用模块集成电路操纵升降部使传输托盘循环的方法及其装置

本发明涉及为了对生产出的模块型集成电路实施检测，而在各工 序之间自动对模块型集成电路实施近距离控制移动用的模块型集成电 路用近距离操纵机械手(Moudule IC Handler)，如果更具体的说， 本发明涉及利用对将搭载有检测承载盘的传输托盘依次传送至装载侧 位置控制组件处、将搭载有用户用承载盘的传输托盘依次传送至卸载 侧位置控制组件处用的、配置在模块型集成电路用近距离操纵机械手 中的升降部，而使传输托盘循环运行用的方法及其装置。

常规的模块型集成电路1如图1所示，由焊接固定在基板上一个 侧面或两个侧面处的若干个集成电路及其相应部件构成为独立的回 路，所以具有可以对安装在母体基板上的容量实施扩张的功能。

这种模块型集成电路与生产结束时即进行销售的集成电路相比， 具有相当高的附加值，所以各集成电路生产厂商均将其作为主打产品 实施开发、销售。

通过制造工序，而组装生产出的模块型集成电路的价格昂贵，所 以制成品的可信赖性就是一件非常重要的事情，只有通过严格的质量 检查，被认定为良好产品的制成品才能出厂，而对于认定是质量不好 的模块型集成电路就必须对其实施修正，或是将其完全报废。

在过去，并不具有可以在将生产出的模块型集成电路自动装载在 检测插接组件之内并实施检测之后，根据检测结果对其实施自动分类 并卸载至用户用承载盘(图中未示出)中的设备。

因此，为了对生产出的模块型集成电路实施检测，操作者需要通 过手工作业的操作方式，将模块型集成电路由检测承载盘中一个一个 地取出，装载在检测插接组件之内并实施预定时间的检测之后，再根 据检测结果将模块型集成电路分类放入在用户用承载盘之内，所以存 在有对模块型集成电路的检测作业效率低下等问题。

而且，还存在有由于劳动形式单一而容易使劳动情绪低下，进而 使可生产性下降等问题。

在所述的检测承载盘和用户用承载盘的内部处，还形成有可以使 模块型集成电路1呈垂直状态插入用的若干个插入沟槽。

为了能够解决上述问题，本申请人开发出了可以对模块型集成电 路实施自动检测的模块型集成电路用近距离操纵机械手，并申请了多 项发明和实用新型(本单位序号：MR7100，MR7200)。

图2至图4示出了由本申请人在先提出的、公开在日本实用新型 96-8320号中的技术。

图2为表示原有装置用的正视图，图3为表示如图2所示的、省 略了其中一部分后的侧视图，图4为表示如图2所示的装置用的平面 图。

在固定在保持板2处的导向杆3处，以可以升降方式结合有升降 部4，而且在所述升降部4处还以可以取出方式内装有若干个拉出式 传输托盘5。

在所述传输托盘5中的、处于装载侧位置处的传输托盘处，搭载 有收装待检测模块型集成电路用的检测承载盘6，而在处于卸载侧的 传输托盘5处，搭载有收装检测完毕的模块型集成电路用的用户用承 载盘7。

在所述的各导向杆3之间，配置有可通过电动机8驱动转动的丝 杆9，而且所述的丝杆还与固定在升降部的两个侧面处的导向部件10 螺纹连接。

在配置在装载侧和卸载侧的设置板11处，还设置有可以沿着导 轨12作前进、后退动作的滑动部件13，在所述的滑动部件处还设置 有可通过活塞汽缸14的作用，而朝向内侧缩回和打开的一对机械手 15，而且在传输托盘5的一个面(与滑动部件相对的面)上还形成有 结合用突起5a。

因此，在装满有待检测模块型集成电路的检测承载盘6被分别设 置在装载侧升降部中的传输托盘5上，而在卸载侧升降部中的传输托 盘5处搭载有待装满检测完毕的模块型集成电路的或称腾空的用户用 承载盘7的状态下，实施动作。

在使设置在滑动部件13处的活塞汽缸14导通、而使一对机械手 15处于相互打开的状态下，对电动机8实施驱动，从而使升降部4上 升，并使收装在所述升降部处的一个传输托盘5位于与滑动部件13 处于同一水平线上的位置处，这时滑动部件13将移动至如图4中的 左侧所示的传输托盘5侧，同时使活塞汽缸14做驱动动作，而使机 械手15同时朝向内侧缩回，所以可以将传输托盘5夹持在滑动部件13 上。

如果在这种状态下，使滑动部件13复原至初始状态，则可以如 图4中的右侧所示，将其由装载侧或卸载侧位置控制组件处取出，所 以装载侧拾取组件16可以依次拾取出收装检测承载盘6之内的若干 个模块型集成电路，并将其装载在检测插接组件或载运组件之内。

