천정 주행차 시스템

천정 주행차 시스템{OVERHEAD TRAVELING VEHICLE SYSTEM}

본 발명은 물품을 일시적으로 보관하기 위한 스토커와 천정 주행차를 조합시킨 천정 주행차 시스템에 관한 것이다.

[특허문헌1] 일본 특허 제3067656호 공보

공보특허문헌1은 천정 주행차의 주행레일로부터 래크를 매달아서 물품을 일시 보관하는 것을 개시하고 있다. 그러나, 주행레일에 매달린 래크에서는 다수의 물품을 보관하는 것은 곤란하다. 그런데, 천정 주행차 시스템의 설치후에 생산설비를 증강하거나 설비의 가동율을 늘려서 생산능력을 증가시키는 경우가 있다. 이와 같은 경우, 물품의 보관능력의 증강도 필요하지만 생산설비의 증강 등에 남은 공간을 취하여 스토커를 증설하는 여지가 없는 경우가 많다. 그래서, 주행레일에 매달린 래크를 도입하는 것도 생각되지만 수용능력이 작는 것이 문제로 된다.

본 발명의 기본적 과제는 천정 주행차와의 사이에서 물품의 주고받음이 가능하고, 또한, 좁은 공간에 다수의 물품을 보관할 수 있는 스토커를 이용하여 천정 주행차 시스템의 물품보관능력을 향상시키는 것에 있다.

도 1은 본 발명의 실시예의 스토커(stocker)의 측면도이다.

도 2는 본 발명의 실시예의 스토커의 정면도이다.

도 3은 본 발명의 실시예에서 이용한 카세트의 저면도이다.

도 4는 본 발명의 실시예의 스토커에서의 승강대의 평면도이다.

도 5는 본 발명의 실시예의 스토커에서의 이송장치를 모식적으로 나타내는 측면도이다.

도 6은 본 발명의 실시예의 천정 주행차 시스템의 레이아웃을 나타내는 도면이다.

도 7은 본 발명의 변형예의 스토커를 나타내는 측면도이다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

2 … 스토커 3 … 프레임

4,5,6 … 지주 8 … 승강공간

10 … 보관공간 12 … 승강대

14 … 카세트 16 … 매달림 지지재

17,18 … 롤러 19 … 롤러

20 … 드럼 22 … 승강모터

24 … 가이드롤러 26 … 가이드부재

28 … 롤러 29 … 종동롤러

30 … 지지체 32 … 개구

34 … 캐스터(caster) 차륜 40 … 척

42 … 승강대 44~46 … 오목부

48 … 돌조(突條) 50 … 덮개

51 … 이송장치 52,54 … 선형 가이드

56 … 이송용 모터 58 … 타이밍 벨트

60,74 … 설치판 62,64 … 풀리

66,68 … 타이밍 벨트 70,72 … 고정부

80 … 이송부 82 … 걸어맞춤 돌기

84,86 … 피가이드부 102 … 천정 주행차 시스템

104 … 메인 루트 106 … 베이(bay) 루트

108 … 분기(分岐) 기 109 … 바이패스 루트

110 … 천정 주행차 111~114 … 처리장치

116 … 천정 주행차 컨트롤러 118 … 맵

120 … 입출력 122 … 스테이션

본 발명의 천정 주행차 시스템은 주행레일을 따라서 천정 주행차를 주행시켜 처리장치 간에 물품을 반송하도록 한 시스템에 있어서, 물품을 이송하기 위한 이송장치를 설치한 승강대의 승강공간과, 물품을 보관하기 위한 선반을 연직방향으로 복수개 설치한 보관공간을 평면에서 바라봐서 천정주행차의 주행방향과 직교방향으로 나란히 설치한 스토커를 천정 주행차와의 사이에서 물품을 주고받을 수 있도록배치한 것을 특징으로 한다.

바람직하게는 상기 스토커를, 물품의 반송처로되는 처리장치 중에서 상대적으로 처리시간이 짧은 처리장치의 근방에 배치한다. 바람직하게는 상대적으로 처리시간이 짧은 처리장치의 상류측의 근방에 스토커를 배치한다.

특히 바람직하게는 상기 스토커를 처리장치와 처리장치의 간극에 배치한다. 또한, 바람직하게는 스토커는 저부에 차륜 등을 설치하여 이동가능하게 하고, 물품의 보관능력이 부족한 위치에 적당하게 설치할 수 있도록 한다.

바람직하게는 상기 승강공간을 주행레일의 바로밑에 설치한다.

