| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 衍射光栅 | CN201980010969.8 | 2019-02-25 | CN111670403A | 2020-09-15 | 卡西米尔·布卢姆斯泰特; 尤西·拉霍梅基; 伊斯莫·瓦尔蒂艾宁 |
| 本发明涉及一种选择性衍射光栅及其应用。该光栅包括成周期性交替图案的具有第一色散曲线(n1)的第一材料和具有与第一色散曲线(n1)不同的第二色散曲线(n2)的第二材料。根据本发明，第一色散曲线和第二色散曲线(n-i、n2)在两个或更多个不同波长(λ1、λ2)处彼此相交。 | ||||||
| 2 | 衍射光栅 | CN201980010969.8 | 2019-02-25 | CN111670403B | 2022-04-08 | 卡西米尔·布卢姆斯泰特; 尤西·拉霍梅基; 伊斯莫·瓦尔蒂艾宁 |
| 本发明涉及一种选择性衍射光栅及其应用。该光栅包括成周期性交替图案的具有第一色散曲线(n1)的第一材料和具有与第一色散曲线(n1)不同的第二色散曲线(n2)的第二材料。根据本发明，第一色散曲线和第二色散曲线(n‑i、n2)在两个或更多个不同波长(λ1、λ2)处彼此相交。 | ||||||
| 3 | 衍射光栅 | CN201280069892.X | 2012-02-16 | CN104115040A | 2014-10-22 | 笹井浩行 |
| 本发明提供一种衍射光栅，其特征在于，在以规定周期形成有凹凸构造的表面形成有凸构造和/或凹构造，该凸构造和/或凹构造横截形成上述凹凸构造的多个凹部中的至少一个凹部，且高度与上述凹部的底的高度不同。在本发明的衍射光栅中，形成以规定周期形成的凹凸构造的衍射槽分割成多个区域。因此，即使在衍射光栅的表面附着有大气中的灰尘所含有的油成分、水分、使用者的皮脂、汗液等液体成分，该液体成分也不会扩散到所附着的分割区域之外的区域，能够防止衍射效率降低。 | ||||||
| 4 | 可变衍射光栅 | CN202080076347.8 | 2020-10-12 | CN114616524A | 2022-06-10 | A·阿尔萨卡; F·厄尔-古森; L·G·M·克塞尔斯; R·雷兹瓦尼·纳拉吉; K·肖梅; T·A·布伦纳; S·索科洛夫 |
| 校准系统包括板、固定对准标记和可变衍射光栅。该板与被设置在晶片上的晶片对准标记相邻。固定对准标记被设置在板上，并被配置为用作校准系统的初始校准的参考标记。该可变衍射光栅被设置在板上，并且包括被配置为形成多个可变对准标记的多个单元体。可变衍射光栅被配置为对可变对准标记中的一个可变对准标记与固定对准标记的级间偏移进行校准。 | ||||||
| 5 | 交错衍射光栅 | CN202080013574.6 | 2020-01-28 | CN113412415A | 2021-09-17 | R·J·普廖雷 |
| 本发明公开了一种交错衍射光栅系统和过程。该交错光栅系统包括具有独特光栅密度的交替带的光学色散光栅，其中独特光栅密度的数量大于或等于2。光学色散光栅可以是反射性的或透射性的，并且其可以通过机械刻划、全息术或对二元掩模进行反应离子蚀刻来制造。交错光栅为点光谱检测和高光谱成像提供了额外的用途。 | ||||||
| 6 | 一种衍射光栅 | CN201611184566.X | 2016-12-20 | CN106772732B | 2019-05-03 | 史丽娜; 牛洁斌; 李海亮; 刘子维; 浦探超; 谢常青; 刘明 |