在另一方面，当位于检测承载盘6之内的模块型集成电路被全部 夹持出而处于腾空的状态时，使如上所述的滑动部件13前进，进而 在将被抽取出的传输托盘5收装在该升降部4之内后，解除该夹持状 态，并且在电动机8的驱动作用下使丝杆9转动，所以可以使与所述 丝杆和导向部件10螺纹连接在一起的升降部4，按每次步进一步的方 式上升。

采用这种方式，即可以通过设置在滑动部件13处的机械手15， 按照如上所述的方式，对位于由上侧数为第二位置处的传输托盘5实 施夹持、取出，所以可以实施连续作业。

然而在这种原有的装置中，需要将检测承载盘6或用户用承载盘 7，依次搭载在位于装载侧或卸载侧位置处的升降部4之内的传输托 盘5处，所以虽然具有可以对模块型集成电路实施自动装载和卸载的 优点，但也会出现下述问题。

第一、必须将升降部4设置在设置板11的上侧处，而且必须按 每次步进一步的方式移动，否则便不能将位于升降部处的传输托盘5 取出，这将使得装置的高度比较高。

第二、由滑动部件13传送至升降部4之内的传输托盘5，在通 过机械手15夹持住之后，必须由装载侧位置控制组件处取出，否则 便不能对所收装的模块型集成电路1实施装载，或是将检测完毕的模 块型集成电路卸载至用户用承载盘之内，因此由于要将传输托盘取 出，而使装置整体比较大，进而使装置的设置面积比较大。

第三、在对搭载在各传输托盘5处的检测承载盘6之内的模块型 集成电路实施全部装载后时，或是对位于用户用承载盘7之内的检测 完毕的模块型集成电路实施全部卸载后时，使用者还必须在升降部4 下降至下止点之后，将它们由传输托盘5处取出，并在各传输托盘5 处安装入新的检测承载盘6和用户用承载盘7，所以需要设置使升降 板复原用的待机时间，从而使这种高价值的装置的运行效率低下。

本发明的目的就是解决上述的原有问题。出于这一目的，本发明 对传输托盘的传送方式进行了改进，使位于设置板上侧处的传输托盘 不再上升，便可以对模块型集成电路实施装载和卸载作业，并且可以 对搭载有检测承载盘和用户用承载盘的传输托盘实施连续的传送。

本发明的其它目的是要使检测承载盘和用户用承载盘的装载和卸 载用待机时间最小化。

为了能够实现上述目的，本发明提供了作为一种实施形式的、利 用模块型集成电路用近距离操纵机械手中的升降部而使传输托盘循环 运行用的方法，这种方法的特征在于依次实施下述步骤：将传送组件 传送至位于装载侧或卸载侧位置控制组件位置处的传输托盘正上方 处，并且使位于下止点位置处的下置组件一直上升至上止点位置处的 步骤；使用位于所述传输托盘正上方处位置处的传送组件中的夹持组 件夹持住下降的传送组件之后，一直上升至上止点位置处的步骤；在 将传送组件传送至装载侧位置控制组件处之后，使夹持组件下降，并 且使在下置组件的上面处安置夹持着的传输托盘用的夹持组件返回至 初始状态的步骤；在解除对位于装载侧或卸载侧位置控制组件位置处 的传输托盘实施保持的保持组件的保持状态之后，在放置在装载侧或 卸载侧升降板处的若干个传输托盘一并上升时，使防止传输托盘坠落 用的制动器打开，以使位于最上侧位置处的传输托盘曝露在装载或卸 载侧位置控制组件处的步骤；所述装载侧和卸载侧位置控制组件中的 夹持组件对曝露在装载侧和卸载侧位置控制组件处的、位于最上侧的 传输托盘实施保持的步骤；使打开着的制动器返回至初始状态，使升 降板一直下降至下止点处并且使位于最下侧位置处的传输托盘与制动 器相结合，以对其下降实施控制的步骤；使下置组件下降至下止点， 并且使搭载在下置组件上的传输托盘与装载侧或卸载侧升降板的上侧 面相一致的步骤；将搭载在所述下置组件处的传输托盘传送至装载侧 和卸载侧升降板的上面处的步骤。

