物品运送设备 |
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| 申请号 | CN201210557549.1 | 申请日 | 2012-12-20 | 公开(公告)号 | CN103171841B | 公开(公告)日 | 2016-07-06 |
| 申请人 | 株式会社大福; | 发明人 | 乾吉隆; 森本雄一; 马场祐志; | ||||
| 摘要 | 本 发明 涉及一种物品运送设备，具备：行进轨道（L），被从顶板部（T）垂吊支承而引导物品运送车（A）；物品载置体（U），配置在行进轨道（L）的横向侧方且下方 位置 ，载置支承与物品运送车（A）之间移载的物品（B）；及支承机构（D），以能够在与物品运送车（A）之间移载物品（B）的移载用位置和从该移载用位置向上方退避的退避位置进行位置调节的方式从顶板部（T）垂吊支承物品载置体（U）。支承机构（D）构成为，能够将载置了物品（B）的状态的上述物品载置体（U）位置变更至移载用位置和退避位置。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种物品运送设备，具备： |
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| 说明书全文 | 物品运送设备技术领域[0001] 本发明涉及一种物品运送设备，设置有：行进轨道，被从顶板部垂吊支承，并对物品运送车进行引导；物品载置体，配置在上述行进轨道的横向侧方且下方位置，载置支承在与上述物品运送车之间移载的物品；以及支承机构，以能够位置调节至与上述物品运送车之间移载物品的移载用位置和从该移载用位置向上方退避的退避位置的方式从上述顶板部垂吊支承上述物品载置体。 背景技术[0003] 即，以经由对于基板进行多种处理的多个基板处理装置的运入运出部的状态配设行进轨道，物品运送车对于多个基板处理装置运送物品。并且，物品载置体被用于处理途中的物品的临时保管。 [0004] 即，物品载置体能够利用行进轨道的横向侧方的空间而在行进轨道的长度方向的各处设置多个，因此，通过将处理途中的物品保管于接着应运送的基板处理装置的附近的物品载置体，在提高物品的运送效率方面是有利的。并且，在没有设置物品载置体的情况下，在将保管处理途中的物品的保管装置设置在地面上时，需要设置大规模的保管装置，但借助设置物品载置体，能够不需要保管装置或者实现保管装置的小型化。 [0005] 并且，在物品运送设备中，有时物品载置体会成为阻碍，例如在洁净室中为了布局变更等而将基板处理装置运入运出时，虽位于顶板部侧但位于比行进轨道靠下方的物品载置体会成为基板处理装置的运送的阻碍等。此时，能够使物品载置体从移载用位置位置变更至向上方退避的退避位置，因此能够避免物品载置体成为阻碍。 [0006] 在日本特开2008-169005号公报（专利文献1）中公开了这样的物品运送设备的一个例子，在没有载置物品的状态下，以能够位置变更至移载用位置和退避位置的方式支承设置于该物品运送设备的物品载置体。 [0007] 即，在该专利文献1中，借助弯折自如地连结多个连杆而成的连杆机构，相对于顶板部垂吊支承物品载置体。并且，在使物品载置体位于移载用位置时，连杆机构成为直线状地延伸的姿态，在使物品载置体位于退避位置时，连杆机构以在物品载置体的上方重叠的状态成为弯折姿态。因此，在将物品载置体从移载用位置向退避位置位置变更时，在物品载置体的上方不能确保用于物品存在的空间，其结果，在使物品载置体位于退避位置时，不能在物品载置体上载置物品。 [0008] 而且，在专利文献1的物品运送设备中，如果使物品载置体位于退避位置，则物品载置体和顶板部之间的间隔变得比用于使物品存在所需要的间隔要小。