바람직하게는 상기 승강공간의 상부에, 천정 주행차와 승강대 사이에 물품을 직접 이송하기 위한 개구를 형성한다. 또한, 바람직하게는 상기 승강대에 보관공간과의 사이에서 물품을 이송하기 위한 이송장치를 설치하여 이송장치에 천정 주행차로부터 하역되는 물품의 저면에 걸어맞추어서 위치결정하기 위한 걸어맞춤부재를 설치한다.

바람직하게는 스토커의 길이방향이 천정 주행차의 주행방향과 직교방향이다.

바람직하게는 상기 승강대의 좌우에 천정 주행차로부터 하역되는 물품의 양측면을 가이드하기 위한 가이드부재를 설치한다.

바람직하게는 상기 가이드부재의 하방에 물품의 하중을 지지하기 위한 롤러를 설치함과 아울러 상기 보관공간의 각 선반에도 물품의 하중을 지지하기 위한 종동롤러를 설치한다.

또한, 바람직하게는 상기 승강대의 가이드부재 간의 중앙부에 상기 이송장치를 설치한다.

바람직하게는, 상기 이송장치에는 승강대에 고정한 고정가이드, 이 고정가이드에 대해서 전후진하는 이동가이드, 및 이 이동가이드에 대해서 전후진하는 상기 걸어맞춤부재를 설치한다. 고정가이드나 이동가이드에는 선형 가이드가 바람직하다. 특히, 고정가이드 상에 이동가이드를 배치하고, 이동가이드 상에 걸어맞춤부재를 배치하면 걸어맞춤부재의 하중을 하측의 이동가이드로 받고, 이동가이드의 하중을 하측의 고정가이드로 받을 수 있다. 걸어맞춤부재는 물품의 저면을 걸어맞춰서 전후진시키는 것이 가능하면 좋고, 물품을 안정하게 얹어놓을 수 있을 만큼의 면적을 필요로 하지 않는다.

바람직하게는 엔드레스(endless)의 제1전동부재를 모터로 구동하고, 이 제1전동부재에 상기 이동가이드를 설치하여 상기 고정가이드에 대해서 전후진시키고: 또한, 일단을 승강대에 고정하고, 중간을 이동가이드의 선단에 설치한 안내차로 안내하고, 타단을 상기 걸어맞춤부재에 고정한 제2전동부재와; 일단을 승강대에 고정하고, 중간을 이동가이드의 기단에 설치한 안내차로 안내하고, 타단을 상기 걸어맞춤부재에 고정한 제3전동부재를 설치하여 상기 걸어맞춤부재를 이동가이드에 대해서 전후진시키도록 이송장치를 구성한다. 여기서, 제1전동부재는 고정가이드와 평행하게 승강대 상에 배치하는 것이 바람직하다. 제2전동부재나 제3전동부재는, 예컨대, 이동가이드와 평행하게 배치하는 것이 바람직하다. 또한, 제1~제3전동부재에는, 예컨대, 타이밍벨트 등의 벨트나 체인 등을 이용한다.

도 1~도 7에 실시예와 그 변형을 나타내고, 도 1~도 5에 천정 주행차 시스템에 이용하는 스토커(2)를 나타낸다. 도 6에 천정 주행차 시스템(102)의 레이아웃을 나타내고, 도 7에 변형예의 스토커(2')를 나타낸다. 이들 도면에 있어서 3은 그 프레임이고, 4,5,6은 지주이고, 예컨대, 좌우 각 1쌍 설치되어 있다. 8은 승강공간이고, 10은 보관공간이며, 복수의 선반을 상하에 1열로 배치한 것이다. 승강공간(8)은 보관공간(10)을 따라서 형성되어 보관공간(10)을 따라서 승강대(12)를 승강시킨다. 또한, 14는 카세트이고, 여기서는 반도체의 기판 등을 수용한 카세트로 하여 스토커(2)에서 보관하는 물품의 예이다. 또한, 스토커(2)는, 예컨대, 클린룸 내에 배치되어 천정 주행차 시스템에 대한 물품의 보관용 버퍼로서 이용한다.

스토커(2)는 1열의 선반과, 주행하는 일없이 선반을 따라서 승강하는 승강대 (12)를 구비하고, 승강대(12)[승강공간(8)]과 선반[보관공간(10)]이 평면에서 바라봐서 천정 주행차의 주행방향과 직교방향으로 직선 상에 나란히 설치되어 있다. 또한, 스토커(2)의 길이방향이 천정 주행차의 주행방향과 직교방향으로 되어 있다. 그 결과, 단수방향의 폭을 억제할 수 있고, 주행레일을 따라서 배치되는 처리장치와 처리장치 사이의 좁은 공간에 배치할 수 있도록 되어 있다.

