序号 专利名 申请号 申请日 公开(公告)号 公开(公告)日 发明人
1 空间光调制器寻址方法 CN200480003211.5 2004-01-30 CN100492095C 2009-05-27 托德·卡林
发明涉及包括多个像素元件的空间光调制器(500);每个所述像素元件包括,支承结构(511a、511b)、可被所述支承结构(511a、511b)支承的可静电偏转的镜元件(510a、510b)、至少一个能够静电吸引所述镜元件(510a、510b)的电极(512a、512b),其中通过先将一连接到所述至少一个电极的电容充电、然后有选择地将所述电容放电到一个预定平,从而将所述镜元件(510a、510b)单独设置到一所需偏转状态。本发明还涉及打印机、用于操作SLM的方法、图案发生器以及操作图案发生器的方法。
2 空间光调制器寻址方法 CN200480003211.5 2004-01-30 CN1745326A 2006-03-08 托德·卡林
发明涉及包括多个像素元件的空间光调制器(500);每个所述像素元件包括,支承结构(511a、511b)、可被所述支承结构(511a、511b)支承的可静电偏转的镜元件(510a、510b)、至少一个能够静电吸引所述镜元件(510a、510b)的电极(512a、512b),其中通过先将一连接到所述至少一个电极的电容充电、然后有选择地将所述电容放电到一个预定平,从而将所述镜元件(510a、510b)单独设置到一所需偏转状态。本发明还涉及打印机、用于操作SLM的方法、图案发生器以及操作图案发生器的方法。
3 反射式光寻址液晶空间光调制器 CN202010027374.8 2020-01-10 CN113126373B 2022-10-11 范薇; 邢智博
一种反射式光寻址液晶空间光调制器,其结构包括1053nm线偏振读出光入射窗口、二向分色镜、偏振片、液晶盒、470nmLED准直光源、偏振分光器、由计算机控制的LCoS型电寻址空间光调制器、交流稳压电源、检偏器和1053nm线偏振读出光出射窗口,所述的液晶盒由依次的透明导电膜基底层、第一透明导电层、液晶取向层及液晶层、光导层、反射膜层和第二导电层构成,所述的第一透明导电层和第二导电层之间连接所述的交流稳压电源,其特点在于所述第一透明导电层为n型掺氮化镓薄膜层或p型掺镁氮化镓薄膜层,所述的第二导电层为化铟薄膜层;所述的光导层兼作为第二导电层的基底层。本发明具有较高的激光损伤阈值,拓宽了在高能量激光装置中的应用范围。
4 反射式光寻址液晶空间光调制器 CN202010027374.8 2020-01-10 CN113126373A 2021-07-16 范薇; 邢智博
一种反射式光寻址液晶空间光调制器,其结构包括1053nm线偏振读出光入射窗口、二向分色镜、偏振片、液晶盒、470nmLED准直光源、偏振分光器、由计算机控制的LCoS型电寻址空间光调制器、交流稳压电源、检偏器和1053nm线偏振读出光出射窗口,所述的液晶盒由依次的透明导电膜基底层、第一透明导电层、液晶取向层及液晶层、光导层、反射膜层和第二导电层构成,所述的第一透明导电层和第二导电层之间连接所述的交流稳压电源,其特点在于所述第一透明导电层为n型掺氮化镓薄膜层或p型掺镁氮化镓薄膜层,所述的第二导电层为化铟薄膜层;所述的光导层兼作为第二导电层的基底层。本发明具有较高的激光损伤阈值,拓宽了在高能量激光装置中的应用范围。
5 光寻址空间光调制器的驱动系统 CN200880003517.9 2008-02-08 CN101595515B 2012-10-17 M·斯坦利; S·D·孔伯
一种系统,包括一驱动设备,该驱动设备被配置为作用于可光寻址空间光调制器(OASLM),该OASLM包括了理论上被分为多个可独立寻址的段的调制层。脉冲发生器被配置为提供一个或多个电压图案,以及光图案发生器用于产生一个或多个光图案。对于OASLM中的每一段,该驱动设备被进一步配置为:在预设数量的写入操作中,写入与该一个或多个光图案相关联的预设量的光。该驱动设备被配置为施加与该一个或多个电压图案相对应的复位脉冲,以使得调制层上的所得净电荷为零。
