仪包括第一偏振分光镜，分位于第一偏振分光镜入光面一侧的分别用于引入参考光和测量光的两个准直透镜组，位于第一偏振分光镜出光面的第二、第三偏振分光镜，第一偏振分光镜与第三偏振分光镜之间配置二分之一波片和四分之一波片，第一偏振分光镜与第二偏振分光镜之间配置四分之一波片。利用本发明的干涉仪可准确得测得物镜的波前误差、放大率、畸变、场曲，并可减小光学检测元件的尺寸，而且制造简单，检测精度高且操作方便。 | ||||||
| 7 | 干涉仪 | CN201580043188.0 | 2015-08-19 | CN106716088B | 2018-11-13 | 马丁·贝尔茨 |
| 本发明涉及一种干涉仪，包括：第一干涉仪臂及第二干涉仪臂，其中，所述第一干涉仪臂及第二干涉仪臂被配置成：从待成像的原始图像的中心像点出发的第一中心光束穿过所述第一干涉仪臂，从所述待成像的原始图像的所述中心像点出发的第二中心光束穿过所述第二干涉仪臂，其中，所述第一中心光束与所述第二中心光束在穿过所述第一或第二干涉仪臂之后叠加并在所述第一中心光束与所述第二中心光束的叠加点处生成k垂直＝0‑干涉；从所述待成像的原始图像的像点出发的第一光束穿过所述第一干涉仪臂，以及从所述待成像的原始图像的所述像点出发的第二光束穿过所述第二干涉仪臂，其中，所述第一光束与所述第二光束在穿过所述第一或第二干涉仪臂之后重叠于所述第一中心光束与所述第二中心光束的所述叠加点处，以及其中，在所述叠加点处，所述第一光束垂直于所述第一中心光束的波矢分量与所述第二光束垂直于所述第二中心光束的波矢分量相反。本发明还涉及一种用于由使用根据本发明所述的干涉仪测量的图像重建原始图像的方法。本发明又涉及一种用于校准根据本发明所述的干涉仪的方法。 | ||||||
| 8 | 干涉仪 | CN201580043188.0 | 2015-08-19 | CN106716088A | 2017-05-24 | 马丁·贝尔茨 |
| 本发明涉及一种干涉仪，包括：第一干涉仪臂及第二干涉仪臂，其中，所述第一干涉仪臂及第二干涉仪臂被配置成：从待成像的原始图像的中心像点出发的第一中心光束穿过所述第一干涉仪臂，从所述待成像的原始图像的所述中心像点出发的第二中心光束穿过所述第二干涉仪臂，其中，所述第一中心光束与所述第二中心光束在穿过所述第一或第二干涉仪臂之后叠加并在所述第一中心光束与所述第二中心光束的叠加点处生成k垂直＝0‑干涉；从所述待成像的原始图像的像点出发的第一光束穿过所述第一干涉仪臂，以及从所述待成像的原始图像的所述像点出发的第二光束穿过所述第二干涉仪臂，其中，所述第一光束与所述第二光束在穿过所述第一或第二干涉仪臂之后重叠于所述第一中心光束与所述第二中心光束的所述叠加点处，以及其中，在所述叠加点处，所述第一光束垂直于所述第一中心光束的波矢分量与所述第二光束垂直于所述第二中心光束的波矢分量相反。本发明还涉及一种用于由使用根据本发明所述的干涉仪测量的图像重建原始图像的方法。本发明又涉及一种用于校准根据本发明所述的干涉仪的方法。 | ||||||
| 9 | 干涉仪 | CN201510453259.6 | 2015-07-29 | CN105509634A | 2016-04-20 | M.迈斯纳 |
| 本发明给出一个干涉仪，它包括一光源、一分光器、一参考反射器、一测量反射器、一检测单元以及至少两个透明的平板。通过分光器将光束分裂成至少一测量光束和一参考光束。直到再联合所述测量光束在测量臂中传播，所述参考光束在参考臂中传播。所述参考光束至少三次入射到设置在参考臂上的参考反射器上。所述测量反射器设置在测量臂里面并且与测量目标连接，所述测量目标沿着测量方向相对于参考反射器运动，所述测量光束至少三次入射到测量反射器上。通过检测单元可以检测来自干涉的测量和参考光束相对于测量目标位置的至少一距离信号。所述平板相互平行地在光程中设置在光源与检测单元之间。至少测量反射器相对于平板沿着测量方向运动。所述平板分别包括多个光学元件，它们施加这样的光学作用在测量光束和参考光束上，使所述测量光束和参考光束分别相互平行地在测量和参考反射器的方向上传播。 | ||||||
