用于输送芯片的天车、运行天车的系统与运行天车的方法 |
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| 申请号 | CN201610380684.1 | 申请日 | 2016-06-01 | 公开(公告)号 | CN106941089A | 公开(公告)日 | 2017-07-11 |
| 申请人 | 美光科技公司; | 发明人 | 陈灿议; 陈佑昆; | ||||
| 摘要 | 本 发明 公开了一种用于输送芯片的天车，包括运行装置与起吊装置，其中运行装置配置在平台的第一侧上并沿着一预定路径行进，平台吊挂在 天花 板上，且运行装置包括第一磁 力 单元。起吊装置，对应于运行装置的 位置 而沿着预定路径行进，其中起吊装置包括第二磁力单元。起吊装置通过第一磁力单元以及第二磁力单元之间产生的磁力而被吊挂在平台的第二侧。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种用于输送芯片的天车，其特征在于，包括： |
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| 说明书全文 | 用于输送芯片的天车、运行天车的系统与运行天车的方法技术领域背景技术[0002] 随着半导体工业的发展，特别是在超大型集成电路(ULSI)的设计和发展，为了满足高密度集成电路设计要求，器件尺寸必须微缩到纳米等级，因此，通常包含许多工艺步骤，用来制造所需的集成电路，如蚀刻，研磨，扩散和沉积工艺。也就是说，制造过程从开始到结束，同一批次的芯片可被重复的从一个工艺设备被运输到另一个工艺设备进行处理。 [0003] 请参考图1，图1为目前已知使用于半导体工厂的轨道天车系统。一般来说，芯片在半导体厂10中会经过多种的工艺设备12，例如：显影，蚀刻，研磨，扩散和沉积等设备。在半导体制造工艺中，芯片将被放置于合适的容器中，例如前开式芯片盒(front open united pods,FOUPs)，并通过天车的运送，使其反复的传输在各种工艺设备12的载入端14之间。但是，受到天车18只能沿着高架轨道16移动的限制，芯片的运送往往相当费时。例如，无论工艺设备间的距离有多远，天车18只能沿着位工艺设备上方的轨道路径20移动。 [0004] 图2是另一个已知的轨道天车系统。如图2所示，由于工艺设备偶尔会因为工艺的更新而被重新配置位置。在重新配置后，某些工艺设备，例如工艺设备12a，仍会维持在原位，而部份工艺设备，例如：工艺设备12b，将被加入半导体厂10中或被重新设置到新的位置。另外，为了让前开式芯片盒(front open united pods,FOUPs)可以顺利的传输到变更过位置的工艺设备12a与12b的载入端14a与14b，高架轨道16a与16b也必须根据新的载入端14a与14b的位置，被新增或是从原来的位置移除。但是，当采用上方轨道来导引天车到载入端14b时，即使只有一台工艺设备12b被导入或是变动，轨道16b下方的所有工艺设备12b都必须停止运作一段很长的时间。因此，生产速率将因为工艺设备12b的停机而下降。换句话说，会对生产链的管理产生不良的影响。 发明内容[0005] 有鉴于此，本发明提供了一种改良的用于输送芯片的天车、运行天车的系统与运行天车的方法 [0006] 根据本发明一实施例所提供的一种用于输送芯片的天车，包括运行装置与起吊装置，其中运行装置是配置在平台的第一侧上并沿着预定路径行进，平台是吊挂在天花板上，而起吊装置，是对应于运行装置的位置而沿着前述预定路径行进。运行装置与起吊装置各自包含磁铁，因此起吊装置可以通过磁铁间的磁力而被吊挂在天花板上。 [0007] 根据本发明另一个实施例提供的一种运行天车的方法，包含以下步骤：通过路径规划模块以产生一预定路径，传递包括所述预定路径的资讯到运行装置，在天花板的一侧沿着预定路径移动运行装置，在移动运行装置的过程中，同时移动起吊装置，使其根据运行装置的位置而沿着预定路径移动。由于运行装置与起吊装置之间各自包含一磁铁，当起吊装置移动时，可以通过磁铁间的磁力将起吊装置吊挂在天花板上。 [0008] 根据本发明又另一个实施例所提供的一种运行天车的系统，包含用来产生一预定路径的手段、用来传递包括所述预定路径的信息的另一手段与可用来接受包括所述预定路径的信息的至少一个天车。