本发明还提供了作为一种实施形式的、利用模块型集成电路用近 距离操纵机械手中的升降部而使传输托盘循环运行用的装置，这种装 置的特征在于包括有：按照可以使位于平行设置的侧板之间的升降板 实施升降动作的方式设置的装载侧和卸载侧升降部；使所述各升降板 升降用的第一驱动组件；依次叠层设置在所述各升降板处的、在其上 面处还安置有检测承载盘和用户用承载盘的若干个传输托盘；与所述 各侧板相对设置的、对位于最下侧位置处的传输托盘的下降实施控制 用的制动组件；分别设置在位于所述侧板的上侧位置处的装载侧和卸 载侧位置控制组件处的，对曝露在装载侧和卸载侧位置控制组件处 的、位于最上侧的传输托盘实施夹持用的夹持组件；配置在所述装载 侧和卸载侧升降部之间的、使传输托盘下降用的转动用位置控制组 件；将位于所述装载侧和卸载侧位置控制组件位置处的传输托盘夹持 住并传送至转动用位置控制组件处用的传送组件；以可以升降方式设 置在所述转动用位置控制组件处的、将通过传送组件传送来的传输托 盘一直传送至下止点处的下置组件；使所述下置组件升降用的第二驱 动组件；设置在所述转动用位置控制组件的下止点处的、将通过下置 组件下降的传输托盘传送至装载侧或卸载侧升降部处的分配组件。

图1为表示常规的模块型集成电路用的斜视图。

图2为表示原有装置用的正视图。

图3为表示如图2所示的、省略了其中一部分后的侧视图。

图4为表示如图2所示的装置用的平面图。

图5为表示使用着本发明的模块型集成电路用近距离操纵机械手 用的斜视图。

图6为表示如图5所示的升降部用的纵剖面图。

图7为表示沿图6中的线A-A剖开时的剖面图。

图8A和图8B为说明位于最上侧位置处的传输托盘处于被机械 手夹持住的状态用的纵剖面图，其中

图8A为表示一对机械手朝向两侧打开时的状态图。

图8B为表示通过活塞汽缸的驱动，一对机械手朝向内侧移动而 夹持住传输托盘时的状态图。

图9A至图9H为说明传输托盘的循环路径用的示意性说明图， 其中

图9A为表示传输托盘分别处于装载侧和卸载侧位置控制组件位 置处的初始状态图。

图9B为表示为了对设置在装载侧位置控制组件位置处的传输托 盘实施夹持，而将传送组件传递至装载侧位置控制组件的正上方处时 的状态图。

图9C为表示传送组件中的机械手一直下降至下止点处时的状态 图。

图9D为表示下置组件一直上升至上止点，而且夹持着传输托盘 的传送组件传递至下置组件的正上方处时的状态图。

图9E为表示装载侧位置控制组件中的机械手朝向两侧打开、并 通过升降板使若干个传输托盘一直上升至上止点处时的状态图。

图9F为表示一对机械手朝向内侧移动、夹持住位于最上侧位置 处的传输托盘并且使升降板一直下降至下止点处时的状态图。

图9G为表示通过下置组件而使腾空的传输托盘设置在导轨上面 处的状态图。

图9H为表示将设置在导轨处的、腾空的传输托盘传送至装载侧 升降板的正上方处时的状态图。

图10为表示分配组件中的主要部分用的斜视图。

图11为表示下置组件与传输托盘相分离时的状态的斜视图。

附图中的参考标号的含义为：

18a…装载侧升降部

18b…卸载侧升降部

19…装载侧位置控制组件

26…卸载侧位置控制组件

30…转动用位置控制组件

31…传送组件

32…下置组件(タゥナ一)