| 本发明提供了一种衍射光栅，所述衍射光栅包括：不透光薄膜及开设在所述不透光薄膜上的N个透光圆孔；N为大于100的正整数；其中，所述N个透光圆孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上；且所述透光圆孔的大小与所述准斜方格子的周期之间具有预设的比例；如此，透光薄膜1上分布N个透光圆孔，且透光孔以一定的几率密度呈准斜方格子分布，因此能够完全抑制2，3，4级衍射，提高分辨率，进而确保分析结果的准确性，提高了摄谱精度；并且，该光栅能够实现自支撑，因此可以消除衬底带来的损耗；另外，由于该光栅结构由圆孔组成，且相邻圆孔之间的距离较大，所以易于加工。 | ||||||
| 7 | 光纤衍射光栅 | CN200980156862.0 | 2009-12-18 | CN102317825A | 2012-01-11 | V·丘利考夫; V·I·科普 |
| 本发明涉及具有芯的光纤光栅，所述光纤光栅能够能够通过在其芯光传输谱中产生与至少一个预定波长对应的至少一个谱峰值和/或至少一个谱倾角中的至少一个来控制通过其中的光信号传输。本发明的光纤衍射光栅包括至少一个纵向定位的结构元件，所述结构元件具有预定几何轮廓且构造为用于在其至少一个预定波长处将被传输光信号的部分从至少一个芯模式衍射成至少一个包层模式和/或至少一个辐射模式中的至少一个。提供了用于制造本发明的光纤衍射光栅的多个新颖技术的各个实施方案，包括用于由单一材料制造本发明的光栅的新颖技术。有益的是，这些新颖的制造技术有赖于用于新颖光栅的至少一个结构元件部分的期望几何轮廓的构造，每个轮廓包括在制造过程中可选择和/或调节的多个易于配置的参数，从而产生各种新颖的光纤衍射光栅，各个新颖的光纤衍射光栅根据可应用几何轮廓的构造而具有对应的特定期望芯传输谱，所述特定期望芯传输谱具有与至少一个特定期望波长对应的至少一个谱峰值和/或至少一个谱倾角中的至少一个。 | ||||||
| 8 | 透射型衍射光栅 | CN202180044128.6 | 2021-06-17 | CN115917279A | 2023-04-04 | D·Y·C·琼; W·J·恩格伦; V·卡恰诺夫; V·穆罕默迪; P·C·德赫罗特 |
| 一种用于相步进测量系统的透射型衍射光栅，该相步进测量系统用于确定投影系统的像差图，该衍射光栅包括吸收层。该衍射光栅用于与具有第一波长的辐射(例如EUV辐射)一起使用。吸收层设置有通孔的二维阵列。吸收层由对于具有第一波长的辐射具有在0.96至1.04范围内的折射率的材料形成。 | ||||||
| 9 | 衍射光栅的制造 | CN201980040608.8 | 2019-06-27 | CN112368639A | 2021-02-12 | 卢多维克·戈代; 韦恩·麦克米兰; 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 |
| 本文讨论的系统与方法用于衍射光栅(诸如在波导组合器中使用的那些光栅)的制造。本文讨论的波导组合器是使用高折射率与低折射率材料的纳米压印光刻(NIL)结合高折射率与低折射率材料的定向蚀刻来制造的。波导组合器可额外地或替代地通过定向蚀刻透明基板来形成。包括本文讨论的衍射光栅的波导组合器可直接地形成在永久透明基板上。在其他示例中，衍射光栅可形成在临时基板上并转移至永久、透明基板。 | ||||||
| 10 | 衍射光栅元件 | CN200710141703.6 | 2004-01-27 | CN100526918C | 2009-08-12 | 盐崎学; 茂原政一 |
| 本发明提供一种衍射光栅元件及其制造方法和设计方法。在衍射光栅元件(10)中，在第1介质(11)和第4介质(14)之间，交互设置第2介质(12)和第3介质(13)形成衍射光栅。从第1介质(11)入射到衍射光栅的光被衍射光栅部衍射，出射到第4介质(14)。或者，从第4介质(14)入射到衍射光栅的光被衍射光栅部衍射出射到第1介质(11)。各介质的折射率n1～n4满足n3＜n1＜n2，n3≤n4≤n2或者n3≤n1≤n2，n3＜n4＜n2这样的关系式。 | ||||||