| 10 | 干涉仪 | CN200880113315.X | 2008-11-19 | CN101836072B | 2013-04-17 | 刘志强 |
| 本发明提供一种干涉仪，即使受检面与参照面的表面形状的差别大，也可以测定受检物的表面形状。测定受检物(9)的表面形状的干涉仪具备：具有低空间相干特性的面光源、将面光源与受检物在光学上共轭地配置的导光光学系统(6、8)、具有配置于与受检物在光学上共轭的位置的检测面的光检测器(13)。面光源具有多个相互具有低干涉性的微小面光源。 | ||||||
| 11 | 干涉仪 | CN200810172680.X | 2008-11-06 | CN101430190B | 2011-05-11 | 高桥知隆 |
| 本发明公开了一种干涉仪。该干涉仪包括：激光束源；光波分割和合成部，用于对从激光束源照射来的激光束进行2路分波，并将其照射在测量对象上，并且合成分别具有位移信息的光；多相位干涉光生成部，用于根据合成的激光束，生成具有第一相位的第一干涉光、具有与第一相位相差180°的第二相位的第二干涉光、具有与第一相位相差90°的第三相位的第三干涉光和具有与第一相位相差270°的第四相位的第四干涉光；三相信号生成部，用于根据基于第一至第四干涉光的第一至第四干涉信号来生成相位差为90°的三相信号；以及两相信号生成部，用于对相位差为90°的三相信号执行矢量合成，从而生成相位差为90°的两相信号。 | ||||||
| 12 | 干涉仪 | CN200810172680.X | 2008-11-06 | CN101430190A | 2009-05-13 | 高桥知隆 |
| 本发明公开了一种干涉仪。该干涉仪包括：激光束源；光波分割和合成部，用于对从激光束源照射来的激光束进行2路分波，并将其照射在测量对象上，并且合成分别具有位移信息的光；多相位干涉光生成部，用于根据合成的激光束，生成具有第一相位的第一干涉光、具有与第一相位相差180°的第二相位的第二干涉光、具有与第一相位相差90°的第三相位的第三干涉光和具有与第一相位相差270°的第四相位的第四干涉光；三相信号生成部，用于根据基于第一至第四干涉光的第一至第四干涉信号来生成相位差为90°的三相信号；以及两相信号生成部，用于对相位差为90°的三相信号执行矢量合成，从而生成相位差为90°的两相信号。 | ||||||
| 13 | Littrow干涉仪 | CN200610109511.2 | 2006-08-02 | CN1987341A | 2007-06-27 | 威廉·R·小图特纳; 杰阿英特·欧文; 艾伦·B·雷; 詹姆斯·普林斯; 埃里克·斯蒂芬·约翰斯通; 朱淼; 来纳德·S·卡特勒 |
| 本发明公开了用于测量位移的一种装置和方法，包括将光束导向干涉仪核心，所述干涉仪核心将光束分为第一成分光束和第二成分光束。第一成分光束大致以Littrow角导向衍射光栅。衍射光由干涉仪核心接收并与第二成分光束合并。对合并的第一成分光束和第二成分光束进行测量以确定衍射光栅的位移。 | ||||||
| 14 | 激光干涉仪 | CN202311476310.6 | 2023-11-07 | CN118010142A | 2024-05-10 | 北川润 |
| 本发明提供一种激光干涉仪，在抑制伴随着返回光的激光振荡的不稳定化的同时，能够抑制伴随着非调制分量的S/N比的降低。一种激光干涉仪具备：射出激光的激光光源；光调制器，具备通过驱动信号振动的振动元件以及设置于所述振动元件的光反射面，通过使所述激光在振动的所述光反射面反射，使调制信号与所述激光重叠；以及受光部，接收包括来自对象物的采样信号以及所述调制信号的所述激光，并输出受光信号，在将所述光反射面的法线与入射到所述光反射面的所述激光的入射光轴所成的角设为倾斜角θqom时，满足下述式(1)，0[deg]＜θqom＜5.7[deg](1)。 | ||||||
| 15 | 激光干涉仪 | CN202110973053.1 | 2021-08-24 | CN114111999B | 2023-10-10 | 北川润 |
