[0001] 本发明涉及一种气体发生材料及具备该气体发生材料的微型泵。

[0002] 近年来，作为小型且便携性优异的分析装置，开始采用使用了微型流体器件的分析装置。在使用了该微型流体器件的分析装置中，可以在微流路内进行样品的送液、稀释、浓缩及分析等。

[0003] 在上述微型流体器件中，为了在微流路内进行样品的送液等，设置有微型泵。例如，在下述的专利文献1中公开了一种微型泵，其使用了含有光酸发生剂和酸刺激气体发生剂的光应答性气体发生材料(粘接剂组合物)。另外，在专利文献1中也公开了一种光应答性气体发生材料，其在甲基丙烯酸甲酯/丙烯酰胺共聚物等粘合剂树脂(丙烯酸类粘合剂)中配合有光酸发生剂和酸刺激气体发生剂。在专利文献1中，作为上述酸刺激气体发生剂，可列举碳酸盐及重碳酸盐。

[0004] 另外，在专利文献2、3中虽未公开微型泵的用途，但公开了一种含有气体发生剂的组合物。

[0005] 在专利文献2中记载有：利用硅烷偶联剂对贴附含有气体发生剂的层的玻璃板的表面进行表面处理。在专利文献2中，在含有气体发生剂的层中没有配合硅烷偶联剂。

[0006] 在专利文献3中公开了一种多层片材，其具备含有气体发生剂的层和含有氨类硅烷偶联剂的层。在专利文献3中，多层片材的各层使用不同的组合物来形成，气体发生剂和氨类硅烷偶联剂分别在不同的层中被使用。

[0007] 另外，在下述的专利文献4中虽未公开微型泵的用途，但公开了一种粘接剂组合物，其含有具有多个炔烃基的第一成分(聚合物)和具有多个叠氮基的第二成分(聚合物)。上述第一成分和上述第二成分通过链接反应而进行交联。

[0008] 现有技术文献

[0009] 专利文献

[0010] 专利文献1:日本特开2010-89259号公报

[0011] 专利文献2:日本特开2005-197630号公报

[0012] 专利文献3:日本特开2006-128621号公报

[0013] 专利文献4:日本特开2009-247896号公报

[0014] 本发明要解决的问题

[0015] 将气体发生剂配合在粘合剂树脂中而得到气体发生材料的情况下，有时该气体发生材料对粘接对象构件的粘接性变低。另外，对上述气体发生材料而言，期望较高的气体产生量。

[0016] 本发明的目的在于，提供一种气体发生材料，其对粘接对象构件的粘接性高，即使还含有硅烷偶联剂，每单位时间的气体产生量也多。另外，本发明提供一种具备上述气体发生材料的微型泵。

[0017] 解决问题的方法

[0018] 根据本发明的宽泛的方面，提供一种气体发生材料，其含有粘合剂树脂、气体发生剂，其为偶氮化合物或叠氮化合物；硅烷偶联剂，其具有氨基。

[0019] 在本发明所述的气体发生材料的某种特定的方面，所述叠氮化合物具有磺酰基叠氮基或叠氮甲基。

[0020] 在本发明所述的气体发生材料的某种特定的方面，该气体发生材料还含有光敏剂。

[0021] 在本发明所述的气体发生材料的某种特定的方面，所述光敏剂含有选自噻吨酮化合物、酚噻嗪化合物、蒽化合物及吖啶酮化合物化合物中的至少一种。

[0022] 在本发明所述的气体发生材料的某种特定的方面，所述具有氨基的硅烷偶联剂的含量相对于100质量份所述气体发生剂为0.0001质量份以上、1质量份以下。

[0023] 在本发明所述的气体发生材料的某种特定的方面，所述气体发生剂为叠氮化合物，所述叠氮化合物通过配合具有多个叠氮基的叠氮化合物及具有碳-碳双键的聚合物而得到，含有丙烯酸类粘合剂作为所述粘合剂树脂。

[0024] 在本发明所述的气体发生材料的某种特定的方面，所述具有碳-碳双键的聚合物具有乙烯基和(甲基)丙烯酰基中的至少之一作为含有碳-碳双键的基团。

[0025] 在本发明所述的气体发生材料的某种特定的方面，所述具有碳-碳双键的聚合物具有乙烯基和(甲基)丙烯酰基二者作为含有碳-碳双键的基团。

[0026] 在本发明所述的气体发生材料的某种特定的方面，所述具有碳-碳双键的聚合物具有多个碳-碳双键。

[0027] 在本发明所述的气体发生材料的某种特定的方面，该气体发生材料是用于微型泵的气体发生材料。

[0028] 根据本发明的宽广的方面，提供一种微型泵，其具备：上述的气体发生材料；形成有微流路的基体材料，所述气体发生材料以所述气体发生材料产生的气体供给于所述微流路的方式进行配置。

[0029] 发明的效果

[0030] 由于本发明涉及的气体发生材料含有粘合剂树脂、作为气体发生剂的偶氮化合物或叠氮化合物以及具有氨基的硅烷偶联剂，因此，可以提高对粘接对象构件的粘接性。而且，在本发明所述的气体发生材料中，即使含有硅烷偶联剂，也可以增加每单位时间的气体产生量。附图说明

[0031] 图1是本发明的第一实施方式所述的微型泵的概略剖面图。

[0032] 图2是本发明的第二实施方式所述的微型泵的概略剖面图。

[0033] 图3是用于对实施例等中粘接力的测定方法进行说明的示意图。

[0034] 图4是用于对实施例等中锚固力的测定方法进行说明的示意图。

[0035] 标记说明

[0036] 1、2…微型泵

[0037] 10…基体材料

[0038] 10a…主面

[0039] 10b…微流路

[0040] 10c…泵室

[0041] 11a、11b…气体发生材料

[0042] 12…气体阻隔层

[0043] 21…光照射装置

[0044] 以下，对本发明详细地进行说明。

[0045] 本发明涉及的气体发生材料含有粘合剂树脂、作为气体发生剂的偶氮化合物或叠氮化合物以及具有氨基的硅烷偶联剂。

[0046] 本发明涉及的气体发生材料具有上述的组成，因此，可以提高对粘接对象构件的粘接性。而且，在本发明涉及的气体发生材料中，即使含有硅烷偶联剂，也可以增加每单位时间的气体产生量。

[0047] 另外，在将现有的粘接剂组合物与基体材料等粘接对象构件粘接的情况下，有时该粘接剂组合物对粘接对象构件的初期粘接力及初期锚固力低。

[0048] 另一方面，在将含有现有的气体发生剂的气体发生材料(粘接剂组合物)与粘接对象构件粘接的情况下，由气体发生剂产生气体时，有时该气体发生材料对粘接对象构件的粘接力及锚固力变低。特别是在含有现有的气体发生剂的气体发生材料中，由气体发生剂产生的气体容易从气体发生剂中过度地放出，由此引起气体发生材料对粘接对象构件的粘接力及锚固力的降低容易成为大的问题。若气体发生材料对粘接对象构件的粘接力及锚固力降低，则气体发生材料容易从粘接对象构件上剥离。

[0049] 与此相对，在将不含气体发生剂的粘接剂组合物与基板等粘接对象构件粘接的情况下，使用中该粘接剂组合物对粘接对象构件的粘接力及锚固力不怎么降低。即，在不使用气体发生剂的情况下，使用中粘接力及锚固力的降低不会成为问题，在使用气体发生剂的情况下，有时使用中与气体的产生同时，粘接力及锚固力的降低成为大的问题。

[0050] 本发明人等发现：在微型泵中，在将含有气体发生剂的现有的气体发生材料(粘接剂组合物)与粘接对象构件粘接时，初期粘接力及初期锚固力变低，或由气体发生剂产生的气体容易向不是目标的区域移动或滞留，气体未充分地供给至微流路。进而，本发明人等发现：为了将气体充分地供给至微流路，需要提高气体发生材料对粘接对象构件的初期粘接力及初期锚固力。

[0051] 进而，本发明人等还发现：在将含有现有的气体发生剂的气体发生材料与粘接对象构件粘接时，即使初期粘接力及初期锚固力提高，在气体发生材料中产生气体时，粘接力及锚固力也会大幅度降低，容易产生气体发生材料从粘接对象构件的剥离。该原因认为是：因为从气体发生剂产生的气体向气体发生材料和粘接对象构件的粘接界面等不是目标的区域移动或滞留。

[0052] 基于这样新的见解，本发明人等发现：在气体发生材料中产生气体时，作为可以抑制粘接力及锚固力的降低、并可以使气体发生材料难以发生从粘接对象构件的剥离的结构，优选上述气体发生剂为叠氮化合物，上述所述叠氮化合物通过配合具有多个叠氮基的叠氮化合物及具有碳-碳双键的聚合物而得到，上述气体发生材料含有丙烯酸类粘合剂作为上述粘合剂树脂。

[0053] 即，本发明涉及的气体发生材料优选含有配合具有多个叠氮基的叠氮化合物及具有碳-碳双键的聚合物而得到的气体发生剂(以下，有时记载为气体发生剂A)和丙烯酸类粘合剂。通过采用这样的结构，在将气体发生材料与粘接对象构件粘接时，可以提高初期粘接力及初期锚固力。而且，通过采用这样的结构，由气体发生剂产生的气体以适当的速度被放出。其结果，在将气体发生材料与粘接对象构件粘接后，即使在气体发生材料中产生气体，也能够使粘接力及锚固力难以降低。因此，在使用前及使用中，能够使气体发生材料难以产生从粘接对象构件的剥离。

