| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 原子力显微镜 | CN202080066162.9 | 2020-07-16 | CN114787638A | 2022-07-22 | 安托万·尼格斯; 亚历山德罗·西里亚 |
| 本发明涉及一种用于评估样品表面的原子力显微镜，该原子力显微镜包括：样品保持器，该样品保持器具有用于接收样品的第一区域，该样品以固定方式安装；探针，该探针具有能够面向样品表面定位的末端，该显微镜被配置为允许相对于表面调整末端的位置；以及支撑件，样品保持器具有至少一个第二区域，该第二区域与第一区域分离并且相对于该支撑件固定，样品保持器可变形，以便允许第一区域相对于第二区域的移动，并且该显微镜包括能够检测第一区域相对于第二区域的移动的检测器。 | ||||||
| 2 | 原子力显微镜 | CN202010026410.9 | 2020-01-10 | CN113125807A | 2021-07-16 | 郑仲翔; 王伟珉; 廖国富 |
| 本发明公开一种原子力显微镜，该显微镜包含有一光发射器、一聚光透镜、一检测件、及一光检测装置。光发射器能朝向聚光透镜发出一光线，以使光线穿过聚光透镜后聚焦于一聚焦位置。在光线穿过聚光透镜后于检测件反射，而后能被光检测装置接收。检测件能检测一待测物的表面轮廓，并且光检测装置能在接收光线后产生相对应的电流值，进而使原子力显微镜能呈现待测物的表面轮廓。 | ||||||
| 3 | 原子力显微镜 | CN201910788619.6 | 2019-08-26 | CN112433070A | 2021-03-02 | 不公告发明人 |
| 一种原子力显微镜包括晶圆夹取装置，用于固定晶圆，并使晶圆竖立；具有探针的第一微悬臂和第二微悬臂，所述第一微悬臂和第二微悬臂用于在晶圆竖立时，通过探针分别对晶圆的正面和背面进行扫描；第一位置检测装置和第二位置检测装置，分别用于检测第一微悬臂和第二微悬臂的偏移量，获得晶圆的正面和背面的形貌图像。由于晶圆夹取装置固定晶圆，并使晶圆竖立，在晶圆竖立时，晶圆所受的重力沿晶圆的表面垂直向下，使得重力对晶圆造成的影响降到最低，从而防止重力造成的晶圆弯曲或变形，通过第一微悬臂和第二微悬臂对竖立的晶圆的正面和背面进行扫描时，防止此弯曲或变形对测量结果的影响，从而提高对晶圆形貌测量的精度。 | ||||||
| 4 | 原子力显微镜 | CN95118196.3 | 1995-11-28 | CN1068677C | 2001-07-18 | 半田宏治; 久保圭司; 土居正照; 吉住惠一 |
| 本发明揭示一种原子力显微镜，它包括：备有共焦透镜及探针的Z向扫描部；使该扫描部沿垂直试样表面的方向移动的Z向扫描器；包含上述两部分及二向色镜的X向扫描部；使X向扫描部沿与试样表面平行的平面内的X方向移动的X向扫描器；备有X向扫描部、X向扫描器、检测光放射系统及变位检测系统的Y向扫描部；使Y向扫描部沿与试样表面平行的平面内、垂直于X方向的Y方向移动的Y向扫描器。具有能测定大型试样的优点。 | ||||||
| 5 | 原子力显微镜 | CN95118196.3 | 1995-11-28 | CN1150253A | 1997-05-21 | 半田宏治; 久保圭司; 土居正照; 吉住惠一 |
| 本发明揭示一种原子力显微镜，它包括：备有共焦透镜及探针的Z向扫描部；使该扫描部沿垂直试样表面的方向移动的Z向扫描器；包含上述两部分及镜子的X向扫描部；使X向扫描部沿与试样表面平行的平面内的第1轴向移动的X向扫描器；备有X向扫描部、X向扫描器、检测光放射系统及变位检测系统的Y向扫描部；使Y向扫描部沿与试样表面平行的平面内、垂直于第1轴向的第2轴向移动的Y向扫描器。具有能测定大型试样的优点。 | ||||||
| 6 | 原子力显微镜 | CN200510107123.6 | 2005-09-28 | CN1755346A | 2006-04-05 | 吉尔施·布鲁姆博格; 卡尔·J.·斯故克尔曼 |
| 一种设备，包括样本台、悬臂架、悬臂力检测器、悬臂反馈系统以及样本台反馈系统。样本台配置成保持样本。悬臂架配置成机械固定带有扫描尖的机械悬臂。悬臂力检测器配置成产生悬臂力电误差信号。悬臂反馈系统配置成响应于该悬臂力误差信号驱动该机械悬臂。样本台反馈系统配置成响应于该悬臂力误差信号机电移动该样本台。该悬臂反馈系统和该样本台反馈系统连接成并联地接收悬臂力误差信号。 | ||||||