从这一点来说，在将物品载置体从移载用位置向退避位置位置变更时，在物品载置体的上方不能确保用于物品存在的空间，在使物品载置体位于退避位置时，不能在物品载置体上载置物品。 [0009] 另外，在专利文献1中，作为其他实施方式还记载了下述内容：使用沿上下方向滑动的滑动机构而使物品载置体位置变更至移载用位置和退避位置。即使使用这样的滑动机构，在使物品载置体位于退避位置时，由于物品载置体和顶板部之间的间隔变得比用于使物品存在所需要的间隔要小，因此在使物品载置体位于退避位置时，也不能在物品载置体上载置物品。 [0010] 在产生使物品载置体从移载用位置退避至退避位置的需要时，有时在使之退避的物品载置体上载置有物品。在这种情况下，在以往的物品运送设备中，首先用手动操作从物品载置体去除物品，其后使物品载置体位置变更至退避位置，因此将物品载置体位置变更至移载用位置和退避位置的操作为复杂的操作。 [0011] 而且，在将物品载置体从退避位置返回至移载用位置时，需要用手动操作将去除的物品返回为与去除之前相同的状态，从这一点来说，将物品载置体位置变更至移载用位置和退避位置的操作为复杂的操作。 [0012] 另外，一般地，被运送的物品的位置由管理物品运送设备的管理机构管理，因此在将去除的物品返回物品载置体时，需要正确地返回至与去除之前相同的位置。 [0013] 但是，在多个物品载置体同时退避至退避位置时等，有可能产生去除的物品返回的位置与去除之前不同的错误而导致不能适当地进行被运送的物品的位置管理。 发明内容[0014] 本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种物品运送设备，能够实现将载置有物品的物品载置体位置变更至移载用位置和退避位置的操作的简化。 [0015] 本发明的物品运送设备具备： [0016] 行进轨道，被从顶板部垂吊支承，对物品运送车进行引导； [0017] 物品载置体，配置在上述行进轨道的横向侧方且下方位置，对在与上述物品运送车之间移载的物品进行载置支承； [0018] 支承机构，以能够位置调节至与上述物品运送车之间移载物品的移载用位置和从该移载用位置向上方退避的退避位置的方式从上述顶板部垂吊支承上述物品载置体； [0019] 在此，上述支承机构构成为，能够将载置了物品的状态的上述物品载置体位置变更至上述移载用位置和上述退避位置。 [0020] 即，物品载置体被支承为能够在载置了物品的状态下位置变更至移载用位置和退避位置，因此在使物品载置体从移载用位置向退避位置移动时，即使在物品载置体上载置有物品，也能在该状态下使物品载置体从移载用位置移动到退避位置，并且，能够将物品载置体从退避位置返回移载用位置。 [0021] 另外，所谓载置了物品的物品载置体能够位置变更至移载用位置和退避位置的状态是指，在令物品载置体从移载用位置向退避位置位置变更的途中、以及在退避位置处，物品载置体维持载置物品的姿态且在物品载置体的上方确保用于存在物品的空间的状态。 [0022] 这样地，在使物品载置体从移载用位置向退避位置位置变更时，即使在物品载置体上载置有物品，也能保持该状态地使物品载置体从移载用位置移动至退避位置，且能够将物品载置体从退避位置返回至移载用位置，因此能够实现将物品载置体位置变更至移载用位置和退避位置的操作的简化。 [0023] 总而言之，根据上述结构，能够提供一种物品运送设备，能够实现将载置有物品的物品载置体位置变更至移载用位置和退避位置的操作的简化。 [0024] 在本发明的物品运送设备的实施方式中，优选上述支承机构以在上述退避位置处与上述移载用位置相比从上述行进轨道向横向侧方的离开距离要长的方式支承上述物品载置体，以使位于上述退避位置的上述物品载置体和在上述行进轨道上行进的上述物品运送车不会抵接干涉。 [0025] 根据上述结构，物品载置体为了避免位于退避位置时与行进在行进轨道上的物品运送车的抵接干涉而被支承为能够以在退避位置处与移载用位置相比相对于行进轨道在横向侧方离开得大的方式位置变更，因此退避位置的物品载置体不会与在行进轨道上行进的物品运送车抵接干涉。 [0026] 即，在使物品载置体位置变更至退避位置时，例如是在洁净室中为了布局的变更等而运入运出基板处理装置时。此时，在物品运送操作停止且使物品载置体位于退避位置的状态下，不需要使物品运送车为了物品运送而行进，但有时期望在使物品载置体位于退避位置的状态下，例如使物品运送车行进至不阻碍布局的变更操作的退避处等、使物品运送车行进。在这样的情况下，根据上述结构，能够使物品运送车不与退避位置的物品载置体抵接地良好地行进。 [0027] 总而言之，根据上述结构，提供一种物品运送设备，在物品载置体位置变更至退避位置的状态下，也能够使物品运送车良好地行进。 [0028] 在本发明的物品运送设备的实施方式中，优选上述支承机构可滑动移动地支承上述物品载置体，使得随着从上述移载用位置向上述退避位置上升而从上述行进轨道朝向横向侧方的离开距离变长。 [0029] 即，通过使物品载置体从移载用位置直线状地滑动移动至退避位置，能够使物品载置体在退避位置处比移载用位置处相对于行进轨道向横向侧方离开得大。并且，通过使物品载置体从退避位置直线状地滑动移动至移载用位置，能够将物品载置体从退避位置返回至移载用位置。 [0030] 即，能够使物品载置体在退避位置处比移载用位置处相对于行进轨道向横向侧方离开得大、且能够仅通过使物品载置体直线状地滑动移动的简单操作来进行在移载用位置和退避位置之间的物品载置体的位置变更。 [0031] 若进一步说明，则例如可以考虑这样的结构，借助使移载用位置的物品载置体首先沿着行进轨道的横宽方向朝向从行进轨道离开的方向移动，之后再朝向退避位置向上方移动等的、组合行进轨道横宽方向中的移动和向上方的移动这两级移动，使物品载置体从移载用位置位置变更至比该移载用位置相对于行进轨道向横向侧方离开得大的退避位置，并且，同样地从退避位置返回移载用位置。在这样的结构中，组合了两级的移动而使物品载置体在移载用位置和退避位置之间进行位置变更，因此物品载置体的移动操作变得复杂。 [0032] 与此相对，根据上述结构，仅通过使物品载置体直线状地滑动移动，就能够使物品载置体在移载用位置和退避位置之间进行位置变更，因此能够实现物品载置体的移动操作的简化。 [0033] 总而言之，根据上述结构，能够提供一种物品运送设备，能够实现物品载置体的移动操作的简化。 [0034] 在本发明的物品运送设备的实施方式中，优选在沿着上述行进轨道的长度方向的长条状的物品载置台上，沿着上述行进轨道的长度方向并排设置多个上述物品载置体； [0035] 在上述物品载置台的上述行进轨道的长度方向的两端部各自上，具备朝向上方突出的下框； [0036] 上述支承机构具有滑动轨道机构，其相对于被垂吊支承于上述顶板部的一对上框可升降地引导一对上述下框的各自，上述滑动轨道机构以随着上升而从上述行进轨道朝向横向侧方的离开距离变长的方式相对于上述上框引导上述下框。 [0037] 即，对于被垂吊支承在顶板部的上框，能够以越上升相对于行进轨道向横向侧方离开越大的方式，由滑动轨道机构可升降地支承配备在沿着行进轨道的长度方向的长条状的物品载置台上的下框。由此，能够以越从移载用位置向退避位置上升，相对于行进轨道向横向侧方离开得越大的方式（即直线状地滑动移动的滑动移动方式）可位置变更地支承以沿着行进轨道的长度方向并排的状态设置在物品载置台上的多个物品载置体。