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悬浮装置及悬浮输送装置
申请号	CN200880021789.1	申请日	2008-05-09	公开(公告)号	CN101711218B	公开(公告)日	2012-04-11
申请人	株式会社IHI;			发明人	田中刈入;
摘要	本发明提供一种悬浮输送装置，通过流体使具有下表面的对象物悬浮并输送该对象物，所述悬浮输送装置具有：悬浮装置，具有：基部，用于划分出所述流体通过的小室，配置成能够覆盖所述小室的岛部件，该岛部件能够移动且具有外表面和呈平面状的上表面，用于围住所述岛部件的外壁部件，该外壁部件具有与所述岛部件的外表面相对的内表面，由所述岛部件的外表面和所述外壁部件的内表面划分出的喷出孔，该喷出孔配置成能够在所述上表面和所述对象物的所述下表面之间生成使所述流体产生均匀压力的空间，所述喷出孔至少在所述上表面附近朝向所述区域的内部倾斜，并与所述小室连通从而喷出所述流体，位于所述喷出孔中的多个突起，所述突起由受到所述流体的压力的所述岛部件所按压并与所述喷出孔的内表面抵接，从而使所述喷出孔的宽度均匀；流体供给装置，对所述流体施压，从而向所述小室供给所述流体；输送装置，用于输送所述对象物。
权利要求	1.一种悬浮装置，通过流体使具有下表面的对象物悬浮，所述悬浮装置具有：基部，用于划分出所述流体通过的小室；配置成能够覆盖所述小室的岛部件，该岛部件能够移动且具有外表面和呈平面状的上表面；用于围住所述岛部件的外壁部件，该外壁部件具有与所述岛部件的外表面相对的内表面；由所述岛部件的外表面和所述外壁部件的内表面划分出的喷出孔，该喷出孔配置成能够在所述上表面和所述对象物的所述下表面之间生成使所述流体产生均匀压力的空间，所述喷出孔至少在所述上表面附近朝向内部倾斜，并与所述小室连通从而喷出所述流体；以及位于所述喷出孔中的多个突起，所述突起由受到所述流体的压力的所述岛部件所按压并与所述喷出孔的内表面抵接，从而使所述喷出孔的宽度均匀。 2.根据权利要求1所述的悬浮装置，其中，所述外壁部件，具有朝向上方支承所述岛部件的卡止抓。 3.一种悬浮输送装置，通过流体使具有下表面的对象物悬浮并输送该对象物，所述悬浮输送装置具有：悬浮装置，具有：基部，用于划分出所述流体通过的小室，配置成能够覆盖所述小室的岛部件，该岛部件能够移动且具有外表面和呈平面状的上表面，用于围住所述岛部件的外壁部件，该外壁部件具有与所述岛部件的外表面相对的内表面，由所述岛部件的外表面和所述外壁部件的内表面划分出的喷出孔，该喷出孔配置成能够在所述上表面和所述对象物的所述下表面之间生成使所述流体产生均匀压力的空间，所述喷出孔至少在所述上表面附近朝向内部倾斜，并与所述小室连通从而喷出所述流体，以及位于所述喷出孔中的多个突起，所述突起由受到所述流体的压力的所述岛部件所按压并与所述喷出孔的内表面抵接，从而使所述喷出孔的宽度均匀；流体供给装置，对所述流体施压，从而向所述小室供给所述流体；和输送装置，用于输送所述对象物。 4.根据权利要求3所述的悬浮输送装置，所述外壁部件，具有朝向上方支承所述岛部件的卡止抓。
说明书全文	悬浮装置及悬浮输送装置技术领域 [0001] 本发明涉及一种通过使用压缩空气等流体使对象物悬浮的悬浮装置及在悬浮的同时输送对象物的悬浮输送装置。背景技术 [0002] 在现有技术中公开有多种通过使用压缩空气等流体来将对象物悬浮同时输送的悬浮输送装置。这些悬浮输送装置一般包括具有使空气等流体通过的喷出孔的悬浮装置。向悬浮装置和对象物之间喷出的空气等流体产生压力，对象物通过此压力悬浮，并通过受到输送装置的驱动力而被输送。相关技术记载于日本专利申请公开公报2006-182563号中。发明内容 [0003] 本发明的目的在于提供一种可通过在运行中保持喷出孔宽度的均匀性，从而使对象物所受的浮力稳定的悬浮装置及悬浮输送装置。 [0004] 本发明是以如下方式实现的。本发明第一方面的悬浮装置，通过流体使具有下表面的对象物悬浮。