| 7 | 原子力显微镜扫描器及原子力显微镜 | CN201810344331.5 | 2018-04-17 | CN108490222B | 2021-01-29 | 王俐; 钟兴进; 张小新; 张维维; 林虹云; 夏振宇; 李佳; 敖雪丽; 邢冰心; 陆金德 |
| 本发明提供一种原子力显微镜扫描器，包括扫描器本体、至少一个弹性件、对应每一个所述弹性件设置的调节件以及旋转压紧件，所述扫描器本体中设有卡槽，所述卡槽中设有扫描探针，所述调节件设于所述扫描器本体上，每一所述弹性件套设于一个所述调节件上，每个所述弹性件包括第一移动端以及与所述第一移动端相对的第二移动端，所述第一移动端与所述调节件连接，所述第二移动端与所述旋转压紧件连接，所述调节件旋转带动所述弹性件压缩并旋转，以使所述第二移动端带动所述旋转压紧件旋转后压紧所述扫描探针。本发明解决了扫描探针在更换过程中容易损失的技术问题。 | ||||||
| 8 | 原子力显微镜扫描器及原子力显微镜 | CN201810344331.5 | 2018-04-17 | CN108490222A | 2018-09-04 | 王俐; 钟兴进; 张小新; 张维维; 林虹云; 夏振宇; 李佳; 敖雪丽; 邢冰心; 陆金德 |
| 本发明提供一种原子力显微镜扫描器，包括扫描器本体、至少一个弹性件、对应每一个所述弹性件设置的调节件以及旋转压紧件，所述扫描器本体中设有卡槽，所述卡槽中设有扫描探针，所述调节件设于所述扫描器本体上，每一所述弹性件套设于一个所述调节件上，每个所述弹性件包括第一移动端以及与所述第一移动端相对的第二移动端，所述第一移动端与所述调节件连接，所述第二移动端与所述旋转压紧件连接，所述调节件旋转带动所述弹性件压缩并旋转，以使所述第二移动端带动所述旋转压紧件旋转后压紧所述扫描探针。本发明解决了扫描探针在更换过程中容易损失的技术问题。 | ||||||
| 9 | 原子力显微镜低温探头 | CN202210989076.6 | 2022-08-17 | CN115290931A | 2022-11-04 | 段石生; 彭朝阳; 许克标 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜低温探头，原子力显微镜低温探头用于放置在低温杜瓦中，且包括：低温物镜筒；样品台，样品台位于低温物镜筒的下方，且样品台设有样品放置槽，样品放置槽用于放置样品，样品放置槽适于相对于低温物镜筒运动；样品位移组件，样品位移组件用于安装样品台且用于驱动样品台在空间内活动；探针位移组件，探针位移组件安装有NV探针，探针位移组件用于驱动NV探针在空间内活动，NV探针适于活动至样品放置槽的上方，探针位移组件和样品位移组件并排设置。本发明的原子力显微镜低温探头，可保证探头完全放置在低温中，提升样品观测的准确性，且样品放置槽相对于低温物镜筒运动过程中，可快速的拆卸和更换样品。 | ||||||
| 10 | 原子力显微镜探针装置 | CN201810995061.4 | 2018-08-29 | CN109061232A | 2018-12-21 | 赵慧玲; 白莹; 郁彩艳 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜探针及底座的组合装置，其中探针的微悬臂在其与针尖相对的表面上具有台阶孔；探针座包括吸附件和定位件，吸附件包括真空吸附槽以及吸附面；定位件从吸附面伸出插入台阶孔中并旋转以与台阶孔的台阶面抵接；定位件包括相连的转动杆及转动条，转动条上表面装置有弹性组件；微调结构利用连杆连接转动杆和微调螺母，微调螺母控制微调结构带动定位件移动。本发明的装置能够提高换针效率，避免了脱针和错位，能够对探针微悬臂末端施加固定的作用力，促进了探针微悬臂的灵敏度，提高了测试效果。 | ||||||
