| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 扫描探针 | CN202280060967.1 | 2022-09-08 | CN117940733A | 2024-04-26 | 杰米·约翰·白金汉; M·J·A·赫姆斯; 史蒂芬·爱德华·卢默斯 |
| 描述了一种用于坐标定位设备(比如机床)的扫描探针，该扫描探针包括探针本体，该探针本体通过应变感测结构(100)连接到触针支架(102)。应变感测结构具有内部部分(202)，该内部部分通过多个可弯折构件(204)连接到外部部分(200)。每个可弯折构件(204)的近侧端部(220)附接到内部部分(202)，每个可弯折构件(204)的远侧端部(222)附接到外部部分(200)。内部部分和外部部分(200，202)以中心轴线为中心，并且多个可弯折构件(204)包括至少一个应变感测元件(210)。每个可弯折构件(204)的近侧端部和远侧端部(220，222)绕中心轴线以不同角度定位。这种布置使得能够获取扫描测量和接触触发式测量两者。 | ||||||
| 2 | 扫描探针 | CN201811161514.X | 2018-09-30 | CN110967525A | 2020-04-07 | 朱振东; 高思田; 李伟; 李适 |
| 本申请涉及一种扫描探针，所述扫描探针包括探针主体，延伸体和弯钩部。所述延伸体设置于探针主体的一端。所述弯钩部，设置于所述延伸体远离所述探针主体的一端。所述弯钩部可以增加散射截面，进而提高拉曼散射。 | ||||||
| 3 | 扫描探针 | CN201811166846.7 | 2018-09-30 | CN110967528B | 2023-03-24 | 高思田; 朱振东; 徐靖涛; 李伟; 施玉书; 李琪; 李适 |
| 本申请涉及一种扫描探针。所述扫描探针包括第一延伸体、第二延伸体和第三延伸体。所述第一延伸体、所述第二延伸体和所述第三延伸体依次连接。所述第一延伸体的横截面积、所述第二延伸体的横截面积和所述第三延伸体的横截面积依次减小。所述第一延伸体、所述第二延伸体和所述第三延伸体依次连接，且所述第一延伸体的横截面积、所述第二延伸体的横截面积和所述第三延伸体的横截面积依次减小可以通过结构的几何级联获得纳米级联场增强。 | ||||||
| 4 | 扫描探针 | CN201811161514.X | 2018-09-30 | CN110967525B | 2022-07-01 | 朱振东; 高思田; 李伟; 李适 |
| 本申请涉及一种扫描探针，所述扫描探针包括探针主体，延伸体和弯钩部。所述延伸体设置于探针主体的一端。所述弯钩部，设置于所述延伸体远离所述探针主体的一端。所述弯钩部可以增加散射截面，进而提高拉曼散射。 | ||||||
| 5 | 扫描探针 | CN201811166846.7 | 2018-09-30 | CN110967528A | 2020-04-07 | 高思田; 朱振东; 徐靖涛; 李伟; 施玉书; 李琪; 李适 |
| 本申请涉及一种扫描探针。所述扫描探针包括第一延伸体、第二延伸体和第三延伸体。所述第一延伸体、所述第二延伸体和所述第三延伸体依次连接。所述第一延伸体的横截面积、所述第二延伸体的横截面积和所述第三延伸体的横截面积依次减小。所述第一延伸体、所述第二延伸体和所述第三延伸体依次连接，且所述第一延伸体的横截面积、所述第二延伸体的横截面积和所述第三延伸体的横截面积依次减小可以通过结构的几何级联获得纳米级联场增强。 | ||||||