[0054] 以下，以微型泵为例，对能够使气体发生材料难以产生从粘接对象构件的剥离的理由具体地进行说明。

[0055] 增加气体发生材料中现有的气体发生剂的配合量时(例如50质量％)、另外气体发生剂在常温下为液体状且流动性过高时，气体发生材料的粘接力及锚固力容易不足。对这种气体发生材料给予光等外部刺激时，由于由气体发生剂产生的气体，从而粘接力及锚固力容易变低，特别是保持力容易变低。

[0056] 另外，在将气体发生材料贴附于基体材料而成的微型泵中，对气体发生材料给予光等外部刺激时，产生的气体由基体材料中形成的微流路向规定的区域移动，由此作为泵而起作用。但是，在微型泵中，为了防止微流路中的逆流，设有逆止阀，进而以少量的气体能够精度好地进行流动的方式，微流路在非常小的流路径中形成。因此，微流路与气体挤出的液体的流路之间的阻力大。就微型泵而言，需要即使受到这样的阻力，气体发生材料也不会从基体材料上剥离而能够基于气体而挤出液体。

[0057] 在此，可以认为，通过对丙烯酸类粘合剂的交联密度等进行调整，对气体发生材料从基体材料的剥离进行抑制。但是，仅对丙烯酸类粘合剂的交联密度进行调整，难以充分地对气体发生材料从基体材料的剥离进行抑制。

[0058] 与此相对，本发明人发现：通过使用上述的特定的气体发生剂A，可以对气体发生材料从基体材料的剥离进行抑制。通过使用含有特定的上述气体发生剂A的气体发生材料，即使在微型泵中受到阻力，气体发生材料也不会从基体材料上剥离，可以良好地基于气体挤出液体。

[0059] 对具有多个叠氮基的叠氮化合物及具有碳-碳双键的聚合物进行配合时，叠氮基和碳-碳双键的反应即使在室温下也进行。通过使具有多个叠氮基的叠氮化合物的叠氮基的一部分与具有碳-碳双键的聚合物中的碳-碳双键发生反应而进行交联反应。因此，在含有上述气体发生剂A的上述气体发生材料中，可以提高粘接力及锚固力。其结果，可以防止气体向不是目标的区域发生泄漏，通过在基体材料形成的微流路能够使气体向指定的部位移动。

[0060] 就上述气体发生剂A而言，优选使具有多个上述叠氮基的叠氮化合物与具有上述碳-碳双键的聚合物发生反应。就上述气体发生剂A而言，优选使上述叠氮化合物中的叠氮基的一部分与上述聚合物中的上述碳-碳双键发生反应。为了产生气体，优选上述气体发生剂A全部具有叠氮基。

[0061] 为了得到含有上述气体发生剂A的气体发生材料，可以进行以下工序：对具有多个上述叠氮基的叠氮化合物和具有上述碳-碳双键的聚合物进行配合而得到上述气体发生剂A；以及对得到的上述气体发生剂A和上述丙烯酸类粘合剂进行配合。为了得到含有上述气体发生剂A的气体发生材料，可以对具有多个上述叠氮基的叠氮化合物及具有上述碳-碳双键的聚合物中的至少一种与上述丙烯酸类粘合剂进行配合。例如，可以在上述丙烯酸类粘合剂中对具有多个上述叠氮基的叠氮化合物和具有上述碳-碳双键的聚合物进行配合，在上述丙烯酸类粘合剂中进行得到上述气体发生剂A的工序。

[0062] 从使具有多个上述叠氮基的叠氮化合物与具有上述碳-碳双键的聚合物有效地发生反应、且更进一步对气体发生材料从粘接对象物的剥离进行抑制的观点出发，优选对具有多个上述叠氮基的叠氮化合物和具有上述碳-碳双键的聚合物进行配合而得到上述气体发生剂A之后，对得到的上述气体发生剂A和上述丙烯酸类粘合剂进行配合。

[0063] 上述气体发生剂的凝胶分率优选为30质量％以上且优选为100质量％以下。上述气体发生剂的溶胀度优选为110％以上且优选为500％以下。需要说明的是，上述凝胶分率及上述溶胀度分别用后述的实施例等的评价栏中记载的方法进行测定。

[0064] 上述气体发生材料优选含有叔胺。上述气体发生材料优选含有光敏剂。上述气体发生材料优选含有增粘剂。

[0065] 通过在上述气体发生材料中含有上述叔胺和上述光敏剂，上述氮气的产生顺利地进行，能够使气体产生量增加。

[0066] 以下，对实施本发明的优选的实施方式的一个例子进行说明。但是，下述的实施方式仅为例示。本发明不受下述的实施方式的任何限定。

[0067] 另外，在实施方式中参照的附图示意性地被记载，附图中所描绘的物体尺寸的比率等有时与现实中物体的尺寸比率等不同。具体的物体尺寸的比率等应该参照以下的说明来判断。

[0068] 图1是本发明的第一实施方式涉及的微型泵的概略剖面图。图1所示的微型泵1具备板状的基体材料10。作为构成基体材料10的材料，可列举树脂、玻璃及陶瓷等。作为构成基体材料10的树脂，可列举有机硅氧烷化合物、聚甲基丙烯酸酯树脂及聚烯烃树脂等。作为上述聚烯烃树脂，可列举环状聚烯烃树脂等。作为上述有机硅氧烷化合物的具体例，可列举聚二甲基硅氧烷(PDMS)及聚甲基氢硅氧烷等。

[0069] 在基体材料10中在主面10a上形成有开口的微流路10b。

[0070] 所谓“微流路”是指，形成为使微流路中流通的液体表现出所谓微效果的形状尺寸的流路。具体而言，所谓“微流路”是指，形成为如下形状尺寸的流路：使微流路中流通的液体强烈地受到表面张力和毛细管现象的影响，从而表现出与通常尺寸的流路中流通的液体不同的行为。

[0071] 在主面10a上贴附有膜状的气体发生材料11a。气体发生材料11a为微型泵用气体发生材料。微流路10b的开口被气体发生材料11a覆盖。因此，通过对气体发生材料11a施加光或热等外部刺激而由气体发生材料11a产生的气体被导入微流路10b。

[0072] 气体发生材料11a的厚度没有特别限定。气体发生材料11a的厚度优选为5μm以上，更优选为10μm以上，优选为5mm以下，更优选为500μm以下。

[0073] 气体发生材料11a由气体阻隔层12覆盖。利用气体阻隔层12，可抑制在气体发生材料11a中产生的气体向与主面10a相反侧流出，从而有效地供给至微流路10b。因此，气体阻隔层12优选为气体发生材料11a中产生的气体的透过性低的层。

[0074] 作为构成气体阻隔层12的材料，可列举：聚丙烯酸树脂、聚烯烃树脂、聚碳酸酯树脂、氯乙烯树脂、ABS树脂、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)树脂、尼龙树脂、聚氨酯树脂、聚酰亚胺树脂及玻璃等。

[0075] 气体阻隔层12的厚度可以根据气体阻隔层12的材质等而适当变更，没有特别限定。气体阻隔层12的厚度优选为10μm以上，更优选为25μm以上，优选为1mm以下，更优选为100μm以下。气体阻隔层12优选为在使光透过的情况下不易引起紫外线区域的光发生衰减的层。

[0076] 气体发生材料11a优选为膜。需要说明的是，在膜中包含带及片材。

[0077] 气体发生材料11a含有粘合剂树脂、作为气体发生剂的偶氮化合物或叠氮化合物以及具有氨基的硅烷偶联剂。

[0078] 在微型泵1中，通过光的照射，为了使气体发生材料11a产生气体，例如，由光照射装置21与气体发生材料11a对置沿箭头X所示的方向而照射光。气体发生材料11a含有粘合剂树脂、作为气体发生剂的偶氮化合物或叠氮化合物以及具有氨基的硅烷偶联剂，因此，由气体发生剂产生的气体难以移动或滞留在区域R即气体发生材料11a与作为粘接对象构件的基体材料10的粘接界面，能够对粘接力及锚固力的降低进行抑制。另外，气体发生材料11a由于透明性优异，因此，到达气体发生材料11a的光有效地通过气体发生材料11a的内部。

[0079] 另外，气体发生材料11a中所含的气体发生剂为叠氮化合物，该叠氮化合物通过对具有多个叠氮基的叠氮化合物及具有碳-碳双键的聚合物进行配合而得到，气体发生材料11a作为该粘合剂树脂，在含有丙烯酸类粘合剂的情况下，由气体发生剂A产生的气体更加难以移动或滞留在区域R即气体发生材料11a和作为粘接对象构件的基体材料10的粘接界面，可以更进一步对粘接力及锚固力的降低进行抑制。另外，含有气体发生剂A的气体发生材料11a的透明性优异，因此，到达气体发生材料11a的光有效地通过气体发生材料11a的内部。

[0080] 以下，对用于上述气体发生材料的各成分的详细情况进行说明。

[0081] (粘合剂树脂)