33、35…机械手

36…升降板

37…制动器

38…滑动部件

52…升降板

下面参考附图5至附图11所示的一个实施例，对本发明进行更 详细地说明。

图5以应用着本发明的模块型集成电路用近距离操纵机械手的斜 视图的形式，对模块型集成电路用近距离操纵机械手的结构构成进行 了简要说明。

这种模块型集成电路用近距离操纵机械手具有升降部18、装载 侧拾取组件16、第一传送组件21、装载侧转动组件20、加热腔室23、 传送组件(图中未示出)、检测插接组件24、卸载侧转动组件25、 第二传送组件27、卸载侧拾取组件28和第三传送组件29。其中升降 部18用于通过将收装在检测承载盘6处的模块型集成电路装载在载 运组件17之内的方式，使搭载有所述承载盘的传输托盘5按每次步 进一步的方式依次上升，或是通过将检测之后的模块型集成电路分 类、卸载至用户用承载盘7之内的方式，使传输托盘5按每次步进一 步的方式下降。装载侧拾取组件16用于将位于所述检测承载盘之内 的模块型集成电路1依次夹持住，并且将模块型集成电路装载在位于 装载侧位置控制组件19位置处的载运组件17中。第一传送组件21 用于在将待检测的模块型集成电路装载在载运组件17上之后，将其 水平传递至装载侧转动组件20处。装载侧转动组件20用于对通过所 述第一传送组件21传送来的载运组件实施传送的方式，使载运组件 转动过90度。加热腔室23配置在所述装载侧转动组件的正下方处， 并且用于在通过装载侧转动组件对载运组件实施依次传递的过程中， 将装载在载运组件上的模块型集成电路加热至适合于检测的温度。传 送组件(图中未示出)用于对位于所述加热腔室之中的载运组件按每 次步进一步的方式实施依次传送。检测插接组件24配置在所述加热 腔室的一侧处，并且用于在对被加热至满足检测条件的模块型集成电 路实施传送的过程中，对其实施朝向检测插接组件侧的挤压，进而在 设定的时间中实施检测。卸载侧转动组件25配置在所述检测插接组 件的一侧处，并且用于在模块型集成电路处于检测完毕的状态下由载 运组件17实施传送时，按照使所述载运组件保持为水平状态的方式 转动90度。第二传送组件27用于将位于所述卸载侧转动组件之内的 载运组件朝向卸载侧位置控制组件26实施水平传送。卸载侧拾取组 件28用于在由通过所述第二传送组件传送来的载运组件处夹持住模 块型集成电路之后，根据检测结果对其实施分类并卸载在用户用承载 盘7之内。第三传送组件29用于在位于所述载运组件之中的模块型 集成电路已经被全部卸载之后，将腾空后的载运组件水平传送至装载 侧位置控制组件19处。

具有如上所述结构构成的模块型集成电路用近距离操纵机械手， 还在装载侧和卸载侧配置有升降部18，以便能够使搭载有检测承载盘 6或用户用承载盘7的传输托盘5可以依次上升，并能够实施连续地 循环作业。

本发明的特征在于，在装载侧升降部18a和卸载侧升降部18b处 叠层设置有若干个传输托盘5，从而可以通过由位于装载侧和卸载侧 位置控制组件19、26位置处的、属于最上侧的传输托盘处起对模块 型集成电路实施全部装载，或是对检测完毕的模块型集成电路实施卸 载的方式，使传输托盘循环进入至相应升降部的下侧处。

图9A至图9H为说明传输托盘循环路径用的示意性说明图，下 面对传输托盘5的循环路径进行说明。

首先可以如图9A所示，将装满有待检测模块型集成电路1的检 测承载盘6搭载在传输托盘5上，并使该传输托盘5位于装载侧位置 控制组件19的位置处，或是使收装有检测完毕的模块型集成电路的 用户用承载盘7搭载在传输托盘5上，并使该传输托盘5位于卸载侧 位置控制组件26的位置处，随后在这种状态下使装置运行。

在这种状态下，如图5所示的装载侧拾取组件16在由位于装载 侧位置控制组件19位置处的检测承载盘6中夹持住模块型集成电路1 之后，可将其依次装载在载运组件17之内，在当检测承载盘中没有 可供夹持在模块型集成电路时，将位于装载侧位置控制组件处的传输 托盘5传送至转动用位置控制组件30处，并且使位于装载侧升降部18a 的最上侧处的传输托盘5a，由装载侧位置控制组件19处曝露出来。

这样，位于转动用位置控制组件30位置处的传送组件31，将被 传送至位于如图9B所示的装载侧位置控制组件19位置处的传输托盘 5的正上方处，并且使位于装载侧位置控制组件的下止点位置处的下 置组件32一直上升至其上止点处。

对于所述传送组件和下置组件实施的传送，也可以通过其它类型 的传送组件实施传送，它们的构成形式将在下面给予说明。

这种传送组件31在朝向装载侧位置控制组件19处传送的过程 中，夹持组件中的机械手33将处于朝向两侧打开的状态。

在这种状态下，如图9C所示的机械手33将一直下降至下止点， 而位于传输托盘5的底面位置处，这时通过机械手用活塞汽缸34的 驱动作用，呈打开状态的一对机械手33将分别朝向内侧缩回，所以 位于装载侧位置控制组件19位置处的传输托盘5将被完全夹持在传 送组件31处。

通过如上所述的动作，传送组件31可夹持住传输托盘5，并使 所述的传输托盘一直上升至机械手33的上止点处，同时将传送组件31 传送至下置组件32的正上方处，而这一下置组件32正位于如图9D 所示的转动用位置控制组件30的上止点位置处。

在将位于该装载侧位置控制组件19位置处的传输托盘5传送至 转动用位置控制组件30处时，位于如图8A所示的装载侧位置控制组 件19的位置处的夹持组件中的机械手35将朝向两侧打开，同时使装 载侧升降部18a中的升降板36一直上升至如图9E所示的上止点处。

