表面处理装置和表面处理方法 |
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| 申请号 | CN201510083766.5 | 申请日 | 2015-02-16 | 公开(公告)号 | CN104852001B | 公开(公告)日 | 2017-12-15 |
| 申请人 | 丰田自动车株式会社; | 发明人 | 池尻孝; | ||||
| 摘要 | 一种 表面处理 装置，具备：亲 水 基生成气体供给部(9)，向所述 处理室 内供给所述亲水基生成气体；载置台(1)，具备载置板(13)和支承部件(11)，所述载置板(13)具有通气部，所述支承部件(11)从所述载置板突出设置，使所述被处理材料与所述载置板之间留有空隙地支承所述被处理材料；以及流动生成部，生成活性化了的所述亲水基生成气体的至少一部分绕入所述空隙的流动，且该流动是经过所述载置板的所述通气部的流动。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种表面处理装置，将诱发作为亲水基的生成源的亲水基生成气体的活性化的能量波朝向接受表面处理的被处理材料照射，给被处理材料的接受所述能量波的照射的面赋予亲水性，所述表面处理装置包括： |
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| 说明书全文 | 表面处理装置和表面处理方法技术领域背景技术[0003] 在使用高分子电解质膜(以下，简称为“电解质膜”)作为电解质的燃料电池中，已知有用隔板夹持在电解质膜的两面接合有电极催化剂层的膜电极接合体而成的结构。隔板的一面供向电极催化剂层供给的气体流通(也将该面称为气体面)，另一面供用于冷却燃料电池的制冷剂流通(也将该面称为冷却面)。在这种隔板中，就气体面而言，为了将伴随于燃料电池的发电的水向燃料电池外排出，而要求亲水性。另一方面，就冷却面而言，在将单体电池层叠并紧固连结时，为了避免反应气体及冷却水泄漏而粘接密封垫，因此，为了提高粘接性，而要求亲水性。 [0004] 在日本特开2012-200622的表面处理装置中，仅隔板的单面可以进行亲水化处理。因此，在隔板的两面实施亲水化处理时，在一面的亲水化处理之后，进行另一面的亲水化处理，因此，花费许多处理工时及处理时间。因此，期望在对隔板的两面进行亲水化处理的情况下，可以缩短处理工时及处理时间的技术。期望这样的技术不局限于燃料电池用隔板，而对于对各种被处理材料进行处理的表面处理装置共通。此外，在现有的表面处理装置中，期望低成本化、省资源化、制造的容易化、性能的提高等。 发明内容[0005] 本发明的第一方式涉及一种表面处理装置，将诱发作为亲水基的生成源的亲水基生成气体的活性化的能量波朝向接受表面处理的被处理材料照射，给被处理材料赋予亲水性。该表面处理装置具备：处理室，收容所述被处理材料；亲水基生成气体供给部，向所述处理室内供给所述亲水基生成气体；载置台，是载置所述被处理材料的载置台，具备载置板和支承部件，所述载置板具有通气部，所述支承部件从所述载置板突出设置，使所述被处理材料与所述载置板之间留有空隙地支承所述被处理材料；以及流动生成部，生成活性化了的所述亲水基生成气体的至少一部分绕入所述空隙的流动，且该流动是经过所述载置板的所述通气部的流动。 [0006] 根据该方式的表面处理装置，例如被处理材料为平板状的材料时，被处理材料的被照射能量波的面由通过能量波而活性化了的亲水基生成气体赋予亲水性。另外，由于活性化了的亲水基生成气体被诱导至被处理材料和载置板之间的空隙，因此，被处理材料的与支承部件接触的面(未被照射能量波的面)也由活性化了的亲水基生成气体赋予亲水性。因此，可以通过1次处理给被处理材料的两面赋予亲水性，可以缩短处理工时及处理时间。 需要说明的是，被处理材料不限于平板状的材料，在为立体的材料的情况下，也可以给与支承部件接触的一侧赋予亲水性，因此，可以通过1次处理给被处理材料的所有表面赋予亲水性。 [0007] 另外，根据这样的方式，可以解决低成本化、省资源化、制造的容易化、性能的提高等各种课题中的至少1个。 [0008] 所述流动生成部可以具备吸引部，该吸引部通过经由所述通气部吸引所述活性化了的亲水基生成气体而生成所述活性化了的亲水基生成气体的所述流动。这样一来，能够容易地生成活性化了的亲水基生成气体的至少一部分绕入空隙的流动。 [0009] 所述通气部可以形成于在所述被处理材料载置于所述支承部件时被所述被处理材料覆盖的区域。这样一来，可以使活性化了的亲水基生成气体适当地生成绕入空隙。 [0010] 所述通气部可以形成于所述支承部件的内侧的区域。这样也可以使活性化了的亲水基生成气体适当地绕入空隙。 [0011] 所述流动生成部可以具备形成于所述处理室的所述载置板的下方的排气孔和经由所述排气孔将所述处理室内的气体向所述处理室外排出的排气机构。这样一来，利用由于经由排气孔将处理室内的气体向处理室外排气而产生的处理室内的气体的流动，将被处理材料与载置板之间的气体经由载置板的贯穿孔向比载置板更靠下处诱导，因此，可以通过简单的结构进行被处理材料的所有表面的亲水化处理。 [0012] 所述排气孔可以形成于所述处理室的地板。这样一来，可以更适当地将被处理材料与载置板之间的气体经由载置板的贯穿孔向比载置板更靠下处诱导。 [0013] 所述支承部件可以以从所述载置板侧朝向前端逐渐变细的方式形成。这样一来，被处理材料与支承部件的接触面积变小，因此，可以使被处理材料的更多的部分亲水化。 [0014] 所述载置台还可以具备限制部件，该限制部件突出设置于所述载置板的周缘，限制所述被处理材料的所述载置板的面方向的动作。这样一来，被处理材料的动作受到限制，因此，可以更适当地赋予亲水性。 [0015] 可以的是，所述能量波为紫外线，所述亲水基生成气体为氧。这样一来，通过紫外线照射而使氧转变为臭氧，从而可以通过臭氧以高的实效性赋予亲水性。 [0016] 表面处理装置可以还具备：调整气体供给部，供给用于调整所述处理室内的所述亲水基生成气体的浓度的调整气体；调整部，将所述处理室内的所述亲水基生成气体的浓度调整为规定浓度。这样一来，可以调整为适合给被处理材料赋予亲水性的亲水基生成气体的浓度。 [0017] 可以的是，所述能量波为紫外线，所述亲水基生成气体为氧，所述调整气体为氮，所述规定的浓度为5～20％。由于紫外线不易被氮吸收，因此，不会阻碍基于紫外线的氧向臭氧的转变，可以利用氮调整为适当的氧浓度。另外，通过将氧浓度调整为上述浓度，可以更适当地兼顾臭氧的产生量和紫外线透过强度。 [0018] 本发明的第二方式涉及一种表面处理方法，使用第一方式的表面处理装置进行被处理材料的表面处理。该表面处理方法包括：(a)将所述被处理材料载置于所述载置台的工序；(b)向所述处理室内供给所述亲水基生成气体的工序；(c)向在配置于所述处理室内的所述载置台上载置的所述被处理材料照射所述能量波的工序；(d)生成使通过所述能量波而活性化了的亲水基生成气体绕入所述被处理材料与所述载置板之间的所述空隙的流动的工序。 [0019] 根据该表面处理方法，可以通过一次处理给被处理材料的两面赋予亲水性。 [0020] 所述被处理材料可以是气体面和制冷剂面作为表面背面的呈板状体的被处理材料，该气体面供燃料电池的发电所使用的气体流通，该制冷剂面供对所述燃料电池进行冷却的制冷剂流通。在所述表面处理方法中，所述工序(a)中可以将所述被处理材料以所述制冷剂面与所述载置台相对的方式载置于所述载置台，所述工序(c)中可以向所述被处理材料的所述气体面照射所述能量波。 [0021] 根据该表面处理方法，可以通过一次处理给燃料电池用隔板的气体面及冷却面这两面赋予亲水性。燃料电池用隔板的气体面由于能量波而改性并被赋予亲水化，因此，可以赋予比冷却面高的亲水性。 [0022] 可以的是，所述能量波为紫外线，所述亲水基生成气体为氧，所述调整气体为氮，所述表面处理方法还包括将所述处理室内的所述亲水基生成气体的浓度调整为5～20％的工序。这样一来，可以更适当地兼顾臭氧的产生量和紫外线透过强度。 [0023] 本发明的第三方式涉及一种给处理室内的被处理材料的表面赋予亲水性的处理方法。该处理方法将作为亲水基的生成源的亲水基生成气体导入所述处理室内，将诱发所述亲水基生成气体的活性化的能量波朝向所述被处理材料的至少一个的所述被导入的亲水基生成气体存在的面照射，通过吸引所述处理室内的所述亲水基生成气体的至少一部分，生成活性化了的所述亲水基生成气体从受到所述能量波的照射的面附近朝向所述被处理材料的其他的面的流动。根据该处理方法，可以通过一次处理给被处理材料的两面赋予亲水性。 [0025] 下面，参照附图说明本发明的特征、优点、以及实施例的技术和工业意义，其中相同的标号表示相同的元件，其中： [0026] 图1是概略地表示实施方式的表面处理装置的结构的说明图。 [0029] 图4是通过俯视表示阴极侧隔板的冷却面的说明图。 [0030] 图5是表示基于实施方式的表面处理装置进行的表面处理的工序的说明图。 [0031] 图6是表示实施方式的表面处理装置中的处理条件的表。 [0032] 图7是表示实施方式的阴极侧隔板的表面处理前后的亲水性的图。 [0033] 图8是表示变形例1的表面处理装置中的载置台的概略结构的说明图。 具体实施方式[0034] A.实施方式： [0035] (A1)表面处理装置的结构： [0036] 图1是概略地表示实施方式的表面处理装置的结构的说明图。如图1所示，表面处理装置100主要具备：载置台1、处理室地板2、处理室壁3、入口闸门4、出口闸门5、4个紫外线照射灯6、氮供给线8、空气供给线9、氧传感器7、压力传感器31、吸引扇24、臭氧分解装置25。 [0037] 载置台1为载置被处理材料的台(以后进行详述)。由处理室地板2、处理室壁3、入口闸门4和出口闸门5形成收容被处理材料的处理室。入口闸门4和出口闸门5同时被关闭时，处理室成为大致密闭状态。如图1中虚线所示，载置台1构成为能够在处理室地板2上从入口闸门4的外面(图中A的位置)移动至出口闸门5的外面(图中D的位置)。如后所述，载置台1最初位于处理室外(图中A的位置)，在处理室外载置被处理材料之后，从被打开的闸门4进入处理室内，在处理室内对被处理材料实施表面处理后，从被打开的闸门5向处理室外出去(图中D的位置)。需要说明的是，载置台1也可以为固定于处理室内的结构。另外，处理室内也可以为完全密闭状态。 [0038] 紫外线照射灯6在处理室内的处理室壁3侧设置4个，放射紫外线。朝向已收容于处理室的被处理材料照射紫外线时，被处理材料的被照射紫外线的面被改性，处理室内的氧被活性化，生成臭氧。在本实施方式中，紫外线照射灯6朝向已收容于处理室的被处理材料照射在氧的活性化方面效率高的172nm波长的紫外线。需要说明的是，照射的紫外线的波长并不限于上述的波长，只要是具有经过氧的活性化能够生成臭氧的能量的波长即可。 [0039] 空气供给线9经由滤尘器(颗粒除去)和油雾过滤器(水分除去)从大气中将定量的清洁干燥空气(图中表述为CDA)供给至处理室内。需要说明的是，可以形成为由贮藏有除去了颗粒和水分的清洁干燥空气的清洁干燥空气供给装置供给清洁干燥空气的结构。 [0040] 氮供给线8从贮存有纯氮的氮罐(未图示)向处理室内供给氮。在本实施方式中，为了实现兼顾表面处理装置100的处理室内的臭氧的产生量和紫外线透过强度，将处理室内的氧浓度设定为11～14％。由于纯氮几乎不吸收紫外线，因此，利用纯氮来调整处理室内的氧浓度。在表面处理装置100中，基于配置在处理室内的载置台1旁边的氧传感器7的计测值(氧浓度)，利用质量流控制器81调整供给至处理室内的氮的流量。 [0041] 在处理室地板2形成3个排气孔21，各排气孔21经由配管23与吸引扇24连接。