[0082] 上述气体发生材料含有上述粘合剂树脂。上述气体发生材料优选含有丙烯酸类粘合剂作为上述粘合剂树脂。通过上述气体发生材料含有上述丙烯酸类粘合剂，可以使上述气体发生材料与基体材料等的粘接对象构件更进一步良好地粘接。通过上述气体发生材料含有粘合剂树脂，容易将上述气体发生材料制成片剂状、微粒状及膜状等形态。上述气体发生材料为片剂状、微粒子状及膜状等形态时，能够容易地使上述气体发生材料与粘接对象构件粘接。另外，能够将上述气体发生剂坚固地保持在上述气体发生材料中。上述粘合剂树脂可以仅使用一种，也可以组合使用两种以上。

[0083] 上述粘合剂树脂没有特别限定。作为上述粘合剂树脂，可使用能够将上述气体发生剂及具有上述氨基的硅烷偶联剂保持在上述气体发生材料中的适当的粘合剂树脂。作为上述粘合剂树脂，可以使用聚(甲基)丙烯酸酯、聚酯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚醚、聚氨酯、聚碳酸酯、聚酰胺及聚酰亚胺等高分子材料。可以使用构成这些高分子材料的单体的共聚物，也可以组合使用这些高分子材料。其中，气体的产生效率更进一步提高，因此，上述粘合剂树脂优选为上述聚(甲基)丙烯酸酯。即，上述粘合剂树脂优选为(甲基)丙烯酸聚合物。需要说明的是，上述(甲基)丙烯酸聚合物包含(甲基)丙烯酸共聚物。

[0084] 上述丙烯酸类粘合剂在上述气体发生材料中可以作为粘合剂树脂来使用。上述丙烯酸类粘合剂优选具有(甲基)丙烯酰基。上述(甲基)丙烯酰基表示丙烯酰基或甲基丙烯酰基。上述丙烯酸类粘合剂可以仅使用一种，也可以组合使用两种以上。

[0085] 上述丙烯酸类粘合剂没有特别限定。作为上述丙烯酸类粘合剂，可使用能够将上述气体发生剂保持在上述气体发生材料中的适当的丙烯酸类粘合剂。作为上述丙烯酸类粘合剂，可以使用聚(甲基)丙烯酸酯等高分子材料。可以使用构成该高分子材料的单体的共聚物。即，上述丙烯酸类粘合剂优选为(甲基)丙烯酸聚合物。

[0086] 上述粘合剂树脂及上述丙烯酸类粘合剂的SP值分别优选为7以上，优选为10.5以下。上述粘合剂树脂及上述丙烯酸类粘合剂的SP值为上述下限以上及上述上限以下时，粘合剂树脂与气体发生剂的相容性及丙烯酸类粘合剂与气体发生剂的相容性更进一步变得良好。

[0087] 上述SP值(溶解度参数)可以使用Fedors法(R.F.Fedors，Polym.Eng.Sci.，14,147(1974))而算出。

[0088] 上述结构聚(甲基)丙烯酸酯的(甲基)丙烯酸酯单体可以为链状化合物及环状化合物中的任一种。作为上述链状化合物，可列举：(甲基)丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-甲基己酯及(甲基)丙烯酸月桂酯等。作为上述环状化合物，可列举：(甲基)丙烯酸环己酯及(甲基)丙烯酸异冰片酯等。其中，优选(甲基)丙烯酸甲酯。

[0089] 上述聚(甲基)丙烯酸酯例如可以为(甲基)丙烯酸酯单体与能够与(甲基)丙烯酸酯单体发生共聚的乙烯基单体的共聚物。作为上述乙烯基单体，没有特别限定，可列举：(甲基)丙烯酸、衣康酸、丁烯酸、马来酸(酐)、富马酸(酐)、(甲基)丙烯酸羧基烷基酯类(丙烯酸羧基乙基酯等)的含羧基的乙烯基单体；(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、己内酯改性(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯等含羟基的乙烯基单体；(甲基)丙烯腈、N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基己内酰胺、N-乙烯基月桂酰胺、(甲基)丙烯酰基吗啉、(甲基)丙烯酰胺、二甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺、N-丁氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、N-异丙基(甲基)丙烯酰胺、二甲基氨基甲基(甲基)丙烯酸酯等含氮的乙烯基单体等。上述乙烯基单体可以仅使用一种，也可以组合使用两种以上。

[0090] 作为上述(甲基)丙烯酸酯单体与上述乙烯基单体的组合，没有特别限定，可列举：(甲基)丙烯酸丁酯和(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸丁酯和(甲基)丙烯酰胺及(甲基)丙烯酸和N-异丙基(甲基)丙烯酰胺的组合等。(甲基)丙烯酸酯单体和乙烯基单体的共聚比(质量比)优选为98:2～51:49的范围内。

[0091] 为了更进一步提高气体的产生效率，上述聚(甲基)丙烯酸酯优选含有选自聚(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯/(甲基)丙烯酸共聚物、及(甲基)丙烯酸丁酯/(甲基)丙烯酰胺共聚物中的至少一种。另外，为了更进一步提高气体的产生效率，上述聚(甲基)丙烯酸酯优选具有氨基或羰基。

[0092] 上述粘合剂树脂优选具有紫外光吸收带。上述粘合剂树脂的紫外光吸收带优选与气体发生剂及光敏剂的紫外光吸收带相比为短波长。

[0093] 上述粘合剂树脂及上述丙烯酸类粘合剂的重均分子量分别优选为5万以上，更优选为60万以上，优选为200万以下，更优选为160万以下。上述粘合剂树脂及上述丙烯酸类粘合剂的重均分子量为上述下限以上时，粘合剂树脂自身的凝聚力的降低被抑制，能够将上述气体发生剂及具有上述氨基的硅烷偶联剂坚固地保持在上述气体发生材料中，另外，上述增粘剂也能够坚固地保持在上述气体发生材料中。上述粘合剂树脂及上述丙烯酸类粘合剂的重均分子量为上述上限以下时，容易将上述气体发生材料加工成各种形态。

[0094] 上述丙烯酸类粘合剂具有粘合性。优选上述粘合剂树脂及上述丙烯酸类粘合剂分别具有粘接性。通过上述粘合剂树脂及上述丙烯酸类粘合剂具有粘接性，能够对上述气体发生材料赋予粘接性。因此，可以在上述微型泵中容易地对上述气体发生材料进行配置。例如，具有粘接性的膜状气体发生材料能够容易地贴附在上述微型泵的基板面或基板内部的壁面。

[0095] 相对于上述气体发生剂100质量份，上述粘合剂树脂及上述丙烯酸类粘合剂的含量分别优选为10质量份以上，更优选为20质量份以上，进一步优选为30质量份以上，优选为300质量份以下，更优选为200质量份以下，进一步优选为150质量份以下。

[0096] (气体发生剂)

[0097] 上述气体发生材料含有上述气体发生剂。上述气体发生剂为偶氮化合物或叠氮化合物。上述气体发生剂在施加热或光等外部刺激时产生气体。上述偶氮化合物或上述叠氮化合物没有特别限定，可以为公知的偶氮化合物或叠氮化合物。上述气体发生剂优选为上述偶氮化合物，也优选为上述叠氮化合物。上述气体发生剂可以仅使用一种，也可以组合使用两种以上。

[0098] 作为可用作上述气体发生剂的上述偶氮化合物的具体例，可列举例如：2,2’-偶氮双(N-环己基-2-甲基丙酰胺)、2,2’-偶氮双[N-(2-甲基丙基)-2-甲基丙酰胺]、2,2’-偶氮双(N-丁基-2-甲基丙酰胺)、2,2’-偶氮双[N-(2-甲基乙基)-2-甲基丙酰胺]、2,2’-偶氮双(N-己基-2-甲基丙酰胺)、2,2’-偶氮双(N-丙基-2-甲基丙酰胺)、
2,2’-偶氮双(N-乙基-2-甲基丙酰胺)、2,2’-偶氮双{2-甲基-N-[1,1-双(羟基甲基)-2-羟基乙基]丙酰胺}、2,2’-偶氮双{2-甲基-N-[2-(1-羟基丁基)]丙酰胺}、
2,2’-偶氮双[2-甲基-N-(2-羟基乙基)丙酰胺]、2,2’-偶氮双[N-(2-丙烯基)-2-甲基丙酰胺]、2,2’-偶氮双[2-(5-甲基-2-咪唑啉-2-基)丙烷]二盐酸盐、2,2’-偶氮双[2-(2-咪唑啉-2-基)丙烷]二盐酸盐、2,2’-偶氮双[2-(2-咪唑啉-2-基)丙烷]二硫酸盐二水合物、2,2’-偶氮双[2-(3,4,5,6-四氢嘧啶-2-基)丙烷]二盐酸盐、2,2’-偶氮双{2-[1-(2-羟基乙基)-2-咪唑啉-2-基]丙烷}二盐酸盐、2,2’-偶氮双[2-(2-咪唑啉-2-基)丙烷]、2,2’-偶氮双(2-甲基丙酰胺)盐酸盐、2,2’-偶氮双(2-氨基丙烷)二盐酸盐、2,2’-偶氮双[N-(2-羧基酰基)-2-甲基-丙酰胺]、2,2’-偶氮双{2-[N-(2-羧基乙基)酰胺]丙烷}、2,2’-偶氮双(2-甲基丙酰胺肟)、二甲基-2,2’-偶氮双(2-甲基丙酸酯)、二甲基-2,2’-偶氮双异丁酸酯、4,4’-偶氮双(4-氰基碳酸)、4,4’-偶氮双(4-氰基戊酸)及2,2’-偶氮双(2,4,4-三甲基戊烷)等。这些偶氮化合物通过接受特定的波长区域的光或热等外部刺激而产生氮气。