| 11 | 衍射光栅元件 | CN200710194366.7 | 2004-01-22 | CN101241202A | 2008-08-13 | 盐崎学; 茂原政一 |
| 本发明可提供一种允许省掉或简化温度控制系统的衍射光栅元件。本发明的衍射光栅元件包括：具有基本上互相平行的第一表面和第二表面的透明平板；以及一个相对第二表面在第一表面上形成并且基本上与第一表面平行的衍射光栅。在－20℃至+80℃的温度范围内的任意温度下，衍射光栅单位长度周期对温度变化的变化率与包围此衍射光栅元件的媒质的折射率的温度系数的和为0。 | ||||||
| 12 | 衍射光栅元件 | CN200480000060.8 | 2004-01-22 | CN100367049C | 2008-02-06 | 盐崎学; 茂原政一 |
| 本发明可提供一种允许省掉或简化温度控制系统的衍射光栅元件。本发明的衍射光栅元件包括：具有基本上互相平行的第一表面和第二表面的透明平板；以及一个相对第二表面在第一表面上形成并且基本上与第一表面平行的衍射光栅。在-20℃至+80℃的温度范围内的任意温度下，衍射光栅单位长度周期对温度变化的变化率与包围此衍射光栅元件的媒质的折射率的温度系数的和为0。 | ||||||
| 13 | 光纤衍射光栅 | CN96191190.5 | 1996-10-16 | CN1139821C | 2004-02-25 | 若见俊则; 重松昌行; 寺泽良明; 井上亨; 茂原政一; 岩岛彻 |
| 于直径125μm的传光光纤内沿光轴方向形成衍射光栅部12，于其周围包以同心圆状外径为300μm的硅树脂组成的底层14，再在外面围以同心圆式的外径900μm的液晶高分子材料如聚酰胺酯组成的包层16，再沿其周边围以外径为1mm的识别用着色UV固化树脂组成的最外层包层部18。上面的光纤10与底层14分别同时具有正热膨胀系数，相反，液晶高分子材料组成的包层部16则具有负热膨胀系数。 | ||||||
| 14 | 衍射光栅构件 | CN02127678.1 | 2002-08-07 | CN1402022A | 2003-03-12 | 京谷升一 |
| 一种衍射光栅构件，可以把一个波长的光的0级光和另一个波长的光的一级衍射光聚焦在光接收元件的同一个部位上，与此同时，可以提高用于光接收的前述另一个波长的光的一级衍射光的衍射效率，可以使两个波长的能量不产生大的差异。在把入射到不同的入射位置的、光轴相互平行的波长不同的两个入射光出射到同一个部位的衍射光栅构件40中，在出射面上并列设置具有阶梯状光栅部30的光栅面，所述阶梯状光栅部30具有规定级数的沿入射方向升高的面31以及从该升高的面上伸出的宽度窄的衍射面32，前述衍射面赋予通过相邻的衍射面的光以波长的整数倍的光程差，前述衍射面相对于垂直于前述入射光的入射方向的面倾斜。 | ||||||
| 15 | 二维衍射光栅 | CN201980011372.5 | 2019-01-04 | CN111670351A | 2020-09-15 | P·C·德赫罗特; J·J·M·巴塞曼斯; D·Y·C·琼; Y·乔杜里 |
| 一种用于相位步进测量系统的二维衍射光栅，该相位步进测量系统用于确定投影系统的像差映射，该二维衍射光栅包括设置有通孔的正方形阵列的基底，其中衍射光栅是自支撑式的。应当理解，为了使设置有通孔的正方形阵列的基底是自支撑式的，在每个通孔和相邻通孔之间提供至少一些基底材料。一种设计用于相位步进测量系统的二维衍射光栅的方法，该相位步进测量系统用于确定投影系统的像差映射，该方法包括：选择二维衍射光栅的通用几何形状，该通用几何形状具有至少一个参数；以及选择至少一个参数的、产生二维衍射光栅的光栅效率映射的值，以便控制对相位步进信号的一次谐波作出的贡献。 | ||||||
| 16 | 一种衍射光栅 | CN201611184566.X | 2016-12-20 | CN106772732A | 2017-05-31 | 史丽娜; 牛洁斌; 李海亮; 刘子维; 浦探超; 谢常青; 刘明 |
