1.一种在多个腔室彼此之间利用机器人手支撑基板并使其移动的运送装置，其特征在于，具备: 第一检测机构，在所述机器人手的第一停止位置，在第一检测位置检测所述基板，该第ー检测位置设定在通过所述机器人手支撑的所述基板的一面上；以及 第二检测机构，在所述机器人手的第二停止位置，在第二检测位置检测所述基板，该第ニ检测位置设定在通过所述机器人手支撑的所述基板的一面上。
2.根据权利要求1所述的运送装置，其特征在干， 所述第二停止位置为所述机器人手沿着旋转轴从所述第一停止位置旋转的位置。
3.根据权利要求1或2所述的运送装置，其特征在干， 所述腔室具备拿出及放入所述基板的装入及取出室和处理所述基板的处理室， 所述第一停止位置为对所述装入及取出室拿出及放入所述基板时所述机器人手停止的位置， 所述第二停止位置为对所述处理室拿出及放入所述基板时所述机器人手停止的位置。
4.根据权利要求1所述的运送装置，其特征在干， 所述基板为圆板状的晶片，所述第一检测位置与所述第二检测位置被设定在所述基板的一面中的同心圆上，所述第一检测位置由相互空开大致120°间隔的两个检测点构成，所述第二检测位置由对于所述第一检测位置空开大致120°间隔的ー个检测点构成。
5.根据权利要求4所述的运送装置，其特征在干， 构成所述腔室的所述装入及取出室相互邻接地形成多个， 通过ー个所述第一检测机构检测构成所述第一检测位置的两个所述检测点中的ー个所述检测点和邻接所述第一检测位置的两个所述检测点中的一个所述检测点的两个点。
6.根据权利要求1所述的运送装置，其特征在干， 所述第一检测机构及所述第二检测机构具备朝向所述基板发光的发光机构和接受从所述发光机构的光的受光机构。
7.根据权利要求1所述的运送装置，其特征在干， 所述机器人手形成有对于所述第二检测机构使所述基板的一面露出的开ロ。
8.ー种真空装置，其特征在干， 具备权利要求1至7所述的运送装置和多个腔室。
9.根据权利要求8所述的真空装置，其特征在干， 所述第一检测机构及所述第二检测机构测量通过所述机器人手支撑的所述基板相对于设定在所述机器人手上的规定的基板支撑位置的错位量。
10.根据权利要求9所述的真空装置，其特征在干， 所述第一检测机构及所述第二检测机构包括线性传感器。