基于配置在处理室内的压力传感器31的计测值(压力)，利用逆变器32控制吸引扇24，并且利用设置于配管23上的吸引量调整挡板22，以使处理室内成为比大气压稍低的阴压(100Pa左右阴压)的方式排出处理室内的气体。由此，抑制处理室内的臭氧向处理室外的泄漏。 [0042] 臭氧分解装置25通过配管26与吸引扇24连接，分解经由排气孔21从处理室内排出的气体中所含的臭氧而成为氧，向大气中排出。 [0043] (A2)载置台的结构： [0044] 图2是表示实施方式的载置台的结构及处理室内的气体的流动的说明图。载置台1具备：板状的载置板13、支承载置板13的4条腿14、支承被处理材料H的3个支承体11。支承体11以从载置板13侧朝向前端逐渐变细的方式形成，用点支承被处理材料H。载置板13具备两个作为贯穿孔而形成的通气部12。支承体11及通气部12的数量并不限定于本实施方式的数量，只要考虑被处理材料H的稳定、气体的流动而适当设定即可。支承体11的形状并不限定于本实施方式的形状，例如，可以为圆柱状，也可以为四角柱状。支承体11的形状优选以与被处理材料的接触面积变小的方式形成。 [0045] 在本实施方式中，通气部12形成在载置有被处理材料H时处于被处理材料H的下方的区域的中央附近，既可以形成在正中央，也可以形成在端部。而且，即使为不处于被处理材料H的下方的区域，只要形成于在比被处理材料H靠上处生成的臭氧可以通过载置板13与被处理材料H之间的位置即可。通气部12并不限定于贯穿孔，只要为载置板13和被处理材料H之间的气体能够通过载置板13的形状即可。例如，可以为狭缝状。 [0046] 在实施方式的表面处理装置100中，由于载置台1具备支承体11，因此，在被处理材料H与载置板13之间形成空间。而且，由于在载置板13形成有通气部12，因此，如图2中粗线箭头所示，在比被处理材料H靠上的空间借助紫外线照射灯6而生成的臭氧绕入被处理材料H与载置板13之间。被处理材料的被照射紫外线照射灯6的面(以后，也称为表面10)通过紫外线照射灯6而将被处理材料H的表面改性，并且通过在处理室内生成的臭氧而亲水化。另一方面，被处理材料H的另一个面(以后，也称为背面)通过绕入被处理材料H与载置板13之间的臭氧而亲水化。就亲水化的程度而言，虽然由紫外线照射灯6直接照射紫外线的表面较强地亲水化，但是，背面也通过臭氧而亲水化。 [0047] (A3)表面处理的实施方式： [0048] (A3-1)作为被处理材料的隔板的结构：下面，以使用本实施方式的表面处理装置100进行阴极侧隔板的亲水化处理的情况为例，来说明表面处理的工序。因此，在说明表面处理工序之前，对作为被处理材料的阴极侧隔板的结构进行说明。本实施方式中的阴极侧隔板为构成燃料电池的部件，是在钛制的薄板钢板(厚度约0.1mm)的表面实施了碳涂层后的隔板。 [0049] 燃料电池以如下方式构成：在电解质膜的两面接合有电极催化剂层的膜电极接合体的两面分别层叠燃料气体流路部件和氧化剂气体流路部件，并用阳极侧隔板和阴极侧隔板进行夹持。在层叠该燃料电池而构成燃料电池组的情况下，在相邻的燃料电池的阴极侧隔板和阳极侧隔板之间配置冷却水流路部件。以下，将阴极侧隔板的与氧化剂气体流路部件接触的面称为气体面，将与冷却水流路部件接触的面称为冷却面。 [0050] 图3是通过俯视表示阴极侧隔板的气体面的说明图。如图3所示，呈俯视大致长方形，在其周缘具备：燃料气体供给用贯穿孔221、燃料气体排出用贯穿孔222、7个氧化剂气体供给用贯穿孔223、7个氧化剂气体排出用贯穿孔224、3个冷却水供给用贯穿孔225和3个冷却水排出用贯穿孔226。 [0051] 在膜电极接合体(未图示)的两面配置气体流路部件(未图示)，用阴极侧隔板200和阳极侧隔板(未图示)夹持而成的燃料电池经由冷却水流路部件层叠多个而构成燃料电池组时，利用这些贯穿孔，形成向各燃料电池供给燃料气体、氧化剂气体及冷却水的歧管和从各燃料电池排出燃料气体、氧化剂气体及冷却水的歧管。