또한, 스토커(2)는 주행레일의 바로밑에 승강공간(8)이 배치되도록 되어 있고, 천정 주행차에 설치되어 있는 호이스트(hoist)에 의해 카세트를 승강시킴으로써 천정 주행차는 승강공간(8)과의 사이에서 카세트를 이송할 수 있다.

승강대(12)의 예컨대, 4코너 또는 3코너에 벨트나 로프 등의 매달림 지지재 (16)의 단부를 고정하고, 롤러(17,18,19)에 의해 매달림 지지재(16)를 안내하고, 승강공간(8)의 하부에 설치한 드럼(20)에 감음으로써 승강대(2)를 승강시킨다. 이안에서 롤러(19)는 드럼(20)으로의 매달림 지지재(16)의 권회각이 지주(4) 부근 매달림 지지재(16)와 지주(5) 부근의 매달림 지지재(16)에서 동일하게 되도록 하기 위한 롤러이다. 22는 드럼(20)을 회전시키기 위한 승강모터이며, 예컨대, 4개의 매달림 지지재에 대해서 공통의 모터이다(도 2).

이 명세서에서는 도 1의 좌우의 방향을 전후방향이라 칭하고, 특히, 승강공간(8)측을 전방측, 보관공간(10)측을 후방측으로 말하는 경우가 있다. 또한, 도 2의 좌우방향을 단지 좌우방향으로 칭하고, 이것은 수평면 내에서 스토커(2)에서의 전후방향에 직각인 방향이다. 승강대(12)의 4코너에 설치된 매달림 지지재(16)는 좌우 1쌍의 드럼(20,20)에 의해 감겨지고, 도 1에 나타내는 바와 같이, 1개의 드럼 (20)으로 전후 1쌍의 매달림 지지재(16,16)를 감는다. 또한, 드럼(20,20)을 구동하는 승강모터(22)는 단일의 모터이고, 좌우의 드럼(20,20)의 회전수는 공통의 승강모터(22)의 회전수로 정하여 공통이고, 또한, 전후 1쌍의 매달림 지지재(16)는 동일 드럼(20)에 공통의 권회각으로 감겨지므로 4개의 매달림 지지재(16)는 모두 권회길이나 풀기길이가 공통으로 되고, 또한, 감기의 상태가 1겹침째로부터 2겹침째로 변화하는 타이밍 등도 동일하게 됨으로써 기계적인 기구로 승강대(12)가 전후 좌우 어느 한쪽으로도 경사지는 것을 방지할 수 있다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 승강대(12)의 예컨대, 4코너에 가이드롤러(24)를 설치하고, 지주(4,5) 등을 가이드레일로서 이용하여 승강대(12)의 좌우방향 위치를 규제한다. 승강대(12)의 전후방향위치를 정확하게 규제할 필요가 있을 경우, 예컨대, 지주(4,5)의 다른 면에도 승강대(12)로부터 가이드롤러를 접촉시켜서 안내하면 좋다. 26,26은 승강대(12)의 좌우에 설치한 가이드부재이고, 그 재질에는 윤활성이 있는 지르콘이나 폴리우레탄 또는 테플론(등록상표) 등의 수지가 바람직하다. 28은 가이드롤러이고, 여기서는 종동롤러로 하지만 동력롤러로 하여도 좋고, 가이드부재(26)의 내측의 하방측면에 열형상으로 배치한다. 30은 보관공간(10)측에서의 지지체이고, 지주(5,6)에 의해 지지되며 1개의 선반위치의 좌우에 배치되고, 각 지지체(30)의 내측의 측면에 마찬가지로 종동롤러(29)를 1열로 배열한다.