通过如上所述的动作，位于装载侧升降部18a位置处的若干个传 输托盘5将同时朝向上部移动，从而使位于最上侧位置处的传输托盘 5曝露在装载侧位置控制组件19处。

通过所述升降板36的上升，结合在制动器37处的、位于最下侧 的传输托盘5在由制动器朝向外侧移出时，可打开制动器37。

因此当位于最上侧的传输托盘5曝露出在装载侧位置控制组件19 处时，朝向两侧打开的一对机械手35将如图8B所示，同时朝向内侧 缩回，从而夹持住位于最上侧处的传输托盘5。

在这种状态下，位于上止点位置处的升降板36将朝向初始状态、 即如图9F所示的下止点处下降，从而在实施上述动作之前与侧板相 对设置、且彼此打开着的制动器37将会闭合，从而在升降板36的下 降过程中，可以对位于最下侧的传输托盘5的下降实施控制，因此可 以中断传输托盘的下降，而仅仅使升降板36一直下降至下止点处。

通过所述升降板36的上升，可以将待检测的模块型集成电路1 收装在位于曝露在装载侧位置控制组件19处的传输托盘5之内的检 测承载盘6处，所以可以随后通过装载侧拾取组件16将模块型集成 电路装载在载运组件17之内。

在另一方面，在传送组件31处于被传送至位于如图9D所示的上 止点位置处的下置组件32的正上方的状态下，如果夹持组件下降至 下止点，而解除机械手33的夹持状态，则可以将传输托盘5搭载在 下置组件32的上面处，从而可以通过驱动组件，使位于这种状态的 下置组件32一直下降至如图9G所示的下止点处。

在这时，机械手33将一直上升至上止点，而保持在初始状态下。

通过如上所述方式由传送组件31实施传送的传输托盘5，在通 过下置组件32一直传送至下止点处时，可以被搭载在导轨39的上面 处。

对于搭载在所述导轨39处的传输托盘5，朝向装载侧升降部18a 中的升降板36处传送的场合，固定在滑动部件38处的推进部件61 应该位于导轨39的右侧位置处。

在下置组件32下降之前，可通过控制部检测到传输托盘5是应 该位于装载侧，还是应该位于卸载侧，进而确定滑动部件38的位置， 从而可以实施可能的操作。

在这种状态下，如果滑动部件38朝向图面的上侧、左侧移动， 搭载在导轨39处的传输托盘5将朝向图面上的左侧移动，所以可以 将其搭载在如图9H所示的装载侧升降板36的上面处。

搭载在装载侧升降板36上的传输托盘5，为了能够使位于最上 侧位置处的传输托盘5由装载侧位置控制组件19处曝露出来，而在 使升降板36上升时，使其与位于最下侧处的传输托盘5处于密封状 态而一并上升。

作为本发明的一种实施形式，是以在传送组件31夹持住朝向装 载侧位置控制组件19处传送的传输托盘5之后，将其搭载在下置组 件32的上面处，并循环至装载侧升降板36的上面处的场合为例进行 说明的，然而也可以在卸载侧实施类似的动作，在本申请中略去了对 这一部分的详细说明。通过采用如上所述的方法，还可以在传输托盘 5循环运行时，使传送组件31中的夹持组件下降，并将被夹持住的传 输托盘5安装在下置组件32处的动作，与使装载侧或卸载侧的升降 板36上升的动作同时进行。

而且，还可以使下置组件32和升降板36下降至下止点处的动作 同时进行。

对于同时实施这些动作的场合，还可以进一步缩短更换传输托盘 5所需要的时间。

下面以一个实施例为例，对实现本发明用的一种装置进行具体的 说明。

图6为表示如图5所示的升降部用的纵剖面图，图7为表示沿图 6中的线A-A剖开时的剖面图，图8A和图8B为说明位于最上侧位 置处的传输托盘处于被机械手夹持住的状态用的纵剖面图。本发明是 在构成装载侧和卸载侧升降部18a、18b的一对侧板40之间，分别设 置有可实施升降动作的升降板36，而且所述各升降板36可以在由第 一驱动组件设定范围之内，通过升降运动而使位于最上侧位置处的传 输托盘5，曝露在装载侧位置控制组件19或卸载侧位置控制组件26 处。

设置在各升降部18a、18b处的升降板36由第一驱动组件实施升 降，这种第一驱动组件具有固定在如图6所示的升降板36的底面处 的、由各升降部的下部处曝露出的丝杆41，与所述丝杆螺纹连接着的 从动皮带轮42，产生使所述从动皮带轮转动用的转动力的电动机43， 以及通过主动皮带轮44将所述电动机的驱动力传递至从动皮带轮处 的同步皮带45。

在所述升降板36的上侧处还安装有与各侧板40相对设置的制动 组件，该制动组件的上侧面位于安置有检测承载盘6和用户用承载盘 7的若干个传输托盘5的位置处。可以按照使升降板36下降至下止点 处，并且使位于最下侧位置处的传输托盘5与制动组件相结合的方式， 对传输托盘5的下降实施控制。