6 光寻址空间光调制器以及方法 CN200780012853.5 2007-03-02 CN101421664A 2009-04-29 J·A·萨克斯; J·M·伍德尔
光学器件具有部署在第一电极层上的电绝缘第一势垒层,部署在第一势垒层上的光电导层,以及部署在光电导层上的载流子限制层。载流子限制层定义遍及其中散布了多个载流子陷阱的体积。另外,电绝缘第二势垒层部署在载流子限制层上,光阻挡层部署在第二势垒层上用于阻挡选定波长频带的光。反射层部署在光阻挡层上用于反射选定波长频带内的光,双折射或者色散层部署在反射层上,以及光透射第二电极层部署在双折射或者散射层上。还公开了一种方法,其中附加层介入在上文详述那些层之间。
7 光寻址空间光调制器以及方法 CN200780012853.5 2007-03-02 CN101421664B 2011-08-31 J·A·萨克斯; J·M·伍德尔
光学器件具有部署在第一电极层上的电绝缘第一势垒层,部署在第一势垒层上的光电导层,以及部署在光电导层上的载流子限制层。载流子限制层定义遍及其中散布了多个载流子陷阱的体积。另外,电绝缘第二势垒层部署在载流子限制层上,光阻挡层部署在第二势垒层上用于阻挡选定波长频带的光。反射层部署在光阻挡层上用于反射选定波长频带内的光,双折射或者色散层部署在反射层上,以及光透射第二电极层部署在双折射或者散射层上。还公开了一种方法,其中附加层介入在上文详述那些层之间。
8 光寻址空间光调制器的驱动系统 CN200880003517.9 2008-02-08 CN101595515A 2009-12-02 M·斯坦利; S·D·孔伯
一种系统,包括一驱动设备,该驱动设备被配置为作用于可光寻址空间光调制器(OASLM),该OASLM包括了理论上被分为多个可独立寻址的段的调制层。脉冲发生器被配置为提供一个或多个电压图案,以及光图案发生器用于产生一个或多个光图案。对于OASLM中的每一段,该驱动设备被进一步配置为:在预设数量的写入操作中,写入与该一个或多个光图案相关联的预设量的光。该驱动设备被配置为施加与该一个或多个电压图案相对应的复位脉冲,以使得调制层上的所得净电荷为零。
9 空间光调制器的改进寻址 CN200580020459.7 2005-04-20 CN1973223A 2007-05-30 乌尔里克·扬布莱德; 彼得·杜尔
发明涉及一种减少影响空间光调制器中至少一个可移动微镜的移动程度的充电效应的方法,所述至少一个可移动微镜可以静电吸引到至少一个电极,包含以下步骤:以所述至少一个微镜与所述至少一个电极之间的反向电场序列,静电吸引所述微镜。
10 透射式高损伤阈值光寻址空间光调制器 CN202310794667.2 2023-06-30 CN116736584A 2023-09-12 黄大杰; 范薇; 程贺; 李学春; 朱健强
一种透射式高损伤阈值光寻址空间光调制器,包括光敏光生成单元、二向分色镜和液晶单元;液晶单元包括气体基底层、放电气体、放电电极、光导晶体层、液晶取向层、液晶层、含基底的透明导电层、液晶间隔子和交流电压源,光敏光生成单元包括光敏光准直输出光源、偏振立方体、电寻址空间光调制器和成像镜头,放电电极和含基底的透明导电层之间连接交流电压源,光导晶体层兼作为放电气体与第一液晶取向层的基底层,含基底的透明导电层为有氮化镓薄膜层的蓝宝石基板或氮化镓晶体或化镓晶体等。本发明使光寻址空间光调制器工作在透射模式,规避了光导膜层加工、导电材料与光导膜层致密结合等工艺难点,实现器件的高损伤阈值特性。
11 基于光寻址液晶空间光调制器湍流模拟装置 CN201110047063.9 2011-02-25 CN102183354A 2011-09-14 邹鹏; 祖继锋; 黄大杰; 李响; 于国浩