| 本申请提供一种小型且采样信号的解调精度较高的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光为所述第一激光被对象物反射而生成的包含采样信号的光；光路长度可变部，其使所述第三激光传播的光路的光路长度发生变化。 | ||||||
| 16 | 激光干涉仪 | CN202211510072.1 | 2022-11-29 | CN116202613A | 2023-06-02 | 林畅仁; 山田耕平 |
| 本发明提供激光干涉仪，能够实现光学系统的小型化及对准作业的容易化。激光干涉仪的特征在于具备：激光光源，射出第一激光；光调制器，具备振动元件，使用振动元件对第一激光进行调制，生成包含调制信号的第二激光；受光元件，接收第二激光及第三激光并输出受光信号，第三激光包含第一激光被测定对象物反射而生成的采样信号；光耦合器，具有使第一激光分叉的功能、以及使第二激光与第三激光的合流光分叉的功能；第一准直器，使被光耦合器分叉的第一激光平行化；第二准直器，使被光耦合器分叉的第一激光平行化；第一光布线；第二光布线；第三光布线；以及第四光布线。 | ||||||
| 17 | 激光干涉仪 | CN202211167610.1 | 2022-09-23 | CN115855229A | 2023-03-28 | 北川润 |
| 本发明提供的激光干涉仪能够提高根据受光信号解调来自测定对象物的采样信号的精度。激光干涉仪具备：激光光源；第一光分割器，将激光分割为第一分割光及第二分割光；光调制器，将第一分割光调制为参照光；第二光分割器，将物体光及参照光分割为第三分割光及第四分割光，物体光是第二分割光被测定对象物反射而生成的光；第一受光元件，接收第三分割光；以及第二受光元件，接收第四分割光；从第一光分割器朝向光调制器的第一分割光的光轴与从光调制器朝向第一光分割器的参照光的光轴错开，从第二光分割器至第一受光元件的光路长度与从第二光分割器至第二受光元件的光路长度之差为20mm以下。 | ||||||
| 18 | 激光干涉仪 | CN202211048206.2 | 2022-08-30 | CN115727934A | 2023-03-03 | 山田耕平 |
| 提供一种激光干涉仪，能抑制返回光针对激光光源的入射，能抑制根据受光信号对源自测定对象物的采样信号进行解调的精度的下降。激光干涉计具备：激光光源；准直部，生成准直光；光调制器，将准直光调制为频率不同的参照光；以及受光元件，接受物体光和参照光，输出受光信号，将准直光的光轴设为第一光轴，当生成返回光时，将返回光的光轴设为第二光轴，将生成准直光的位置设为基准位置，当将基准位置中的第一光轴与第二光轴的偏离宽度设为Δy，将准直部的有效直径设为κ，将准直光的光径设为R，将基准位置与光调制器的距离设为L，将准直光的波长设为λ时，满足下述式(A) | ||||||
| 19 | 波导干涉仪 | CN201780075734.8 | 2017-12-06 | CN110325816B | 2022-04-15 | T.纳斯洛斯基; M.那皮尔拉拉; L.奥斯特洛维斯基; L.佐斯基维茨; K.维索金斯基; A.马克斯卡; A.皮特尔; M.穆拉维斯基; D.布尼基; J.菲德鲁斯; Z.霍尔丁斯基 |
| 一种波导干涉仪、特别是光纤干涉仪，其用于测量物理参数、特别是反射配置中的层的光学厚度中的改变，其特征在于：它包含光源（1）、在至少双芯的纤维或平面的波导上、特别是光纤（6）上制成的耦合器（7），其中至少一个芯的面被激活，并且至少一个波导芯（6）直接或间接地连接到位于多芯光纤的与光源（1）相同的侧上的信号检测器（2）。 | ||||||
| 20 | 激光干涉仪 | CN202110973053.1 | 2021-08-24 | CN114111999A | 2022-03-01 | 北川润 |
| 本申请提供一种小型且采样信号的解调精度较高的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光为所述第一激光被对象物反射而生成的包含采样信号的光；光路长度可变部，其使所述第三激光传播的光路的光路长度发生变化。 | ||||||
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