| 本发明提供了一种衍射光栅，所述衍射光栅包括：不透光薄膜及开设在所述不透光薄膜上的N个透光圆孔；N为大于100的正整数；其中，所述N个透光圆孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上；且所述透光圆孔的大小与所述准斜方格子的周期之间具有预设的比例；如此，透光薄膜1上分布N个透光圆孔，且透光孔以一定的几率密度呈准斜方格子分布，因此能够完全抑制2，3，4级衍射，提高分辨率，进而确保分析结果的准确性，提高了摄谱精度；并且，该光栅能够实现自支撑，因此可以消除衬底带来的损耗；另外，由于该光栅结构由圆孔组成，且相邻圆孔之间的距离较大，所以易于加工。 | ||||||
| 17 | 多重衍射光栅 | CN200910225791.7 | 2009-12-07 | CN101750650A | 2010-06-23 | 金起满 |
| 本发明提供一种多重衍射光栅，其通过将多个衍射光栅重叠而构成，所述衍射光栅中，衍射光栅的形成光栅的栅线的间隔、线宽和线高与二色以上的各种光的波长对应，其特征在于，通过以下(A)或(B)中的至少一种简化设计配置了所述栅线，(A)在栅线的至少一部分与其它栅线重叠时，将重叠而成为一条的栅线的多个线宽和线高中的任一个以所述栅线及所述其他栅线的至少两个值为基础作为整体设定为一个值的简化设计；和(B)在栅线与其它栅线的间隙达到一定距离以下时，用栅线材料填充该间隙的简化设计。 | ||||||
| 18 | 衍射光栅构件 | CN02127678.1 | 2002-08-07 | CN1262852C | 2006-07-05 | 京谷升一 |
| 一种衍射光栅构件，可以把一个波长的光的0级光和另一个波长的光的一级衍射光聚焦在光接收元件的同一个部位上，与此同时，可以提高用于光接收的前述另一个波长的光的一级衍射光的衍射效率，可以使两个波长的能量不产生大的差异。在把入射到不同的入射位置的、光轴相互平行的波长不同的两个入射光出射到同一个部位的衍射光栅构件40中，在出射面上并列设置具有阶梯状光栅部30的光栅面，所述阶梯状光栅部30具有规定级数的沿入射方向升高的面31以及从该升高的面上伸出的宽度窄的衍射面32，前述衍射面赋予通过相邻的衍射面的光以波长的整数倍的光程差，前述衍射面相对于垂直于前述入射光的入射方向的面倾斜。 | ||||||
| 19 | 衍射光栅元件 | CN200480000060.8 | 2004-01-22 | CN1697985A | 2005-11-16 | 盐崎学; 茂原政一 |
| 本发明可提供一种允许省掉或简化温度控制系统的衍射光栅元件。本发明的衍射光栅元件包括：具有基本上互相平行的第一表面和第二表面的透明平板；以及一个相对第二表面在第一表面上形成并且基本上与第一表面平行的衍射光栅。在－20℃至+80℃的温度范围内的任意温度下，衍射光栅单位长度周期对温度变化的变化率与包围此衍射光栅元件的媒质的折射率的温度系数的和为0。 | ||||||
| 20 | 反射型衍射光栅 | CN01141812.5 | 2001-09-19 | CN1344945A | 2002-04-17 | 新毛胜秀; 河本真司; 国定照房; 仲间健一 |
| 本发明的反射型衍射光栅的结构以金属膜为第一层,相对于入射光波长,具有不低于30%的反射率,以透明绝缘膜为第二层,所述第一和第二层依次被层叠在所述反射型衍射光栅的基底表面上。相对于入射光波长,金属膜的折射率被选定为不高于1.5,消光系数被选定为不小于6.0。相对入射光的波长而言,透明绝缘膜的折射率被选定在1.30至1.46范围内,且包含此二值在内,光学膜的厚度被选定在0.20λ和0.38λ的范围内,且包含此二值在内,这里的λ是入射光的波长。 | ||||||
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