도 1,도 2에 나타내는 바와 같이, 승강공간(8)의 상부에는 이송구로서의 개구(32)를 형성하여 천정 주행차와 승강대(12) 사이에서 카세트(14)를 직접 이송할 수 있도록 한다. 도 1의 40은 천정 주행차측의 척이고, 42는 척(40)을 지지한 승강대이다. 이와 같이 스토커(2)에서는 승강공간(8)의 상부를 뚫어서 개구(32)로 하고, 보관공간(10)측의 천정부는 예컨대, 덮개를 하고 있다. 또한, 스토커(2)의 저부에는 예컨대, 캐스터 차륜(34)을 설치하여 스토커(2)가 적절한 위치로 이동할 수 있도록 함으로써 스토커(2)는 카세트(14)의 보관능력이 부족한 장소에 적절하게 이동하여 배치할 수 있다. 또한, 이 경우에 스토커(2)를 전체로서 공간절약화하게 하여 처리장치와 처리장치의 간극에서 천정 주행차의 주행레일의 하부 등의 한정된 좁은 공간에 스토커(2)를 설치할 수 있도록 한다.

도 3에 카세트(14)의 저면을 나타낸다. 카세트(14)의 저부에는 예컨대, 3개의 오목부(44~46)가 설치되고, 48은 좌우 1쌍의 돌조이고, 카세트(14)의 앞면에는 개폐가능한 덮개(50)가 설치되어 있다. 또한, 실시예에서는 카세트(14)의 좌우방향 중심의 오목부(44)에 이송장치에 설치한 걸어맞춤 돌기를 걸어맞추게 하고, 돌조(48,48)의 양외측의 평탄부를 승강대(12)의 롤러(28)와 선반측의 종동롤러(29)로 지지함으로써 카세트(14)의 중량은 승강대(12) 상에서는 대부분 롤러(28)에 의해 지지되고, 보관공간(10) 내에서는 종동롤러(29)에 의해 지지된다. 또한, 승강대에서의 이송장치는 롤러(28)와는 별개로 설치되어 있으므로 이송장치측에서는 카세트 (14)의 중량을 지지할 필요가 없고, 이송장치를 경량화할 수 있다.

카세트(14)를 천정 주행차로부터 하역할 때에는 승강대(12)의 양측의 가이드부재(26,26)에 의해 카세트(14)를 좌우방향으로 안내하여 오목부(44)에 이송장치측의 걸어맞춤 돌기를 걸어맞춤으로써 좌우의 위치결정을 행한다. 롤러(28)의 내측의 하방에 카세트(14)의 돌조(48)가 돌출하고, 카세트(14)의 좌우 양단이 가이드부재 (26)에 의해 규제되고, 롤러(28)의 내측에는 돌조(48)가 있으므로 카세트(14)는 롤러(28) 상에 안정하게 지지된다. 또한, 이점은 선반의 지지체(30)측에서도 마찬가지이고, 지지체(30)의 높이는 종동롤러(29)의 상면보다 약간 높고, 지지체(30)와 카세트(14)의 돌조(48)로 카세트(14)의 탈락을 방지한다.

도 4,도 5에 승강대(12)에 설치한 이송장치(51)를 나타낸다. 승강대(12)의 바닥판이나 프레임 등에 선형 가이드(직동가이드)(52)를 고정한다. 선형 가이드 (52) 상에 별도의 선형 가이드(54)를 상하로 겹치도록 배치하고, 하측의 선형 가이드(52)로 상측의 선형 가이드(54)의 전후진을 안내한다. 56은 이송용 모터이고, 타이밍벨트(58)를 구동하고, 상측의 선형 가이드(54)는 설치판(60)에 의해 타이밍벨트(58)에 고정되어 있다. 이상과 같이 하여 모터(56)를 구동하면 선형 가이드(54)는 선형 가이드(52) 상을 전후진한다.

상측의 선형 가이드(54)의 양단에 풀리(62,64)를 설치하고, 풀리(62)로 타이밍벨트(66)를, 풀리(64)로 타이밍벨트(68)를 안내하고, 이들 타이밍벨트(66,68)의 단부를 승강대(12)의 바닥판이나 프레임 등에 고정부(70,72)로 고정한다. 타이밍벨트(66,68)의 타단은 이송부(80)에 연결한 설치판(74)에 고정한다. 또한, 이송부 (80)의 상면에는 2개의 선형 가이드(52,54)와 상하방향으로 겹치는 위치에 걸어맞춤 돌기(82)를 설치하여 카세트(14)의 저면의 오목부(44)에 걸어맞춘다. 또한, 도 5의 84,86은 선형 가이드(52,54)에 의해 가이드되어서 직선이동하는 피가이드부이며, 상측의 선형 가이드를 피가이드부에서 안내하고, 이송부(80)를 피가이드부(86)에서 안내한다. 타이밍벨트(58,66,68)를 대신해서 체인을 이용하여도 좋지만 먼지발생이 증가하여 바람직하지 않다.