通过采用这种方式，可以在与制动组件相结合的传输托盘5与升 降板36之间，确保具有可以收装入一个传输托盘的空间。

在这儿，在升降板36上升之前，可以通过下置组件32的作用而 将下降后的传输托盘传送至升降板的上侧处。

所述的制动组件与各侧板40相对设置，可以水平运动并与位于 最下侧处的传输托盘5的底面相结合，而且由解除这种结合状态用的 制动器37，以及将水平运动力传递至设置在所述侧板处的传输托盘5 用的活塞汽缸46构成。

在位于各升降板36上侧位置处的传输托盘5的两侧，以及升降 板36的两个侧面的同一支点处，还分别形成有穿过制动器37的切口 沟槽5b、36a，而且制动器37是以可以进退方式设置在侧板40处的。

在这儿，当升降板36上升时，所述升降板以及搭载在其上面处 的传输托盘，不会受到处于打开状态的制动器37的干涉，而当升降 板下降时，仅有升降板36可以通过制动器37，而位于最下侧位置处 的传输托盘5将与制动器37相结合，从而可以对传输托盘的下降实 施控制。

而且，各传输托盘5还在如图11所示的底面处形成有凹沟5c， 在所述传输托盘5的上面处形成有与凹沟相对应的凸片5d。

因此在对若干个传输托盘5实施叠层设置时，不仅可以使这些传 输托盘的上下位置真确地保持一致，而且还可以在上下移动时，不会 使叠层设置的传输托盘5朝向左右方向移动。

而且，在下置组件32的上面侧的四个角部处，还设置有对搭载 在上面处的传输托盘5实施再次位置定位用的位置定位组件47。

在位于侧板40的上侧处的装载侧和卸载侧位置控制组件19、26 处，还分别设置有对曝露在装载侧或卸载侧位置控制组件处的最上侧 的传输托盘实施保持用的保持组件。在所述装载侧和卸载侧升降部 18a、18b之间还配置有转动用位置控制组件30，这种转动用位置控 制组件30用于将位于装载侧和卸载侧位置控制组件19、26位置处的 传输托盘传送至装载侧和卸载侧升降板36的上侧处。

曝露在所述装载侧和卸载侧位置控制组件19、26处的传输托盘 5由保持组件实施保持，而且这种夹持组件按照与如图8A所示的装 载侧或卸载侧位置控制组件19、26相对应的方式设置，并且具有可 水平移动并保持住传输托盘的底面用的一对机械手35，以及其活塞杆 与所述传输托盘的一端部铰链结合、从而可以使一对机械手同时缩回 和打开用的活塞汽缸48。

所述一对机械手35在夹持住传输托盘5时，可以通过活塞汽缸 48的驱动而彼此朝向内侧移动，从而夹持住传输托盘5的底面，并且 在升降板36上升时可以朝向两侧打开，以防止产生干涉现象。

可以夹持住位于所述装载侧或卸载侧位置控制组件19、26位置 处的传输托盘5、并将其传送至转动用位置控制组件30用的传送组件 31，具有可以沿着与装载侧或卸载侧位置控制组件19、26平行设置 的导轨(图中未示出)实施传送用的传送组件50，通过设置在所述传 送组件处的活塞汽缸51的驱动作用而实施升降的升降板52，通过夹 持住所述传送组件的方式固定在升降板处的、对升降板的上下动作实 施导向用的导向棒53，以及通过设置在所述升降板两侧处的机械手用 活塞汽缸34的驱动作用，可以分别朝向内侧缩回和打开的机械手33。

所述机械手33可以通过形成在传输托盘5的侧面处的空间部5e， 夹持住保持板5f的底面。

而且在所述转动用位置控制组件30处，通过如图7所示的传送 组件31传送来的传输托盘5，呈被单个夹持牵引状态并由一直传送至 下止点处的下置组件32夹持在导轨54处，且可以实施升降运动，而 且所述的下置组件32可以在由第二驱动组件设定范围之内实施升降 运动。

使所述下置组件32作升降运动的第二驱动组件具有产生动力用 的电动机55，卷绕在所述电动机的主动皮带轮56与从动皮带轮57之 间的同步皮带58，以及固定在位于所述下置组件32处的同步皮带58 上的固定组件59。

在所述转动用位置控制组件30的下止点处还设置有分配组件， 该分配组件用于将传输托盘5由位于下止点位置处的下置组件处传送 至装载侧和卸载侧升降部18a、18b处，并且具有与位于如图10所示 的下止点位置处的升降板36的上侧面处保持一致的导轨39，沿着固 定在所述导轨的外侧处的导轨60移动的滑动部件38，固定在所述滑 动部件的一个侧面处的、对搭载在导轨上的传输托盘5朝向装载侧或 卸载侧升降部18a、18b实施挤压用的推进部件61，以及驱动所述滑 动部件用的第三驱动组件。