[0099] 上述偶氮化合物不会因冲击而产生气体，因此，非常容易操作。上述偶氮化合物不会引起连锁反应而爆发性地产生气体。如果使用上述偶氮化合物，则也可以通过中断光的照射来中断气体的产生。因此，通过将上述偶氮化合物作为上述气体发生剂来使用，容易对气体产生量进行控制。

[0100] 作为可用作上述气体发生剂的上述叠氮化合物，可列举例如：具有磺酰基叠氮基或叠氮甲基的叠氮化合物。上述叠氮化合物优选具有磺酰基叠氮基或叠氮甲基。上述叠氮化合物优选具有磺酰基叠氮基，也优选具有叠氮甲基。

[0101] 作为具有上述磺酰基叠氮基的化合物的优选例子，可列举例如下述式(1)表示的化合物。

[0102] [化学式1]

[0103]

[0104] 上述式(1)中，R1～R5分别为氢原子、卤原子、氨基、酰胺基、烃基、烃基上键合有1 5
取代基的基团或烷氧基。上述式(1)中的R ～R 可以相同，也可以不同。上述烃基可以为直链状，也可以为支链状，还可以为环状。上述烃基可以为饱和的烃基，也可以为不饱和的烃基。上述烷氧基可以具有取代基，可以为直链状，也可以为支链状。

[0105] 上述式(1)中，R1～R5中的至少1个基团优选为烃基或烃基上键合有取代基的基1 5
团，更优选为烃基。在R ～R 为烃基或烃基上键合有取代基的基团的情况下，该烃基的碳原子数为1以上，优选为3以上，更优选为6以上，优选为30以下，更优选为20以下，进一步优选为18以下。另外，作为上述烃基上键合有取代基的基团的取代基，可列举卤原子等。

[0106] 上述式(1)的R1～R5中，上述烷氧基的碳原子数为1以上，优选为3以上，更优选为6以上，优选为20以下，更优选为16以下，进一步优选为12以下。另外，在上述烷氧基具有取代基的情况下，作为该取代基，可列举卤原子等。

[0107] 上述式(1)中，R3优选为酰胺基、烃基、在烃基上键合有取代基的基团或烷氧基。1 2 4 5
另外，上述式(1)中，R、R、R 及R 分别优选为氢原子。

[0108] 作为具有叠氮甲基的叠氮化合物，可列举例如缩水甘油基叠氮聚合物。作为上述缩水甘油基叠氮聚合物，优选在侧链上具有叠氮甲基、且在末端具有羟基的脂肪族聚醚。

[0109] 作为在侧链上具有叠氮甲基且在末端具有羟基的脂肪族聚醚的优选的例子，可列举例如下述式(2-1)表示的叠氮化合物。

[0110] H(B)q(A)nOR1O(A)m(B)rH (2-1)

[0111] 上述式(2-1)中，m+n＝2～20、m≥1、n≥1、q+r＝10～35、q≥5、r≥5，A1
为-OCH2CH2CH2CH2-、-OCH2CH2-或OCH2CH(CH3)-，B为-CH2CH(CH2N3)O-，R 为-CH2CH2-、-CH2CH2
1
CH2CH2-、-CH2CH(CH3)-、-[(CH2CH2O)xCH2CH2]-或[(CH2CH2CH2CH2O)yCH2CH2CH2CH2]-。上述R 中的x为10～25，y为5～20。

[0112] 作为在侧链上具有叠氮甲基且在末端具有羟基的脂肪族聚醚的其它优选的例子，可列举例如下述式(2-2)表示的叠氮化合物。

[0113] [化学式2]

[0114]

[0115] 上述式(2-2)中，m为1～20的整数，l+n为7～50的整数。m优选为3以上，且优选为15以下。l+n优选为10以上，且优选为30以下。

[0116] 作为在侧链上具有叠氮甲基且在末端具有羟基的脂肪族聚醚的其它优选的例子，可列举例如下述式(2-3)表示的叠氮化合物。

[0117] [化学式3]

[0118]

[0119] 上述式(2-3)中，m1、m2及m3分别为1～20的整数，n1、n2及n3分别为1～20的整数。

[0120] 上述叠氮化合物优选为上述气体发生剂A、或上述式(1)、(2-1)、(2-2)或(2-3)表示的叠氮化合物。上述叠氮化合物优选为上述式(1)、(2-1)、(2-2)或(2-3)表示的叠氮化合物。上述叠氮化合物优选为上述式(1)表示的叠氮化合物，也优选为上述式(2-1)、(2-2)或(2-3)表示的叠氮化合物。

[0121] 上述的叠氮化合物通过接受特定波长区域的光、热、超声波或冲击等外部刺激来进行分解，从而产生氮气。

[0122] 为了得到上述气体发生剂A，具有上述多个叠氮基的叠氮化合物可以仅使用一种，也可以组合使用两种以上。为了得到上述气体发生剂A，具有上述碳-碳双键的聚合物可以仅使用一种，也可以组合使用两种以上。

[0123] 从更进一步提高得到上述气体发生材料时的反应效率考虑，具有上述碳-碳双键的聚合物优选为具有多个碳-碳双键的聚合物，优选为在侧链上具有碳-碳双键的聚合物，更优选为在侧链上具有多个碳-碳双键的聚合物。位于侧链上的碳-碳双键与叠氮基有效地发生反应。具有上述碳-碳双键的聚合物可以在侧链和末端这双方具有碳-碳双键。

[0124] 从更进一步提高得到上述气体发生材料时的反应效率考虑，具有上述碳-碳双键的聚合物优选具有乙烯基、以及(甲基)丙烯酰基中的至少一种作为上述含有碳-碳双键的基团。从更进一步提高得到上述气体发生材料时的反应效率考虑，具有上述碳-碳双键的聚合物优选具有多种含有碳-碳双键的基团。从更进一步提高得到上述气体发生材料时的反应效率考虑，具有上述碳-碳双键的聚合物优选具有乙烯基及(甲基)丙烯酰基这双方作为上述含有碳-碳双键的基团。

[0125] 从更进一步提高得到上述气体发生材料时的反应效率考虑，具有上述碳-碳双键的聚合物优选具有(甲基)丙烯酰基，优选具有多个(甲基)丙烯酰基，优选在末端具有(甲基)丙烯酰基，优选在末端具有多个(甲基)丙烯酰基。

[0126] 从更进一步提高得到上述气体发生材料时的反应效率考虑，具有上述碳-碳双键的聚合物优选具有乙烯基，优选具有多个乙烯基。上述聚合物可以在末端具有乙烯基，也可以在侧链上具有乙烯基。

[0127] 具有上述碳-碳双键的聚合物的重均分子量优选为500以上，优选为50000以下，更优选为30000以下。上述重均分子量利用凝胶渗透色谱法(GPC)测定的以聚苯乙烯换算的重均分子量来表示。

[0128] 具有上述碳-碳双键的聚合物优选为具有多个下述式(11)表示的结构单元的聚合物。具有上述碳-碳双键的聚合物优选具有下述式(11)表示的结构单元作为单体单元。

[0129] [化学式4]

[0130]

[0131] 上述式(11)中，R1及R2分别表示氢原子或甲基，M表示具有选自醚键、酯键、酰胺键及尿烷键中的至少一种键的2价的脂肪族有机基团。

[0132] 上述式(11)中，R1和R2可以相同，也可以不同。上述式(11)中的R1及R2表示的上述脂肪族有机基团分别可以为在脂肪族烃基上键合了以下基团的脂肪族有机基团，即含有选自醚键、酯键、酰胺键及尿烷键中的至少一种键的基团。

[0133] 上述式(11)中的R1及R2表示的上述2价的脂肪族有机基团的碳原子数优选为5以上，优选为20以下，更优选为10以下。上述式(11)中，M优选为具有选自醚键、酯键及尿烷键中的至少一种键的2价的脂肪族有机基团。

[0134] 具有多个上述式(11)表示的结构单元的聚合物可以通过例如使具有多个羟基的聚合物与具有与羟基反应的基团及不饱和双键的化合物发生反应的方法等容易地合成。作为与上述羟基反应的基团，可列举异氰酸酯基等。

[0135] 在具有多个上述式(11)表示的结构单元的聚合物中，上述式(11)表示的结构单元的数量优选为5以上，优选为500以下。上述式(11)表示的结构单元的数量可以为300以下。在具有多个上述式(11)表示的结构单元的聚合物中，上述式(11)表示的结构单元既可以无规地进行键合，也可以以嵌段来进行键合。

[0136] 上述式(11)中，M优选为下述式(12)表示的结构单元或下述式(13)表示的结构单元。

[0137] [化学式5]

[0138]