一种基于光寻址液晶空间光调制器湍流模拟装置,其构成包括写入光和读出光,沿写入光方向依次是偏振片、TFT液晶屏、薄透镜、光寻址液晶空间光调制器和分光片,所述的读出光是由分光片入射的,所述的分光片与所述的读出光光束成45°,计算机经驱动模与所述的TFT液晶屏相连,由计算机经驱动模块控制驱动TFT液晶屏的相位变化,对所述的写入光进行调制。本发明装置克服了普通电寻址液晶湍流模拟装置的分辨率限制、开口率较低等问题,同时也具有真实湍流的折射率连续分布等特点。
12 基于光寻址液晶空间光调制器湍流模拟装置 CN201110047063.9 2011-02-25 CN102183354B 2012-07-25 邹鹏; 祖继锋; 黄大杰; 李响; 于国浩
一种基于光寻址液晶空间光调制器湍流模拟装置,其构成包括写入光和读出光,沿写入光方向依次是偏振片、TFT液晶屏、薄透镜、光寻址液晶空间光调制器和分光片,所述的读出光是由分光片入射的,所述的分光片与所述的读出光光束成45°,计算机经驱动模与所述的TFT液晶屏相连,由计算机经驱动模块控制驱动TFT液晶屏的相位变化,对所述的写入光进行调制。本发明装置克服了普通电寻址液晶湍流模拟装置的分辨率限制、开口率较低等问题,同时也具有真实湍流的折射率连续分布等特点。
13 光学寻址的灰度级电荷积累空间光调制器 CN200780026492.X 2007-06-01 CN101523284B 2011-09-07 H·V·戈茨; J·L·桑福德; J·A·萨克斯
一种用于通过光学寻址的电荷积累空间光调制器来调制光的技术实现基本上单调的灰度级响应。实施例对跨包含于空间光调制器中的感光材料的电压进行数字调制。数字调制方案需要利用从LCoS传播的一系列光脉冲来照射感光器,其中光脉冲的持续时间及其时间位置组合以在感光器上产生二进制加权等效rms电压。光脉冲源于发光二极管或者其它可开关光源,并且控制光脉冲的时序使得它们仅在关联LCoS处于稳定状态时才被发射。在LCoS处于稳定状态之时发射光脉冲避免了非单调性。
14 光学寻址的灰度级电荷积累空间光调制器 CN200780026492.X 2007-06-01 CN101523284A 2009-09-02 H·V·戈茨; J·L·桑福德; J·A·萨克斯
一种用于通过光学寻址的电荷积累空间光调制器来调制光的技术实现基本上单调的灰度级响应。实施例对跨包含于空间光调制器中的感光材料的电压进行数字调制。数字调制方案需要利用从LCoS传播的一系列光脉冲来照射感光器,其中光脉冲的持续时间及其时间位置组合以在感光器上产生二进制加权等效rms电压。光脉冲源于发光二极管或者其它可开关光源,并且控制光脉冲的时序使得它们仅在关联LCoS处于稳定状态时才被发射。在LCoS处于稳定状态之时发射光脉冲避免了非单调性。
15 一种光寻址像素化空间光调制器与空间光场调制方法 CN202311847795.5 2023-12-29 CN117687129A 2024-03-12 高辉; 许可; 熊伟; 范旭浩; 王星儿
发明公开了一种光寻址像素化空间光调制器与空间光场调制方法,属于微纳光学领域,本发明根据调控方式设计超像素超表面器件;计算光场调控量的空间分布并将其编码为结构光场分布;利用结构光场编码投影模生成对应结构光束作用于超像素超表面器件,从而实现目标光场调制;能够实现高精度、高速度的像素化复杂光场调控;本发明提供的超像素超表面器件,借助于晶胞单元的小结构尺寸和优异的光场调控能,能够实现高精度光场调控;借助于超晶胞的器件设计概念,结合结构光场编码投影模块可以实现像素化的任意光场调控。通过同时照射多个子结构以及对子结构进行复用设计,可增强器件的调制能力如实现复振幅调控等,具有较大的优化和功能挖掘潜力。
16 耐受高平均功率激光的光寻址空间光调制器及其制备方法 CN202210803001.4 2022-07-07 CN115113429A 2022-09-27 范薇; 杜彤耀; 黄大杰; 程贺; 邢智博
发明公开了一种耐受高平均功率激光的光寻址空间光调制器及其制备方法,涉及空间光调制器技术领域。该空间光调制器从上到下依次包括第一蓝宝石基板、第一透明导电膜层ITO、第一PI取向层、液晶层、第二PI取向层、光导层、第二透明导电膜层ITO和第二蓝宝石基板,所述的第二蓝宝石基板与光导层通过键合的方式相结合。相对于传统的K9玻璃基板和石英玻璃基板,本发明中的蓝宝石结构可以将液晶层和光导层的沉积热量快速散出,提高了光寻址空间光调制器的导热和散热性能,优化了该器件在高功率连续激光或准连续激光下工作时热沉积的问题,提高了光寻址空间光调制器的耐受功率密度