| 11 | 原子力显微镜探针装置 | CN201410118215.3 | 2014-03-27 | CN103869103A | 2014-06-18 | 白英英; 张守龙; 王伟 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜探针装置，包括探测针和探针座，其中探测针包括微悬臂以及设于所述微悬臂一端的针尖，所述微悬臂在其与所述针尖相对的表面上形成有台阶孔；探针座包括吸附件和定位件，所述吸附件包括真空吸附槽以及吸附面，所述真空吸附槽用于使所述探测针吸附于所述吸附面；所述定位件从所述吸附面伸出插入所述台阶孔中并旋转以与所述台阶孔的台阶面抵接。本发明的原子力显微镜探针装置能够提高换针效率。 | ||||||
| 12 | 原子力显微镜探针装置 | CN201410118223.8 | 2014-03-27 | CN103852600A | 2014-06-11 | 白英英; 张守龙; 王伟 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜探针装置，包括探测针和探针座。所述探测针包括微悬臂以及设于所述微悬臂一端的针尖，所述悬臂远离所述针尖的另一端的侧表面形成有狭槽。探针座包括吸附件和定位件。所述吸附件具有吸附面，该吸附面上开设有与抽真空部件连通的导气槽，用于使所述探测针吸附于所述吸附面。所述定位件包括本体以及设于所述本体下端的狭槽贴片，所述狭槽贴片与所述狭槽的形状相配合；所述本体滑设于所述吸附件的两侧且于第一位置和第二位置之间移动以使所述狭槽贴片嵌入所述狭槽或从所述狭槽中分离。本发明的原子力显微镜探针装置能够避免换针过程中探针错位，跌落或位置不正等问题。 | ||||||
| 13 | 原子力显微镜探针 | CN200480023496.9 | 2004-07-15 | CN100592088C | 2010-02-24 | 安德鲁·大卫·拉维尔·哈姆菲里斯; 杰米·凯恩·霍博斯; 默文·琼·迈尔斯 |
| 用于原子力显微镜的探针(22)适合于使得当扫描样品(14)时，它受到将探针推向样品的偏置力Fdirect。这改进样品表面的探针跟踪，并且更快扫描成为可能。通过在探针(22)上包括响应于外加力的偏置元件(24，50)和/或减小支撑梁的品质因子实现这点。偏置元件可以是例如磁体(24)或导电元件(50)。可以通过用机械能消散材料涂敷梁来减小品质因子。 | ||||||
| 14 | 原子力显微镜探针 | CN200480023496.9 | 2004-07-15 | CN1836290A | 2006-09-20 | 安德鲁·大卫·拉维尔·哈姆菲里斯; 杰米·凯恩·霍博斯; 默文·琼·迈尔斯 |
| 用于原子力显微镜的探针(22)适合于使得当扫描样品(14)时，它受到将探针推向样品的偏置力Fdirect。这改进样品表面的探针跟踪，并且更快扫描成为可能。通过在探针(22)上包括响应于外加力的偏置元件(24，50)和/或减小支撑梁的品质因子实现这点。偏置元件可以是例如磁体(24)或导电元件(50)。可以通过用机械能消散材料涂敷梁来减小品质因子。 | ||||||
| 15 | 卧式原子力显微镜探头 | CN03116339.4 | 2003-04-09 | CN1243354C | 2006-02-22 | 张冬仙; 章海军 |
| 本发明涉公开了一种卧式原子力显微镜探头。它具有XYZ压电陶瓷及样品台组成的扫描与反馈控制器和由微悬臂探针、激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统。本发明的优点是结构简洁，技术条件易于实现。由于采用了卧式结构，使原子力方向与微悬臂的重力方向相互垂直，从而有效地避免了重力对原子力的影响，提高了原子力的作用效率和精度。因此，本发明除了原理新颖，结构简洁，易于操作等特点外，更主要的是克服了立式原子力显微镜探头的局限性。因此可获得更好的纳米检测与成像性能。广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。 | ||||||
| 16 | 双元原子力显微镜 | CN03116770.5 | 2003-04-29 | CN1187597C | 2005-02-02 | 章海军; 林晓峰; 张冬仙 |