[0139] 上述式(12)中，左侧部分与上述式(11)中的上侧部分发生键合，右侧部分与上述式(11)中的下侧部分发生键合，X1及X2分别表示碳原子数1～8的2价的脂肪族有机基团。

[0140] [化学式6]

[0141]

[0142] 上述式(13)中，左侧部分与上述式(11)中的上侧部分发生键合，右侧部分与上述式(11)中的下侧部分发生键合，n表示1～4的整数。

[0143] 上述式(12)中，X1和X2可以相同，也可以不同。上述式(12)中，X1及X2表示的上述2价的脂肪族有机基团的碳原子数分别优选为2以上，优选为4以下。上述式(12)中，X1及X2表示的上述2价的脂肪族有机基团分别可以为2价的脂肪族烃基团，也可以为脂肪族烃基上键合有含有醚键的基团的2价的脂肪族有机基团。上述式(12)中，X1及X2表示的上述2价的脂肪族有机基团分别优选为2价的脂肪族烃基。

[0144] 上述式(13)中，n优选为2以上的整数。

[0145] 作为上述叠氮化合物，可列举例如：缩水甘油基叠氮聚合物、具有磺酰基叠氮基或叠氮甲基的叠氮化合物。上述叠氮化合物优选具有磺酰基叠氮基或叠氮甲基。上述叠氮化合物优选具有磺酰基叠氮基，也优选具有叠氮甲基。

[0146] 具有多个上述叠氮基的化合物优选为下述式(14)表示的化合物、下述式(15)表示的化合物、下述式(16)表示的化合物或下述式(17)表示的化合物。

[0147] [化学式7]

[0148]

[0149] 上述式(14)中，n表示10～50的整数，m+l表示1～10的整数。

[0150] [化学式8]

[0151]

[0152] 上述式(15)中，r+s+t+u表示10～50的整数。

[0153] [化学式9]

[0154]

[0155] 上述式(16)中，n表示1～20的整数。

[0156] [化学式10]

[0157]

[0158] 上述式(17)中，n1、n2、n3及n4分别表示1～10的整数。

[0159] 上述式(14)中的n、m及l可以相同，也可以不同。

[0160] 上述式(15)中，r、s、t及u可以相同，也可以不同。上述式(15)中，r+s+t+u优选为15以上的整数，优选为30以下的整数。

[0161] 上述式(16)中，n优选为2以上的整数，优选为8以下的整数。

[0162] 上述式(17)中，n1、n2、n3及n4可以相同，也可以不同。上述式(17)中，n1、n2、n3及n4分别优选为3以上的整数，更优选为4以上的整数，优选为8以下的整数。

[0163] 在上述气体发生剂A中，相对于具有上述碳-碳双键的聚合物1质量份，优选对具有多个上述叠氮基的叠氮化合物配合1质量份以上，优选配合5质量份以上，优选配合10质量份以上。

[0164] 在上述气体发生材料中，上述气体发生剂的含量优选为10质量％以上，更优选为15质量％以上，进一步优选为20质量％以上，优选为90质量％以下，更优选为75质量％以下，进一步优选为60质量％以下。

[0165] (具有氨基的硅烷偶联剂)

[0166] 上述气体发生材料含有具有氨基的硅烷偶联剂。通过使用具有上述氨基的硅烷偶联剂，不仅上述气体发生材料对粘接对象构件的初期粘接力得到提高，也可以对伴着对硅烷偶联剂进行了使用而由上述气体发生材料产生的气体的产生量的降低进行抑制。即，在使用具有上述氨基的硅烷偶联剂的情况，与使用不具有氨基的硅烷偶联剂的情况相比，上述气体发生材料对粘接对象构件的初期粘接力有效地得到提高，进而有效地对由上述气体发生材料产生的气体的产生量的降低进行抑制。即，通过使用具有上述氨基的硅烷偶联剂，对每单位时间的气体产生量几乎没有影响。该情况是由本发明人等首次发现的。上述叔胺优选不含有硅原子，优选不为硅烷偶联剂。上述具有氨基的硅烷偶联剂优选不为上述叔胺。

[0167] 作为具有上述氨基的硅烷偶联剂的具体例，可列举：N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基三乙氧基硅烷、N,N’-双[(3-三甲氧基甲硅烷基)丙基]乙二胺、3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷及N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷等。可以使用这些以外的具有氨基的硅烷偶联剂。具有上述氨基的硅烷偶联剂可以仅使用一种，也可以组合使用两种以上。

[0168] 另外，通过使用上述硅烷偶联剂，气体发生材料对粘接对象构件的初期粘接力及初期锚固力更进一步得到提高。特别是上述增粘剂和上述硅烷偶联剂的组合使用大大有助于提高气体发生材料对粘接对象构件的初期粘接力及初期锚固力。而且，上述增粘剂和上述硅烷偶联剂的组合使用大大有助于抑制伴有气体发生材料中气体的产生的粘接力及锚固力的降低。

[0169] 作为不具有上述氨基的硅烷偶联剂，可列举：3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷等具有环氧基的硅烷偶联剂、3-异氰酸酯丙基三乙氧基硅烷等具有异氰酸酯基的硅烷偶联剂及3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷等具有(甲基)丙烯酰基的硅烷偶联剂等。

[0170] 在上述气体发生材料中，相对于上述气体发生剂100质量份，具有上述氨基的硅烷偶联剂的含量优选为0.0001质量份以上，更优选为0.0003质量份以上，优选为1质量份以下，更优选为0.3质量份以下。具有上述氨基的硅烷偶联剂的含量为上述下限以上时，气体发生材料对粘接对象构件的初期粘接力及初期锚固力更进一步得到提高。具有上述氨基的硅烷偶联剂的含量为上述上限以下时，更进一步对剩余的具有上述氨基的硅烷偶联剂引起的气体产生量的降低进行抑制。

[0171] (叔胺)

[0172] 上述气体发生材料优选含有叔胺。上述叔胺没有特别限定。作为上述叔胺，可列举：环状胺、三烷基胺及芳香族胺等。上述环状胺及上述芳香族胺分别具有叔胺的结构。上述叔胺可以仅使用一种，也可以组合使用两种以上。

[0173] 上述气体发生材料优选含有选自环状胺、三烷基胺及芳香族胺中的至少一种。上述叔胺优选为环状胺，优选为三烷基胺，也优选为芳香族胺。上述环状胺具有除芳香族骨架以外的环状骨架，且不具有芳香族骨架。上述三烷基胺不具有环状骨架及芳香族骨架。上述芳香族胺具有芳香族骨架，不具有除芳香族骨架以外的环状骨架。

[0174] 上述环状胺的碳原子数优选为6以上且优选20以下。作为上述环状胺的具体例，可列举：1,4-二氮杂双环[2.2.2]辛烷(DABCO)、二氮杂双环十一碳烯(DBU)及二氮杂双环壬烯(DBN)等。

[0175] 上述三烷基胺的3个烷基可以相同，也可以不同。上述三烷基胺的3个烷基的碳原子数分别为1以上，优选为2以上，优选为20以下，更优选为6以下。作为上述三烷基胺的具体例，可列举：三甲基胺、N,N-二乙基甲基胺、N,N-二甲基乙基胺、三乙基胺、N,N-二甲基丙基胺、三丙基胺及三丁基胺等。

[0176] 作为上述芳香族胺的具体例，可列举：N,N-二甲基氨基甲苯胺、N,N-二乙基氨基甲苯胺、N,N-二甲基氨基苯、N,N-二乙基氨基苯及N,N,N’N’-四甲基-对苯二胺等。

[0177] 在使用上述叔胺的情况下，相对于上述气体发生剂100质量份，上述叔胺的含量优选为0.1质量份以上，更优选为0.5质量份以上，进一步优选为1质量份以上，优选为50质量份以下，更优选为40质量份以下，进一步优选为30质量份以下。上述叔胺的含量为上述下限以上及上述上限以下时，上述气体发生材料中的每单位时间的气体产生量有效地增多，保存稳定性有效地得到提高。

[0178] (光敏剂)

[0179] 上述气体发生材料优选含有光敏剂。上述光敏剂具有增大光对气体发生剂产生的刺激的效果。因此，上述气体发生材料通过含有光敏剂，可以利用较少的光照射量产生并放出气体。另外，可以利用更广的波长区域的光来产生并放出气体。上述光敏剂可以仅使用一种，也可以组合使用两种以上。

[0180] 上述光敏剂没有特别限定。作为上述光敏剂，可以使用公知的光敏剂。作为上述光敏剂，可列举：噻吨酮化合物、酚噻嗪化合物、蒽化合物及吖啶酮化合物等。

[0181] 作为上述噻吨酮化合物的具体例，可列举：噻吨酮、2-氯噻吨酮、2,4-二氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮及2,4-二乙基噻吨酮等。