天车可以进一步包含运行装置与起吊装置，其中运行装置配置在天花板的一侧且沿着所述预定路径行进，而起吊装置则对应于运行装置的位置，而沿着所述预定路径行进，其中运行装置与起吊装置的间各自包含一磁铁，当起吊装置移动时，可以通过磁铁间的磁力，将起吊装置吊挂在天花板上。 [0009] 由于轨道并非本发明天车运行的必要器件，且即使半导体厂内没有安装轨道，天车还是可以运行在天花板的任意位置。相较于已知的轨道引导的系统，本发明提供的天车可以通过较弹性与有效率的方式运行。另外，在移动工艺设备进出半导体厂房的过程中，不需要停止任何邻近新导入或即将被移除的工艺设备周边的工艺设备。因此，采用本发明所提供的天车、运行天车之的系统与运行天车之的方法，在设备更新过程中，半导体器件的生产速率不会产生显著影响。 [0010] 对本领域技术人员而言，可以轻易的从本发明的附图、描述与权利要求范围来了解本发明的其他技术优点。另外，对于以上详载的多项具体技术优点，本发明所提供的各不同实施例可以包括其全部或部份，或甚至不包括任何上述的具体技术优点。 [0011] 通过下文对于本发明各实施例的详细描述，并参考其附图后，本领域的技术人员可轻易了解本发明的目的。 附图说明[0012] 图1说明了一般目前半导体代工厂中所使用的轨道导引天车系统； [0013] 图2说明了一般目前半导体代工厂中所使用的另一种轨道导引天车系统； [0014] 图3是根据本发明一实施例，说明了使用于半导体代工厂中的天车的细部构造； [0016] 图5是根据本发明一实施例，说明了天车在抬升或下降一用于装载芯片的容器的运作方式； [0017] 图6是根据本发明一实施例，说明了使用于控制一天车移动的管理模块的内部器件； [0018] 图7是根据本发明一实施例，说明了天车传输用于装载芯片的容器的运作方式； [0019] 图8是根据本发明一实施例的流程图，说明了管理天车移动的管理模块的运作方式。 [0020] 其中，附图标记说明如下： [0021] 10 半导体厂 12 工艺设备 [0022] 12a 工艺设备 12b 工艺设备 [0023] 14 载入端 14a 载入端 [0024] 14b 载入端 16 高架轨道 [0025] 16a 高架轨道 18 天车 [0026] 20 轨道路径 [0027] 100 天车 120 驱动模块 [0028] 200 运行装置 202 主体 [0029] 204 机动轮 206 稳定轮 [0030] 208 磁场产生装置 208a 空心腔室 [0031] 208b 金属线 208c 磁芯 [0034] 218 基准标记 220 电池 [0035] 300 起吊装置 302 主体 [0036] 304 辅助轮 306 磁场产生装置 [0037] 310 起吊机 312 升降平台 [0038] 314 夹盘 316 物件 [0039] 320 位置传感器件 [0040] 400 平台 402 支撑柱 [0041] 404 天花板 [0042] 500 工艺设备 502 载入端 [0043] 504 识别信号发送器 [0044] 600 工作区间 608 管理模块 [0045] 610 格栅 612 单元 [0046] 614 路径 614a 当前区段 [0047] 614b 当前区段 614c 当前区段 [0048] 620 资源调度模块 622 路径规划模块 [0049] 624 区段预约模块 626 处理器 [0050] 628 存储器 630 通讯界面模块 [0051] 802 步骤 804 步骤 [0052] 806 步骤 808 步骤 [0053] 810 步骤 812 步骤 [0054] 814 步骤 816 步骤 [0055] 818 步骤 具体实施方式[0056] 通过参考附图所呈现的各种实施例，下文将进一步完整说明本发明。需注意的是，此发明可以不同形式呈现，且不限于下文所提供的各实施例。相反的，下文中所提供的实施例是用来完整且详尽的提供本发明，使本领域技术人员了解本发明所涵盖的范围。在附图中，为了清楚起见，除了有明确指示外，各器件与区域的尺寸与相对尺寸非根据实际比例绘示。 [0057] 可以了解的是，虽然词语中第一、第二、第三等在此可以用来描述各种组成、器件、区域、层和/或部分，但是这些组成、器件、区域、层和/或部分不应受这些词语限制。