所述悬浮装置具有： [0005] 基部，用于划分出所述流体通过的小室； [0006] 配置成能够覆盖所述小室的岛部件，该岛部件能够移动且具有外表面和呈平面状的上表面； [0007] 用于围住所述岛部件的外壁部件，该外壁部件具有与所述岛部件的外表面相对的内表面； [0008] 由所述岛部件的外表面和所述外壁部件的内表面划分出的喷出孔，该喷出孔配置成能够在所述上表面和所述对象物的所述下表面之间生成使所述流体产生均匀压力的空间，所述喷出孔至少在所述上表面附近朝向所述区域的内部倾斜，并与所述小室连通从而喷出所述流体；以及 [0009] 位于所述喷出孔中的多个突起，所述突起由受到所述流体的压力的所述岛部件所按压并与所述喷出孔的内表面抵接，从而使所述喷出孔的宽度均匀。 [0010] 本发明第二方面的悬浮输送装置，通过流体使具有下表面的对象物悬浮并输送该对象物，所述悬浮输送装置具有： [0011] 悬浮装置，具有： [0012] 基部，用于划分出所述流体通过的小室， [0013] 配置成能够覆盖所述小室的岛部件，该岛部件能够移动且具有外表面和呈平面状的上表面， [0014] 用于围住所述岛部件的外壁部件，该外壁部件具有与所述岛部件的外表面相对的内表面， [0015] 由所述岛部件的外表面和所述外壁部件的内表面划分出的喷出孔，该喷出孔配置成能够在所述上表面和所述对象物的所述下表面之间生成使所述流体产生均匀压力的空间，所述喷出孔至少在所述上表面附近朝向所述区域的内部倾斜，并与所述小室连通从而喷出所述流体，以及 [0016] 位于所述喷出孔中的多个突起，所述突起由受到所述流体的压力的所述岛部件所按压并与所述喷出孔的内表面抵接，从而使所述喷出孔的宽度均匀； [0017] 流体供给装置，对所述流体施压，从而向所述小室供给所述流体；和[0018] 输送装置，用于输送所述对象物。 [0019] 优选为，任何一个所述外壁部件，具有朝向上方支承所述岛部件的卡止抓。附图说明 [0020] 图1是表示根据本发明实施方式的悬浮输送装置的部分俯视图。 [0021] 图2是表示沿图1的II-II向而得的局部剖视图。 [0022] 图3是表示所述悬浮输送装置所具有的悬浮装置的俯视图。 [0023] 图4是表示沿图3的IV-IV向而得的局部剖视图。 [0024] 图5是表示沿图3的V-V向而得的局部剖视图。具体实施方式 [0025] 以下结合附图对本发明的实施方式进行说明。在本说明书、权利要求书及附图中，前方、后方、左方及右方分别定义为在图中以FF、FR、L及R标记的方向。这些定义仅为方便说明而举，本发明并不限于这些内容。 [0026] 根据本发明实施方式的悬浮输送装置1，是用于将对象物W在垂直方向悬浮后在水平输送方向(例如后方FR)输送的装置。作为对象物W，优选为整体呈平面状的比较薄的物体，例如LCD(液晶显示器)用的玻璃基板等薄板。对象物W无需全体呈平面状，只需对象物W下表面的至少一部分呈平面状即可。为使对象物W悬浮，利用例如空气等流体。 [0027] 在对象物W是LCD用的薄玻璃基板等需要在无尘环境下输送的物品的情况下，所述悬浮输送装置1可在无尘室等无尘环境下使用。 [0028] 如图1所示，悬浮输送装置1具有向前后方向伸出的基台3、在基台上沿前后方向形成列的输送装置5、在基台3上沿前后方向及左右方向的两方向形成列的多个悬浮装置21。在悬浮装置21上连接有供给未图示的压缩空气的气体供给装置作为用于供给流体的流体供给装置。可以利用氮气或氩气等其他气体、或液体等其他流体来代替压缩空气。 [0029] 输送装置5，在基台3的左端及右端附近具有在对象物W的输送方向分别形成列的多个辊7。各辊7，分别介由旋转轴7s与蜗轮11一体连接，通过支架9支承成可旋转。为了在前后方向贯穿基台3，具有一对驱动轴13，各驱动轴13具有可与各蜗轮11驱动地啮合的蜗杆15。在各驱动轴13的前端，介由联轴器等与马达17的输出轴17s可驱动地连接。如此，各辊7受到马达17的驱动力而以相同转速旋转。如图2所示，所述各辊7的上端部，配置成从所述悬浮装置21的上表面稍微向上方突出而在单一面上对齐。对象物W即使处于悬浮状态，也如图2所示地与应受到驱动力的辊7接触。 [0030] 马达17无需设置一对，也可以是两个驱动轮13介由链等适当的连接机构与单一马达连接。并且，也可以是将可驱动的夹持器或皮带输送机等输送机构适用于输送装置5来代替辊。 [0031] 参照图3～图5，各悬浮装置21具有基部23，各基部23介由支架25固定在基台3上。