이송부(80)는 걸어맞춤 돌기(82)에 의해 천정 주행차로부터 하역된 카세트 (14)를 좌우방향에 위치결정함과 아울러 타이밍벨트(48,66,68)를 동작시켜서 이송할 때에 카세트(14)를 전후진시키는 것이 가능하면 좋다. 또한, 카세트(14)로부터의 하중은 롤러(28,29)에 의해 지지되므로 모터(56)는 저출력의 모터이여도 좋고, 선형 가이드(52,54)도 카세트(14)를 이송할 때의 편하중에 견딜정도의 강성은 불필요하다. 또한, 카세트(14)를 이송부(80)에 얹어 놓음으로써 경사지지 않도록 하는 것은 아니기 때문에 이송부(80)는 카세트(14)의 저면에 비해서 작은 것이여도 좋고, 예컨대, 길이나 폭을 카세트(14)의 길이나 폭의 1/3이하로 할 수 있다. 카세트 (14)로부터 이송부(80)에 가하는 좌우방향의 힘의 모멘트를 고려할 필요가 없으므로 선형 가이드(52,54)가 좌우의 폭이 좁은 것이여도 좋다. 이들 때문에 이송장치(51)를 경량화할 수 있다. 또한, 타이밍벨트(58)는 선형 가이드(52,54)에 평행하고, 타이밍벨트(66,68)는 선형 가이드(54)에 평행하다.

천정 주행차로부터 카세트(14)가 승강대(12) 상에 하역되면 가이드부재(26)에 의해 좌우방향의 위치를 규제하도록 안내하고, 걸어맞춤 돌기(82)를 카세트(14)의 저면의 오목부(44)에 걸어맞추어서 위치결정한다. 또한, 카세트(14)의 중량은 롤러(28)에 의해 지지된다. 카세트(14)를 이송하는 경우, 원하는 위치까지 승강대 (12)를 승강시키고, 여기서는 4개의 매달림 지지재(16)를 공통의 승강모터(22)에 의해, 또한, 동일 권회각으로, 드럼(20,20)에 의해 감기 또는 풀기하도록 하여 승강대(12)가 좌우나 전후로 경사지는 것을 방지한다.

승강대(12)가 원하는 위치까지 승강하면 모터(56)에 의해 타이밍벨트(58)를 구동하고, 이것에 수반하여 상측의 선형 가이드(54)는 하측의 선형 가이드(52)에 대해서 전후진한다. 타이밍벨트(66,68)는 일단이 고정부(70,72)에 의해 승강대(12)에 고정되고, 중간이 선형 가이드(54)에 설치된 풀리(62,64)에 의해 안내되는 것이므로 이송부(80)는 선형 가이드(54)에 대해서 전후진한다. 선형 가이드(54)의 스트로크와, 이송부(80)의 스트로크의 비는, 예컨대, 1:2로 된다. 또한, 풀리(62)와 타이밍벨트(66)로 이송부(80)를 전진시키고, 풀리(64)와 타이밍벨트(68)로 이송부 (80)를 후퇴시킨다. 이송시의 하중은 롤러(28,29)에 의해 지지되므로 이송장치에 편하중이 가해져서 승강대(12)가 전후로 경사지는 일이 없으므로 승강대(12)의 전후방향의 안내도 간단하게 할 수 있다. 또한, 실시예의 이송장치(51)를 대신하여 통상의 슬라이드 포크(slide fork) 등을 타이밍벨트나 체인 등으로 구동하도록 하여도 좋다.

실시예의 동작을 설명한다. 스토커(2)에는 캐스터 차륜(34)을 설치하였으므로 천정 주행차의 주행레일의 하부의 적절한 위치에 배치하여 카세트(14)의 보관능력을 증가시킬 수 있다. 또한, 천정 주행차와의 사이의 카세트(14)의 이송은 승강공간(8)의 상부의 개구(32)를 이용하여 행해지고, 스토커(2)로부터 돌출한 스테이션이 없어 더욱 공간절약화가 된다. 또한, 스토커(2)에서는 순환선반 등과 같이 선반 전체를 운동시키는 것은 아니고, 승강대(12)와 승강대 상의 이송장치를 운동시키는 것이므로 기구부분이 적고, 소형ㆍ경량 또한 공간절약화가 가능하다. 여기서 단일한 승강모터(22)를 이용하여, 예컨대, 4개의 매달림 지지재(16)를 감고, 또는, 풀기함으로써 승강대(12)가 전후 좌우로 경사지는 것을 방지한다. 이들 때문에 승강대(12)의 승강기구를 간단한 것으로 할 수 있다.