所述第三驱动组件具有如图7所示的、产生动力用的电动机62， 通过所述电动机驱动转动的主动皮带轮63，以及卷绕在所述主动皮带 轮与从动皮带轮64之间的、将主动皮带轮的动力传递至从动皮带轮 的、并且在预定位置处固定着滑动部件38的同步皮带65。

在搭载有通过所述下置组件32而下降的传输托盘5的导轨39的 上面处，还朝向上方突起设置有轴承66，从而使传输托盘5可以在底 面与轴承相连接的状态下作水平移动。

下面以一个实施例为例，对具有这种结构构成的本发明的作用进 行具体说明。

首先，在装载侧和卸载侧位置控制组件19、26处搭载有传输托 盘5的状态下，启动该装置，进而在装载侧拾取组件16对位于检测 承载盘6之内的模块型集成电路1实施拾取，并将其装载在载运组件 17上时，通过传送组件将装载有待检测的模块型集成电路的载运组件 依次传送至加热腔室23侧。

通过重复实施上述动作的方式，而使检测承载盘之内不再有可供 夹持的模块型集成电路时，用于将腾空的传输托盘5传送至转动用位 置控制组件30处的传送组件31上的传送组件50，将被沿着导轨传送 至如图9B所示图面上的左侧处，而且在实施上述动作时，传送组件 处的升降板52将位于上止点的位置处，而机械手33呈朝向两侧打开 的状态。

在这时，位于下止点位置处的下置组件32将在电动机55的驱动 作用下，沿着导轨54一直上升至上止点处，处于对腾空后的传输托 盘实施传送的待机状态。

在这种状态下，当通过活塞汽缸51的驱动作用，使升降板52一 直下降至如图9C所示的下止点处，并使机械手33位于传输托盘5的 底面位置处时，通过机械手用活塞汽缸34的驱动作用，朝向两侧打 开着的机械手33将同时朝向内侧移动，而夹持住腾空的传输托盘的 底面。

当机械手33通过这种方式夹持住位于装载侧位置控制组件19位 置处的、腾空后的传输托盘5时，再次驱动活塞汽缸51，使升降板52 上升至上止点处，并且按照如图9D所示的方式，将传送组件50传送 至位于图面上的右侧位置处的转动用位置控制组件30中的下置组件32 的正上方处。

通过上述方式，便可以在传送组件31将位于装载侧位置控制组 件19处的、腾空后的传输托盘5，传递至转动用位置控制组件30处 时，通过使位于装载侧升降部18a处的传输托盘5上升用的装载侧位 置控制组件19，而解除对传输托盘5实施保持的保持组件。

因此，当对以相对方式设置在装载侧位置控制组件19处的活塞 汽缸48实施驱动时，一对机械手35将如图8A所示，同时朝向外侧 打开，从而可以位于在传输托盘5上升时，不会对其产生干扰的、位 于传输托盘的外侧位置处。

在实施上述动作时，通过活塞汽缸51的驱动作用下，可使升降 板52一直下降至下止点处，而且通过机械手用活塞汽缸34的驱动作 用，又可使一对机械手33朝向两侧打开，从而解除夹持状态，所以 被夹持在位于下置组件32的上侧位置处的传送组件31处的腾空后的 传输托盘5，可以被搭载在下置组件32的上面处。

随后，可以再次驱动活塞汽缸51，而使升降板52上升至上止点 处。

搭载在这种下置组件32的上面处的、腾空后的传输托盘5，由 位于下置组件上的四个角部处的位置定位组件47实施固定，从而可 以对其位置再次实施确定。

与此同时，在对装载侧升降部18a中的、作为第一驱动组件的电 动机43实施驱动，而使与丝杆41螺纹连接的从动皮带轮42转动时， 可以将从动皮带轮42的转动运动转换为直线往复运动，并传递至装 载侧升降板36处，所以所述的装载侧升降板将上升，并且使若干个 传输托盘5如图9E所示，同时上升至上止点处。

通过设置在装载侧位置控制组件19处的一对传感器(图中未示 出)，对曝露在装载侧位置控制组件19处的、位于最上侧的传输托 盘5实施检测的方式，还可以对所述电动机43的驱动实施控制。

通过如上所述的动作方式，可以在位于装载侧升降部18a处的若 干个传输托盘5同时上升至上止点处时，再次驱动活塞汽缸48而使 朝向两侧打开着的机械手35彼此朝向内侧缩回，从而可以用机械手35 保持住传输托盘5的底面。