各基部23，在其内侧划分出有小室27，从气体供给装置供给的压缩空气暂时通过该小室27。 [0032] 基部23，在其上部周边具有外壁部件29。以被外壁部件29围住的方式、此外以覆盖小室27的方式设置有矩形的岛部件31。外壁部件29设置有用于朝向上方支承岛部件31的卡止抓35。因岛部件31未固定，从而受到小室27内的压缩空气的压力而稍微向上移动。在外壁部件29和岛部件31之间，留有与小室27连通而使压缩空气通过的间隙。外壁部件29和岛部件31所划分出的该间隙，以下称为喷出孔37。 [0033] 参照图3～图5，喷出孔37是矩形的环状间隙。外壁部件29的上部的内周29a朝向内部倾斜，岛部件31的上部的外周31a也朝向内部倾斜。由此，在喷出孔37，由外壁部件29的上部的内周29a和岛部件31的上部的外周31a所划分出的部分，即在悬浮装置21的上表面附近，该喷出孔37朝向内部倾斜。另一方面，在喷出孔37，被外壁部件29的下部的内周29b和岛部件31的下部的外周31b所围住的部分，大致垂直地设置。或者，也可以喷出孔37的全部朝向内部倾斜。 [0034] 在喷出孔37具有朝向内部的倾斜时，压缩空气的流量越大，对象物W的悬浮高度越高。因此，环状且向内部倾斜的喷出孔37，介由压缩空气的流量控制来提供对象物W的悬浮高度的控制性。该倾向随着倾斜越大而越明显，但由于该倾斜过大时会导致上部外壁部件29的制作困难，因此倾角优选为45°，但并不限于此。 [0035] 岛部件31，进一步在该倾斜的外周31a的面上具有相同高度的多个突起33。岛部件31受到压缩空气的压力，从而稍微朝向上方移动。若岛部件31移动，则突起33与各外壁部件29的倾斜的内周29a抵接，从而使喷出孔37的宽度均匀。或者，作为代替岛部件31，外壁部件29的倾斜的内周29a可具有多个突起33。在此情况下，如岛部件31移动，则突起33与各岛部件31的倾斜的外周31a抵接，使得喷出孔37的宽度均匀。 [0036] 喷出孔37，并不限于矩形环状，也可以是椭圆形环状，或者环形的一部分被闭塞的形状、也可以是其他各种形状。 [0037] 优选为，岛部件31的上表面和外壁部件29的上表面对齐成单一的平面。并且，优选为，多个悬浮装置21以所述已对齐的上表面之间进一步形成单一平面的方式对齐。这有利于使对象物W悬浮高度稳定。 [0038] 各悬浮装置21的各小室27，通过未图示的配管相互连通，进一步与空气供给装置连通。空气供给装置，介由配管以可控制地向各悬浮装置21供给压缩空气。作为空气供给装置，优选为具有与变换器电源电连接的送风机马达、通过送风机马达被驱动的送风机，但并不限于此。空气供给装置也可以具有可读取对象物W的信息的适当的读取装置、控制空气流量的控制器等。 [0039] 若从空气供给装置向各小室27供给压缩空气，则从各喷出孔37喷出压缩空气。所喷出的压缩空气，如图3～图5所示，在岛部件31的上表面和对象物W的下表面之间，即喷出孔37的开口所围住的空间，生成使所述压缩空气产生均匀压力的空间S。由具有均匀压力的空间S的支承，由此所述对象物被施加浮力而悬浮。另一方面，通过驱动一对马达17来使得一对驱动轴13同步旋转。通过蜗轮11和蜗杆15的啮合，驱动轴13的旋转被传递到各辊7。通过与旋转的辊7接触，输送到悬浮输送装置1的对象物W在悬浮的状态下被输送。 [0040] 在运行前或运行中，外壁部件29也有可能相对岛部件31从正规位置离开。此时，由于喷出孔37的宽度的均匀性受损，因此存在空间S的压力的均匀性受损、压力变动的担忧。根据上述的实施方式，悬浮输送装置1具有可移动的岛部件31和相同高度的多个突起33的组合。岛部件31通过受到压缩空气的压力而移动，通过突起33与喷出孔37的内表面抵接而使得喷出孔37的宽度保持均匀。由此，恢复了空间S的压力均匀性或稳定性，进而稳定了对象物所受的浮力。 [0041] 以上参照本发明的优选实施方式进行了说明，但本发明并不限于上述实施方式的内容。基于上述公开内容，具有本技术领域普通技术的人员，可以通过对实施例进行修改或变形来实施本发明。 [0042] 产业上的可利用性 [0043] 本发明提供一种可使对象物所受的浮力稳定的悬浮装置及悬浮输送装置。

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