这些词语只是用来区分一个组成、器件、区域、层和/或部分与另一个组成、器件、区域、层和/或部分。本文词语中所使用的第一、第二与其他数字词语并不意味着顺序或序列，除非本文有明确限定。因此，一个第一组成、器件、区域、层和/或部分可以是一个第二组成、器件、区域、层和/或部分，而不悖离本实施例的教导。 [0058] 本文所使用的术语是以描述特定实施例为目的，且不应被解读为限制性用语。如本文所使用的单数词语“一个”与“所述”，除非内文明确限定，其也可以包含多数的形式。术语“包含”和/或“包括”都是包括，因此其所指定的特征、整数、步骤、操作、组成和/或器件不排除存在或添加一或多个其他特征、整数、步骤、操作、组成、器件和/或群组。下文中所描述的方法步骤、工艺与操作不应被解释成必须根据讨论或说明的特定顺序才有效果，除非文中明确说明其顺序的效果。实施时采用新增或替换步骤是可以理解的。 [0059] 除非另有明确定义，文中所使用的词语(包含技术与科学术语)的意义是相同于本领域技术人员所能理解的意义。另外，对于一般的术语，如同一般字典中所定义的术语，其应当以相符于相关技艺与本发明所提供的意义进行解释，而不会以理想化或过于正式的方式去解释。 [0060] 在以下段落中，提供一个天车的结构、一个具有天车的传输系统与一个操作天车的方法的细节。 [0061] 图3是根据本发明一实施例，说明了使用于半导体代工厂中的天车的细部构造。根据图3，半导体代工厂是采用了在平台400上移动的天车100，天车100可用于传输容器，例如：前开式芯片盒(front opening unified pod,FOUP)，使容器移动到不同位置。根据本发明一实施例，天车100是一个无人搬运车(automated guided vehicle,AGV)，能在不需要轨道的情况下，在工艺设备的上方移动，因此，相较于目前已知的使用上方轨道导引传输系统的天车，本发明的天车100可以更自由的在平台400上移动。更具体的说，平台400是通过多个支撑柱402吊挂在天花板404上，每一个支撑柱402可以包含一个刚性柱体或可伸缩的柱体，如此平台400与天花板404的间的高度将可以由所述支撑柱402的长度来决定。为了让所述天车100自由的在空间中移动，支撑柱402的长度必须够长，优选的长度是比所述天车100上部部件的高度要长。 [0062] 具体的说，天车100的器件可以包含至少一个运行装置200与一个起吊装置300。运行装置200与起吊装置300可以各自安装磁铁，例如：一个磁场产生装置208与306，其可以在正常或特定情况下产生磁场。换句话说，磁场产生装置208与306可以是永久磁铁或暂时磁铁，例如：电磁铁。通过适当的控制磁场，由磁场所产生磁力便可被用来支撑所述起吊装置300，使所述起吊装置300可以在所述平台400上运行。 [0063] 在本发明一实施例中，运行装置200可沿着一预定路径在一平台400上方移动，运行装置200的器件可包括主体202、至少一对枢接于主体202上且可旋转的机动轮204、至少一对位于主体202端部的稳定轮206(选择性设置)、一安置于主体202下部的磁场产生装置208与一用于监视和/或控制运行装置200和天车100运行的控制模块210，另外，运行装置 200的主体202可以另包含各种感测器，例如：位置传感器件216与障碍传感器件212，这些感测器可以用来确定所述运行装置200的位置与侦测所述运行装置200附近的障碍物。 [0064] 机动轮204可以用来驱动运行装置200。举例来说，根据一实施例，机动轮204可以依第一方向旋转，驱动运行装置200向前移动。另外，机动轮204也可以依第二方向旋转，驱动运行装置200向后移动。另一方面，在所示的实施例中，可以通过将机动轮204各自以不同方向或不同转速旋转，以使得运行装置200转向。 [0065] 在附图中，位置传感器件216可以是一个或多个感测器、传感器或其他器件，可用于适当的确定运行装置200位置的各种方式，例如，在一个具体实施例中，在运输系统有关的工作场所中，涵盖整个或部分工作场所，包含多个可在二维网格上标记的基准标记218。在此实施例中，位置传感器件216可以包含一照相机与适当的影像和/或视频处理器件，例如一个适当编程的数码信号处理器，以使位置传感器件216可以在镜头可视范围内侦测基准标记218，每当位置传感器件216更新基准标记218的位置资讯时，控制模块210可以储存位置传感器件216所测得的位置资讯。