| 6 | 扫描探针显微镜 | CN202111090378.1 | 2021-09-17 | CN114324981A | 2022-04-12 | 新井浩; 小暮亮雅; 山崎贤治; 藤井岳直 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜，能够在极性溶剂中获取试样表面的形状和电位分布的三维信息。扫描探针显微镜具备：试样工作台；悬臂；移动机构，其使试样工作台与悬臂的基端之间的距离发生变化；激振部，其使悬臂进行振动；位移检测器，其检测探针的位移；测定控制部，其针对多个测定点中的各个测定点执行如下的测定动作：在多个位置处执行在对悬臂进行激振的状态下检测探针的位移的处理；表面形状信息获取部，其通过基于探针的位移求出悬臂的挠曲量，来获取所述试样的表面形状的信息；以及电位信息获取部，其通过基于探针的位移求出该位移的振幅的大小或相位的变化量，来获取在与试样表面垂直的方向上的电位分布的信息。 | ||||||
| 7 | 扫描探针传感器 | CN201680065659.2 | 2016-11-16 | CN108351369A | 2018-07-31 | B·W·格茨曼; F·门杰斯; P·P·N·尼尔马拉杰 |
| 用于扫描探针显微镜(110)的扫描探针传感器(100)包括具有铁磁流体(125)的探针尖端(120)和适于产生作用在铁磁流体(125)上的磁场的磁场发生器(130)。此外，传感器控制器(150)被提供并被配置为控制磁场发生器(130)的一个或多个参数，从而控制流体(125)的形状。 | ||||||
| 8 | 光学扫描探针 | CN201280019677.9 | 2012-01-23 | CN103492857A | 2014-01-01 | 田代佳之; 北辻真史; 横山精一 |
| 该光学扫描探针具有：柔性管、光纤以及物镜，其中，所述光纤用于传输扫描光，其被支撑以能够围绕在所述柔性管中心的轴旋转；所述物镜与光纤整体地旋转，并且具有将扫描光从发散光束转换为平行光束或者会聚光束的正的光学功率，所述扫描光影被从光纤传输。所述物镜配置有使所述扫描光偏斜以利用扫描光照射目标的挠曲表面。 | ||||||
| 9 | 扫描探针显微镜 | CN200880125506.8 | 2008-01-24 | CN101952706A | 2011-01-19 | 伊藤武史 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜。该扫描探针显微镜为了检测悬臂(4)的位移，利用半透半反镜(20)取出从激光光源(11)射出的光的一部分，并将其导入到具有被分割为4部分的受光面的光检测器(21)中。当由周围温度的变化等导致射出光的射出方向倾斜时，光斑位置在光检测器(21)的受光面上移动，因此，能够根据其移动量和移动方向识别射出方向的倾斜量和倾斜方向。驱动量运算部(22)根据其倾斜量及方向计算驱动量，利用驱动器(23)使激光光源(11)绕Y轴和Z轴发生位移。由此，能够对射出光的射出方向的倾斜进行补偿，防止以为是试样表面的凹凸的误认。 | ||||||
| 10 | 扫描探针显微镜 | CN03156917.X | 2003-09-15 | CN1490606A | 2004-04-21 | 王宏; 奚爽; 李丹芸 |
| 本发明提供一种既能够有效防止划伤样品，又能够减少图像失真，从而有利于获得精确表征样品表面形貌的高分辨率图像的扫描探针显微镜，包括带针尖的微悬臂，其特征在于：所述微悬臂与振荡装置固定连接；所述针尖位于所述微悬臂的一端，所述振荡装置位于所述微悬臂的另一端；所述振荡装置包括压电陶瓷晶体，和对该压电陶瓷晶体的振荡频率及振幅进行控制的振荡频率控制器，所述微悬臂固定在所述压电陶瓷晶体上。 | ||||||
| 11 | 扫描探针显微镜 | CN202111090378.1 | 2021-09-17 | CN114324981B | 2024-04-26 | 新井浩; 小暮亮雅; 山崎贤治; 藤井岳直 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜，能够在极性溶剂中获取试样表面的形状和电位分布的三维信息。扫描探针显微镜具备：试样工作台；悬臂；移动机构，其使试样工作台与悬臂的基端之间的距离发生变化；激振部，其使悬臂进行振动；位移检测器，其检测探针的位移；测定控制部，其针对多个测定点中的各个测定点执行如下的测定动作：在多个位置处执行在对悬臂进行激振的状态下检测探针的位移的处理；表面形状信息获取部，其通过基于探针的位移求出悬臂的挠曲量，来获取所述试样的表面形状的信息；以及电位信息获取部，其通过基于探针的位移求出该位移的振幅的大小或相位的变化量，来获取在与试样表面垂直的方向上的电位分布的信息。 | ||||||