[0182] 作为上述酚噻嗪化合物的具体例，可列举：酚噻嗪、2-氯酚噻嗪、2-甲基硫代酚噻嗪、2-甲氧基酚噻嗪及2-(三氟甲基)酚噻嗪等。

[0183] 作为上述蒽化合物的具体例，可列举：蒽、9,10-二乙氧基蒽、9,10-二丙氧基蒽、9,10-二丁氧基蒽、9-羧基蒽、2-蒽羧酸、1-蒽羧酸、1,8-蒽二羧酸二甲酯、(1R,2R)-2-(蒽-2,3-二羧基酰亚胺)环己烷羧酸、1-氨基蒽、2-蒽硼酸、9-氯甲基蒽、9,10-二甲氧基蒽-2-磺酸钠、苯并蒽、苯并[a]蒽-7,12-二酮、二苯并[a,c]蒽、1,2,3,4-二苯并蒽、9-溴蒽、9,10-双(氯甲基)蒽、7-溴苯并[a]蒽、1,8-双(羟基甲基)蒽、9,10-双(3,5-二羟基苯基)蒽、1-溴蒽、2-溴蒽、9,10-双(二乙基膦酰基甲基)蒽(9,10-ビス(ジエチルホスホノメチル)アントラセン)、2-溴-9,10-二苯基蒽、
2-叔丁基蒽、9-氯甲基蒽、9-氰基蒽、1-氯-9,10-双(苯基乙炔基)蒽、2-氯蒽、二苯并[a,h]蒽、9,10-二溴蒽、9,10-二甲基蒽、9,10-二氢蒽、7,12-二甲基苯并[a]蒽、9,10-二氰基蒽、9,10-二苯基蒽、2,3-二甲基蒽、2,6-二溴蒽、1,5-二溴蒽、(11R,12R)-9,10-二氢-9,10-乙基桥蒽-11,12-二胺、9,10-二氢-9,10-双(2-羧基乙基)-N-(4-硝基苯基)-10,9-(环氧基亚氨基)蒽-12-羧酰胺、9,10-二(1-萘基)蒽、9,10-二(2-萘基)蒽、1,8-二碘蒽、9-(羟基甲基)蒽、2-(羟基甲基)蒽、9-(2-羟基乙基)蒽、9-甲基蒽、
7-甲基苯并[a]蒽、2,3-苯并蒽、二苯并[de,kl]蒽、9-苯基蒽、9,10-双(苯基乙炔基)蒽、1-苯胺基蒽、2-苯胺基蒽、1,4,9,10-四羟基蒽、1,8,9-三羟基蒽、(R)-(-)-α-(三氟甲基)-9-蒽甲醇、(S)-(+)-α-(三氟甲基)-9-蒽甲醇及9,10-二氢-9,10-[1,2]苯并蒽等。

[0184] 作为上述吖啶酮化合物的具体例，可列举：10-甲基-9(10H)吖啶酮、9(10H)-吖啶酮及10-丁基-2-氯-9(10H)-吖啶酮等。

[0185] 为了增加每单位时间的气体产生量，上述光敏剂优选含有选自噻吨酮化合物、酚噻嗪化合物、蒽化合物及吖啶酮化合物中的至少一种。上述光敏剂优选为噻吨酮化合物，优选为酚噻嗪化合物，优选为蒽化合物，也优选为吖啶酮化合物。

[0186] 作为上述光敏剂，也可列举具有烷氧基的多环芳香族化合物。上述多环芳香族化合物可以具有2个以上烷氧基。其中，优选具有含有缩水甘油基或羟基的烷氧基的多环芳香族化合物。该多环芳香族化合物优选为取代烷氧基多环芳香族化合物，其具有烷氧基的一部分被缩水甘油基或羟基取代的烷氧基。这样的光敏剂具有高的耐升华性，可以在高温下使用。另外，通过将烷氧基的一部分用缩水甘油基或羟基取代，上述气体发生材料中的溶解性提高，并可抑制渗出。

[0187] 作为可用作上述光敏剂的上述多环芳香族化合物的优选的例子，可列举具有蒽骨架的多环芳香族化合物等。具有上述蒽骨架的多环芳香族化合物为具有烷氧基的蒽化合物，为蒽衍生物等。另外，具有烷氧基的多环芳香族化合物的烷氧基的碳原子数为1以上，优选为18以下，更优选为8以下。

[0188] 作为具有上述烷氧基的多环芳香族化合物的具体例，可列举：9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、2-叔丁基-9,10-二甲氧基蒽、2,3-二甲基-9,10-二甲氧基蒽、
9-甲氧基-10-甲基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽、2-叔丁基-9,10-二乙氧基蒽、2,3-二甲基-9,10-二乙氧基蒽、9-乙氧基-10-甲基蒽、9,10-二丙氧基蒽、
2-乙基-9,10-二丙氧基蒽、2-叔丁基-9,10-二丙氧基蒽、2,3-二甲基-9,10-二丙氧基蒽、9-异丙氧基-10-甲基蒽、9,10-二丁氧基蒽、9,10-二苄氧基蒽、2-乙基-9,10-二苄氧基蒽、2-叔丁基-9,10-二苄氧基蒽、2,3-二甲基-9,10-二苄氧基蒽、9-苄氧基-10-甲基蒽、9,10-二-α-甲基苄氧基蒽、2-乙基-9,10-二-α-甲基苄氧基蒽、2-叔丁基-9,10-二-α-甲基苄氧基蒽、2,3-二甲基-9,10-二-α-甲基苄氧基蒽、9-(α-甲基苄氧基)-10-甲基蒽、9,10-二(2-羟基乙氧基)蒽及2-乙基-9,10-二(2-羧基乙氧基)蒽等。

[0189] 作为具有上述含有缩水甘油基或羟基的烷氧基的多环芳香族化合物的具体例，可列举：9,10-二(缩水甘油基氧基)蒽、2-乙基-9,10-二(缩水甘油基氧基)蒽、2-叔丁基-9,10-二(缩水甘油基氧基)蒽、2,3-二甲基-9,10-二(缩水甘油基氧基)蒽、9-(缩水甘油基氧基)-10-甲基蒽、9,10-二(2-乙烯氧基乙氧基)蒽、2-乙基-9,10-二(2-乙烯氧基乙氧基)蒽、2-叔丁基-9,10-二(2-乙烯氧基乙氧基)蒽、2,3-二甲基-9,10-二(2-乙烯氧基乙氧基)蒽、9-(2-乙烯氧基乙氧基)-10-甲基蒽、9,10-二(3-甲基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)蒽、2-乙基-9,10-二(3-甲基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)蒽、2-叔丁基-9,10-二(3-甲基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)蒽、2,3-二甲基-9,10-二(3-甲基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)蒽、9-(3-甲基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)-10-甲基蒽、9,10-二(对环氧基苯基甲氧基)蒽、2-乙基-9,10-二(对环氧基苯基甲氧基)蒽、2-叔丁基-9,10-二(对环氧基苯基甲氧基)蒽、2,3-二甲基-9,10-二(对环氧基苯基甲氧基)蒽、9-(对环氧基苯基甲氧基)-10-甲基蒽、9,10-二(对乙烯基苯基甲氧基)蒽、2-乙基-9,10-二(对乙烯基苯基甲氧基)蒽、2-叔丁基-9,1-二(对乙烯基苯基甲氧基)蒽、2,3-二甲基-9,10-二(对乙烯基苯基甲氧基)蒽、9-(对乙烯基苯基甲氧基)-10-甲基蒽、9,10-二(2-羟基乙氧基)蒽、9,10-二(2-羟基丙氧基)蒽、9,10-二(2-羟基丁氧基)蒽、9,10-二(2-羟基-3-丁氧基丙氧基)蒽、9,10-二(2-羟基-3-(2-乙基己氧基)丙氧基)蒽、9,10-二(2-羟基-3-烯丙氧基丙氧基)蒽、9,10-二(2-羟基-3-苯氧基丙氧基)蒽及9,10-二(2,3-二羟基丙氧基)蒽等。

[0190] 上述光敏剂可以为作为光聚合引发剂通常公知的材料。作为这样的光敏剂，可列举例如通过照射250～800nm的波长的光而被活化的化合物。作为这样的光敏剂的具体例，可列举：甲氧基苯乙酮等苯乙酮化合物；苯偶姻丙基醚、苯偶姻异丁基醚等苯偶姻醚化合物；苄基二甲基缩酮、苯乙酮二乙基缩酮等缩酮化合物；氧化膦化合物；双(η5-环戊二烯基)二茂钛等二茂钛化合物；二苯甲酮；米希勒酮；氯噻吨酮；十二烷基噻吨酮；二甲基噻吨酮；二乙基噻吨酮；α-羟基环己基苯基酮；2-羟基甲基苯基丙烷等。上述光敏剂可以仅使用一种，也可以组合使用两种以上。

[0191] 在使用上述光敏剂的情况下，相对于上述气体发生剂100质量份，上述光敏剂的含量优选为0.1质量份以上，更优选为0.5质量份以上，优选为50质量份以下，更优选为30质量份以下。另外，上述光敏剂的含量相对于上述粘合剂树脂100质量份优选为0.5质量份以上，更优选为1质量份以上，优选为30质量份以下，更优选为15质量份以下。上述光敏剂的含量为上述下限以上时，可得到充分的感光效果。上述光敏剂的含量为上述上限以下时，来自光敏剂的残存物变少，容易充分地产生气体。

[0192] 在组合使用上述叔胺和上述光敏剂的情况下，优选对上述叔胺进行配合使得其相对于上述光敏剂成为等摩尔。另外，在气体产生时，一般认为上述叔胺未被消耗，因此，上述叔胺可以以少于上述气体发生剂的摩尔当量的量进行配合。在上述气体发生剂中，上述叔胺的摩尔当量优选为上述气体发生剂的摩尔当量以下。