因此，当运行装置200在工作区间内移动时，位置传感器件216可以利用基准标记218来精准标示运行装置200的位置，以及做为移动的辅助。 [0066] 障碍传感器件212可代表一个或多个感测器，其可以侦测运行装置200一个或多个行进方向上的物体，以利运行装置200移动，障碍传感器件212可以利用任何适当的器件或技术，包含光学的、雷达的、声纳的、压力感测的和/或其他可以适当侦测位于运行装置200行进方向上的物体位置的侦测装置种类，在实施例中，障碍传感器件212可以传递其所侦测到物体的信息给控制模块210，如此一来，控制模块210可以辨识障碍物存在并采取适当的补救措施，防止运行装置200与障碍物及/或其他物体相撞。 [0067] 障碍传感器件212也可以侦测相邻于运行装置200的其他运行装置所传送的信号。举例来说，根据一实施例，一或多个运行装置200可以包含一识别信号发送器214以传送一驱动识别信号。通过侦测驱动识别信号，其他运行装置200可据以判断出传送此信号的物体实际上是一运行装置200，识别信号发送器214可以传递红外线、紫外线、音频、可见光、无线电波和/或其他可适当指示接收端其传送装置为运行装置200的信号。 [0068] 另外，在特定的实施例中，所述障碍传感器件212也能够侦测其他运行装置200所传递的状态资讯的信号。举例来说，根据一实施例，由识别信号发送器214所传递的识别信号时也能够包含与运行装置200相关的状态资讯，这个状态资讯可以包含传递运行装置200的位置、速度、方向与剎车能力，但不限于此。根据本发明另一实施例，当运行装置200紧邻于其他运行装置而运行时，运行装置200可以使用从其他运行装置所传递出的状态资讯来避免互相碰撞。 [0069] 安装在运行装置200的控制模块210可以用来监视和/或控制机动轮204的运作，控制模块210也可以接收传感器的信息，例如位置传感器件216与障碍传感器件212的信息，并根据这些信息调整驱动模块120的运作和/或运行装置200的其他器件。另外，根据本发明另一实施例，运行装置200可用来与运输系统的管理装置进行沟通，且控制模块210也可以用来接收传递到运行装置200的指令，并利用运行装置200上的适当通讯器件回传信息到管理装置。控制模块210可以包括任何可适当提供上述功能的硬体和/或软体，在实施例中，控制模块210包括一通用的微处理器，可编程以提供上述功能。 [0070] 除了上述提供的运行装置200外，天车100也可以包含起吊装置300，起吊装置300可在平台400的另一侧移动，且其移动路径是对应于运行装置200的移动路径。具体的说，虽然起吊装置300与相对应的运行装置200被平台400分开，但是起吊装置300在移动时仍可以吊挂在平台400上，其原因在于所述磁场产生装置306与208分别安装于起吊装置300与运行装置200内，且磁场产生装置306与208可以产生足够的磁力来支撑起吊装置300。 [0071] 根据图3所示结构的实施例中，起吊装置300可以包含至少一装有磁场产生装置306的主体302、连接于主体302的一对辅助轮304、可侦测位于起吊装置300下方工艺设备的位置的一位置传感器件320与可以升高或降低一升降平台312的一起吊机310。在传输过程中，一夹盘314连接于升降平台上，可用来抓住一物件316上方的一凸缘，例如：前开式芯片盒(front opening unified pod,FOUP)，通过控制所述天车100的移动，将物件316传输到一预定位置，例如：特定工艺设备的载入端，一旦物件316到达特定工艺设备的载入端的上方，所述升降平台312可以下降直到物件316放置于载入端上。之后，可以取出存放于物件 316内的所述半导体芯片，使其进入相应工艺设备的工艺。 [0072] 图4是根据本发明一实施例，说明了安装于一天车上的磁场产生装置的细部构造。如图4所示，安装于运行装置200上的磁场产生装置208是一个螺线管，也称为电磁铁，其包含一空心腔室208a、缠绕于空心腔室208a周边的多匝金属线208b与放置于空心腔室208a的空腔中的选择性设置的磁芯208c。金属线208b的两端可与一电池220电性连接，以在金属线 208b的两端产生电位差。