因此，通过使物品载置台沿着滑动轨道机构升降，能够使多个物品载置体一起（即以一个动作）地位置变更至移载用位置和退避位置。 [0038] 而且，配备在物品载置台的两端的下框各自被支承在垂吊支承于顶板部的上框上，即，沿着行进轨道的长度方向的长条状的物品载置台的两端可升降地被支承，因此令为了使多个物品载置体位置变更至移载用位置和退避位置而升降的物品载置台的姿态稳定。由此，设置在该物品载置台上的多个物品载置体的姿态稳定，在使物品载置体位置变更至移载用位置和退避位置时，能够避免载置支承在物品载置体上的物品的姿态混乱。 [0039] 总而言之，根据上述结构，能够提供一种物品运送设备，能够使多个物品载置体一起位置变更至移载用位置和退避位置，而且，在使物品载置体位置变更至移载用位置和退避位置时，能够避免载置支承在物品载置体上的物品的姿态混乱。 [0040] 在本发明的物品运送设备的实施方式中，优选设置有连动机构，使显示上述物品载置体的识别信息的显示体的位置与上述物品载置体的位置变更连动地变更至装备在上述物品运送车上的识别信息检测传感器能够检测到的被检测位置、和上述识别信息检测传感器不能检测到的检测不能位置， [0041] 上述连动机构使上述显示体的位置与上述物品载置体的位置变更连动，使得在上述物品载置体位于上述移载用位置时上述显示体被配置在上述被检测位置，且在上述物品载置体位于上述退避位置时上述显示体被配置在上述检测不能位置。 [0042] 即，在物品载置体位于移载用位置时，显示物品载置体的识别信息的显示体成为被配置于被检测位置的状态。此时，装备在物品运送车上的识别信息检测传感器能够检测显示体所显示的识别信息，因此能够基于该识别信息判别物品载置体是否是移载对象的物品载置体。 [0043] 在物品载置体位于退避位置时，显示体成为被配置于检测不能位置的状态。此时，装备在物品运送车上的识别信息检测传感器不能检测到显示体所显示的识别信息，因此判断为是移载对象的物品载置体不存在的状态，能够停止物品的错误移载。 [0044] 即，能够与物品载置体的位置变更连动地将显示体位置变更至被检测位置和检测不能位置，以便在物品载置体位于移载用位置时，在被检测位置上配置显示体，且在物品载置体位于退避位置时，在检测不能位置上配置显示体。因此，在物品载置体位于退避位置时，即使对物品运送车指示了对该物品载置体的物品的移载，由于识别信息检测传感器不能检测与该物品载置体对应的显示体显示的识别信息，因此能够避免对于退避位置的物品载置体错误地进行物品的移载。 [0045] 由此，在令物品载置体位置变更至退避位置而例如在洁净室中为了布局变更等而进行了将基板处理装置运入运出的操作之后，忘记将物品载置体返回移载用位置时等，也能够避免对于退避位置的物品载置体错误地进行物品的移载。 [0046] 总而言之，根据上述的结构，能够提供一种物品运送设备，能够避免对于退避位置的物品载置体错误地进行物品的移载。 [0047] 在本发明的物品运送设备的实施方式中，优选上述退避位置被设定为位于该退避位置的上述物品载置体和上述顶板部之间的间隔为上述物品的高度以上的位置，[0048] 上述支承机构被配置在相对于在上述移载用位置和上述退避位置之间移动的上述物品载置体在从上方看不重叠的位置。附图说明 [0049] 图1是示出物品运送设备的立体图。 [0050] 图2是该设备的主视图。 [0051] 图3是使物品载置台退避的状态的主视图。 [0052] 图4是示出物品载置台的安装部的立体图。 [0053] 图5是示出物品载置台的支承机构的分解立体图。 [0054] 图6是其他实施方式的主视图。 [0055] 附图标记说明 [0056] 8 上框 [0057] 9 下框 [0058] 10 滑动轨道机构 [0059] 22 识别信息检测传感器 [0060] 24 显示体 [0061] A 物品运送车 [0062] D 支承机构 [0063] E 物品载置台 [0064] L 行进轨道 [0065] M 连动机构 [0066] T 顶板部 [0067] U 物品载置体。 具体实施方式[0068] 接着，基于附图说明本发明的实施方式。 [0069] 如图1及图2所示，以从顶板部T被垂吊支承的状态设置引导物品运送车A的行进轨道L，在行进轨道L的横向侧方且下方位置，以从顶板部T被垂吊支承的状态设置有载置支承在与物品运送车A之间移载的物品B的物品载置体U。在本实施方式中，物品载置体U分别被设置在行进轨道L的两侧的横向侧方。物品运送车A将所运送的物品B传递并保管至物品载置体U，且取出并运送保管于物品载置体U的物品B。具备这些行进轨道L、物品载置体U及物品运送车A而构成物品运送设备。 [0070] 本实施方式的物品运送设备是在洁净室中将收纳硅基板等基板的收纳容器（FOUP）作为物品B进行运送的设备。虽然未图示，但以经由多个基板处理装置的物品运入运出部的状态配设行进轨道L，物品运送车A构成为对多个基板处理装置运送物品B。并且，物品B构成为被临时地保管于物品载置体U。 [0071] 借助轨道用支承体1以从顶板部垂吊的状态设置行进轨道L。 [0072] 在本实施方式中，行进轨道L具备隔开间隔地在左右方向并排的左右一对行进轨道部2，借助轨道用支承体1以从顶板部垂吊的状态设置左右一对行进轨道部2。这里所说的“左右方向”是与行进轨道L的长度方向垂直的水平方向。 [0073] 如图2所示，物品运送车A具备在行进轨道L上行进的行进部A1、和位于行进轨道L的下方的车体本体部A2，车体本体部A2借助位于左右一对的行进轨道部2之间的连结轴3被垂吊支承于行进部A1。 [0074] 车体本体部A2在侧视图形状为倒U字形的罩体4的内部的上方位置，具备以垂吊状态把持物品B的把持部5。把持部5配备为能够升降驱动且能够沿着横方向横向滑动驱动，构成为借助把持部5的升降移动和横向滑动移动，物品运送车A在与物品载置体U及基板处理装置的物品运入运出部之间移载物品B。 [0075] 以下对与物品载置体U之间的物品B的移载加以说明。在将物品B传递至物品载置体U时，使把持物品B的把持部5朝向横向外侧方滑动移动并下降，然后解除物品B的把持。其后，使把持部5上升并向车体内方侧滑动移动，将把持部5返回罩体4的内部位置。 [0076] 并且，在将物品B从物品载置体U取出时，使把持部5朝向横向外侧方滑动移动并下降，然后把持物品B。其后，使把持了物品B的把持部5上升并向车体内方侧滑动移动，将把持部5返回罩体4的内部位置。 [0077] 以被支承为能够位置调节为在其与物品运送车A之间交接物品B的移载用位置（参照图2）和从该移载用位置向上方退避的退避位置（参照图3）的状态设置物品载置体U。退避位置设定为能够避免与在行进轨道L上行进的物品运送车A及由该物品运送车A运送的物品B抵接的位置。由此，在使物品载置体U位于退避位置的状态下，在例如使物品运送车A行进至不对布局变更操作成为阻碍的退避位置等的、使物品运送车A行进的情况下，不会使物品运送车A与退避位置的物品载置体U抵接，能够使之良好地行进。在本实施方式中，移载用位置设定为避免与在行进轨道L上行进的物品运送车A及由该物品运送车A运送的物品B抵接的位置。 [0078] 在本实施方式中，相对于顶板部T垂吊支承物品载置体U的支承机构D构成为，以载置了物品B的物品载置体U能够位置变更至移载用位置和退避位置的状态支承物品载置体U。