17 用于线偏振光的透射式光寻址液晶空间光调制器 CN202011410342.2 2020-12-04 CN114594633A 2022-06-07 范薇; 邢智博; 黄大杰; 程贺; 夏刚
一种用于1053nm线偏振光光束整形的高激光损伤阈值透射式光寻址液晶空间光调制器,其结构包括由计算机控制的LCoS型电寻址空间光调制器、1053nm线偏振读出光入射窗口、写入光LED准直光源、二向分色镜、偏振分光器、起偏器、液晶盒、交流稳压电源、检偏器、1053nm线偏振读出光出射窗口,其中液晶盒由透明导电膜基底层、透明导电层、液晶取向层、取向子、液晶层、光导层组成。本发明使用氮化镓材料作为透明导电层材料,化锌薄膜作为光电导材料,相比现有的液晶空间光调制器使用的液晶盒,实现了对高能量激光的损伤阈值的提高,有利于在高功率激光装置中光束整形的应用;相比反射式高损伤空间光调制器,规避了黑栅效应,简化了结构。
18 一种光寻址空间光调制器性能退化的自动补偿系统及方法 CN202110724983.3 2021-06-29 CN113506547B 2022-09-02 范薇; 程贺; 黄大杰; 杜彤耀; 邢智博; 袁佳佳
一种光寻址空间光调制器性能退化的自动补偿系统及方法,所述自动补偿系统包括测温模、控制模块和驱动模块,驱动模块用来调节液晶的驱动电压和光写入模块的光强。通过测温模块测得的液晶光阀温度进行实时反馈,调节液晶光阀的驱动电压和光写入模块的光强,解决了振幅型光寻址空间光调制器在高温下性能退化的问题。激光诱导液晶盒升温后,空间光调制器性能退化,一般表现为透过率随着温升而发生变化,本发明通过温度实时反馈、液晶光阀驱动电压和光写入模块光强的调整,来实时控制液晶层的电场分布,自动补偿光寻址空间光调制器在温升下的性能退化。
19 一种光寻址空间光调制器性能退化的自动补偿系统及方法 CN202110724983.3 2021-06-29 CN113506547A 2021-10-15 范薇; 程贺; 黄大杰; 杜彤耀; 邢智博; 袁佳佳
一种光寻址空间光调制器性能退化的自动补偿系统及方法,所述自动补偿系统包括测温模、控制模块和驱动模块,驱动模块用来调节液晶的驱动电压和光写入模块的光强。通过测温模块测得的液晶光阀温度进行实时反馈,调节液晶光阀的驱动电压和光写入模块的光强,解决了振幅型光寻址空间光调制器在高温下性能退化的问题。激光诱导液晶盒升温后,空间光调制器性能退化,一般表现为透过率随着温升而发生变化,本发明通过温度实时反馈、液晶光阀驱动电压和光写入模块光强的调整,来实时控制液晶层的电场分布,自动补偿光寻址空间光调制器在温升下的性能退化。
20 耐受高平均功率激光的光寻址空间光调制器 CN202221754697.8 2022-07-07 CN218350647U 2023-01-20 范薇; 杜彤耀; 黄大杰; 程贺; 邢智博
本实用新型公开了一种耐受高平均功率激光的光寻址空间光调制器,涉及空间光调制器技术领域。该空间光调制器从上到下依次包括第一蓝宝石基板、第一透明导电膜层ITO、第一PI取向层、液晶层、第二PI取向层、光导层、第二透明导电膜层ITO和第二蓝宝石基板,所述的第二蓝宝石基板与光导层通过键合的方式相结合。相对于传统的K9玻璃基板和石英玻璃基板,本实用新型中的蓝宝石结构可以将液晶层和光导层的沉积热量快速散出,提高了光寻址空间光调制器的导热和散热性能,优化了该器件在高功率连续激光或准连续激光下工作时热沉积的问题,提高了光寻址空间光调制器的耐受功率密度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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