通过控制在金属线208b内的电流大小，可以改变磁场产生装置208所产生的磁场与磁力。通过这种方法，装有磁场产生装置208的运行装置200可以吸引任何被磁化的物体。除此的外，磁芯208c可由铁磁或次铁磁材料制成，其可以集中磁通量，因此可以产生较强的磁场。虽然上述所提供的磁场产生装置208包含一些多匝金属线208b与磁芯208c，根据本发明另一个实施例中，螺线管208中的磁芯208c是可以被省略的。也就是说，磁芯208c是螺线管208的非必要的器件。另外，图3所示起吊装置300中的磁场产生装置306的结构可以与图4中磁场产生装置208的结构相同。也就是说，起吊装置300中的磁场产生装置306也可以是螺线管，其具有空心腔体、金属线与选择性设置的磁芯。 [0073] 图5是根据本发明一实施例，说明了天车用于上升或下降一装载芯片的容器的运作方式。运行装置200与起吊装置300可以沿着一预定路径移动，直到到达预定的终点位置。这时，天车100的位置可以利用位置传感器件216与基准标记218来确定。另外，为了让物件 316可以被精确的放置在工艺机台的载入端502上，可根据起吊装置300的位置传感器件320所传送的位置资讯进一步调整天车100的位置。举例来说，位置传感器件320可以侦测安装于工艺设备500上一识别信号发送器504的位置。在某一情况下，当位置传感器件320与识别信号发送器504间的距离小于一预定阀值时，物件316将会被降低，直到到达所述工艺设备 500的载入端502。在另外一个情况下，当位置传感器件320与识别信号发送器504的距离大于一预定阀值时，天车100将慢慢的从它的原始位置移开，直到位置传感器件320与识别信号发送器504间的距离小于或等于预定阀值。因此，由于天车100在运输期间并非由任何导轨导引，本发明相较于目前已知的导轨导引的运输系统，天车100可以通过较自由与较弹性的方式在平台400上移动。 [0074] 图6是根据本发明一实施例，说明了使用于控制天车100移动的管理模块器件的运作细节，根据图6结构中的实施例，管理模块608可以产生指令到对应的天车100。当天车100收到从管理模块608传来的指令时，便会执行所述指令所指定的任务。 [0075] 具体而言，管理模块608可以包含一资源调度模块620、一路径规划模块622、一区段预约模块624、一通讯界面模块630、一处理器626与一存储器628。管理模块608可以代表一单一器件、位于工作场所中央位置的多个器件或分散于工作场所的多个器件。举例来说，管理模块608可以在运行装置200的间传送信息，并协调工作区间内的多个运行装置200的移动。一般来说，管理模块608可以包含任何适当的软及/或硬体的组合，以提供上述的功能。 [0076] 处理器626可以执行来自管理模块608与功能相关联的指令，处理器626可以包含一或多个通用计算机、微处理器或其他可以沟通电信号的运算装置，处理器626可包含一个或多个特定应用的集成电路(application-specific integrated circuits,ASIC)、可编程的逻辑栅器件(field-programmable gate arrays,FPGAs)、数码信号处理器(digital signal processors,DSPs)与任何其他适当的特定或通用目的的处理器。 [0077] 在运转期间，存储器628可以储存处理器指令、请求或预约信息、传输系统中的各种状态资讯及/或任何其他适当值、参数或可被管理模块608使用的信息，存储器628可以代表任何资料储存的集合与排列，包括挥发性或非挥发性存储器、本地或远端装置等。存储器628可包含随机存取存储器(random access memory,RAM)、唯读存储器(read only memory,ROM)装置、磁性储存装置(magnetic storage devices)、光学储存装置(optical storage devices)或任何其他适当的资料储存装置，但不以此为限。 [0078] 资源调度模块620可处理接收到的请求，并产生一或多个需经由运输系统中的器件所完成的指定任务。资源调度模块620也可以选择由一个或多个适当器件来完成指定任务，或者使用沟通介面模块630以将指定任务传送给相关器件。