并且，支承机构D构成为，以令退避位置比移载用位置还要向行进轨道L的横向侧方离开的状态支承物品载置体U。即，退避位置设定在下述位置：比移载用位置靠上方、且与移载用位置相比从行进轨道L向横向侧方的离开距离（物品载置体U和行进轨道L之间的水平方向的距离）要长。并且，退避位置设定在比顶板部T靠下方、且物品载置体U和顶板部T之间的间隔为物品B的高度以上的位置。 [0079] 在本实施方式中，物品运送车A构成为在比移载用位置的物品载置体U靠上方支承物品B的状态下进行运送。因此，在俯视图中，能够将移载用位置的物品载置体U以接近物品运送车A所通过的空间或向该空间内突出的状态设置，其结果，在移载物品B时，减少在行进轨道L的横宽方向上移动物品B的量，能够效率良好地进行物品B的移载。 [0080] 以下对支承机构D加以说明。如图4所示，设置有由垂吊支承体7从顶板部T垂吊支承的左右一对上框8，对于该左右一对的上框8各自，下框9借助滑动式的轨道机构10可升降地被引导。隔开间隔地在左右方向上并排地设置左右一对的上框8。在此所说的“左右方向”是平行于行进轨道L的长度方向的水平方向。 [0081] 并且，如图2及图3所示，以越上方侧相对于行进轨道L越向横向侧方的倾斜姿态设置滑动式的轨道机构10。由此，下框9以随着朝向上方侧而从行进轨道L朝向横向侧方的离开距离变长的方式，由轨道机构10引导。由此，在本实施方式中，支承机构D具备上框8、下框9及轨道机构10。构成为以随着从移载用位置向退避位置上升而从行进轨道L朝向横向侧方的离开距离变长的方式，支承机构D可滑动移动地支承物品载置体U，由此，能够仅通过令物品载置体U直线状地滑动移动的简单操作来进行移载用位置和退避位置之间的物品载置体U的位置变更，能够实现物品载置体U的移动操作的简化。 [0082] 轨道机构10具备至少两个轨道。在本实施方式中，轨道机构10包括安装在上框8及下框9各自上的固定轨道10A、及滑动自如地结合这些固定轨道10A的中间轨道10B的三个轨道。 [0083] 如图5所示，在上框8的下端部设置有一对的上框侧抵接体11。并且，在下框9的上端部，设置有借助上框侧抵接体11的抵接而限制下框9的下降范围的一对的下降极限限制用抵接体12。并且，在下框9的下端部，设置有借助上框侧抵接体11的抵接而限制下框9的上升范围的一对的上升极限限制用抵接体13。构成为借助这些抵接体11、12、13来限制下框9相对于上框8的升降范围。 [0084] 并且，如图2所示，构成为在下框9位于下降极限时，即下降极限限制用抵接体12变为与上框侧抵接体11抵接的状态时，物品载置体U为移载用位置，如图3所示，在下框9位于上升极限时，即上升极限限制用抵接体13变为与上框侧抵接体11抵接的状态时，物品载置体U成为退避位置。 [0085] 另外，如图4及图5所示，构成为当将物品载置体U保持于退避位置时，使向一对上框侧抵接体11中的一方的上框侧抵接体11旋进移动自如地螺纹结合的定位销14与形成在下框9上的定位孔15嵌合，限制下框9的下降。 [0086] 在本实施方式中，如图1及图4所示，多个（具体是三个）物品载置体U以在行进轨道L的长度方向上并排的状态配备在物品载置台E上，上述下框9以向上方突出的姿态配备在该物品载置台E的两端部的各自上。因此，能够使多个物品载置体U一起（即以一个动作）地位置变更至移载用位置和退避位置。 [0087] 具体地，在左右一对的下框9的各自的下端部，借助螺栓连结有支承框17，沿行进轨道L的长度方向延伸的一对的长条框18以在行进轨道L的横宽方向上并排的状态将其两端部载置支承于支承框17。以一对的长条框18为主要部件而构成物品载置台E。 [0088] 并且，三个物品载置体U以由一对长条框18载置支承的状态沿行进轨道L的长度方向并排设置。 [0089] 物品载置体U被支承为能够在载置了物品B的状态下位置变更至移载用位置和退避位置。此时，在本实施方式中，由于沿着行进轨道L的长度方向的长条状的物品载置台E的两端被可升降地支承，因此为了使多个物品载置体U位置变更至移载用位置和退避位置而升降的物品载置台E的姿态稳定。由此，设置在该物品载置台E上的多个物品载置体U的姿态稳定，在使物品载置体U位置变更至移载用位置和退避位置时，能够避免载置支承在物品载置体U上的物品B的姿态混乱。并且，从上方看，支承机构D相对于在移载用位置和退避位置之间移动的物品载置体U配置在不重叠的位置上。具体地，支承机构10具备的上框8、下框9、及轨道机构10分别在行进轨道L的长度方向中配置在与物品载置体U不同的位置。并且，如上所述，退避位置设定在比顶板部T靠下方、且物品载置体U和顶板部T之间的间隔为物品B的高度以上的位置。由此，在物品载置体U位于退避位置时，也能够在各物品载置体U的上方确保使物品B存在的空间。这样地，支承机构D构成为以载置了物品B的物品载置体U能够位置变更至移载用位置和退避位置的状态支承物品载置体U。 [0091] 因而，构成为能用较小的操作力轻便地进行具备三个物品载置体U的物品载置台E的升降。 [0092] 物品运送车A上装备有检测物品载置体U上是否存在物品B的物品存在与否检测传感器21、及检测各物品载置体U的识别信息的识别信息检测传感器22。 [0093] 物品存在与否检测传感器21使用反射式光传感器而构成，其对设置在各物品载置体U的相当于载置面的位置的光反射体23进行检测。 [0094] 识别信息检测传感器22构成为对由设置在从各物品载置体U向上方离开的位置的显示体24所显示的识别信息（例如二维码）进行检测。 [0095] 即，物品运送车A构成为，在对于各物品载置体U移载物品B时，借助识别信息检测传感器22检测由显示体24所显示的识别信息，确认是否是移载物品B的移载对象的物品载置体U。并且，物品运送车A构成为，基于物品存在与否检测传感器21的信息确认是否在移载对象的物品载置体U上载置了物品B。 [0096] 显示体24被设置为与物品载置体U的位置变更连动而位置变更至被检测位置和检测不能位置，使得在物品载置体U位于移载用位置时被配置在识别信息检测传感器22能够检测到的被检测位置，且在物品载置体U位于退避位置时被配置于识别信息检测传感器22不能检测到的检测不能位置。这样的显示体24的位置和物品载置体U的位置的连动在本实施方式中由连动机构M来实现。 [0097] 若加以说明，则如图1及图4所示，设置有支承与三个物品载置体U相对应的三个显示体24的长条状的支承框25。并且，承接支承支承框25的两端部的一对的承接体26如图4及图5所示，为了令显示体24位置变更至被检测位置和检测不能位置，被设置在一对的上框8各自上的引导轨道27支承为能够以一定范围升降。 [0098] 如图5所示，以在与支承框25连结的支承托架30上滑动自如地被支承的状态设置有锁止销29。锁止销29在承接体26位于升降范围的最下降位置时与上框8的定位孔28卡合。并且，在该支承托架30上装备有滑动操作锁止销29的摆动杆31。 [0099] 即，在承接体26位于升降范围的最下降位置时，显示体24被配置在被检测位置。此时，构成为借助使锁止销29与定位孔28卡合，显示体24被保持在被检测位置上。 [0100] 并且，如图3及图5所示，构成为将按压体33安装在下框9上，所述按压体33在物品载置体U从移载用位置移动至退避位置时按压由承接体26的一部分形成的被抵接体32而使承接体26上升，若为了使物品载置体U从移载位置移动至退避位置而使下框9上升，则支承显示体24的支承框25上升。