换句话说就是，可以由叠层设置着的若干个传输托盘5中，将位 于最上侧处的一个传输托盘分离出来。

随后通过电动机43的再次驱动，位于上止点位置处的装载侧升 降板36将如图9F所示，下降至下止点处，而且在实施上述的动作之 前，还通过活塞汽缸46的驱动作用而使打开着(前进)的制动器37 闭合(后退)，从而在装载侧升降板36下降时，可以通过制动器37 对位于最下侧位置处的传输托盘5的下降实施控制，而仅仅使装载侧 升降板36下降至下止点处。

在这时，由于在所述装载侧升降板36处，还形成有可贯穿过制 动器37的切口沟槽36a，所以不会对闭合着的制动器37产生干扰作 用。

在如上所述的装载侧升降板36下降至下止点处的过程中，位于 转动用位置控制组件30的上止点位置处的下置组件32，也将在电动 机55的再次驱动作用下，下降至下止点处，然而由于在所述下置组 件的下止点处形成有供搭载在下置组件处的、下降着的传输托盘5使 用的导轨39，所以腾空后的传输托盘5可以由下置组件32处分离出， 并搭载在导轨39处，而仅使下置组件一直下降至下止点处。

在这时，对搭载在导轨39处的传输托盘5实施水平传送、将其 移动至装载侧或卸载侧的升降板36侧用的滑动部件38，将由装载侧 位置控制组件19处传送出传输托盘5，或是由卸载侧位置控制组件26 处传送出传输托盘5，为了能够通过控制部(图中未示出)对其实施 控制，可以在下置组件32下降之前，通过第三驱动组件而使所述滑 动部件设置在所述下置组件的左侧或右侧。

对于通过下置组件32而使位于所述装载侧位置控制组件19处的 传输托盘5下降的场合，滑动部件38将设置在位于图面上的右侧位 置处。

当将所述传输托盘5搭载在如图9G所示的导轨39上时，位于图 面上的右侧位置处的滑动部件38将在如图9H所示的、作为第三驱动 组件的电动机62的驱动作用下，朝向图面上的左侧移动，从而可以 使搭载在导轨上的传输托盘搭载在装载侧升降板36的上面处。

在实施如上所述动作的过程中，曝露在导轨39的上面处的轴承 66，将与腾空着的传输托盘5的底面相接，所以通过滑动部件38的 传送作用，推进部件61在将传输托盘5挤压向装载侧升降板36处时， 可以进一步对所述传输托盘5实施平滑传送。

搭载在这种导轨39处的传输托盘5通过滑动部件38朝向装载侧 升降板36的上侧实施传送，而且这种滑动部件38可以在通过下置组 件32下降的传输托盘5由装载侧位置控制组件19处实施传送时，或 是由卸载侧转动组件25处实施传送时，通过控制部实施传送接收， 可以在当前位置处处于待机状态，也可以朝向图面上的右侧移动并处 于待机状态。

上面是对本发明的一个实施例进行说明的，即是以位于装载侧位 置控制组件19位置处的传输托盘5由传送组件31实施夹持，传送至 转动用位置控制组件30处，并且使位于装载侧升降部18a位置处的 传输托盘5曝露在转动用位置控制组件处，使位于转动用位置控制组 件30处的传输托盘5传送至装载侧升降板36的上面处的场合进行说 明的，然而不难理解，也可以按照相类似的方式，通过卸载侧位置控 制组件26使收装有检测完毕的模块型集成电路1的传输托盘5，通过 转动用位置控制组件而循环到达卸载侧升降板的上面处。

如上所述的本发明和原有的模块型集成电路用近距离操纵机械手 相比，具有如下所述的优点。

第一、位于装载侧或卸载侧位置控制组件19、26位置处的传输 托盘5，可以通过转动用位置控制组件30而循环到达装载侧或卸载侧 升降板36的上侧处，所以可以最大限度地降低装置的高度。

第二、位于装载侧或卸载侧升降部18a、18b的最上侧位置处的 传输托盘5，可以一边上升至上止点处，一边使传输托盘曝露在装载 侧或卸载侧位置控制组件19、26处，所以还可以使整个装置的宽度 最小化。

第三、叠层设置在装载侧或卸载侧升降部18a、18b处的传输托 盘5，可以通过转动用位置控制组件30而实现连续地循环运行，从而 即使在搭载在各升降板36处的检测承载盘6之内的模块型集成电路 已经被全部装载，或是在用户用承载盘7之内已经装满检测完毕的模 块型集成电路，也可以仅仅对位于各升降部18a、18b处的传输托盘5 实施更换，并对装置实施再次启动，所以可以使这种高价值装置的运 行率最大化。