| 12 | 扫描探针检查器 | CN201811311158.5 | 2018-11-06 | CN109884342B | 2023-07-14 | 吴德满; 柳成润; 孙荣薰; 全忠森; 池仑庭 |
| 提供一种扫描探针检查器，所述扫描探针检查器包括：探针，包括悬臂和尖部，尖部的长度对应于在晶圆中形成的沟槽的深度；沟槽检测器，使用探针获取沟槽的位置信息，其中，位置信息包括沟槽的深度信息；控制器，基于沟槽的位置信息将尖部插入存在沟槽的第一点中，并使用沟槽的位置信息使尖部移动穿过沟槽；以及缺陷检测器，当尖部移动穿过沟槽时，检测沟槽的侧壁中的缺陷的存在。 | ||||||
| 13 | 扫描探针显微镜 | CN201610152514.8 | 2016-03-17 | CN106018882B | 2020-07-24 | 山本浩令 |
| 提供扫描探针显微镜，其抑制配置在扫描探针显微镜上的物镜的分辨率的降低、且能够使用该物镜容易地进行光杠杆的光轴调整。扫描探针显微镜(100)具有设置有接近试样(18)的表面的探针(99)的悬臂(4)、光源部(1)、反射从光源部照射的入射光L0以将其引导至设置于悬臂的反射面的第1反射部(3)、受光部(6)、反射被反射面反射后的反射光L1以将其引导至受光部的第2反射部(5)、以及与悬臂对置配置并对悬臂的附近进行观察或摄像的数值孔径为NA的物镜(17)，第1反射部被配置成，在第1反射部反射后的入射光L0的光路与物镜的光轴O所成的角为(其中，θ为开口角(°)，由NA＝n·sinθ表示，n为物镜与悬臂之间的介质的折射率)。 | ||||||
| 14 | 扫描探针显微镜 | CN201480077349.3 | 2014-03-20 | CN106104278B | 2019-08-27 | 平出雅人 |
| 在扫描探针显微镜中设置有：试样移动单元(111、133)，其包括圆筒形的压电扫描器(111)，通过利用施加电压使压电扫描器(111)弯曲来使载置于该压电扫描器的上端面的试样(110)移动；扫描控制单元(132)，其通过控制所述施加电压来控制探针(114)与试样(110)的相对位置；试样厚度获取单元(138)，其获取试样(110)的厚度值；以及相关信息决定单元(139)，其使用所述厚度值来决定表示向压电扫描器(111)施加的施加电压与试样(110)表面在水平方向上的位移量之间的对应关系的相关信息，其中，扫描控制单元(132)使用所述相关信息来进行所述相对位置的控制。由此，能够进行考虑了试样(110)的厚度对XY方向上的移动量造成的影响的准确的试样扫描。 | ||||||
| 15 | 扫描探针检查器 | CN201811311158.5 | 2018-11-06 | CN109884342A | 2019-06-14 | 吴德满; 柳成润; 孙荣薰; 全忠森; 池仑庭 |
| 提供一种扫描探针检查器，所述扫描探针检查器包括：探针，包括悬臂和尖部，尖部的长度对应于在晶圆中形成的沟槽的深度；沟槽检测器，使用探针获取沟槽的位置信息，其中，位置信息包括沟槽的深度信息；控制器，基于沟槽的位置信息将尖部插入存在沟槽的第一点中，并使用沟槽的位置信息使尖部移动穿过沟槽；以及缺陷检测器，当尖部移动穿过沟槽时，检测沟槽的侧壁中的缺陷的存在。 | ||||||
| 16 | 扫描探针显微镜 | CN201480077349.3 | 2014-03-20 | CN106104278A | 2016-11-09 | 平出雅人 |