这样地，在本实施方式中，连动机构M具备承接体26、引导轨道27、及按压体33。 [0101] 即，在为了使物品载置体U从移载位置移动至退避位置而使下框9上升至最上升位置时，显示体24变为检测不能位置，并且，如上所述，构成为由定位销14保持上升至最上升位置的下框9而限制下框9的下降，从而显示体24被保持在检测不能位置上。 [0102] 由此，随着为了使物品载置体U从移载位置移动至退避位置而使下框9上升至最上升位置，显示体24从被检测位置被上升操作至检测不能位置，且随着为了使物品载置体U从退避位置移动至移载用位置而使下框9下降，显示体24被落下操作至被检测位置。 [0103] 此外，在为了使物品载置体U从移载用位置移动至退避位置而使下框9上升至最上升位置时，使锁止销29从定位孔28中脱离。并且，在为了使物品载置体U从退避位置移动至移载用位置而使下框9下降之后，使锁止销29与定位孔28卡合。 [0104] 如上所述，本实施方式的物品运送设备为，物品载置体U以能够位置变更至移载用位置和退避位置的方式被支承，所以在为了布局变更等而运入运出基板处理装置时，通过将物品载置体U位置变更至退避位置，能够避免物品载置体U成为基板处理装置的运送的阻碍。 [0105] 并且，物品载置体U被支承为能够在载置了物品B的状态下位置变更至移载用位置和退避位置，所以即使物品载置体U上载置了物品B，也能够不需除去物品B的工夫地将物品载置体U位置变更至退避位置。 [0106] 并且，与物品载置体U的移载用位置和退避位置的位置变更连动地，显示物品载置体U的识别信息的显示体24位置变更至被检测位置和检测不能位置。因此，在物品载置体U位于移载用位置时，能够基于由识别信息检测传感器22检测到的识别信息判别物品载置体U是否是移载对象的物品载置体，并且，在物品载置体U位于退避位置时，判断为移载对象的物品载置体不存在的状态，能够停止物品B的错误的移载。即，当在忘记将物品载置体U从退避位置返回移载用位置的状态下再开始由物品运送车A进行的物品B的运送时，能够避免物品运送车A对于退避位置的物品载置体U错误地进行物品B的移载。 [0107] [其他实施方式] [0108] 接着，列举其他实施方式。 [0109] （1）在上述实施方式中，例示了使用了定载荷弹簧19相对于上框8保持下框9，升降操作物品载置台E的方式，但也可以以如图6所示的方式实施，将从设置在顶板部T的手动滑轮35沿水平方向放出的绳状体36由设置在顶板部T的空转滑轮37向下引导，并将其端部与下框9连接，从而借助手动滑轮35的转动操作，升降操作物品载置台E。 [0110] 即，手动滑轮35使用曲柄杆等，能够以较小的操作力转动操作，因此能够良好地将具有三个物品载置体U的物品载置台E升降操作。 [0111] （2）在上述实施方式中，例示了在沿着行进轨道L的长度方向的物品载置台E上载置三个物品载置体U的情况，但也可以以在物品载置台E上载置两个或四个以上的物品载置体U的方式实施，并且，也可以以不具备物品载置台E而分别可位置变更地支承各物品载置体U的方式实施。 [0112] （3）在上述实施方式中，例示了在行进轨道L的两侧的横向侧方设置物品载置体U的情况，但也可以仅在行进轨道L的一方侧的横向侧方设置物品载置体U等，对于行进轨道L的物品载置体U的设置方式可以做各种变更。 [0113] （4）在上述实施方式中，作为物品B，例示了收纳基板的收纳容器（FOUP），但本发明的物品运送设备能够用于运送各种物品，并且，物品运送车A的具体结构可以根据所运送的物品做各种变更。 |
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