[0193] 需要说明的是，在此所谓的当量是指，将胺中的氮原子1个设为1当量，将光敏剂1分子设为1当量。

[0194] (增粘剂)

[0195] 上述气体发生材料优选含有上述增粘剂。通过使用上述增粘剂，气体发生材料对粘接对象构件的初期粘接力及初期锚固力更进一步得到提高。另外，从更进一步提高气体发生材料的透明性的观点出发，上述增粘剂的哈坚(HaZen)色值优选为200以下。从更进一步提高上述增粘剂和其它成分的相容性、更进一步提高气体发生材料的透明性的观点出发，上述增粘剂的SP值优选为8.5以上。

[0196] 从由透明性得到更进一步被优异化的气体发生材料的观点出发，上述增粘剂的上述哈坚(HaZen)色值越低越好。上述增粘剂的上述哈坚(HaZen)色值更优选为100以下，进一步优选为50以下。

[0197] 上述哈坚(HaZen)色值根据JIS K0071-1来进行测定。上述哈坚(HaZen)色值例如可以使用Konica Minolta社制的色彩色素计CT-5等进行测定。

[0198] 从由透明性得到更进一步优异化的气体发生材料的观点出发，上述增粘剂的上述SP值越高越好。上述增粘剂的上述SP值更优选为8.8以上。上述增粘剂的上限没有特别限定。

[0199] 上述增粘剂中的SP值由下述式(S)中的Hoy的常数求出。

[0200] δ＝D·ΣG/M (S)

[0201] δ：溶解度参数

[0202] D：密度

[0203] G：各官能基的分子引力常数

[0204] M：分子量

[0205] 作为上述增粘剂，可列举：松香树脂、萜烯树脂、苯乙烯树脂及石油树脂等。

[0206] 从更进一步提高气体发生材料对粘接对象构件的初期粘接力及初期锚固力、更进一步抑制伴着气体发生材料中的气体的产生而粘接力及锚固力的降低的观点出发，上述增粘剂优选为松香树脂，更优选为松香酯树脂。上述增粘剂可以不具有(甲基)丙烯酰基。

[0207] 上述松香树脂为以松香或松香衍生物为基体的树脂。作为上述松香树脂的优选的例子，可列举：松香、酸改性松香、含松香的二醇、松香酯、氢化松香酯及马来酸改性松香酯等。作为上述酸改性松香，可列举例如丙烯酸改性松香。

[0208] 上述萜烯树脂为以萜烯化合物或萜烯化合物的衍生物为基体的树脂。作为上述萜烯树脂，可列举改性萜烯树脂及萜烯酚醛树脂等。

[0209] 上述苯乙烯树脂为以苯乙烯化合物或苯乙烯化合物的衍生物为基体的树脂。作为上述苯乙烯树脂，可列举改性苯乙烯树脂及酚性α-甲基苯乙烯等。

[0210] 从有效地提高气体发生材料对粘接对象构件的初期粘接力及初期锚固力的观点出发，上述增粘剂的羟基值优选为20以上，更优选上述增粘剂为松香酯树脂，且上述松香酯树脂的羟基值为20以上。

[0211] 在使用上述增粘剂的情况下，在上述气体发生材料中，相对于上述气体发生剂100质量份，上述增粘剂的含量优选为1质量份以上，更优选为3质量份以上，进一步优选为10质量份以上，优选为50质量份以下，更优选为35质量份以下，进一步优选为25质量份以下，特别优选为20质量份以下，最优选为15质量份以下。特别优选松香树脂或松香酯树脂的含量为上述下限以上及上述上限以下。上述增粘剂的含量为上述下限以上时，气体发生材料对粘接对象构件的初期粘接力及初期锚固力更进一步得到提高。而且，上述增粘剂的含量为上述上限以下时，气体发生材料的透明性更进一步得到提高，进而更进一步对剩余的上述增粘剂引起的气体产生量的降低进行抑制。

[0212] (其它成分)

[0213] 上述气体发生材料可以含有交联剂及无机填充材料等。上述气体发生材料更优选含有上述交联剂。但是，上述气体发生材料可以不含有上述交联剂。通过使用上述交联剂，上述气体发生材料的粘接力更进一步得到提高。

[0214] (其它实施方式)

[0215] 图2是本发明的第二实施方式所述的微型泵的概略剖面图。

[0216] 图2所示的微型泵2在气体发生材料11b的形状及基体材料10的形状中与上述的实施方式所述的微型泵1不同。

[0217] 在第二实施方式中，微流路10b与基体材料10内所形成的泵室10c连接。气体发生材料11b形成为块状，配置在泵室10c内。

[0218] 对第二实施方式涉及的微型泵2而言，也可以与微型泵1同样地，实现高输出且较长驱动时间。

[0219] 以下，基于具体的实施例，对本发明更详细地进行说明。本发明不受以下的实施例任何限定，可以在不变更宗旨的范围内适当变更并进行实施。

[0220] 作为实施例1～14及比较例1～6的气体发生材料的配合成分，准备以下的材料。

[0221] (粘合剂树脂/丙烯酸类粘合剂)

[0222] (合成例1)

[0223] 对下述物质进行混合而得到混合物：丙烯酸正丁酯(日本催化剂社制)97质量份、丙烯酸(日本催化剂社制)3质量份、Irgacure907(长濑产业社制)0.05质量份和乙酸乙酯200质量份。接着，对该混合物照射紫外线4小时，制作作为丙烯酸共聚物的粘合剂树脂A(丙烯酸类粘合剂A)。粘合剂树脂A的重均分子量约为70万。得到的粘合剂树脂A的SP值为7以上且10.5以下的范围内。

[0224] (实施例1)

[0225] 对粘合剂树脂A 100质量份和作为溶剂的乙酸乙酯567重量份进行配合。对下述物质进行混合并加工成膜状：粘合剂树脂A 100质量份(其中，已将作为溶剂的乙酸乙酯567质量份与粘合剂树脂A一起进行配合)、作为气体发生剂的GAP4006(缩水甘油基叠氮聚合物、日油社制)110质量份、作为具有氨基的硅烷偶联剂的N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷(信越化学工业社制的KBM-602)0.001质量份、作为叔胺的三丙基胺(三正丙基胺)2质量份、作为光敏剂的2-异丙基噻吨酮(DKSH日本社制的IPX)3.5质量份、和作为交联剂的N,N,N’,N’-四缩水甘油基-1,3-苯二(甲烷胺)(综研化学社制的E-AX甲苯5％液)0.5质量份。将该膜在110℃下加热5分钟，除去作为溶剂的乙酸乙酯。用脱模PET膜对其进行保护，在常温下保管一天(24小时)，得到膜状的气体发生材料。

[0226] 使用得到的膜状的气体发生材料，制作实质上与上述第一实施方式的微型泵1具有同样结构的微型泵。

[0227] 需要说明的是，微流路10b的剖面形状设为0.5mm见方的矩形。微流路10b的长度设为800mm。微流路10b的前端设为对大气开放的状态。气体发生材料设为直径0.6cm大小且厚度50μm的膜状。

[0228] (实施例2～14及比较例1～6)

[0229] 如下述的表1,2所示对配合成分的种类及配合量(单位为质量份)进行变更，除此之外，与实施例1同样地操作，得到气体发生材料，制作微型泵。需要说明的是，在实施例2～14中，使用具有氨基的硅烷偶联剂。在比较例1、2、4、6中，使用不具有氨基的硅烷偶联剂。在比较例3、6中，不使用硅烷偶联剂。

[0230] 另外，使用了的硅烷偶联剂的种类如下所述。

[0231] N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷(信越化学工业社制的KBM-602)

[0232] N,N-双[(3-三甲氧基甲硅烷基)丙基]乙二胺(Gelest制)

[0233] 3-氨基丙基三甲氧基硅烷(信越化学工业社制的KBM-903)

[0234] 3-氨基丙基三乙氧基硅烷(信越化学工业社制的KBE-903)

[0235] (3-三甲氧基甲硅烷基丙基)二亚乙基三胺(Gelest制的SIT8398.0、95％、H2NCH2CH2NHCH2CH2NHCH2CH2CH2Si(OCH3)3)

[0236] 正 丁 基 氨 基 丙 基 三 甲 氧 基 硅 烷 (Gelest 制 的 SIB1932.2、C4H9NHCH2CH2CH2Si(OCH3)3)

[0237] 双( 三 乙 氧 基 甲 硅 烷 基 丙 基 )胺 (Gelest 制 的 SIB1824.5、95 ％、[(C2H5O)3SiCH2CH2CH2]2NH)

[0238] 双 (三 甲 氧 基 甲 硅 烷 基 丙 基 ) 胺 (Gelest 制 的 SIB1833、95 ％、[(CH3O)3SiCH2CH2CH2]2NH)

[0239] 双[(3-三甲氧基甲硅烷基)丙基]乙二胺(Gelest制的SIB1834.0、62％、溶剂：甲醇、(CH3O)3SiCH2CH2CH2NHCH2CH2NHCH2CH2CH2Si(OCH3)3)