천정 주행차로부터 카세트(14)를 내리는 경우, 카세트(14)를 가이드부재(26)로 원활하게 가이드하고, 걸어맞춤 돌기(82)를 오목부(44)에 걸어맞추어서 위치결정한다. 카세트(14)의 하중은 롤러(28)로 지지하고, 보관공간(10) 내에서는 종동롤러(29)로 지지하는 것이므로 걸어맞춤 돌기(82)로부터는 카세트(14)를 전후진할 수 있을 정도의 힘을 전달하면 좋고, 이송장치를 소형ㆍ경량으로 할 수 있다. 특히, 이송시의 편하중이 승강대(12)에 가해지지 않는다. 이들 때문에 승강대(12)를 경량화할 수 있고, 간단히 승강시킬 수 있다. 또한, 이송장치(51)로부터의 먼지발생을 적게 하기 위해서는 타이밍벨트(58,66,68)를 적절한 커버로 덮고, 커버의 측면에 설치된 슬릿을 따라서 연결판(60,74)이 이동하도록 하면 좋다. 또한, 선형 가이드(54)나 이송부(80)는 볼나사 등으로 전후진시켜도 좋다.

또한, 본 실시예에서는 천정 주행차로부터 호이스트를 이용하여 카세트(14)를 승강대(12)와의 사이에서 직접 이송하도록 하고 있지만, 예컨대, 개구(32)의 상방 또는 하방에 카세트(14)의 저면을 지지하는 수평방향으로 접근ㆍ이간가능한 1쌍의 지지부재를 설치하여 카세트(14)를 일시적으로 지지할 수 있도록 하여도 좋다. 천정 주행차와 지지부재 사이에서 이송할 때는 지지부재를 카세트(14)의 저면의 폭보다 좁게 되도록 접근시킨다. 지지부재 상의 카세트(14)를 승강대(12)로 이송하는 경우에는 지지부재보다 하방에 위치하고 있는 승강대(12)를 상승시켜서 카세트(14)를 지지부재로부터 잡아올리고, 지지부재를 카세트(14)의 저면의 폭보다 넓게 되도록 이간시키고, 승강대(12)를 하강시키도록 한다. 또한, 승강대(12) 상의 카세트 (14)를 지지부재에 이송하는 경우에는 지지부재에 의해 승강대(12)가 위치하고 있는 상태에서 지지부재를 이간시키고, 카세트(14)의 저면이 지지부재보다 상방으로 되기까지 승강시키고, 지지부재를 접근시키고, 승강대(12)를 하강시킨다. 이와 같이 함으로써 승강대(12)가 가동중이여도 천정 주행차는 지지부재와의 사이에서 카세트(14)를 이송할 수 있다. 승강대가 가동중이 아니면 지지부재에 지지시키는 일없이 승강대(12)와의 사이에서 직접 이송할 수도 있다.

도 6은 천정 주행차 시스템(102)의 레이아웃을 나타낸다. 천정 주행차 시스템(20)은 반도체공장이나 액정디스플레이공장, 약품공장 등의 클린룸 등에 설치되어 있는 것으로 하고, 104는 기간으로 되는 메인 루트이고, 106은 메인 루트(104)로부터 분기기(108)에 의해 분기한 베이 루트이고, 109는 바이패스 루트이다. 각루트(104,106,109)는 클린룸의 천정 등에 설치한 주행레일로 이루어지고, 천정 주행차(110)는 분기기(108)를 이용하여 루트(104,106,109)를 주행한다. 메인 루트는 간선으로 되고, 복수의 베이 루트(106) 간을 접속한다. 베이 루트(106)는, 예컨대, 1개의 공정 내에서 카세트(14)(물품)를 반송하기 위한 루트이다. 또한, 루트 (104,106,109)는 일방 통행이다.

각 베이 루트(106)에서의 처리장치나 스토커(2)의 배치를 베이 루트(106')에 나타내면 111~114는 처리장치이고, 111은 표준적인 처리시간의 처리장치를, 112는 처리시간이 짧은 처리장치를, 114는 처리시간이 긴 처리장치를 나타낸다. 또한, 스토커(2)는 베이 루트(106) 등의 루트의 하부에 배치하고, 승강공간(8)을 루트(106) 등의 바로밑에 오도록 하고, 승강공간(8)과 보관공간(10)으로 이루어지는 열이 루트(106) 등과 직교하도록 배치한다. 또한, 스토커(2)의 바람직한 배치위치는 처리장치와 처리장치의 간극이다. 스토커(2)는 캐스터 차륜(34) 등에 의해 이동할 수 있으므로 설치도 철거도 용이하다.