| 本发明公开了一种双元原子力显微镜。它具有激光器、位置敏感元件(PSD)、半透半反射镜、微悬臂探针和Z向压电陶瓷组成的光电检测与反馈参考单元和测量单元以及由X、Y轴压电陶瓷、样品台、参考样品和待测样品组成的扫描控制系统。本发明的双元原子力显微镜可以很好的消除压电陶瓷的非线性和滞后效应带来的扫描误差且不受样品导电性能的影响，最大测量范围达到5μm。使用不同的参考样品，双元原子力显微镜能够实现对任何电导率样品的纳米和亚微米精度的长度计量，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。 | ||||||
| 17 | 液相原子力显微镜探头 | CN03116763.2 | 2003-04-28 | CN1448958A | 2003-10-15 | 张冬仙; 章海军; 张虎 |
| 本发明公开了一种液相原子力显微镜探头。于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统，以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元。本发明液相原子力显微镜探头结构简洁，技术条件易于实现，广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品，既可以在空气中测量，又可以在液体甚至电化学环境下进行实时观察和测量，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。 | ||||||
| 18 | 原子力显微镜系统 | CN202011556763.6 | 2020-12-24 | CN112666369A | 2021-04-16 | 赵亮兵; 陈天赐; 尹明魁 |
| 本申请涉及一种原子力显微镜系统，原子力显微镜系统将第一电极作为导电针尖的引出电极，不需要采用单独的细金属线或新增的金属膜电极即可将导电针尖的电信号引出，可简化石英音叉型探针引线结构，显著降低导电探针制备的难度。为了克服两个电极之间的信号干扰，将激励信号转变为对于针尖和样品的共模信号，即：将激励信号同时施加到第一电极和样品上。由于电极共用，激励信号信号实际上也施加到了导电针尖上。这样，导电针尖和样品之间的电势差等于第一样偏压信号，而不会受到激励信号的影响。另外，导电针尖的偏压信号为零，因此可以避免导电针尖的偏压信号对激励信号的影响，进而克服了偏压电信号和激发信号之间的串扰。 | ||||||
| 19 | 原子力显微镜探针装置 | CN201810995061.4 | 2018-08-29 | CN109061232B | 2020-03-10 | 赵慧玲; 白莹; 郁彩艳 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜探针及底座的组合装置，其中探针的微悬臂在其与针尖相对的表面上具有台阶孔；探针座包括吸附件和定位件，吸附件包括真空吸附槽以及吸附面；定位件从吸附面伸出插入台阶孔中并旋转以与台阶孔的台阶面抵接；定位件包括相连的转动杆及转动条，转动条上表面装置有弹性组件；微调结构利用连杆连接转动杆和微调螺母，微调螺母控制微调结构带动定位件移动。本发明的装置能够提高换针效率，避免了脱针和错位，能够对探针微悬臂末端施加固定的作用力，促进了探针微悬臂的灵敏度，提高了测试效果。 | ||||||
| 20 | 原子力显微镜探针装置 | CN201410118223.8 | 2014-03-27 | CN103852600B | 2016-04-13 | 白英英; 张守龙; 王伟 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜探针装置，包括探测针和探针座。所述探测针包括微悬臂以及设于所述微悬臂一端的针尖，所述悬臂远离所述针尖的另一端的侧表面形成有狭槽。探针座包括吸附件和定位件。所述吸附件具有吸附面，该吸附面上开设有与抽真空部件连通的导气槽，用于使所述探测针吸附于所述吸附面。所述定位件包括本体以及设于所述本体下端的狭槽贴片，所述狭槽贴片与所述狭槽的形状相配合；所述本体滑设于所述吸附件的两侧且于第一位置和第二位置之间移动以使所述狭槽贴片嵌入所述狭槽或从所述狭槽中分离。本发明的原子力显微镜探针装置能够避免换针过程中探针错位，跌落或位置不正等问题。 | ||||||
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