[0240] N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基三甲氧基硅烷(Gelest制的SIA0591.0、H2NCH2CH2NHCH2CH2CH2Si(OCH3)3)

[0241] 3-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷(信越化学工业社制的KBE-403)

[0242] 3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷(信越化学工业社制的KBE-502)[0243] (实施例1～14及比较例1～6的评价)

[0244] (1)气体产生量

[0245] 在气体产生量的测定中，在得到的微型泵中，对用380nm的紫外线LED(Nitride semiconductor社制“NS375L-5RFS”)照射120秒钟时气体的产生量进行测定。气体产生量的测定方法设为如下方法：将微流路10b与测量移液器用硅管进行连接，用水填充其中，其后，对气体发生材料照射紫外线，读取产生的气体引起的测量移液器的体积变化。

[0246] (2)粘接力

[0247] 如图3所示，对聚碳酸酯板51，贴附膜状的气体发生材料52。在该状态下评价粘接力。

[0248] 具体而言，使用拉伸试验机(岛津制作所制“AG-IS”)，沿箭头Y1所示的方向进行180度剥离，由此评价粘接力。测定条件为剥离速度300mm/分钟、剥离宽度25mm及测定温度23℃的条件。

[0249] (3)锚固力

[0250] 如图4所示，将玻璃纸带61(具有基体材料61A和粘合剂层61B)的粘合剂层61B面(糊面)与得到的膜状的气体发生材料62相互贴合。在该状态下评价锚固力。

[0251] 具体而言，使用拉伸试验机(岛津制作所制“AG-IS”)，沿箭头Y2所示的方向进行90度剥离，由此评价剥离强度(锚固力)。测定条件为剥离速度300mm/分钟、剥离宽度16mm及测定温度23℃的条件。

[0252] 将结果示于下述的表1、2。需要说明的是，在实施例1～4的气体发生材料中使用了叔胺，因此，即使经过24小时后及经过10天后，气体的产生量的降低也很少，另外，将经过24小时后的气体产生量(μL)作为基准(100％)，经过10天后相对的气体产生量(气体产生量的增减)(％)为90％以上且105％以下的范围内，保存稳定性优异。

[0253]

[0254]

[0255] 作为实施例15～29的气体发生材料的配合成分，准备以下的材料。

[0256] (粘合剂树脂/丙烯酸类粘合剂)

[0257] (合成例2)丙烯酸类粘合剂B的合成

[0258] 混合以下物质而得到混合物：丙烯酸正丁酯(日本催化剂社制)96质量份、丙烯酸(日本催化剂社制)4质量份、Irgacure907(长濑产业社制)0.05质量份和乙酸乙酯200质量份。接着，对该混合物照射紫外线4小时，制作作为丙烯酸共聚物的粘合剂树脂B(丙烯酸类粘合剂B)。得到的粘合剂树脂B的重均分子量约为61万。得到的粘合剂树脂B的SP值为7以上且10.5以下的范围内。

[0259] (合成例3)丙烯酸类粘合剂C的合成

[0260] 混合以下物质而得到混合物：丙烯酸正丁酯(日本催化剂社制)97质量份、丙烯酸(日本催化剂社制)3质量份、Irgacure907(长濑产业社制)0.05质量份和乙酸乙酯200质量份。接着，对该混合物照射紫外线4小时，制作作为丙烯酸共聚物的粘合剂树脂C(丙烯酸类粘合剂C)。得到的粘合剂树脂C的重均分子量约为100万。得到的粘合剂树脂C的SP值为7以上、且10.5以下的范围内。

[0261] (增粘剂)

[0262] KE-359(松香酯树脂、荒川化学社制“PINECRYSTAL(パインエステル)KE359”、哈坚(HaZen)色值40、羟基值44、SP值8.86)

[0263] (交联剂)

[0264] E-AX(N,N,N’,N’-四缩水甘油基-1,3-苯二(甲烷胺)、综研化学社制“E-AX”、甲苯5％液体)

[0265] AX4-HC-M08(PVEEA、丙烯酸2-(2-乙烯氧基乙氧基)乙基聚合物(固体成分100质量％)、具有多个下述式(21)表示的结构单元的化合物；日本催化剂社制“AX4-HC-M08”；重均分子量约20000)

[0266] [化学式11]

[0267]

[0268] 多官能丙烯酸单体A-TMMT(季戊四醇四丙烯酸酯、新中村化学工业社制)[0269] (具有多个叠氮基的叠氮化合物)

[0270] GAP4006(缩水甘油基叠氮聚合物、日油社制)

[0271] GAP5006(缩水甘油基丙烯酸聚合物、日油社制)

[0272] (叔胺)

[0273] 三丙基胺(三正丙基胺)

[0274] (光敏剂)

[0275] 2-异丙基噻吨酮(DKSH日本社制“IPX”)

[0276] (硅烷偶联剂)

[0277] KEM603(信越化学工业社制、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷)[0278] (实施例15)

[0279] 将作为溶剂的乙酸乙酯220质量份配合至丙烯酸类粘合剂B88质量份中之后，混合下述物质并加工成膜状110质量份GAP4006、0.002质量份作为硅烷偶联剂的KEM603、作为叔胺的三丙基胺(三正丙基胺)3.5质量份、作为光敏剂的2-异丙基噻吨酮2.5质量份、1质量份作为交联剂的E-AX、1质量份AX4-HC-M08和12质量份作为增粘剂的KE-359。将该膜在110℃下加热5分钟，除去作为溶剂的乙酸乙酯。用脱模PET膜对其进行保护，在常温下保管一天(24小时)，得到膜状的气体发生材料(膜)。

[0280] 使用得到的膜状气体发生材料，制作实质上与上述第一实施方式的微型泵1具有同样结构的微型泵。

[0281] 需要说明的是，微流路10b的剖面形状设为0.5mm见方的矩形。微流路10b的长度设为800mm。微流路10b的前端设为对大气开放的状态。气体发生材料设为直径0.6cm大小且厚度50μm的膜状。

[0282] (实施例16～29)

[0283] 如下述的表3所示对配合成分的种类及配合量(单位为质量份)进行变更，除此之外，与实施例1同样地操作，得到气体发生材料，制作微型泵。需要说明的是，在下述的表3中省略了在得到膜状的气体发生材料时通过挥发而除去的溶剂的使用量的记载。

[0284] (实施例15～29的评价)

[0285] (1)气体发生剂的凝胶分率的测定

[0286] 将膜(浸渍前的膜)1g在23℃下浸渍于乙酸乙酯中24小时，得到浸渍液。对得到的浸渍液用#200的网眼金属网进行过滤，收集残存在金属网上的凝胶，使凝胶在75℃下干燥3小时，得到干燥后的膜。对干燥后的膜的质量进行测定，利用下述式(X)算出凝胶分率(质量％)。

[0287] 凝胶分率(质量％)＝干燥后的膜的质量/浸渍前的膜的质量×100 …(X)[0288] (2)气体发生剂的溶胀度的测定

[0289] 将膜1g(重量：W0)在23℃下浸渍于乙酸乙酯24小时。接着，从乙酸乙酯中对膜用200网眼的金属网进行过滤之后，对膜的重量W1进行测定。由该浸渍后的重量W1和浸渍前的膜的重量W0，用下述式(Y)求出气体发生剂的溶胀度。需要说明的是，在重量测定前，用滤纸擦去附着于网眼的溶剂。

[0290] 溶胀度(％)＝(W1-Wm)/W0×100(％) …(Y)

[0291] Wm：网眼的重量

[0292] (3)气体产生量的测定

[0293] 与实施例1～14及比较例1～6同样地进行评价。

[0294] (4)粘接力

[0295] 与实施例1～14及比较例1～6同样地进行评价。

[0296] (5)锚固力

[0297] 与实施例1～14及比较例1～6同样地进行评价。

[0298] (6)溢出

[0299] 使用气体发生测定装置，在测量移液器和微流路之间插入内径100μm长度100mm的硅管，进行气体发生试验。此时，对气体发生带使用直径6mm的掩模，区分光照射部和遮光部。观察气体发生后的带，测定带内所含的气泡的直径，设为溢出距离。溢出距离的最小值为6mm，溢出距离超过7mm时，与邻接的气体泵相接，因此，判断为不合格。

[0300] (7)保持力

[0301] 与粘接力同样地进行测定，将25mm宽度粘合带贴附于聚碳酸酯板，制作试验片。在试验片的端部附加20g的锤，在调整为23℃及60％RH下的房间内保持试验片。

[0302] 测定24小时后的带的移动(剥离)距离，设为被剥离的距离。被剥离的距离为3mm以下，判断为合格，超过3mm时，判断为不合格。

[0303] 将结果示于下述的表3。需要说明的是，在实施例27～29中，在(6)溢出及(7)保持力的评价结果中看到稍微变差的倾向，但由于(3)气体产生量、(4)粘接力及(5)锚固力的评价结果优异，特别是(3)气体产生量的评价结果优异，因此，实施例27～29的气体发生材料可以用作本发明的一个实施方式中的气体发生材料。另外，在实施例27～29中，在(6)溢出及(7)保持力的评价结果中看到稍微变差的倾向，但通过变更微型泵的设计，可以有利地使用。

[0304]