스토커(2)는, 예컨대, 처리장치의 증설이나 개조, 생산계획의 변경 등으로 생산능력을 증가시킬 때에 생산도중의 물품의 보관능력을 증가시키기 위한 것 등에 이용하므로 처리장치와 처리장치의 간극에 배치할 수 있는 것이 중요하다. 또한, 천정 주행차 시스템(102)의 도입후에 설치하는 경우가 많으므로 스토커(2)를 용이하게 설치 또한 철거할 수 있는 것이 중요하다. 생산능력을 증가시키기 위하여 처리시간이 상대적으로 짧고, 물품을 빠르게 공급할 수 없으면 생산의 병목이 되기 쉬운 처리장치(112)에 대해서 스토커(2)를 우선적으로 설치하고, 특히, 그 상류측에 설치한다. 이것은 천정 주행차(10)가 빠르게 물품을 내릴 수 있어서 다음의 반송지령을 실행할 수 있는 어떠한 이점도 있다. 이 외에 처리시간이 상대적으로 긴 처리장치(114)는 1회에 처리하는 물품의 개수가 많은 경우가 많거나, 설비적으로 봐서 귀중한 자원이고 다수의 대수를 증설하는 것이 어려운 경우가 많기때문에 스토커(2)를 우선적으로 배치하는 것이 바람직하다. 이 경우도 처리시간이 상대적으로 긴 처리장치(114)의 상류측에 스토커(2)를 배치하는 것이 바람직하다.

도 6의 116은 천정 주행차 컨트롤러로, 천정 주행차(110)에 대해서 스테이션의 위치나 높이 등의 스테이션정보를 송출한다. 118은 맵으로서 스테이션의 위치나 높이 등을 기억하고, 120은 입출력이다. 스토커(2)는 적절하게 설치하고, 적당하게 철가하는 것이므로 스토커(2)를 설치할 때에는, 예컨대, 1대의 천정 주행차(110)를 이용하여 승강대(12)와의 사이의 이송을 메뉴얼로 티칭한다. 그 결과 얻어진 이송조건(이송하는 위치나 높이)을 맵(118)에 등록한다. 티칭하여 맵(118)에 스토커(2)의 위치나 이송의 높이 등을 등록하여도 좋다. 또한, 철거시에는 맵(118)으로부터 상기 스토커(2)에 관한 데이터를 말소한다. 이와 같이 하여 적절하게 설치한 스토커(2)와 천정 주행차(110) 사이의 물품의 주고받음이 가능하도록 된다.

실시예에서는 클린룸 등에서 처리장치 등을 증설하였을 때에 남는, 처리장치와 처리장치의 간극 등에 스토커(2)를 배치할 수 있다. 또한, 1개의 스토커(2)로 복수의 물품을 보관할 수 있고, 또한, 스토커(2)의 설치나 철거가 용이하다. 스토커(2)는 처리시간이 상대적으로 짧은 처리장치(112)나 상대적으로 긴 처리장치 (114)의 상류측 등에 설치하여 이들 처리장치가 생산의 병목이 되는 현상을 방지한다.

도 7에 변형예의 스토커(2')를 나타낸다. 이 스토커(2')에서는 천정 주행차 (110)과의 사이의 주고받음용 스테이션(122)을 승강공간(8)으로부터 바라봐서 보관공간(10)의 반대측에 설치한다. 또한, 승강대에는 스칼라 암이나 슬라이드 포크 등의 이송장치를 전후 양방향으로 물품을 이송할 수 있도록 배치하고, 스테이션(122)과의 사이의 물품의 이송과, 보관공간(10)과의 사이의 이송을 행한다. 다른 점에서는 도 1~도 5의 스토커(2)와 마찬가지이다.

본 발명에서는 선반을 연직방향으로 복수개 설치함으로써 보관공간을 유효하게 활용할 수 있다. 특히, 스토커의 길이방향이 천정 주행차의 주행방향과 직교함으로써 주행레일의 하부의 조금의 여지에 다수의 물품을 보관할 수 있으므로 반송대상물품의 생산능력을 향상시킬 때 등에, 예컨대, 이미 설치된 천정 주행차 시스템의 물품보관능력을 향상시켜서 천정 주행차 시스템의 반송능력이나 물품의 생산능력을 향상시킬 수 있다.