在燃料电池的发电时，燃料气体经由燃料气体供给用贯穿孔221流入到燃料气体流路部件(未图示)而供给至阳极，发电中没有使用的燃料气体等经由燃料气体排出用贯穿孔222排出到燃料电池组外。氧化剂气体经由氧化剂气体供给用贯穿孔223流入到氧化剂气体流路部件(未图示)而供给至阴极，发电中没有使用的氧化剂气体等经由氧化剂气体排出用贯穿孔224排出到燃料电池组外。 [0052] 图3中的区域210为与氧化剂气体流路部件(未图示)接触的区域。在燃料电池的阴极侧伴随于发电而生成水。为了排出该生成水，对阴极侧隔板200的气体面要求高的亲水性。 [0053] 图4是通过俯视表示阴极侧隔板的冷却面的说明图。图4表示阴极侧隔板200的图3所示的面的背面。如上所述，在构成燃料电池组的情况下，阴极侧隔板200的冷却面与相邻的燃料电池的阴极侧隔板及冷却水流路部件接触。因此，为了防止燃料气体、氧化剂气体及冷却水的泄漏，粘接将各贯穿孔及与冷却水流路部件接触的区域240包围的形状的密封垫。图4中，将粘接密封垫的地方以粗线230表示。作为被处理材料的阴极侧隔板200没有粘接密封垫。密封垫既可以通过液体状的粘接剂粘接，也可以通过热熔敷而粘接。为了提高密封垫的粘接性，而对阴极侧隔板200的冷却面要求亲水性。 [0054] 在本实施方式中，作为阴极侧隔板，例示了没有形成流路的隔板，但也可以使用在图3、4的区域210、240中通过冲压加工形成流路的结构的阴极侧隔板。需要说明的是，也可以给阳极侧隔板赋予亲水性。 [0055] (A3-2)表面处理的工序：图5是表示基于实施方式的表面处理装置进行的表面处理的工序的说明图。图5中，示出了载置台移动的情形，每个位置标上表示位置的符号A～D。图6是表示实施方式的表面处理装置中的处理条件的表。 [0056] 在本实施方式中，如上所述，进行作为被处理材料的阴极侧隔板200的表面处理。首先，关闭入口闸门4和出口闸门5，密闭处理室，将清洁干燥空气和氮供给至处理室内，以处理室内的氧浓度成为规定的浓度的方式进行调整。如图6所示，在本实施方式中，以氧浓度成为11～14％的方式进行调整。氮流量为300±100NL/min的范围，如后所述，根据处理室内的氧浓度而变更。氧浓度并不限定于11～14％，也可以为10～15％、15～20％。优选11～ 14％。 [0057] 将作为被处理材料(也称为工件)的阴极侧隔板200以气体面为表面、冷却面为背面的方式安装于载置台1(图中A的位置)。打开入口闸门4，使载置台1移动，被处理材料进入处理室内时，关闭入口闸门4(图中B的位置)。如图6所示，载置台1以速度80mm/s移动，搬运阴极侧隔板200。通过入口闸门4开闭而处理室内的氧浓度变化，因此，在入口闸门4关闭后至处理室内的氧浓度再次成为规定的浓度为止，载置台1在其位置(图中B的位置)待机。 [0058] 处理室内的氧浓度成为11～14％后，载置台1移动到处理室的中央附近、紫外线照射灯6的下方(图中C的位置)。在此，通过紫外线照射灯6向阴极侧隔板200的气体面照射紫外线。通过利用紫外线照射灯6照射紫外线，阴极侧隔板200的气体面被改性，处理室内的氧活性化而成为臭氧。阴极侧隔板200的气体面被改性，并通过臭氧而赋予亲水性。另一方面，阴极侧隔板200的冷却面通过在处理室内生成的臭氧而亲水化。 [0059] 载置台1移动到紫外线照射灯6的下方后，经过阴极侧隔板200的亲水化所需要的规定的时间后，出口闸门5打开，使载置台1向处理室外移动(图中D的位置)。然后，取出表面处理完成后的阴极侧隔板200。 [0060] (A4)实施方式的效果：本实施方式的表面处理装置100通过利用紫外线照射灯6向被处理材料照射紫外线，对被处理材料的表面进行改性，并且由处理室内的氧生成臭氧，从而可以通过臭氧给被处理材料赋予亲水性。另外，对于被处理材料的没有被照射紫外线的部分，通过使臭氧绕入，而能够利用臭氧进行亲水化。 [0061] 根据本实施方式的表面处理装置100，与以向被处理材料的两面照射紫外线的方式设置紫外线照射灯的情况相比，可以减少紫外线照射灯的数量，因此，有助于低成本化、省资源化、制造的容易化。 [0062] 图7是表示实施方式的阴极侧隔板的表面处理前后的亲水性的图。如图所示，无论阴极侧隔板200的气体面，还是冷却面，与表面处理前相比，表面处理后的接触角均变小。即，根据本实施方式的表面处理装置100，阴极侧隔板200的气体面、冷却面可以一起进行亲水化。因此，在进行阴极侧隔板200的表面处理的情况下，与每次一面地进行处理的情况相比，可以缩短处理时间。若使用通过本实施方式的表面处理装置100而赋予了亲水性的阴极侧隔板200，则可以良好地排出伴随于燃料电池的发电的生成水，可以提高与冷却面粘接的密封垫的粘接强度。 [0063] 如图7所示，气体面的处理后的接触角小于冷却面的处理后的接触角。即，气体面的亲水性高于冷却面的亲水性。如上所述，在阴极侧隔板200中，与冷却面相比，对气体面要求高的亲水性。在本实施方式中，通过将作为被处理材料的阴极侧隔板200以气体面为表面、冷却面为背面的方式安装于载置台1，可以给阴极侧隔板200赋予期望的亲水性。 [0064] B.变形例： [0065] 该发明并不限于上述的实施方式或实施方式，可以在不脱离其宗旨的范围内以各种方式实施，例如也可以进行如下的变形。 [0066] (B1)变形例1： [0067] 图8是表示变形例1的表面处理装置中的载置台的概略结构的说明图。变形例1的表面处理装置的载置台的结构与上述实施方式的结构不同。载置台1A除了具备上述实施方式的载置台1的结构以外，还具备限制部件15。限制部件15以包围载置板13的周缘的壁状形成。阴极侧隔板200为0.1mm左右的薄的平板，因此，有可能由于处理室内的气体的动作而从载置台上的载置位置偏离。在变形例的载置台1A上载置有阴极侧隔板200的情况下，成为由限制部件15包围阴极侧隔板200的外周的状态，因此，可以抑制阴极侧隔板200从载置位置的偏离。 [0068] 限制部件的结构并不限定于上述的结构。例如，也可以在载置板13的周缘突出设置多个柱子，也可以突出设置钩状体。这样也可以抑制阴极侧隔板200从载置位置的偏离。 [0069] (B2)变形例2： [0070] 在上述实施方式中，使用氧(干燥空气)作为成为亲永基的生成源的亲水基生成气体，使用紫外线作为诱发亲水基生成气体的活性化的能量波，但例如也可以取代紫外线而照射X射线或等离子体放电波等。这样也可以得到与上述实施方式同样的效果。另外，也可以使用氮取代氧。这样的情况下，可以取代羟基而在被处理材料形成氰基(CN)，因此，能够与上述实施方式一样以高的实效性给被处理材料赋予亲水性。 [0071] (B3)变形例3： [0072] 在上述实施方式中，通过经由设置于处理室地板2的排气孔21将处理室内的气体向处理室外排出，而能够将阴极侧隔板200与载置板13之间的气体(包含臭氧)经由通气部12向比载置板13靠下处诱导，将处理室内的臭氧诱导至阴极侧隔板200的冷却面侧，但并不限定于该结构，只要可以将阴极侧隔板200与载置板13之间的气体经由通气部12向比载置板13靠下处诱导即可。 [0073] 例如，排气孔21可以形成于处理室的壁面或闸门4、5的载置板13下方。而且，可以将吸引扇24配置在处理室内，将通气部12和吸引扇经由配管直接连接，将阴极侧隔板200与载置板13之间的气体经由通气部12向比载置板13靠下处诱导。该情况下，可以将吸引的气体再次排至处理室内进行循环。 [0074] 另外，可以形成在载置板13上不形成通气部12的结构。可以形成如下结构：利用吸引扇吸引阴极侧隔板200与载置板13之间的气体，并使之在阴极侧隔板200的上部循环，由此通过该循环流将在阴极侧隔板200生成的臭氧诱导至阴极侧隔板200与载置板13之间。 |
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