| 在扫描探针显微镜中设置有：试样移动单元(111、133)，其包括圆筒形的压电扫描器(111)，通过利用施加电压使压电扫描器(111)弯曲来使载置于该压电扫描器的上端面的试样(110)移动；扫描控制单元(132)，其通过控制所述施加电压来控制探针(114)与试样(110)的相对位置；试样厚度获取单元(138)，其获取试样(110)的厚度值；以及相关信息决定单元(139)，其使用所述厚度值来决定表示向压电扫描器(111)施加的施加电压与试样(110)表面在水平方向上的位移量之间的对应关系的相关信息，其中，扫描控制单元(132)使用所述相关信息来进行所述相对位置的控制。由此，能够进行考虑了试样(110)的厚度对XY方向上的移动量造成的影响的准确的试样扫描。 | ||||||
| 17 | 扫描探针显微镜 | CN200880125506.8 | 2008-01-24 | CN101952706B | 2012-08-29 | 伊藤武史 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜。该扫描探针显微镜为了检测悬臂(4)的位移，利用半透半反镜(20)取出从激光光源(11)射出的光的一部分，并将其导入到具有被分割为4部分的受光面的光检测器(21)中。当由周围温度的变化等导致射出光的射出方向倾斜时，光斑位置在光检测器(21)的受光面上移动，因此，能够根据其移动量和移动方向识别射出方向的倾斜量和倾斜方向。驱动量运算部(22)根据其倾斜量及方向计算驱动量，利用驱动器(23)使激光光源(11)绕Y轴和Z轴发生位移。由此，能够对射出光的射出方向的倾斜进行补偿，防止以为是试样表面的凹凸的误认。 | ||||||
| 18 | 扫描探针显微镜 | CN200610058365.5 | 2006-03-03 | CN100594385C | 2010-03-17 | 大田昌弘 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜，它根据观察对象或观察目的，无需交换扫描仪，在维持高分辨率的状态下，可进行微小范围至广域的观察。该扫描探针显微镜中，设有使探针13在X-Y-Z轴方向上移动的探针侧扫描仪10与使样品12在X-Y-Z轴方向上移动的样品侧扫描仪11这两个扫描仪。使用最大扫描范围较小的扫描仪作为探针侧扫描仪10，使用最大扫描范围较大的扫描仪作为样品侧扫描仪11，并根据观察对象或观察目的掉换二者而使用。或者，利用探针侧扫描仪10进行微小范围的扫描，并且通过样品侧扫描仪11使观察视野移动。 | ||||||
| 19 | 扫描探针显微镜 | CN03156917.X | 2003-09-15 | CN100387967C | 2008-05-14 | 王宏; 奚爽; 李丹芸 |
| 本发明提供一种既能够有效防止划伤样品，又能够减少图像失真，从而有利于获得精确表征样品表面形貌的高分辨率图像的扫描探针显微镜，包括激光发射器、微悬臂、振荡装置、扫描管以及光斑位置检测器，所述微悬臂一端设置有探针，另一端与振荡装置相连，所述振荡装置包括压电陶瓷晶体和控制该压电陶瓷晶体振荡频率和振幅的振荡频率控制器，所述微悬臂固定在压电陶瓷晶体上，其特征在于：所述扫描探针显微镜还包括两个反射镜，分别设置于激光发射器和微悬臂以及微悬臂与光斑位置检测器之间。 | ||||||
| 20 | 扫描探针显微镜 | CN03818004.9 | 2003-07-04 | CN1672011A | 2005-09-21 | 默文·约翰·迈尔斯; 安德鲁·大卫·拉弗·汉弗瑞斯; 杰米·凯尼·霍布斯 |
| 一种用来检测或感应探针－样本相互作用中的变化的扫描探针显微镜。在成像模式中，使探针(54)非常接近样本(12)，当探针(54)和样本表面相对进行扫描时，测量相互作用的强度。通过执行样本(12)和探针(54)的相对平移来快速地收集图像，同时在其谐振频率或在接近其谐振频率处振荡这两者之一。在首选实施例中，通过在金属探针和样本之间的接口处产生的电容来监控相互作用。在光刻模式下，原子力显微镜适合于向样本表面写信息。 | ||||||
QQ群二维码
意见反馈
意见反馈