또한, 처리시간이 상대적으로 짧은 처리장치의 근방에 물품의 보관능력을 향상할 수 있으므로 이와 같은 처리장치의 처리량을 증가시킬 수 있다.

또한, 처리장치와 처리장치의 간극에 스토커를 배치함으로써 조금의 간극에 스터커를 배치하여 처리장치의 증설이나 처리장치의 레이아웃의 변경, 생산계획의 변경시 등에 유연하게 스토커를 배치하여 보관능력을 향상시킬 수 있다.

또한, 천정 주행차의 주행레일의 바로밑에 승강공간을 배치함으로써 스토커로부터 돌출한 스테이션이 불필요하여 공간절약화가 된다.

또한, 스토커의 승강공간의 상부에 개구를 설치하여 천정 주행차와 승강대 사이에서 물품을 직접 이송할 수 있도록 함으로써 천정 주행차에 설치되어 있는 이송장치가 수평방향으로 이송하거나 상하방향으로 이송하는 것이여도 직접 이송할 수 있다. 특히, 천정 주행차의 이송장치가 상하방향으로 이송하는 것일 경우, 천정 주행차의 주행레일의 바로밑에 승강공간을 배치할 수 있고, 스토커로부터 돌출한 스테이션을 불필요하게 할 수 있어 공간절약화가 된다.

또한, 천정 주행차로부터 하역된 물품의 위치를 승강대의 이송장치에 설치한 걸어맞춤부재로 위치결정한다. 또한, 걸어맞춤부재를 물품의 저면에 걸어맞춤으로써 이송장치에 대해서 물품을 전후진시켜서 이송할 수 있다.

또한, 승강대의 좌우의 가이드에 의해 물품의 좌우위치를 규제하여 천정 주행차로부터 하역되는 물품의 위치결정을 보다 확실하게 행할 수 있으므로 천정 주행차의 주행레일에 대한 스토커의 설치정밀도나 승강대의 위치정밀도가 불충분하여도 천정 주행차와의 사이에서 확실하게 물품을 이송할 수 있다.

또한, 승강대 상에서는 가이드부재에 설치한 롤러로 물품의 하중을 지지할 수 있고, 이송 도중에는 보관공간측의 종동롤러와 가이드부재의 롤러 쌍방에서 물품을 지지할 수 있으므로 이송장치의 강성이 낮아도 좋고, 또한, 이송장치의 구동기구도 간단하게 할 수 있고, 승강대를 경량화할 수 있다. 또한, 이송시에 승강대에 편하중이 가해지지 않으므로 승강대가 전후로 경사지는 일이 없고, 승강대의 전후방향의 가이드도 간단하게 할 수 있다. 또한, 이송장치를 가이드부재 사이의 중앙측에 배치함으로써 이송 중에 롤러 상의 물품의 자세가 경사지는 것을 방지할 수 있다.

또한, 이송장치는 고정가이드와 이동가이드와 그 상부의 걸어맞춤부재로 이루어지고, 이들 가이드는 걸어맞춤부재를 전후진할 수 있으면 좋다. 또한, 걸어맞춤부재는 물품을 걸어맞춰서 전후진할 수 있으면 좋으므로 물품을 안정하게 얹어놓을 정도의 폭이나 길이는 불필요하고, 물품의 중량을 지지할 필요도 없다. 이동가이드나 고정가이드도 물품을 안정하게 지지할 수 있을 정도의 폭이 불필요하므로 콤팩트하게 할 수 있다. 이 때문에 이송장치를 더욱 콤팩트하게 할 수 있다.

또한, 제1전동부재에 의해 이동가이드를 전후진시키고, 또한, 이동가이드의 전후진에 의해 제2나 제3전동부재를 구동하여 걸어맞춤부재를 이동가이드에 대해서 전후진시킬 수 있다.

여기서, 승강대와의 사이에서 물품을 이송하는 선반에도 승강대의 종동롤러의 열과 접속할 수 있도록 좌우의 종동롤러의 열을 설치하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면 이송 중인 물품의 하중은 승강대와 선반의 종동롤러로 받을 수 있어서 이송장치에 편하중이 가해지지 않는다. 이송장치에 편하중이 가해지지 않으면 그 강성을 낮게 할 수 있으므로 경량화가 더욱 용이하게 되고, 또한, 승강대도 이송 중에 전후로 경사지지 않으므로 승강대의 전후방향의 안내도 간단하게 된다.