另外，资源调度模块620也可以负责产生与各种管理操作相关的指定任务，例如：促使运行装置200对电池充电或使电池被更换、指示闲置的运行装置200停留在预期天车运行区域之外或者停留在接近未来任务的可能位置及/或指引选定的运行装置200前往指定的维护站进行修理或维护。 [0079] 路径规划模块622可以接收来自于各个运行装置200的路径请求，当请求中的运行装置200执行任务时，这些路径请求会指示出一或多个与天车运行任务相关的终点位置。在收到一路径请求后，路径规划模块622根据路径请求中所指示的一或多个终点位置而产生一通过这些终点位置的路径。路径规划模块622可以使用任何适当演算法来产生适当路径，其中包含使用任何适当参数、因素及/或决定适当路经的考量。在产生一适当路径后，路径规划模块622会使用沟通介面模块630，将含有所述适当路径的反馈信息传送给请求的运行装置200。 [0080] 当区段预约模块624收到来自运行装置200的预约请求，且运行装置200正试图沿着路径规划模块622所产生的预定路径移动时，这些预约请求会要求使用工作区间的特定部分(即这里所指的“区段”)，使得请求中的运行装置200在行经预约区段时不会和其他运行装置200产生碰撞。在收到预约请求后，区段预约模块624会通过沟通介面模块630向请求中的运行装置200传送允许或拒绝预约请求的回馈信息。上述过程将在以下说明中详细说明。 [0081] 所述沟通介面模块630使得资讯沟通变得容易。例如，在管理模块与运输系统的其他器件之间的沟通，其中包含预约反应、预约请求、路径请求、路径反应与任务指派。这些预约反应、预约请求、路径请求、路径反应与任务指派可以代表所述管理模块608能力范围内的任何适当形式的通讯，与可以包含任何适当的资讯，根据所述管理模块608的构造，通过有线与无线信号沟通，沟通介面模块630可以促进管理模块608与传输系统的各种器件间的信号沟通，在特定的实施例中，所述管理模块608可以使用特定通讯协定沟通，如：802.11，蓝牙或红外数据协会(IrDA)标准。 [0082] 一般来说，资源调度模块620、路径规划模块622的区段预约模块624与沟通介面模块630可以各自代表用来适当提供上述功能的任何适当的软硬体。另外，如上述所提到，在特定实施例中，管理模块608可以是多个不同且分离的器件，且资源调度模块620、路径规划模块622、区段预约模块624与沟通介面模块630的任一或全部可以是与管理模块608中其他器件的器件。此外，任何两或多个所述资源调度模块620、路径规划模块622、区段预约模块624与沟通介面模块630可以共用相同的器件。举例来说，在特定的实施例中，资源调度模块 620、路径规划模块622、区段预约模块624可以是在处理器626上执行的电脑运算程序，而沟通介面模块630则包含一无线发送器、一无线接收器与一执行相关电脑运算的处理器626。 [0083] 请参考图7与图8。图7是根据本发明一实施例，说明了天车传输载有芯片的容器的运作方式。图8是一个流程图，详细说明根据本发明一实施例管理模块在管理天车移动的操作方式。图8流程图中说明的任何步骤，可以被合并、修正或适当的删除，并且也可以增加额外的步骤到图8的流程图中。另外，在不脱离本发明范围的情况下，上述步骤可以任何合适的顺序呈现。 [0084] 参考图7，在所示的一传输系统实施例中，工作区间600与包含多数个单元612的格栅610相关。其中，至少一天车100被配置在工作区间600中，通过导航由一单元612的中心向另一个单元的中心移动。但是，在本发明另一实施例中，天车100可以用任何适当的方式配置移动于格栅610间。而且，起始点、终点位置与天车100通过的任何在预定路径上的中间点，皆可以或不能代表单元612的中心点或隔栅610的任何其他部分。此外，虽然图7说明了一天车系统的格栅实施例，传输系统的其他实施例中，也可以采用一个任意形状与结构的无格栅工作区间。 [0085] 请参考图8。路由过程开始于步骤802，其中任务指派由管理模块608送出，并由运行装置200接收，任务指派指示一或多个与任务相关的终点位置，并且可以直接标示相关终点的位置、相对于特定器件的位置，或相对于工作区间600的特定部位的相对位置的资讯。任务指派也可以包含协助运行装置200完成指定任务所需的任何其他信息。 [0086] 在接收到任务指派后，运行装置200请求一个路径，通过该路径可以到达任务指派所标识的位置。如果任务指派指示多个位置，则请求可以到达第一个任务指派指示的位置的路径。在所示的实施例中，步骤804中，运行装置200可通过传递路径请求到路径规划模块622来请求一个路径。在特定的实施例中，路径请求可以包含一或多个终点位置与运行装置 200的目前位置或运行装置200的预期位置，其中运行装置200的预期位置是指当完成当前区段614a,614b与614c时，运行装置200的预期位置。 [0087] 在步骤806中，路径规划模块622接到路径请求时，路径规划模块622会产生一路径614。路径614是请求运行装置200由目前的位置到请求终点位置的路径。如上述所提到，路径规划模块622可以使用任何适当的技术来产生，可以选择或决定一个适当的路径614给请求的运行装置200。在步骤808中，路径规划模块622可以接着替请求中的运行装置200辨识路径614的资讯，做为路径反馈信息的一部分。 [0088] 在路径规划模块622传送指示预定路径614资讯后，此资讯由运行装置200接收。在特定实施例中，运行装置200可以储存这个资讯，做为后续导航到终点位置使用，例如运行装置200可以储存一区段614a或路径614的其他适当部分。在所示的实施例中，于步骤810中，运行装置200通过向区段预约模块624传送预约请求以保留区段614a，预约请求确认运行装置200正尝试预约区段614a，预约请求可以适当的基于运行装置200与区段预约模块624的组成与能力，以任何适当的方式指示所述相关区段614a。举例来说，在特定实施例中，预约请求可通过指示所述区段起始点与终点的座标、指定与运行装置200相对的方向与距离或包含请求区段可辨识的任何其他适当的资讯来指示所述相关区段。在运作过程中，可独立的或根据其他区段预约模块624取得的资讯辨识。 [0089] 区段预约模块624可以接收预约请求，并从预约请求中提取请求区段资讯，区段预约模块624接着会决定请求运行装置200是否可以预约此请求区段。 [0090] 在收到预约请求后，于步骤812中，区段预约模块624会尝试去预约所述请求区段给运行装置200。在特定实施例中，为了补偿运行装置200的位置误差或不确定性，可以利用区段预约模块624加以修正被请求的区段。举例来说，区段预约模块624在适当的情形下，可通过展开、平移及/或修正请求区段，以创造一更适合被运行装置200使用的修正区段。区段预约模块624可以接着提示请求运行装置200，告知运行装置200是否已成功预约所述区段。在特定实施例中，区段预约模块624可以通过传送一预约回馈信号给运行装置200，以通知运行装置200是否已成功预约所述区段。 [0091] 一旦运行装置200收到由所述区段预约模块624传来的预约信号，在步骤814中，运行装置200开始沿着所述路径的起始区段614a移动离开其原始位置。在步骤816中，运行装置200可判断未完成剩下的起始区段614a是否少于一个预定部分。因此，于步骤818中，在当前路径614上，由运行装置200决定是否有任何增加的区段需要执行。 [0092] 如果当前路径614内的区段614b与614c尚待完成，则运行装置200会尝试去预约下一个区段614b，并回到步骤810。如果运行装置200在成功预约下一个区段前便抵达了起始区段614a的末端，则运行装置200会停在起始区段614a的末端，并保持静止直到运行装置200成功预约下一个区段614b或取得一替代路径。如果在路径614上已没有任何待完成的区段，则运行装置200可通知资源调度模块620其已完成当前任务。 [0093] 由于轨道并非天车100与运行装置200运作的必要器件，本发明相较于目前已知的轨道导引系统，装载半导体芯片的容器316可以用更有弹性与效率的方式，在不同工艺设备间传递芯片。另外，在移入或移除工艺设备500的过程中，并不需要增加或移除轨道。因此，在工艺更新的过程中，新增或移除的工艺设备500之外的其他工艺设备仍可以正常运作，因此对半导体器件的生产速率不会有重大的影响。 [0094] 以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。 |
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